一種可控的萬(wàn)能光罩的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種可控的萬(wàn)能光罩，包括相互連接的新型光掩膜板和驅(qū)動(dòng)模塊，其特征在于：所述的新型光掩膜板從上到下依次包括保護(hù)罩、上層透明導(dǎo)電排線、電致變色材料層、下層透明導(dǎo)電排線和襯底；所述的保護(hù)罩和襯底之間設(shè)有IC接口和導(dǎo)線；所述的驅(qū)動(dòng)模塊是用于驅(qū)動(dòng)上層透明導(dǎo)電排線和下層透明導(dǎo)電排線的驅(qū)動(dòng)模塊。本實(shí)用新型的有益效果有：1.多場(chǎng)合使用；2.可反復(fù)使用；3.可替換基板；4.環(huán)保，不產(chǎn)生廢液。
【專利說(shuō)明】一種可控的萬(wàn)能光罩
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種光罩，尤其是一種可控的萬(wàn)能光罩。
【背景技術(shù)】
[0002]作為在平板顯示器、CRT用蔭罩、印刷線路板、半導(dǎo)體等領(lǐng)域中的光刻工序中使用的光掩膜，現(xiàn)有的光掩膜板主要是鉻掩膜和乳膠掩膜為主?，F(xiàn)有技術(shù)存在如下問(wèn)題:1、制造周期長(zhǎng):采用鉻板，每個(gè)型號(hào)的產(chǎn)品都必須做專門的光罩，生產(chǎn)周期長(zhǎng)，不適合現(xiàn)有高節(jié)奏市場(chǎng)需求。2、成本高:光罩在使用過(guò)程中如果有劃傷或者其他損壞，極易報(bào)廢，替換成本高。
3、一次性:光罩上面的圖案制作完成后就不能再更改。4、不環(huán)保:鉻板制備，廢液污染。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種利用軟件控制可改變圖案的萬(wàn)能光罩，以具有以下優(yōu)點(diǎn):1、多場(chǎng)合使用；2、可反復(fù)使用；3、可替換基板；4、環(huán)保，不產(chǎn)生廢液。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種可控的萬(wàn)能光罩，包括新型光掩膜板和驅(qū)動(dòng)模塊，所述的新型光掩膜板與驅(qū)動(dòng)模塊相連接并連接至PC機(jī)中的控制系統(tǒng)，所述的新型光掩膜板從上到下依次包括保護(hù)罩、上層透明導(dǎo)電排線、電致變色材料層、下層透明導(dǎo)電排線和襯底；所述的保護(hù)罩和襯底之間設(shè)有IC接口和導(dǎo)線；所述的驅(qū)動(dòng)模塊是驅(qū)動(dòng)上層透明導(dǎo)電排線和下層透明導(dǎo)電排線的模塊。
[0005]所述的保護(hù)罩和襯底是高透、低反射、低折射率的蘇打或石英玻璃。
[0006]所述的IC接口和導(dǎo)線是耐酸堿特性的。
[0007]所述的電致變色材料層為50_150nm厚的薄膜。
[0008]所述的透明導(dǎo)電排線是低阻氧化銦錫透明導(dǎo)電膜經(jīng)紫外激光刻蝕組成。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果為:1、多場(chǎng)合使用:不用每個(gè)產(chǎn)品都制作專用的光罩；2、可反復(fù)使用:電致變色材料，圖案通過(guò)軟件控制，材料變色可逆，更改程序即可變換圖形。3、可替換基板:劃傷以后跟換基板即可，降低成本。4、環(huán)保:電控顯示，不用蝕刻，不產(chǎn)生廢液。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為新型光掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2為驅(qū)動(dòng)模塊的示意圖。
[0012]圖中:1——新型光掩膜板、2——驅(qū)動(dòng)模塊、21——保護(hù)罩、22——X方向的上層透明導(dǎo)電排線、23——電致變色材料層、24——Y方向的下層透明導(dǎo)電排線、25——襯底、26——IC接口、27——導(dǎo)線、3——PC控制系統(tǒng)。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步說(shuō)明:[0014]如圖1、2所示，一種可控的萬(wàn)能光罩，包括新型光掩膜板1、驅(qū)動(dòng)模塊2和PC控制系統(tǒng)3，新型光掩膜板I和PC控制系統(tǒng)3通過(guò)驅(qū)動(dòng)模塊2相連接；新型光掩膜板I從上到下依次包括保護(hù)罩21、X方向的上層透明導(dǎo)電排線22、電致變色材料層23、Y方向的下層透明導(dǎo)電排線24、襯底25 ;保護(hù)罩21和襯底25之間設(shè)有IC接口 26和導(dǎo)線27 ;驅(qū)動(dòng)模塊2是驅(qū)動(dòng)X方向的上層透明導(dǎo)電排線22和Y方向的下層透明導(dǎo)電排線24的模塊。具體實(shí)施時(shí)，保護(hù)罩21和襯底25是高透、低反射、低折射率的蘇打或石英玻璃；IC接口 26和導(dǎo)線27是耐酸堿特性的；電致變色材料層23是一層IOOnm厚的薄膜；透明導(dǎo)電排線是低阻氧化銦錫透明導(dǎo)電膜經(jīng)紫外激光刻蝕組成。
[0015]上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理和最佳實(shí)施例，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種可控的萬(wàn)能光罩，包括相互連接的新型光掩膜板和驅(qū)動(dòng)模塊，其特征在于:所述的新型光掩膜板從上到下依次包括保護(hù)罩、上層透明導(dǎo)電排線、電致變色材料層、下層透明導(dǎo)電排線和襯底；所述的保護(hù)罩和襯底之間設(shè)有IC接口和導(dǎo)線；所述的驅(qū)動(dòng)模塊是用于驅(qū)動(dòng)上層透明導(dǎo)電排線和下層透明導(dǎo)電排線的驅(qū)動(dòng)模塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可控的萬(wàn)能光罩，其特征在于:所述的保護(hù)罩和襯底是蘇打玻璃或石英玻璃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可控的萬(wàn)能光罩，其特征在于:所述的電致變色材料層為50-150nm厚的薄膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可控的萬(wàn)能光罩，其特征在于:所述透明導(dǎo)電排線由氧化銦錫制成。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK203720525SQ201420003675
【公開日】2014年7月16日 申請(qǐng)日期:2014年1月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月5日
【發(fā)明者】余松霖, 林俊杰, 覃秦 申請(qǐng)人:東莞匯海光電科技實(shí)業(yè)有限公司