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一種硅基調(diào)制器的制作方法

文檔序號:12593617閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種硅基調(diào)制器,其特征在于,包括:光路選擇器、兩組波導(dǎo)和光耦合器,其中,

所述光路選擇器,用于接收輸入光,在電信號的控制下,控制光輸入到第一組波導(dǎo)或者輸入到第二組波導(dǎo);

所述第一組波導(dǎo)和所述第二組波導(dǎo),一端與所述光路選擇器連接,另一端連接所述光耦合器,所述第一組波導(dǎo)或所述第二組波導(dǎo)將光輸出給所述光耦合器,由所述光耦合器耦合輸出,所述第一組波導(dǎo)和所述第二組波導(dǎo)的光程不相等,且其光程差與待獲得的相位差相應(yīng)。

2.如權(quán)利要求1所述的硅基調(diào)制器,其特征在于:

所述第一組波導(dǎo)為一條波導(dǎo),所述第二組波導(dǎo)為一條波導(dǎo),所述第一組波導(dǎo)和所述第二組波導(dǎo)的長度不相等,且長度差與所述光程差對應(yīng)。

3.如權(quán)利要求1所述的硅基調(diào)制器,其特征在于:

所述第一組波導(dǎo)包括一條波導(dǎo),所述第二組波導(dǎo)包括一條波導(dǎo),

所述第一組波導(dǎo)中接入一相位控制器,或者所述第二組波導(dǎo)中接入一相位控制器,或者所述第一組波導(dǎo)和所述第二組波導(dǎo)中的分別接入一相位控制器。

4.如權(quán)利要求1所述的硅基調(diào)制器,其特征在于:

所述第一組波導(dǎo)包括兩條長度相等且輸出光場相位相同的第一波導(dǎo)和第四波導(dǎo),所述第一波導(dǎo)和所述第四波導(dǎo)組成MZ結(jié)構(gòu),

所述第二組波導(dǎo)包括兩條長度相等且輸出光場相位相同的第二波導(dǎo)和第三波導(dǎo),所述第二波導(dǎo)和所述第三波導(dǎo)組成MZ結(jié)構(gòu),

所述第一組波導(dǎo)中的波導(dǎo)和所述第二組波導(dǎo)中的波導(dǎo)的長度不相等,且長度差與所述光程差對應(yīng),所述第一組波導(dǎo)與所述第二組波導(dǎo)輸出光場相位相反。

5.如權(quán)利要求1所述的硅基調(diào)制器,其特征在于:

所述第一組波導(dǎo)包括兩條長度相等且輸出光場相位相同的第一波導(dǎo)和第四波導(dǎo),所述第一波導(dǎo)和所述第四波導(dǎo)組成MZ結(jié)構(gòu),

所述第二組波導(dǎo)包括兩條長度相等且輸出光場相位相同的第二波導(dǎo)和第三波導(dǎo),所述第二波導(dǎo)和所述第三波導(dǎo)組成MZ結(jié)構(gòu),

在所述第一波導(dǎo)、所述第二波導(dǎo)、所述第三波導(dǎo)和所述第四波導(dǎo)中的一條或多條波導(dǎo)上接入一相位控制器,所述第一組波導(dǎo)與所述第二組波導(dǎo)輸出光場相位相反。

6.如權(quán)利要求4或5所述的硅基調(diào)制器,其特征在于:

所述光路選擇器包括第一微環(huán)結(jié)構(gòu)和第二微環(huán)結(jié)構(gòu),所述第一微環(huán)結(jié)構(gòu)的一端與所述第一組波導(dǎo)中的一條波導(dǎo)連接,所述第一微環(huán)結(jié)構(gòu)的另一端與所述第二組波導(dǎo)中的一條波導(dǎo)連接,所述第二微環(huán)結(jié)構(gòu)的一端與所述第一組波導(dǎo)中另一條波導(dǎo)連接,所述第二微環(huán)結(jié)構(gòu)的另一端與所述第二組波導(dǎo)中的另一條波導(dǎo)連接。

7.如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的硅基調(diào)制器,其特征在于:

所述光路選擇器采用微環(huán)結(jié)構(gòu),當(dāng)所述微環(huán)結(jié)構(gòu)處于共振條件下,控制光通過一組波導(dǎo),當(dāng)所述微環(huán)結(jié)構(gòu)處于非共振條件下,控制光通過另一組波導(dǎo)。

8.如權(quán)利要求7所述的硅基調(diào)制器,其特征在于:

所述微環(huán)結(jié)構(gòu)包括PN節(jié)結(jié)構(gòu)的相位控制器或MOS電容結(jié)構(gòu)的相位控制器。

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