滾對平面光刻壓印中紫外燈光源結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種滾對平面光刻壓印中紫外燈光源結(jié)構(gòu)，包括紫外燈光源和能夠控制光源光照強(qiáng)度變化的控制電路，紫外燈光源包括拋物面型燈罩、紫外燈管和凸透鏡柱，紫外燈管安裝在所述燈罩的拋物線焦點(diǎn)上，凸透鏡柱安裝在拋物面的開口處，凸透鏡柱的一個焦點(diǎn)在滾對平面式光刻壓印的加工區(qū)域上，也就是凸透鏡柱的焦點(diǎn)位于滾筒模具表面和襯底的切線上；紫外燈光源與滾筒模具的芯軸之間，保持位置不變；控制電路包括固定安裝于滾筒模具一側(cè)端面芯軸上的感應(yīng)線圈探頭，且滾筒模具端面上均勻且磁極極性交替變化地安裝有多個能與感應(yīng)線圈探頭對應(yīng)的永磁體，感應(yīng)線圈探頭經(jīng)放大電路和整流電路與紫外燈管相連形成一閉合回路。
【專利說明】滾對平面光刻壓印中紫外燈光源結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于微納米制造技術(shù)，尤其是一種滾對平面光刻壓印中紫外燈光源結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在光刻壓印技術(shù)中，不斷需要減小光刻圖案中的特征尺寸，以便提高在給定襯底區(qū)域內(nèi)特征的密度，由于對更高幾何特征密度要求的不斷增長已經(jīng)促進(jìn)了浸沒光刻和極紫外光刻技術(shù)的發(fā)展。但是它們的價格都相當(dāng)昂貴。
[0003]光刻壓印是能夠廉價獲得更小幾何特征的一種重要途徑，它通常涉及將壓印模板上的幾何圖案轉(zhuǎn)印到襯底上。該技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是特征的分辨率不受輻射源的發(fā)射波長或投影系統(tǒng)的孔徑大小限制，其分辨率主要受限于壓印模板上的特征圖案的密度。
[0004]平面對平面式和滾對平面式光刻壓印是實現(xiàn)微納米幾何圖案轉(zhuǎn)移的兩種技術(shù)，而滾對平面技術(shù)能大大提高光刻壓印的效率，它通常將紫外光線可固化的壓印液體介質(zhì)(例如紫外線可固化的光致抗蝕劑)平鋪在滾壓印襯底上，然后將帶有特征圖案表面的輥壓印模具滾過帶有可壓印液體介質(zhì)的襯底，使得模具的圖案化表面與液體介質(zhì)依次接觸，再把輥壓印模具表面上的結(jié)構(gòu)特征留在襯底上，之后再經(jīng)過紫外光的照射，被壓印介質(zhì)就會發(fā)生固化，最后可得到自支撐的圖案層。對于紫外光源的要求是:當(dāng)輥壓印模具滾過襯底時，紫外光源要能固化輥壓印模具正在滾過的帶有特征圖案的壓印液體介質(zhì)，并且不能影響還未圖形化的工作介質(zhì)。目前的紫外光源由于設(shè)計結(jié)構(gòu)不同，難以實現(xiàn)上述要求。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的是為克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種滾對平面光刻壓印中紫外燈光源結(jié)構(gòu)，該光源能將紫外光聚焦在光刻壓印的透明模具表面上，提高光源的利用效率；還能根據(jù)光刻壓印機(jī)的工作速度，自動調(diào)整光源的光強(qiáng)，具有成型精度高，成型特征穩(wěn)定。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用下述技術(shù)方案:
