本發(fā)明涉及一種支撐桿與應(yīng)用此支撐桿的蝕刻設(shè)備，且特別涉及一種應(yīng)用于較薄玻璃基板的支撐桿與應(yīng)用此支撐桿的蝕刻設(shè)備。

背景技術(shù)：

近年來，由于顯示器制造技術(shù)的快速發(fā)展，各種攜帶式電子裝置，例如個(gè)人數(shù)字助理、智能型手機(jī)、平板電腦等等，越來越普遍地應(yīng)用于人們的日常生活中。在各種顯示器中，由于液晶顯示器具有輕、薄且成本低廉等優(yōu)點(diǎn)，液晶顯示器廣泛地應(yīng)用于各種攜帶式電子裝置中。

在液晶顯示器的制造過程中，通常需要利用蝕刻設(shè)備在玻璃基板上進(jìn)行蝕刻來形成具有各種不同功能的層面。在一般的蝕刻工藝中，蝕刻設(shè)備會(huì)利用支撐桿來支撐待蝕刻的玻璃基板，使玻璃基板位在兩個(gè)電極之間。接著，引入蝕刻氣體并利用電極所提供的電場來離子化蝕刻氣體，以蝕刻玻璃基板。

為了滿足使用者的需求，玻璃基板的厚度變得越來越小，以利于制造出體積和重量更小的電子裝置。然而，當(dāng)玻璃基板的厚度變小時(shí)，蝕刻設(shè)備便無法有效地支撐玻璃基板。

因此，需要一種支撐桿與應(yīng)用此支撐桿的蝕刻設(shè)備來解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種支撐桿與應(yīng)用此支撐桿的蝕刻設(shè)備，以提供優(yōu)選的支撐效果來支撐玻璃基板，并避免刮傷玻璃基板。

本發(fā)明的一實(shí)施例是在提供一種蝕刻設(shè)備的支撐桿。此支撐桿包含第一 部分、第二部分以及第三部分。第一部分連接至控制裝置，以使控制裝置控制支撐桿的移動(dòng)。第二部分用以支撐玻璃基板。此第二部分的材質(zhì)為工程塑膠。第三部分位于第一部分與第二部分之間，其材質(zhì)為陶瓷材料。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在前述的支撐桿中，工程塑膠為聚酰亞胺。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在前述的支撐桿中，第一部分的材質(zhì)為金屬。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在前述的支撐桿中，第三部分用以在支撐桿受到撞擊時(shí)提供潰縮機(jī)制。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在前述的支撐桿中，第三部分的材質(zhì)為氧化鋯。

本發(fā)明的另一實(shí)施例是在提供一種蝕刻設(shè)備。此蝕刻設(shè)備用以蝕刻玻璃基板。此蝕刻設(shè)備包含蝕刻氣體供應(yīng)裝置、電極裝置以及多個(gè)支撐桿。蝕刻氣體供應(yīng)裝置用以提供蝕刻氣體。電極裝置用以離子化蝕刻氣體。電極裝置包含下電極部和上電極部。下電極部具有多個(gè)貫穿孔。上電極部對應(yīng)設(shè)置于下電極部上方。支撐桿穿設(shè)于前述的貫穿孔中，以支撐玻璃基板，并使玻璃基板位于上電極部與下電極部之間，其中每個(gè)支撐桿包含第一部分、第二部分以及第三部分。第一部分連接至控制裝置，以使控制裝置控制支撐桿的移動(dòng)。第二部分用以支撐玻璃基板。此第二部分的材質(zhì)為工程塑膠。第三部分位于第一部分與第二部分之間，其材質(zhì)為陶瓷材料。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在前述的蝕刻設(shè)備中，工程塑膠為聚酰亞胺。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在前述的蝕刻設(shè)備中，第一部分的材質(zhì)為金屬。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在前述的蝕刻設(shè)備中，第三部分用以在支撐桿受到撞擊時(shí)提供潰縮機(jī)制。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，在前述的蝕刻設(shè)備中，玻璃基板具有可視區(qū)域，此可視區(qū)域?qū)?yīng)至下電極部的輔助支撐區(qū)域，貫穿孔的至少一個(gè)位于輔助支撐區(qū)域中。

由上述說明可知，本發(fā)明實(shí)施例的支撐桿具有三節(jié)式架構(gòu)，此三節(jié)式架 構(gòu)不但可提供潰縮機(jī)制來保護(hù)玻璃基板和支撐桿，也能夠避免刮傷玻璃基板并具有提供長效的抗腐蝕能力。另外，本發(fā)明實(shí)施例的蝕刻設(shè)備是在玻璃基板的可視區(qū)域內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)支撐桿來支撐玻璃基板，如此可提供優(yōu)選的支撐效果來支撐玻璃基板。

附圖說明

為了更完整了解實(shí)施例及其優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)參照結(jié)合所附圖式所做的下列描述，其中：

圖1是繪示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的蝕刻設(shè)備的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是繪示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的下電極部的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；以及

圖3是繪示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的支撐桿的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

