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濾光片、其制備方法與具有其的成像設(shè)備與流程

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濾光片、其制備方法與具有其的成像設(shè)備與流程

本發(fā)明涉及濾光片領(lǐng)域,具體而言,涉及一種濾光片、其制備方法與具有其的成像設(shè)備。



背景技術(shù):

隨著社會(huì)的不斷進(jìn)步發(fā)展,人們物質(zhì)生活的不斷提高,相機(jī)、手機(jī)、平板電腦等成像電子設(shè)備的普及,人們對(duì)于拍攝畫面清晰度的要求不斷提高。

為了改善圖像質(zhì)量,需要將圖像感光芯片的感光范圍與人眼相匹配,但現(xiàn)有的感光芯片的感光范圍在可見光波段至1100nm的近紅外光,其感光范圍不能與人眼相匹配。

并且,當(dāng)入射到感光芯片的光線的入射角度發(fā)生變化時(shí),出射光線的半值波長(zhǎng)會(huì)發(fā)生偏移,導(dǎo)致半值波長(zhǎng)(透射率T=50%對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)值)偏移效應(yīng),進(jìn)而造成感光芯片成像質(zhì)量的下降。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的主要目的在于提供一種濾光片、其制備方法與具有其的成像設(shè)備,以解決現(xiàn)有技術(shù)中的感光芯片的成像質(zhì)量較低的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,提供了一種濾光片,該濾光片包括透明基材層與第一折射率匹配單元,其中,第一折射率匹配單元設(shè)置在上述透明基材層的至少一個(gè)表面上,上述第一折射率匹配單元包括吸收物質(zhì),上述吸收物質(zhì)的最大吸收波長(zhǎng)在500~800nm之間。

進(jìn)一步地,上述第一折射率匹配單元包括m個(gè)非吸收層與包括上述吸收物質(zhì)的n個(gè)吸收層,上述非吸收層與上述吸收層堆疊設(shè)置,或者多個(gè)上述吸收層堆疊設(shè)置,上述第一折射率匹配單元至少包括折射率不同且接觸設(shè)置的一個(gè)上述非吸收層與一個(gè)上述吸收層,或者上述第一折射率匹配單元至少包括折射率不同且接觸設(shè)置的兩個(gè)上述吸收層,其中,上述m與上述n均為整數(shù),m≥0,n≥1,且m=0時(shí),n≠1。

進(jìn)一步地,上述吸收物質(zhì)為無(wú)機(jī)染色材料或有機(jī)染色材料;優(yōu)選上述無(wú)機(jī)染色材料為鈷藍(lán)、磷酸銅和/或孔雀石;優(yōu)選上述有機(jī)染色材料為卟啉金屬螯合物、萘酞菁金屬螯合物、酞菁金屬螯合物、喹啉金屬螯合物與各自的衍生物的金屬螯合物中的一種或多種;進(jìn)一步優(yōu)選上述有機(jī)染色材料為卟啉銅、萘酞菁鋁、酞菁鈷、8-羥基喹啉鋁、四苯基卟啉鎘、四羧甲基酞菁銅與8-羥基喹啉鋁中的一種或多種。

進(jìn)一步地,上述非吸收層的材料為ZnS、TiO2、Nb2O5、Ta2O5和/或ZnO、冰晶石、SiO2和/或MgF2;上述吸收層的材料的折射率在1.38~1.8之間;優(yōu)選上述吸收層的厚度在2~100nm之間。

進(jìn)一步地,上述濾光片還包括第二折射率匹配單元,上述第二折射率匹配單元設(shè)置在上述透明基材層上,上述第二折射率匹配單元包括依次層疊的p個(gè)非吸收層,且上述第二折射率匹配單元至少包括兩個(gè)折射率不相同的接觸設(shè)置的上述非吸收層,其中,上述p為整數(shù),p≥2。

進(jìn)一步地,上述第二折射率匹配單元包括交替設(shè)置的第一非吸收層與第二非吸收層,優(yōu)選上述第一非吸收層的材料為ZnS、TiO2、Nb2O5、Ta2O5和/或ZnO,上述第二非吸收層的材料為冰晶石、SiO2和/或MgF2;優(yōu)選上述第一非吸收層的折射率n1≥1.9;上述第二非吸收層的折射率n2≤1.6;優(yōu)選上述第一非吸收層的厚度與上述第二非吸收層的厚度均在10~500nm之間。