[0007]—種滾對平面光刻壓印中紫外燈光源結(jié)構(gòu)，包括紫外燈光源和能夠控制所述光源光照強(qiáng)度變化的控制電路，所述紫外燈光源包括拋物面型燈罩、紫外燈管和凸透鏡柱，所述紫外燈管安裝在所述燈罩的拋物線焦點(diǎn)上，經(jīng)過拋物面型燈罩的反射作用，就會形成一束平行光柱，凸透鏡柱安裝在拋物面的開口處，平行光柱經(jīng)過凸透鏡柱的折射作用后在其焦點(diǎn)處匯聚成一條直線，凸透鏡柱的一個焦點(diǎn)在滾對平面式光刻壓印的加工區(qū)域上，也就是凸透鏡柱的焦點(diǎn)位于滾筒模具表面和襯底的切線上；所述紫外燈光源與滾筒模具的芯軸之間在輥壓印模具繞芯軸旋轉(zhuǎn)時，保持位置不變；
[0008]所述控制電路包括固定安裝于滾筒模具一端芯軸上的感應(yīng)線圈探頭，且前述滾筒模具端面上均勻且磁極極性交替變化地安裝有多個能與感應(yīng)線圈探頭相對的永磁體，感應(yīng)線圈探頭經(jīng)放大電路和整流電路與紫外燈管相連形成一閉合回路；感應(yīng)電動勢是由隨滾筒模具同步轉(zhuǎn)動的永磁體和固定不動的感應(yīng)線圈探頭切割磁力線產(chǎn)生的，當(dāng)滾對平面光刻壓印的滾筒轉(zhuǎn)動時，線圈的閉合回路中就會產(chǎn)生感應(yīng)電流，此電流的有效值與滾筒模具轉(zhuǎn)速有關(guān)，轉(zhuǎn)速越大有效值就越大，反之就越低；這樣就能使得紫外燈光源的光照強(qiáng)度隨滾筒模具的轉(zhuǎn)速改變而改變，滾筒模具的轉(zhuǎn)速越大光照強(qiáng)度就會越強(qiáng)。
[0009]一種滾對平面光刻壓印中紫外燈光源結(jié)構(gòu)，包括紫外燈光源和能夠控制所述光源光照強(qiáng)度變化的控制電路，所述紫外燈光源包括拋物面型燈罩、紫外燈管和凸透鏡柱，所述凸透鏡柱的一個焦點(diǎn)與拋物線型燈罩共焦點(diǎn)，紫外光燈管安裝于該共焦點(diǎn)上，經(jīng)過拋物面型燈罩的反射作用，就會形成一束平行光柱，凸透鏡柱安裝在拋物面的開口處，平行光柱經(jīng)過凸透鏡柱的折射作用后在凸透鏡柱的另一個焦點(diǎn)處匯聚成一條直線，該直線與滾筒模具圓柱表面和襯底平面的切線重合(即凸透鏡柱另一個焦點(diǎn)在滾對平面式光刻壓印的加工區(qū)域上，也就是凸透鏡柱的焦點(diǎn)位于滾筒模具表面和襯底的切線上)；所述紫外燈光源與滾筒模具的芯軸之間在輥壓印模具繞芯軸旋轉(zhuǎn)時，保持位置不變；
[0010]所述控制電路包括固定安裝于滾筒模具一端面的芯軸上的感應(yīng)線圈探頭，且前述滾筒模具端面上均勻安裝有多個磁極極性交替變化且能與感應(yīng)線圈探頭對應(yīng)的永磁體，感應(yīng)線圈探頭經(jīng)放大電路和整流電路與紫外燈管相連形成一閉合回路；感應(yīng)電動勢是由隨滾筒模具同步轉(zhuǎn)動的永磁體和固定不動的感應(yīng)線圈探頭切割磁力線產(chǎn)生的，當(dāng)滾對平面光刻壓印的滾筒轉(zhuǎn)動時，線圈的閉合回路中就會產(chǎn)生感應(yīng)電流，此電流的有效值與滾筒模具轉(zhuǎn)速有關(guān)，轉(zhuǎn)速越大有效值就越大，反之就越低；這樣就能使得紫外燈光源的光照強(qiáng)度隨滾筒模具的速度改變而改變，滾筒模具的轉(zhuǎn)速越大光照強(qiáng)度就會越強(qiáng)。
[0011]所述拋物面型燈罩開口的大小小于2倍滾筒模具內(nèi)部半徑。
[0012]所述感應(yīng)線圈探頭中心正對永磁體。