請參照圖1，圖1是繪示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的蝕刻設(shè)備100的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。蝕刻設(shè)備100包含支撐座110，上電極部120以及蝕刻氣體供應(yīng)裝置130。支撐座110包含下電極部112以及多個(gè)支撐桿114。支撐桿114貫穿下部電極112，以支撐待處理的玻璃基板lcp。蝕刻氣體供應(yīng)裝置130用以提供蝕刻氣體。而上電極部120和下電極部112組成電極裝置，以離子化蝕刻氣體供應(yīng)裝置130所提供的蝕刻氣體。

在本實(shí)施例中，上電極部120和下電極部112是提供垂直于玻璃基板lcp的電場，而蝕刻氣體供應(yīng)裝置130則沿著垂直此電場的方向來提供蝕刻氣體至上電極部120和玻璃基板lcp之間，但本發(fā)明的實(shí)施例并不受限于此。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，蝕刻氣體供應(yīng)裝置130可設(shè)置于上電極部120上方，以沿著平行此電場的方向來提供蝕刻氣體至上電極部120和玻璃基板lcp之間。

請參照圖2，圖2是繪示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的下電極部112的俯視結(jié)構(gòu)示 意圖。下電極部112具有輔助支撐區(qū)域aa，輔助支撐區(qū)域aa對應(yīng)至玻璃基板lcp的可視區(qū)域。具體而言，玻璃基板lcp為液晶面板的半成品，其具有可視區(qū)域。當(dāng)玻璃基板lcp設(shè)置于下電極部112上方時(shí)，玻璃基板lcp的可視區(qū)域可在下電極部112上相應(yīng)地定義出輔助支撐區(qū)域aa。

下電極部112具有多個(gè)貫穿孔h1和h2，以供支撐桿114穿設(shè)于其中。在本發(fā)明的實(shí)施例中，輔助支撐區(qū)域aa內(nèi)具有至少一個(gè)貫穿孔。例如，貫穿孔h2設(shè)置于輔助支撐區(qū)域aa內(nèi)，而貫穿孔h1設(shè)置于輔助支撐區(qū)域aa外。在本實(shí)施例中，下電極部112具有八個(gè)貫穿孔h1，且每兩個(gè)貫穿孔h1為一組并對應(yīng)設(shè)置于下電極部112的一個(gè)側(cè)邊。類似地，下電極部112具有八個(gè)貫穿孔h2，且每兩個(gè)貫穿孔h2為一組并對應(yīng)設(shè)置于下電極部112的一個(gè)側(cè)邊。

請參照圖3，其是繪示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的支撐桿114的結(jié)構(gòu)示意圖。支撐桿114包含第一部分114a、第二部分114c以及位于第一部分114a與第二部分114c之間的第三部分114b。第一部分114a連接至控制裝置(未繪示)，以供控制裝置控制支撐桿114的移動(dòng)。例如，支撐桿114可上下移動(dòng)，以調(diào)整玻璃基板lcp的高度。在本實(shí)施例中，第一部分114a的材質(zhì)為金屬，但本發(fā)明的實(shí)施例并不受限于此。

第二部分114c用以直接接觸玻璃基板lcp，以支撐玻璃基板lcp。如圖2所示，由于貫穿孔h2設(shè)置于輔助支撐區(qū)域aa中，因此穿設(shè)貫穿孔h2的支撐桿114會(huì)直接接觸玻璃基板lcp的可視區(qū)域。為了避免支撐桿114的第二部分114c被蝕刻氣體腐蝕，以及避免支撐桿114的第二部分114c刮傷玻璃基板lcp的可視區(qū)域，本發(fā)明實(shí)施例的第二部分114c利用硬度比玻璃低的工程塑膠來制作。在本實(shí)施例中，支撐桿114的第二部分114c是以聚酰亞胺(polyimide)來制作，但本發(fā)明的實(shí)施例并不受限于此。

第三部分114b用以在支撐桿114受到撞擊時(shí)提供潰縮機(jī)制。例如，當(dāng)?shù)诙糠?14c受到撞擊時(shí)，第三部分114b會(huì)潰縮，進(jìn)而避免產(chǎn)生更大的傷害。在本實(shí)施例中，第三部分114b的材質(zhì)為陶瓷材料，例如氧化鋯，但本發(fā)明的 實(shí)施例并不受限于此。

由以上說明可知，本發(fā)明實(shí)施例的蝕刻設(shè)備100是在玻璃基板lcp的可視區(qū)域內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)支撐桿114來支撐玻璃基板lcp，如此本發(fā)明實(shí)施例的蝕刻設(shè)備100可提供優(yōu)選的支撐效果來支撐玻璃基板lcp。

另外，本發(fā)明實(shí)施例的支撐桿114具有三節(jié)式架構(gòu)(第一部分114a、第二部分114c以及第三部分114b)，此三節(jié)式架構(gòu)不但可提供潰縮機(jī)制來保護(hù)玻璃基板lcp和支撐桿114，也能夠避免刮傷玻璃基板lcp并具有提供長效的抗腐蝕能力。

雖然本發(fā)明已經(jīng)以實(shí)施方式公開如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種變動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。