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機(jī)電系統(tǒng)顯示裝置的密封間隔體的制作方法

文檔序號(hào):12166887閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種裝置,包括:

第一襯底;

位于所述第一襯底上的機(jī)電系統(tǒng)(EMS)光調(diào)制器,所述光調(diào)制器包括第一結(jié)構(gòu)材料層;

位于所述第一襯底上的間隔體,所述間隔體包括密封在所述第一結(jié)構(gòu)材料層與第二結(jié)構(gòu)材料層之間的至少兩個(gè)單獨(dú)沉積的聚合物材料層,所述間隔體在所述襯底上方的高度超過(guò)所述第一結(jié)構(gòu)材料層的最高部分的高度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述第二結(jié)構(gòu)材料層在所述光調(diào)制器之上形成高架孔徑層(EAL)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,還包括相對(duì)于所述第一襯底與所述光調(diào)制器相對(duì)設(shè)置的第二襯底,其中,所述間隔體足夠高,以防止所述第二襯底向所述光調(diào)制器內(nèi)變形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述間隔體形成所述光調(diào)制器的一部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置,其中,所述間隔體將所述光調(diào)制器支撐在所述第一襯底之上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其中,所述光調(diào)制器包括基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)快門的光調(diào)制器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,還包括:

顯示器;

能夠與所述顯示器通信的處理器,所述處理器能夠處理圖像數(shù)據(jù);以及

能夠與所述處理器通信的存儲(chǔ)器設(shè)備。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置,還包括:

驅(qū)動(dòng)器電路,其能夠向所述顯示器發(fā)送至少一個(gè)信號(hào);并且其中

所述處理器還能夠?qū)⑺鰣D像數(shù)據(jù)的至少一部分發(fā)送到所述驅(qū)動(dòng)器電路。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置,還包括:

圖像源模塊,其能夠向所述處理器發(fā)送所述圖像數(shù)據(jù),其中,所述圖像源模塊包括接收器、收發(fā)器、以及發(fā)射器的至少其中之一。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置,還包括:

輸入設(shè)備,其能夠接收輸入數(shù)據(jù)并且將所述輸入數(shù)據(jù)傳送到所述處理器。

11.一種顯示裝置,包括:

第一襯底;

位于所述第一襯底上的機(jī)電系統(tǒng)(EMS)光調(diào)制器;

位于所述第一襯底上的高架孔徑層(EAL),其在所述光調(diào)制器之上延伸;以及

間隔體,其從所述第一襯底向上延伸至所述高架孔徑層上方的高度,其中,所述間隔體密封下部結(jié)構(gòu)材料層與上部結(jié)構(gòu)材料層之間的聚合物材料。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的顯示裝置,其中,所述上部結(jié)構(gòu)材料層還形成所述EAL的一部分。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的顯示裝置,其中,所述間隔體的由所述下部結(jié)構(gòu)層形成的部分將所述EAL物理地支撐在所述第一襯底之上。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的顯示裝置,其中,所述聚合物材料包括至少兩個(gè)聚合物材料層。

15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的顯示裝置,其中,所述EAL包括從第一襯底延伸出高于所述高架孔徑層的大部分、但低于所述間隔體的高度的高度的皺折。

16.一種顯示裝置,包括:

第一襯底;

位于所述第一襯底上的用于調(diào)制光的單元;

高架孔徑層(EAL),其被支撐在所述用于調(diào)制光的單元之上;以及

用于防止第二襯底與所述高架孔徑層接觸的間隔單元,其中,由與所述光調(diào)制單元和所述高架孔徑層相同的材料形成所述間隔單元。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的顯示裝置,其中,所述間隔單元密封用于將所述間隔單元的彈力增大至機(jī)械壓力的單元。

18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的顯示裝置,其中,所述間隔單元將所述光調(diào)制器的一部分支撐在襯底之上。

19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的顯示裝置,其中,所述間隔單元將所述EAL支撐在顯示元件之上。

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