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微驅(qū)動(dòng)裝置和使用其的微型器件的制作方法

文檔序號(hào):11851105閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
一種能夠多軸驅(qū)動(dòng)的微驅(qū)動(dòng)裝置(1),其特征在于,具備可動(dòng)對(duì)象部(3)、和樞軸支承上述可動(dòng)對(duì)象部、且僅在1個(gè)方向上設(shè)置的至少一對(duì)的梁(4),可動(dòng)對(duì)象部(3)通過上述梁(4)以其所具有的一個(gè)或多個(gè)共振頻率共振進(jìn)行發(fā)生扭曲或彎曲,從而在x軸、y軸和z軸方向轉(zhuǎn)動(dòng)或并行,能夠同時(shí)避免構(gòu)造的大型化和構(gòu)造的復(fù)雜化。

技術(shù)研發(fā)人員:巖瀬英治;飯野知紗
受保護(hù)的技術(shù)使用者:學(xué)校法人早稻田大學(xué)
文檔號(hào)碼:201580018325
技術(shù)研發(fā)日:2015.03.31
技術(shù)公布日:2016.11.23

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