技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種偏振光照明系統(tǒng)及偏振光照明調(diào)制方法，所述偏振光照明系統(tǒng)包括微波無極燈、二次曲面反射罩殼、偏振光轉(zhuǎn)換器件以及線柵起偏組件，所述微波無極燈位于所述二次曲面反射罩殼的焦點(diǎn)處，所述偏振光轉(zhuǎn)換器件以及線柵起偏組件依次位于所述微波無極燈的正下方。本發(fā)明采用微波無極燈拼接實(shí)現(xiàn)大視場(chǎng)的偏振光照射視場(chǎng)，利用無微波無極燈光強(qiáng)的可調(diào)節(jié)性提高照明系統(tǒng)的靜態(tài)均勻性和積分均勻性；同時(shí)采用偏振光轉(zhuǎn)換器件對(duì)偏振光照明系統(tǒng)的光線偏振方向進(jìn)行調(diào)制，提高能量利用率，從而實(shí)現(xiàn)大視場(chǎng)、高照度的偏振光照明。

技術(shù)研發(fā)人員：景磊;陳宇環(huán)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海微電子裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.31
技術(shù)公布日：2017.07.07