[0013]所述線圈探頭的端面與永磁體相距l(xiāng)_2mm。
[0014]所述放大電路是晶體管放大器，其輸入端與感應(yīng)線圈探頭的輸出端相連，晶體管放大器與整流電路相接，經(jīng)整流后的電信號直接輸入到紫外燈管中，實現(xiàn)紫外燈光源的光強(qiáng)隨滾對平面光刻壓印的滾筒模具轉(zhuǎn)速的變化而變化，完成光源的光強(qiáng)隨滾壓印的速度自動調(diào)節(jié)功能。
[0015]本實用新型中，將紫外燈管放置在拋物線型燈罩焦點(diǎn)的位置上，經(jīng)過拋物面型燈罩的反射作用，就會形成一束平行光柱。在拋物面型燈罩的出口處加裝凸透鏡柱，這樣平行光柱經(jīng)過凸透鏡柱的折射作用后就會在其焦點(diǎn)處匯聚成一條直線。匯聚成直線的光能依次掃過帶有輥壓印模具圖案特征的工作液體，使其固化，同時非加工區(qū)的工作液體不會受到任何影響。此種燈的設(shè)計不僅能滿足滾對平面光刻壓印中光源的要求，由于紫外光經(jīng)過反射和凸透鏡柱折射交匯使得紫外光源的光能利用率大大提高。
[0016]將紫外光燈管同時放在拋物面型燈罩和凸透鏡柱的一個焦點(diǎn)上，而凸透鏡柱的另一個焦點(diǎn)應(yīng)在滾對平面式光刻壓印的工作界面(即輥壓印模具與工作介質(zhì)的壓印成型區(qū))，其紫外燈光源能量利用率就會更高。精確地講，實際應(yīng)用時，還應(yīng)考慮石英滾筒、粘結(jié)層和滾印模具對光的折射作用，對整個光源位置加以微調(diào)(這種微調(diào)對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是公知常識，在此不再贅述)，確保光源輸出的光線在滾對平面式光刻壓印的加工區(qū)域上，而且凸透鏡柱的一個焦點(diǎn)與拋物線型燈罩要共焦點(diǎn)，這樣光源的光能利用效率會更高。
[0017]拋物面型燈罩開口的大小D要根據(jù)滾筒內(nèi)徑、凸透鏡柱和紫外燈管的大小而定(這里確定拋物面型燈罩開口的大小D對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是常識，不需要創(chuàng)造性勞動，在此不再贅述)，一般D〈2R(R是石英滾筒內(nèi)部半徑)，拋物線焦點(diǎn)f的選擇要能夠使得紫外燈管放在拋物面型燈罩的焦點(diǎn)線上。由開口 D、拋物線焦點(diǎn)f和凸透鏡柱尺寸以及其焦距長短來確定拋物面型燈罩的具體形狀和尺寸(物面型燈罩的具體形狀和尺寸的確定對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是常規(guī)設(shè)計，不需要額外付出創(chuàng)造性勞動，在此不再贅述)。
[0018]紫外光線要正好照射在石英滾筒正在滾壓印的紫外可固化的液體上，不能照射在還未滾壓印的工作介質(zhì)上，正常情況下經(jīng)凸透鏡柱折射匯聚成的紫外光在襯底上留下的面積越小越好，所以凸透鏡柱焦距的長短基本等于凸透鏡柱到襯底的距離(同時要考慮到石英滾筒、粘結(jié)層和滾印模具對光的折射作用，這些因素的考慮是對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是常規(guī)技術(shù)，在此不再贅述)，這樣使得紫外光經(jīng)過凸透鏡柱折射在焦點(diǎn)處形成的直線正好落在襯底平面上。這樣能夠保證在滾壓印的第一時間紫外光能第一時間照射在要固化的液體介質(zhì)上，當(dāng)滾筒完成滾壓印后就能盡快地形成可自支撐的圖案層。