進(jìn)一步地,上述濾光片包括堆疊設(shè)置的q個(gè)上述第一折射率匹配單元和s個(gè)上述第二折射率匹配單元,其中,上述s與上述q均為整數(shù),且s≥0,q≥1。

進(jìn)一步地,s+q≥5。

進(jìn)一步地,上述濾光片中遠(yuǎn)離上述透明基材層的最外層為有機(jī)材料層。

進(jìn)一步地,上述濾光片還包括功能層,設(shè)置在上述透明基材層的遠(yuǎn)離上述第一折射率匹配單元和上述第二折射率匹配單元的表面上,和/或上述功能層設(shè)置在上述透明基材層與上述第一折射率匹配單元之間,和/或上述功能層設(shè)置在上述透明基材層與上述第二折射率匹配單元之間,和/或上述功能層設(shè)置在上述第一折射率匹配單元與上述第一折射率匹配單元之間,和/或上述功能層設(shè)置在上述第二折射率匹配單元與上述第二折射率匹配單元之間,和/或上述功能層設(shè)置在上述第一折射率匹配單元與上述第二折射率匹配單元之間,和/或上述功能層設(shè)置在上述濾光片的遠(yuǎn)離上述透明基材層的最外層的表面上,優(yōu)選上述功能層為近紅外吸收膜、硬化膜、增透膜、保護(hù)膜。

進(jìn)一步地,上述透明基材層為PET層、PEN層、COP層、COC層、PE層、PI層、PES層、PAR層或PC層。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面,提供了一種上述的濾光片的制備方法,上述第一折射率匹配單元與上述第二折射率匹配單元通過物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積或涂布而形成。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面,提供了一種成像設(shè)備,該成像設(shè)備包括濾光片,該濾光片為上述的濾光片。

應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案,濾光片中的第一折射率匹配單元包括的吸收物質(zhì),且該吸收物質(zhì)的最大吸收波長(zhǎng)在500~800nm之間,使得該濾光片在濾除近紅外光的同時(shí),半值波長(zhǎng)也不 會(huì)因?yàn)槿肷涔饨嵌鹊淖兓a(chǎn)生任何偏移,當(dāng)這樣的濾光片應(yīng)用到成像設(shè)備時(shí),使得成像設(shè)備的圖像色彩更加均勻。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本發(fā)明的一部分的說(shuō)明書附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解,本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明,并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:

圖1示出了本發(fā)明的一種典型的實(shí)施方式提供的濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2示出了一種實(shí)施例提供的濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3示出了另一種實(shí)施例提供的濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4示出了又一種實(shí)施例提供的濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖5示出了一種實(shí)施例提供的濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖6示出了另一種實(shí)施例提供的濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖7示出了實(shí)施例4提供的濾光片的透射光譜圖;以及

圖8示出了對(duì)比例2提供的濾光片的透射光譜圖。

其中,上述附圖包括以下附圖標(biāo)記:

1、透明基材層;2、第一折射率匹配單元;3、第二折射率匹配單元;21、非吸收層;22、吸收層;31、第一非吸收層;32、第二非吸收層。

具體實(shí)施方式

應(yīng)該指出,以下詳細(xì)說(shuō)明都是例示性的,旨在對(duì)本申請(qǐng)?zhí)峁┻M(jìn)一步的說(shuō)明。除非另有指明,本文使用的所有技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)具有與本申請(qǐng)所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常理解的相同含義。

需要注意的是,這里所使用的術(shù)語(yǔ)僅是為了描述具體實(shí)施方式,而非意圖限制根據(jù)本申請(qǐng)的示例性實(shí)施方式。如在這里所使用的,除非上下文另外明確指出,否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式,此外,還應(yīng)當(dāng)理解的是,當(dāng)在本說(shuō)明書中使用術(shù)語(yǔ)“包含”和/或“包括”時(shí),其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。

