技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種使用于光刻機設(shè)備的輔助支撐裝置，從上至下依次包括相互連接的彈性支撐裝置、吸振部件以及驅(qū)動磁場裝置，所述驅(qū)動磁場裝置對所述彈性支撐裝置具有相互排斥的力，使得所述彈性支撐裝置支撐用于放置工件臺的吊框。這樣使用磁場力以及彈性裝置來調(diào)節(jié)支撐的力量，保證了在垂直方向上的自由度，還具有能夠吸附地基振動的吸振部件，因此既能夠補償工件臺的支撐面型，又不會引入地基振動。本發(fā)明還提供一種帶有上述輔助支撐的光刻機設(shè)備，包括：工件臺、用于放置工件臺的吊框，還包括n個上述輔助支撐裝置，n為正整數(shù)；這樣使用多個輔助支撐裝置，能夠根據(jù)其所在位置處的面型變化調(diào)節(jié)支撐的力量，從而更好地補償工件臺的支撐面型。

技術(shù)研發(fā)人員：季采云;廖飛紅;鐘亮;王璟
受保護的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.30
技術(shù)公布日：2017.07.07