[0019]紫外光源放在輥壓印模具內(nèi)，即置于石英滾筒的內(nèi)部。紫外光線能夠透過石英滾筒照射到襯底上，滾印模具材質(zhì)和粘結(jié)層也應(yīng)該是透光材料，在輥壓印模具繞芯軸旋轉(zhuǎn)時，紫外光源位置相對于芯軸軸心線不發(fā)生相對運(yùn)動，這樣就能使得石英滾筒在滾壓印過程中紫外光源始終能照射到模具正在滾壓印的工作介質(zhì)上，而不影響未滾壓印的部分。
[0020]在滾壓印過程中，紫外光源(包括紫外燈管、拋物面型燈罩、凸透鏡柱)相對滾筒中心軸線不發(fā)生相對運(yùn)動，即紫外燈管發(fā)出的紫外光經(jīng)過拋物面型燈罩的反射和凸透鏡柱的折射匯聚形成一條直線，該直線恰好并且一直落在石英滾筒模具表面與襯底的切線上。在石英滾筒的兩端各加一個軸承，滾筒繞軸承轉(zhuǎn)動，紫外光源與滾筒的軸心相對靜止，這樣就能保證滾筒在滾動的過程中紫外光源相對石英滾筒中心的位置不發(fā)生變化。
[0021]為了保證石英滾筒內(nèi)的紫外燈正常工作，一般情況下，紫外光源的光照強(qiáng)度是一個定值(即電源的電壓和電流是恒值)，它不能適應(yīng)加工速度發(fā)生變化的滾對平面式光刻壓印工藝。本實用新型要求能根據(jù)滾筒的轉(zhuǎn)速，調(diào)整紫外光源的光照強(qiáng)度，即滾筒的轉(zhuǎn)速越大，光照的時間越短，所需要的光照強(qiáng)度就要越強(qiáng)；滾筒的轉(zhuǎn)速越小，光照的時間就長，所需紫外光源的光照強(qiáng)度越弱。為達(dá)到上述目的在輥壓印模具外側(cè)的軸承蓋上均布一圈磁極極性交替變化的永磁體，再用感應(yīng)線圈探頭正對永磁體并與永磁體的端面相距保持l_2mm。當(dāng)滾筒模具轉(zhuǎn)動時，永磁體也隨之轉(zhuǎn)動，而感應(yīng)線圈探頭是固定在滾筒的芯軸上，這樣由于感應(yīng)線圈探頭切割磁力線而在線圈中產(chǎn)生一個感應(yīng)電動勢，此感應(yīng)電動勢會隨滾筒的轉(zhuǎn)速變化而變化，如果電路是閉合回路，電路中就會產(chǎn)生隨滾筒的轉(zhuǎn)速變化的電流，滾筒的轉(zhuǎn)速越大感應(yīng)出的有效電流就越大。此感應(yīng)電流經(jīng)過放大電路后整流作為紫外燈的電源，這樣就能使得紫外光源的光照強(qiáng)度隨滾筒的轉(zhuǎn)速改變而改變，滾筒的轉(zhuǎn)速越大光照強(qiáng)度就越強(qiáng)。
[0022]當(dāng)輥壓印模具滾過襯底時，它能使得輥壓印模具滾過的帶有特征圖案的液體固化，并且不會影響還未滾過的可固化工作液體，同時該裝置還能根據(jù)光刻壓印機(jī)的工作速度，自動調(diào)整光源的光強(qiáng)，使?jié)L對平面式光刻壓印設(shè)備能自動適用不同壓印速度的變化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1滾對平面光刻壓印光源光路原理橫截面圖(帶箭頭的線表示紫外光線)；
[0024]圖2滾對平面光刻壓印光源光路原理(A-A剖視圖)；[0025]圖3滾對平面光刻壓印光源光強(qiáng)控制原理圖(K向視圖)；
[0026]圖4紫外燈光強(qiáng)控制電路原理圖；
[0027]其中，1、滾壓印模具；101、凸形圖案特征；102、凹形圖案特征；2、粘結(jié)層；3、石英滾筒；4、紫外燈光源；401、拋物面型燈罩；402、紫外光燈管；403、凸透鏡柱；5、感應(yīng)線圈探頭；6、芯軸；7、軸承；8、永磁體；9、放大電路；10、整流電路。
【具體實施方式】