正如背景技術(shù)所介紹的,現(xiàn)有技術(shù)中的感光芯片的感光范圍不能與人眼相匹配,為了解決如上的技術(shù)問題,本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N濾光片、其制備方法與具有其的成像設(shè)備。

本申請(qǐng)一種典型的實(shí)施方式中,如圖1所示,提供了一種濾光片,該濾光片包括:透明基材層1與第一折射率匹配單元2,其中,第一折射率匹配單元2設(shè)置于上述透明基材層1的至少一個(gè)表面上,即上述第一折射率匹配單元2可以設(shè)置在上述透明基材層1的任一單表面上, 而為了消除單表面成膜出現(xiàn)膜材翹曲的現(xiàn)象,上述第一折射率匹配單元2亦可形成在上述透明基材層1的上、下兩表面上。其中,上述第一折射率匹配單元2包括吸收物質(zhì),上述吸收物質(zhì)的最大吸收波長(zhǎng)在500~800nm之間。

入射到濾光片的光線的入射角不同,會(huì)產(chǎn)生半值波長(zhǎng)偏移效應(yīng),并且該效應(yīng)在波長(zhǎng)為650nm附近的過渡區(qū)較為明顯,而本申請(qǐng)的濾光片中的吸收物質(zhì)的最大吸收波長(zhǎng)在500~800nm之間,可以消除或者緩解過渡區(qū)的半值波長(zhǎng)偏移效應(yīng)。因此,當(dāng)光線通過該濾光片后,可以形成圖像色彩更加均勻與效果較好的圖像。并且,該濾光片沒有采用藍(lán)玻璃,而是采用第一折射率匹配單元2,其不僅可以實(shí)現(xiàn)藍(lán)玻璃應(yīng)有的作用,還降低了濾光片的成本,并且第一折射率匹配單元2的厚度較藍(lán)玻璃的較薄,不會(huì)出現(xiàn)藍(lán)玻璃中較嚴(yán)重的成像誤差問題。

為了使得濾光片能夠更好地吸收紅外光,如圖2至圖4所示(該圖中的省略號(hào)表示第一折射率匹配單元2),本申請(qǐng)優(yōu)選上述第一折射率匹配單元2包括m個(gè)非吸收層21與包括上述吸收物質(zhì)的n個(gè)吸收層22,其中,上述m與上述n均為整數(shù),m≥0,n≥1,且m=0時(shí),n≠1。如圖3所示,當(dāng)?shù)谝徽凵渎势ヅ鋯卧?只包括吸收層22時(shí),多個(gè)上述吸收層22堆疊設(shè)置,并且,該第一折射率匹配單元2中至少包括兩層接觸設(shè)置且折射率不同的吸收層22。

當(dāng)?shù)谝徽凵渎势ヅ鋯卧?同時(shí)包括非吸收層21與吸收層22時(shí),如圖2所示,該第一折射率匹配單元2中至少包括兩層接觸設(shè)置且折射率不同的一個(gè)非吸收層21與一個(gè)吸收層22;或者如圖4所示的實(shí)施例中,該第一折射率匹配單元2中至少包括兩層接觸設(shè)置且折射率不同的吸收層22或者接觸設(shè)置且折射率不同的一個(gè)非吸收層21與一個(gè)吸收層22。

上述第一折射率匹配單元2至少包括接觸設(shè)置且折射率不同的兩個(gè)材料層,這兩個(gè)材料層由于折射率不同而形成高低折射率交替的干涉薄膜,使得不同波長(zhǎng)的光波經(jīng)過該濾光膜時(shí),透射率不同,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了濾除雜散光,保留有用光的目的。并且,由于吸收層22包含最大吸收波長(zhǎng)在500~800nm之間的吸收物質(zhì),使得干涉薄膜可以截止波長(zhǎng)680nm~1100nm之間的光波的同時(shí)不會(huì)產(chǎn)生半值波長(zhǎng)漂移,提升了成像設(shè)備的成像質(zhì)量。另外,相比現(xiàn)有技術(shù)中的解決半值波長(zhǎng)偏移效應(yīng)的藍(lán)玻璃,該濾光片的成本較低,并且厚度較小,貼附在圖像傳感器上不容易出現(xiàn)成像誤差,加工性能較好,進(jìn)行圖案裁切時(shí)不容易發(fā)生破碎的問題。