[0028]下面結(jié)合圖1到圖4和實施例對本實用新型從五個方面作進(jìn)一步說明。
[0029]滾對平面式光刻壓印的實施過程:在滾對平面光刻壓印中，通常將紫外光線可固化的光刻壓印工作介質(zhì)放在壓印襯底上，然后將具有圖案特征的滾壓印模具I放在該襯底上，模具是通過粘結(jié)層2固定在石英滾筒3上，當(dāng)輥壓印模具滾過可壓印液體工作介質(zhì)的時候，可壓印的液體工作介質(zhì)就會充滿輥壓印模具的凸、凹形圖案特征101、102中，如圖1中所示，紫外燈光源4 (由拋物面型燈罩401、紫外燈管402、凸透鏡柱403組成)發(fā)出的紫外光經(jīng)石英滾筒3、粘結(jié)層2和滾壓印模具I后照射在具有圖案特征的襯底上，使紫外線可固化的液體工作介質(zhì)發(fā)生固化，形成具有可自支撐的特征圖案層。輥壓印模具1、紫外燈光源4的結(jié)構(gòu)及光源在輥壓印模具I內(nèi)的安裝位置如圖1、圖2所示。
[0030]紫外光源的實施過程:圖1中一種能夠?qū)⒆贤鉄艄馨l(fā)出的光匯聚成一條直線的紫外光源4，它是由拋物面型燈罩401、紫外燈管402、凸透鏡柱403組成。將紫外燈管402放置在拋物線型燈罩401的焦點(diǎn)f位置上，經(jīng)過拋物面型燈罩的反射作用，就會形成一束平行光柱。在拋物面型燈罩的出口處加裝凸透鏡柱403，這樣平行光柱經(jīng)過凸透鏡柱的折射作用后就會在其焦點(diǎn)處匯聚成一條直線。匯聚成直線的光能依次掃過帶有輥壓印模具圖案特征的工作液體，使其固化，而未在加工區(qū)的液體介質(zhì)不會受到影響，由于紫外光經(jīng)過反射和凸透鏡柱折射交匯使得紫外光源的能量利用率大大提高。
[0031]將紫外光燈管402同時放在拋物面型燈罩401和凸透鏡柱403的一個焦點(diǎn)上(即拋物線型燈罩和凸透鏡共焦點(diǎn))，而凸透鏡柱403的另一個焦點(diǎn)(線)基本應(yīng)在滾對平面式光刻壓印的加工區(qū)域上(即輥壓印模具與工作介質(zhì)的壓印成型區(qū))，其紫外燈光源能量的利用率就會更高。
[0032]精確實施時，凸透鏡柱403要安裝在拋物面的開口處，凸透鏡柱403的一個焦點(diǎn)與拋物線型燈罩401要共焦點(diǎn)，另一個焦點(diǎn)要在滾對平面式光刻壓印的加工區(qū)域上，也就是凸透鏡柱403的焦點(diǎn)線要位于滾筒和襯底的切線上，安裝時還應(yīng)考慮石英滾筒、粘結(jié)層和滾印模具對光的折射作用，對整個光源位置加以微調(diào)，確保光源輸出的光線在滾對平面式光刻壓印的加工區(qū)域上，而且凸透鏡柱的另一個焦點(diǎn)與拋物線型燈罩要共焦點(diǎn)，這樣光源的光能量利用率會更高。
[0033]在圖1的紫外光源結(jié)構(gòu)設(shè)計中，拋物面型燈罩開口的大小D要根據(jù)滾筒內(nèi)徑、紫外燈管和凸透鏡柱及其焦距的大小確定，D〈2R(R是石英滾筒內(nèi)部半徑)，拋物線焦點(diǎn)f的選擇要能夠使得紫外燈管放在拋物面型燈罩的焦線上。由開口 D、拋物線焦點(diǎn)f和凸透鏡柱尺寸以及其焦距長短來確定拋物面型燈罩的具體形狀和尺寸，紫外光線要照射在石英滾筒正在滾壓印的工作區(qū)域上。一般說來經(jīng)凸透鏡柱折射匯聚成的紫外光投在襯底上的面積越小越好，理想情況下是一條直線。凸透鏡柱焦距的長短等于凸透鏡柱到襯底的距離(實施中通過考慮石英滾筒、粘結(jié)層和滾印模具對光的折射作用，要適當(dāng)加以微調(diào))，這樣使得紫外光線經(jīng)過凸透鏡柱折射在焦點(diǎn)處形成的直線正好落在襯底平面上。即能夠保證在滾壓的第一時間紫外光能第一時間照射在液體工作介質(zhì)上，當(dāng)滾筒完成滾壓印后能盡快地形成可自支撐的圖案層。具有成型精度高、成型特征穩(wěn)定、可靠等優(yōu)點(diǎn)。