本申請(qǐng)的一種優(yōu)選實(shí)施例中,上述吸收物質(zhì)為無(wú)機(jī)或有機(jī)染色材料;上述無(wú)機(jī)染色材料為鈷藍(lán)、磷酸銅和/或孔雀石。但是,吸收物質(zhì)并不限于上述的吸收物質(zhì),本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的吸收物質(zhì)。

為了進(jìn)一步保證吸收層22可以較好地消除半值波長(zhǎng)偏移效應(yīng),同時(shí),保證其具有較好的柔韌性,本申請(qǐng)優(yōu)選上述有機(jī)染色材料為卟啉金屬螯合物、萘酞菁金屬螯合物、酞菁金屬螯合物、喹啉金屬螯合物各自的衍生物的金屬螯合物中的一種或多種。上述的金屬螯合物可以是過渡金屬的建樹螯合物,具體為卟啉過渡金屬螯合物、萘酞菁過渡金屬螯合物、酞菁過渡金屬螯合物、喹啉過渡金屬螯合物與各自的衍生物的過渡金屬的螯合物中的一種或多種。具體地,優(yōu)選上述有機(jī)染色材料為卟啉銅、萘酞菁鋁、酞菁鈷、8-羥基喹啉鋁、四苯基卟啉鎘、 四羧甲基酞菁銅與8-羥基喹啉鋁中的一種或多種。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的有機(jī)染色材料。

本申請(qǐng)的一種實(shí)施例中,上述非吸收層21的材料為ZnS、TiO2、Nb2O5、Ta2O5和/或ZnO、冰晶石、SiO2和/或MgF2;這樣的非吸收層21更有利于降低濾光片的成本。

為了進(jìn)一步減小濾光片的厚度,進(jìn)而進(jìn)一步避免濾光片直接貼合在圖像傳感器時(shí)出現(xiàn)的成像誤差問題,同時(shí)提高濾光片的加工性能,本申請(qǐng)優(yōu)選上述吸收層22的材料的折射率在1.38~1.8之間;吸收層22的厚度在2~10nm之間。

本申請(qǐng)的另一種實(shí)施例中,如圖5所示(圖中的省略號(hào)表示第一折射率匹配單元2),濾光片還包括第二折射率匹配單元3,上述第二折射率匹配單元3設(shè)置在上述透明基材層1上,即上述第二折射率匹配單元3可以接觸設(shè)置在透明基材層1的一個(gè)或兩個(gè)表面上,也可以接觸設(shè)置在第一折射率匹配單元2的遠(yuǎn)離透明基材層1的表面上。上述第二折射率匹配單元3包括依次層疊的p個(gè)非吸收層21,且上述第二折射率匹配單元3至少包括兩個(gè)折射率不相同的接觸設(shè)置的上述非吸收層21,其中,上述p為整數(shù),p≥2。由于第二折射率匹配單元3中包括接觸設(shè)置的且折射率不相同的兩個(gè)非吸收層21,這兩個(gè)折射率不同的非吸收形成一個(gè)高低匹配的折射率匹配組,一個(gè)折射率匹配組即為一個(gè)干涉薄膜,這樣的干涉薄膜能夠更好地控制近紅外光波長(zhǎng)區(qū)間的透射率。第二折射率匹配單元3中的非吸收層21與第一折射率匹配單元2中的非吸收層21可以是相同的,也可以是不相同的。

為了更好地形成干涉薄膜,如圖5與圖6所示,本申請(qǐng)優(yōu)選上述第二折射率匹配單元3包括依次堆疊設(shè)置的第一非吸收層31與第二非吸收層32,并且,由于無(wú)機(jī)材料具有較好的化學(xué)穩(wěn)定性,因而更適合作為形成干涉薄膜的鍍膜材料;優(yōu)選上述第一非吸收層31的材料為ZnS、TiO2、Nb2O5、Ta2O5和/或ZnO,上述第二非吸收層32的材料為冰晶石、SiO2和/或MgF2。

為了進(jìn)一步保證上述第一非吸收層31與第二非吸收層32形成較好的干涉薄膜。上述第一非吸收層31的折射率n1≥1.9;上述第二非吸收層32的折射率n2≤1.6。

本申請(qǐng)的再一種實(shí)施例中,上述第一非吸收層31的厚度與上述第二非吸收層32的厚度均在10~500nm之間。第一非吸收層31與上述第二非吸收層32的厚度與其折射率相互配合,使得本發(fā)明的濾光片能夠更好地濾除波長(zhǎng)在680nm~1100nm之間的近紅外光,即獲得更好的波長(zhǎng)截止位置和深度。

為了獲得更好的濾光效果,且使得濾光片可以消除或者緩解過渡區(qū)的半值波長(zhǎng)偏移效應(yīng)形成更加均勻與效果較好的圖像。本申請(qǐng)優(yōu)選上述濾光片包括堆疊設(shè)置的q個(gè)上述第一折射率匹配單元2和s個(gè)上述第二折射率匹配單元3,其中,上述s與上述q均為整數(shù),且s≥0,q≥1。

為了使得該濾光片中的濾光層能夠?qū)τ诓ㄩL(zhǎng)在680nm~1100nm之間的近紅外光獲得較好的截止效果,本申請(qǐng)優(yōu)選s+q≥5。

本申請(qǐng)的一種優(yōu)選實(shí)施例中,為了進(jìn)一步提高濾光片的柔韌性,上述濾光片中遠(yuǎn)離上述透明基材層1的最外層為有機(jī)材料層(即所述最外層可以為非吸收層或吸收層),優(yōu)選為上述吸收層22,且上述吸收層22中的上述吸收物質(zhì)為有機(jī)染色材料,如圖2或圖3所示。

優(yōu)選地,上述濾光片還包括功能層,該功能層設(shè)置在上述透明基材層1的遠(yuǎn)離上述第一折射率匹配單元2和上述第二折射率匹配單元3的表面上,和/或上述功能層設(shè)置在上述透明基材層1與上述第一折射率匹配單元2之間,和/或上述功能層設(shè)置在上述透明基材層1與第二折射率匹配單元3之間,和/或上述功能層設(shè)置在不同的第一折射率匹配單元2與第一折射率匹配單元2之間,和/或上述功能層設(shè)置在第二折射率匹配單元3與第二折射率匹配單元3之間,和/或上述功能層設(shè)置在上述第一折射率匹配單元2與上述第二折射率匹配單元3之間,和/或上述功能層設(shè)置在上述濾光片的遠(yuǎn)離透明基材層1的最外層的表面上。

本申請(qǐng)的一種實(shí)施例中,上述功能層為近紅外吸收膜、硬化膜、增透膜、保護(hù)膜。

為了進(jìn)一步提高濾光片的柔韌性,進(jìn)而提高其加工性能,避免其在進(jìn)行不規(guī)則圖案的裁切時(shí)出現(xiàn)破碎的現(xiàn)象,優(yōu)選上述透明基材層1為柔性透明基材,可以為聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate,PET)基材層、聚碳酸酯(polycarbonate,PC)基材層、聚酰亞胺(polyimide,PI)基材層、聚乙烯(polyethylene,PE)層、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylene naphthalate,PEN)基材層、聚醚砜(polyether sulfone,PES)基材層、聚芳酯(polyarylate,PAR)基材層、環(huán)烯烴共聚物(cycloolefin copolymer,COC)基材層或非晶型環(huán)烯烴聚合物(cycloolefin polymer,COP)的環(huán)聚烯烴基材,但并不限于這幾種,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的透明基材層1。

多個(gè)第一折射率匹配單元2中的非吸收層21可以完全相同,也可以部分相同,也可以完全不相同;吸收層22也一樣;同樣地,多個(gè)第二折射率匹配單元3中的第一非吸收層31和/或第二非吸收層32也可以完全相同,也可以部分相同,也可以完全不相同。