[0034]紫外光源的安裝位置:紫外光源放在輥壓印模具內(nèi)，置于石英滾筒的內(nèi)部。紫外光線能夠透過石英滾筒3、粘結(jié)層2和滾壓印模具I照射到襯底上。當(dāng)輥壓印模具繞芯軸旋轉(zhuǎn)時，紫外光源相對于芯軸線不發(fā)生相對運(yùn)動，這樣就能使得石英滾筒在滾壓印過程中，紫外光源始終能照射到輥壓印模具正在滾壓印的工作液體介質(zhì)處。在滾壓印過程中，紫外燈光源位置(包括紫外燈管、拋物面型燈罩、凸透鏡柱)相對滾筒芯軸中心不發(fā)生變動，即紫外燈管發(fā)出的紫外光經(jīng)過拋物面型燈罩的反射和凸透鏡柱的折射后交匯成一條直線，該直線恰好并且一直落在石英滾筒模具表面與襯底的切線上。紫外燈光源4與滾筒的芯軸保持靜止，這樣能保證滾筒在滾動的過程中紫外光源相對石英滾筒的中心線不發(fā)生運(yùn)動。
[0035]可控紫外燈的實施過程:由圖2、圖3和圖4可知，感應(yīng)線圈探頭5是安裝在石英滾筒的側(cè)面，固定在芯軸6上，并與芯軸6保持相對靜止。當(dāng)石英滾筒相對于芯軸6通過軸承7發(fā)生轉(zhuǎn)動時，安裝在石英滾筒一側(cè)的軸承蓋上的永磁體8就會和石英滾筒同步轉(zhuǎn)動，由于多個永磁體是均勻并且磁極極性交替變化地安裝在石英滾筒側(cè)面的軸承蓋上，這樣靜止的感應(yīng)線圈探頭5就會交替切割永磁體8發(fā)出的不同磁極的磁力線，從而產(chǎn)生有效值隨石英滾筒轉(zhuǎn)速變化的感應(yīng)電動勢，經(jīng)過放大電路9和整流電路10后，為紫外燈供電，這樣紫外燈發(fā)出的燈光強(qiáng)弱就會隨滾壓印速度的變化而變化。
[0036]控制電路的實施過程:紫外光源的光照強(qiáng)度要能根據(jù)滾筒的轉(zhuǎn)速發(fā)生變化，即滾筒的轉(zhuǎn)速越大，光照的時間越短，所需要的光照強(qiáng)度就越強(qiáng)；滾筒的轉(zhuǎn)速越小，光照的時間長，所需紫外光源的光照強(qiáng)度就越弱。為達(dá)到上述目的我們在輥壓印模具的外側(cè)均布一圈磁極極性交替變化的永磁體8，再用感應(yīng)線圈探頭5中心正對永磁體，使線圈探頭的端面與永磁體相距1-2_。當(dāng)滾筒模具轉(zhuǎn)動時,與其相連的永磁體也隨之同步轉(zhuǎn)動，這樣就會在感應(yīng)線圈探頭5中產(chǎn)生一個交變電壓信號Ui,此電壓會隨滾筒的轉(zhuǎn)速變化而變化，滾筒的轉(zhuǎn)速越大電壓的有效值就越大。將此信號輸入到放大電路9的輸入端，經(jīng)過放大的信號加載到整流電路10的輸入端后，其輸出端得到輸出電壓U1，該電壓就為紫外燈的電源，這樣就能使得紫外光源的光照強(qiáng)度隨滾筒的轉(zhuǎn)度改變而改變，滾筒的轉(zhuǎn)度越大光照強(qiáng)度就會越強(qiáng)。圖4中Rb為基極偏置電阻，它為放大電路提供靜態(tài)工作點(diǎn)，Rc為集電極負(fù)載電阻，它將三極管放大電路中電流的變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡妷旱淖兓瘡亩鴮崿F(xiàn)電壓的放大輸出，C1X2為耦合電容起到隔直流通交流的作用。當(dāng)然具體實施時也可以使用其它放大電路。