并且,第一折射率匹配單元2中的非吸收層21可以與第二折射率匹配單元3中的第一非吸收層31或者第二非吸收層32相同。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的非吸收層21。

本申請(qǐng)的另一種典型的實(shí)施方式中,提供了一種濾光片的制備方法,該方法中,上述第一折射率匹配單元2與上述第二折射率匹配單元3通過物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積或涂布而形成。

通過這樣的方式,形成的濾光片可以濾除紅外光,讓感光芯片只感應(yīng)到可見光,當(dāng)這樣的濾光片應(yīng)用到成像設(shè)備時(shí),使得成像設(shè)備的圖像質(zhì)量較好。

本申請(qǐng)另一種典型的實(shí)施方式中,提供了一種成像設(shè)備,該成像設(shè)備包括濾光片,該濾光片為上述的濾光片。

該成像設(shè)備中包括上述的濾光片,該濾光片吸收了波長(zhǎng)在500nm~800nm之間的光波,當(dāng)光線通過該成像設(shè)備時(shí),該濾光片消除了過渡區(qū)較明顯的半值波長(zhǎng)偏移效應(yīng),使得形成的圖 像較均勻;并且,該濾光片較薄,直接貼合在成像設(shè)備的圖像傳感器上,也不會(huì)造成不可忽視的像差。

為了使得本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠更加清楚地了解本申請(qǐng)的技術(shù)方案,以下將結(jié)合實(shí)施例與對(duì)比例進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。

實(shí)施例1

首先,采用蒸發(fā)鍍膜法,在COP透明基材層上,沉積酞菁鈷作為第一折射率匹配單元。其厚度為80nm,折射率為1.61。

實(shí)施例2

首先,采用蒸發(fā)鍍膜法,在COP透明基材層上,交替沉積酞菁鈷層與8-羥基喹啉鋁層作為第一折射率匹配單元,酞菁鈷層與8-羥基喹啉鋁層的個(gè)數(shù)均是兩個(gè),其中,酞菁鈷層的的折射率為1.61,厚度為100nm;8-羥基喹啉鋁層的折射率為1.58,厚度為80nm。

實(shí)施例3

首先,采用蒸發(fā)鍍膜法,在COP透明基材層上,交替沉積孔雀石層與鈷藍(lán)層作為第一折射率匹配單元,鈷藍(lán)層與孔雀石層的個(gè)數(shù)均是兩個(gè),其中,鈷藍(lán)層的折射率為1.76,孔雀石層的折射率為1.88,孔雀石層的厚度為100nm,鈷藍(lán)層的厚度為80nm。

實(shí)施例4

首先,采用蒸發(fā)鍍膜法,在COP透明基材層上,依次沉積ZnS層、卟啉銅層、TiO2層、萘酞菁鋁層、Nb2O5層、酞菁鈷層、Ta2O5層、8-羥基喹啉鋁層、ZnO層、四苯基卟啉鎘層、ZnS層、四羧甲基酞菁銅層、TiO2層與8-羥基喹啉鋁層。形成七個(gè)第一折射率匹配單元。

其中,ZnS層的折射率為2.35,厚度為10nm;卟啉銅層的折射率為1.6,厚度為30nm;TiO2層的折射率為2.36,厚度為200nm;萘酞菁鋁層的折射率為1,62,厚度為40nm;Nb2O5層的折射率為2.3,厚度為500nm;酞菁鈷層的折射率為1.61,厚度為80nm;Ta2O5層的折射率為2.29,厚度為200nm;8-羥基喹啉鋁層的折射率為1.58,厚度為40nm;ZnO層的折射率為2.1,厚度為200nm;四苯基卟啉鎘層的折射率為1.56,厚度為40nm;四羧甲基酞菁銅的折射率為1.57,厚度為40nm;TiO2層的折射率為2.36,厚度為200nm;8-羥基喹啉鋁的折射率為1.58,厚度為40nm。

實(shí)施例5

首先,采用蒸發(fā)鍍膜法,在COP透明基材層上依次沉積ZnS層、卟啉銅層、TiO2層、MgF2層、Nb2O5層、萘酞菁鋁層、Ta2O5層、SiO2層、ZnO層、MgF2層、ZnS層,冰晶石層、TiO2層、MgF2層、Nb2O5層、冰晶石層、Ta2O5層、SiO2層、ZnO層、酞菁鈷層,形成包含20層材料層的濾光片。