[0037]上述雖然結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進(jìn)行了描述，但并非對本實用新型保護(hù)范圍的限制，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，在本實用新型的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動即可做出的各種修改或變形仍在本實用新型的保護(hù)范圍以內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種滾對平面光刻壓印中紫外燈光源結(jié)構(gòu)，其特征是，包括紫外燈光源和能夠控制所述光源光照強(qiáng)度變化的控制電路，所述紫外燈光源包括拋物面型燈罩、紫外燈管和凸透鏡柱，所述紫外燈管安裝在所述燈罩的拋物線焦點(diǎn)上，凸透鏡柱安裝在拋物面的開口處，凸透鏡柱的一個焦點(diǎn)在滾對平面式光刻壓印的加工區(qū)域上，也就是凸透鏡柱的焦點(diǎn)位于滾筒模具表面和襯底的切線上；所述紫外燈光源與滾筒模具的芯軸之間在輥壓印模具繞芯軸旋轉(zhuǎn)時，保持位置不變； 所述控制電路包括固定安裝于滾筒模具一側(cè)端面芯軸上的感應(yīng)線圈探頭，且前述滾筒模具端面上均勻且磁極極性交替變化地安裝有多個能與感應(yīng)線圈探頭對應(yīng)的永磁體，感應(yīng)線圈探頭經(jīng)放大電路和整流電路與紫外燈管相連形成一閉合回路。
2.一種滾對平面光刻壓印中紫外燈光源結(jié)構(gòu)，其特征是，包括紫外燈光源和能夠控制所述光源光照強(qiáng)度變化的控制電路，所述紫外燈光源包括拋物面型燈罩、紫外燈管和凸透鏡柱，所述凸透鏡柱的一個焦點(diǎn)與拋物線型燈罩共焦點(diǎn)，紫外光燈管安裝于該共焦點(diǎn)上，凸透鏡柱安裝在拋物面的開口處，凸透鏡柱另一個焦點(diǎn)在滾對平面式光刻壓印的加工區(qū)域上，也就是凸透鏡柱的焦點(diǎn)位于滾筒模具表面和襯底的切線上；所述紫外燈光源與滾筒模具的芯軸之間在輥壓印模具繞芯軸旋轉(zhuǎn)時，保持位置不變； 所述控制電路包括固定安裝于滾筒模具一側(cè)端面的芯軸上的感應(yīng)線圈探頭，且前述滾筒模具端面上均勻安裝有多個磁極極性交替變化且能與感應(yīng)線圈探頭對應(yīng)的永磁體，感應(yīng)線圈探頭經(jīng)放大電路和整流電路與紫外燈管相連形成一閉合回路。
3.如權(quán)利要求1或2所述的紫外燈光源結(jié)構(gòu)，其特征是，所述拋物面型燈罩開口的大小小于2倍滾筒模具內(nèi)部半徑。
4.如權(quán)利要求1或2所述的紫外燈光源結(jié)構(gòu)，其特征是，所述感應(yīng)線圈探頭中心正對永磁體。
5.如權(quán)利要求1或2所述的紫外燈光源結(jié)構(gòu)，其特征是，所述線圈探頭的端面與永磁體相距1-2mm。
6.如權(quán)利要求1或2所述的紫外燈光源結(jié)構(gòu)，其特征是，所述放大電路是晶體管放大器，其輸入端與感應(yīng)線圈探頭的輸出端相連，晶體管放大器與整流電路相接，經(jīng)整流后的電信號直接輸入到紫外燈管中。
【文檔編號】G03F7/00GK203773224SQ201420123168
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年3月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月18日
【發(fā)明者】梁森, 王東山, 李雪, 張術(shù)國 申請人:青島理工大學(xué)