其中,ZnS層的折射率為2.35,厚度為11.32nm;卟啉銅層的折射率為1.6,厚度為39.36nm;TiO2層的折射率為2.36,厚度為108.5nm;MgF2層的折射率為1.38,厚度為170.42nm;Nb2O5層的折射率為2.3,厚度為96.13nm;萘酞菁鋁層的折射率為1.62,厚度為78.16nm;Ta2O5層的折射率為2.29,厚度為101.46nm;SiO2層的折射率為1,52,厚度為158.27nm;ZnO層的折射率為2.1,厚度為106.74nm;MgF2層的折射率為1.38,厚度為500nm;ZnS層的折射率為2.35,厚度為87.71nm;冰晶石層的折射率為1.33,厚度為142.53nm;TiO2層的折射率為2.36,厚度為85.93nm;MgF2層的折射率為1.38,厚度為183.59nm;Nb2O5層的折射率為2.3,厚度為107.82nm;冰晶石層的折射率為1.33,厚度為180.21nm;Ta2O5層的折射率為2.29,厚度為111.34nm;SiO2層的折射率為1,52,厚度為169.52nm;ZnO層的折射率為2.1,厚度為105.37nm;酞菁鈷層的折射率為1.61,厚度為2nm。

實(shí)施例6

首先,采用蒸發(fā)鍍膜法,在COP透明基材層上依次交替TiO2層(折射率為2.36)和SiO2層(折射率為1.52)形成多個(gè)第二折射率匹配單元,其中,TiO2層和SiO2層總共為41層,沉積在COP透明基材層上的起始層為TiO2層,第二層為SiO2層,兩者依次交替沉積,厚度依次為10.24nm,34.77nm,103.72nm,160.17nm,93.16nm,153.35nm,98.46nm,166.36nm,101.66nm,157.37nm,89.81nm,145.33nm,84.64nm,142.17nm,82.38nm,141.53nm,81.40nm,141.53nm,84.07nm,142.96nm,95.76nm,80.64nm,5.11nm,44.04nm,5.02nm,187.75nm,99.85nm,149.51nm,90.88nm,164.21nm,110.06nm,182.45nm,110.47nm,176.59nm,112.86nm,180.53nm,109.86nm,177.21nm,109.74nm,175.55nm,104.14nm,之后在最外一層TiO2層上沉積酞菁鈷層,TiO2層上沉積酞菁鈷層形成一個(gè)第一折射率匹配層,其中,酞菁鈷其折射率為1.61,厚度為8nm。該濾光片的透射光譜圖為圖7。

實(shí)施例7

與實(shí)施例6的區(qū)別在于:SiO2層被替換為MgF2層,其折射率(MgF2層)為1.38。

實(shí)施例8

與實(shí)施例6的區(qū)別在于:TiO2層被替換為ZnO層,其折射率(ZnO層)為2.1。

實(shí)施例9

與實(shí)施例6的區(qū)別在于:SiO2層被替換為ZnS層,其折射率(ZnS層)為2.35。

實(shí)施例10

與實(shí)施例6的區(qū)別在于:TiO2層被替換為Al2O3層,其折射率(Al2O3層)為1.76。

實(shí)施例11

與實(shí)施例6的區(qū)別在于:每一層SiO2層的厚度均為5nm。

實(shí)施例12

與實(shí)施例6的區(qū)別在于:每一層TiO2層的厚度均為5nm。

實(shí)施例13

與實(shí)施例6的區(qū)別在于:酞菁鈷層的厚度為100nm。

實(shí)施例14

與實(shí)施例6的區(qū)別在于:酞菁鈷層被替換為Mcso-四(對(duì)三甲胺基苯基)卟啉鎳層,其的折射率為1.35。

實(shí)施例15

與實(shí)施例6的區(qū)別在于,將在臨近透明基材層的22層(11組TiO2層和SiO2層)移除,以蒸發(fā)鍍膜法在上述透明基材層的另一面沉積11組TiO2層和SiO2層(共計(jì)22層),厚度均與實(shí)施例4中對(duì)應(yīng)層厚度相同。

對(duì)比例1

與實(shí)施例1的區(qū)別在于,8-羥基喹啉鎂作為折射率匹配單元,該層最大吸收波長(zhǎng)在300~400nm之間。

對(duì)比例2

與實(shí)施例6的區(qū)別在于,以SiO2層取代鈷酞菁層。該濾光片的透射光譜為圖8。

采用lambda950紫外可見近紅外分光光度計(jì)測(cè)試各個(gè)實(shí)施例與對(duì)比例的濾光片的透射光譜,測(cè)試結(jié)果見表1,并且,波長(zhǎng)500~800nm的范圍內(nèi),經(jīng)自濾光片的垂直方向測(cè)定的透射率為50%的波長(zhǎng)值Ya,與經(jīng)自相對(duì)于濾光片的垂直方向傾斜30°角測(cè)定的透射率為50%的波長(zhǎng)值Yb的差的絕對(duì)值記作|Ya-Yb|,測(cè)試與計(jì)算結(jié)果如表1所示。

表1

由表1的測(cè)試數(shù)據(jù)可知,當(dāng)濾光片包括q個(gè)第一折射率匹配單元與s個(gè)第二折射率匹配單元,且該第一折射率匹配單元中包括接觸設(shè)置的至少一個(gè)吸收層與一個(gè)非吸收層的折射率不同,或者包括至少有兩個(gè)接觸設(shè)置的吸收層折射率不同,吸收層的厚度在2~100nm之間,第二折射率匹配單元包括第一非吸收層與第二非吸收層,且第一非吸收層的折射率n1≥1.9,第二非吸收層的折射率n2≤1.6,第一非吸收層的厚度與第二非吸收層的厚度均在10~500nm之間;且s+q≥5,濾光片中遠(yuǎn)離透明基材層的最外層為有機(jī)材料層時(shí),濾光片的波長(zhǎng)在400~600nm之間的光波的透射率平均值較高,可見光的透過率較高,濾光片的波長(zhǎng)在700~1100nm之間的光波的透射率平均值較低,能夠很好地截止紅外光,|Ya-Yb|較小,半值波長(zhǎng)不會(huì)產(chǎn)生偏移效應(yīng),當(dāng)這樣的濾光片應(yīng)用到成像設(shè)備時(shí),能夠獲得較好的圖像效果。

從以上的描述中,可以看出,本申請(qǐng)上述的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果:

1)、本申請(qǐng)中的濾光片中的第一折射率匹配單元的最大吸收波長(zhǎng)在500~800nm之間,在濾除近紅外光的同時(shí),半值波長(zhǎng)也不會(huì)因?yàn)槿肷涔饨嵌鹊淖兓a(chǎn)生任何偏移,當(dāng)這樣的濾光片應(yīng)用到成像設(shè)備時(shí),使得成像設(shè)備的圖像色彩更加均勻。

2)、本申請(qǐng)中的濾光片可以濾除紅外光,讓感光芯片只感應(yīng)到可見光,當(dāng)這樣的濾光片應(yīng)用到成像設(shè)備時(shí),使得成像設(shè)備的圖像質(zhì)量較好;此外,通過物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積或涂布而形成的折射率匹配單元,在兼顧原有藍(lán)玻璃的光學(xué)性能的基礎(chǔ)上,更進(jìn)一步提高了本發(fā)明濾光片的機(jī)械性能。

3)、本申請(qǐng)中的成像設(shè)備中包括上述的濾光片,該濾光片吸收了波長(zhǎng)在500nm~800nm之間的光波,當(dāng)光線通過該成像設(shè)備時(shí),該濾光片消除了過渡區(qū)較明顯的半值波長(zhǎng)偏移效應(yīng),使得形成的圖像較均勻;并且,該濾光片較薄,直接貼合在成像設(shè)備的圖像傳感器上,也不會(huì)造成不可忽視的像差。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本發(fā)明,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō),本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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