本發(fā)明涉及光刻機技術領域，具體涉及一種浸液限制機構及溫度補償方法。

背景技術：

現(xiàn)代光刻設備以光學光刻為基礎，它利用光學系統(tǒng)把掩模板上的圖形精確地投影曝光到涂過光刻膠的襯底(如基底)上。浸沒式光刻是指在曝光鏡頭與基底之間充滿水(或更高折射的浸沒液體)以取代傳統(tǒng)干式光刻技術中對應的空氣。由于水的折射率比空氣大，可以使透鏡組的數(shù)值孔徑增大，進而可獲得更加小的特征線寬。

現(xiàn)有浸沒式光刻機的結構如圖1所示，在該裝置中，主框架1’支撐一照明系統(tǒng)2’、一投影物鏡4’和一基底臺8’，基底臺8’上放置一涂有感光光刻膠的基底7’。該浸沒式光刻機將浸液(如水)5填充在投影物鏡4’和基底7’之間縫隙內。工作時，基底臺8’帶動基底7’作高速的掃描、步進動作，浸液限制機構包括根據(jù)基底臺8’的運動狀態(tài)，在投影物鏡4’的視場范圍，提供一個穩(wěn)定的浸液流場，同時保證浸液流場與外界隔絕，保證液體不泄漏。掩模板3’上集成電路的圖形通過照明系統(tǒng)2’、投影物鏡4’和浸液流場以成像曝光的方式，轉移到涂有感光光刻膠的基底7’上，完成曝光過程。該浸沒式光刻機涉及的浸沒系統(tǒng)工作原理如圖2所示，通過浸液限制機構中的浸沒頭6’，將浸液5’限制在投影物鏡4’和基底7’之間縫隙內。該浸沒式光刻機內還設置供液設備9’，向浸沒頭6供給浸液5’。在供液設備9’中設有液體壓力、流量控制單元，將浸液供給的壓力、流量限制在一定范圍內；此外在供液設備9’中設置水污染處理單元，將水中污染處理至符合浸液污染要求；供液設備9’中還設有溫度控制單元，將供水 處理至符合浸液溫度要求。該浸沒式光刻機內還設有供氣設備10’和氣液回收設備11’，用于超潔凈濕空氣補償及氣液回收。在供氣設備10’和氣液回收設備11’中設有超潔凈濕空氣壓力、流量控制單元，將供氣的壓力、流量控制在一定范圍之內；供氣設備10’和氣液回收設備11’中還設有氣液回收壓力、流量控制單元，將氣液回收的壓力和流量控制在一定范圍之內；在供氣設備10’和氣液回收設備11’中還設有超潔凈濕空氣污染控制單元，將超潔凈濕空氣中污染處理至符合要求；在供氣設備10’和氣液回收設備11’中還設有超潔凈濕空氣溫度和濕度控制單元，將超潔凈濕空氣處理至符合溫度和濕度要求。

現(xiàn)有浸液限制機構的一般結構如圖2所示，浸沒頭6’的外輪廓形式不一，但內部輪廓基本都是與鏡頭幾何形狀匹配的錐形結構。供液設備9’供給的浸液5’通過浸沒頭6’內的浸液供給流道流出后填充投影物鏡4’和基底7’之間縫隙，浸液5’通過浸沒頭6’內的浸液回收流道流出后，由氣液回收設備11’回收。浸液5’在投影物鏡4’和基底7’之間狹縫內形成浸液流場，要求浸液流場中的液體處于持續(xù)流動狀態(tài)，無回流，且液體的成分、壓力場、速度場、溫度場瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)變化均小于一定范圍。

從圖2中看出，浸沒頭6’的下表面與基底7’間存在一定高度的間隙，為了防止浸液流場中的浸液5’從此間隙中泄漏，供氣設備10’通過供氣管路622’向浸沒頭6’內的供氣腔621’供給壓縮空氣，如圖2所示，壓縮空氣在供氣腔621’內緩沖后，通過供氣腔621’底部的供氣口620’噴出，形成朝向基底表面的“氣刀”?！皻獾丁毙纬闪俗钃踅毫鲌鲋薪?’泄漏的氣“簾”，浸液流場邊緣的氣液混合物通過氣液抽排口630’抽排至氣液回收腔631’中，氣液混合物在氣液回收腔631’中緩沖后，被氣液回收設備11’經抽排管路632’抽排出浸沒頭6’，從而實現(xiàn)了浸液流場的密封效果。

為了保證密封效果，“氣刀”供氣量和氣液抽排負壓較大，抽排流量和流速同樣較大，由于“氣刀”供氣量較大，氣液混合物中的氣體處于不飽和狀態(tài)，由于抽排流速較大，氣液混合物在氣液回收腔631’及抽排管路632’內渦旋流動， 氣液混合物中的大液滴在抽排過程中會不斷相互碰撞或與氣液回收腔631’的壁面碰撞，在碰撞過程中氣液混合物中的大液滴轉化為小液滴，小液滴繼續(xù)不斷相互碰撞，部分小液滴會霧化至直接蒸發(fā)，還有一部分小液滴繼續(xù)不斷與氣液回收腔631’的壁面碰撞并在氣液回收腔631’的壁面形成液膜，薄的液膜在抽排過程中繼續(xù)蒸發(fā)。由于浸液5’須持續(xù)供給和抽排，所以在氣液回收腔631’的內部壁面持續(xù)發(fā)生液體蒸發(fā)。浸液5’在蒸發(fā)相變過程中須不斷吸收汽化潛熱；例如，在一個大氣壓下，1kg的水變成蒸汽要吸收2256kj的熱量。

浸沒液體不斷蒸發(fā)吸熱將使浸沒頭6’溫度下降，經實驗，在不進行溫度補償時，氣液回收過程中的蒸發(fā)制冷會導致浸沒頭6’溫度下降1℃以上，局部溫度下降會超過2℃。浸沒頭6’溫度下降后會影響浸液5’的溫度穩(wěn)定性，從而影響浸液5’的折射率，進而最終影響設備曝光性能。

針對上述問題，現(xiàn)有的方法在浸沒頭的結構上布置若干電阻式加熱器或電加熱器或溫度傳感器等進行溫度控制與補償。然而上述方案至少存在以下幾方面問題：一是浸沒頭上沒有足夠的空間用來布置足夠多的加熱器、溫度傳感器及其引線；二是單個加熱器僅可控制浸沒頭“單點”溫度，難以實現(xiàn)浸沒頭整體溫度均勻性；三是不能較好地將冷源(即氣液回收腔)與其它部件隔離，難以防止“漏冷”；四是加熱器與氣液回收腔的壁面間熱阻較大，難以實現(xiàn)直接的溫度補償，熱補償效率低下。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供了一種浸液限制機構及溫度補償方法，以解決上述技術問題。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明的技術方案是：一種浸液限制機構，設于投影物鏡和基底之間，包括浸沒頭，所述浸沒頭上由外到內依次設有供氣腔和氣液回收腔，所述供氣腔與第一供氣設備連通，用于形成對所述浸液密封的氣簾，所述氣液回收腔包括由內至外同軸設置的內腔體和外腔體，所述內腔體通過抽排管與氣液回收設備連通，用于抽排氣液混合物，所述外腔體通過進氣管 與第二供氣設備連通，所述第二供氣設備提供的氣體與所述內腔體外壁、外腔體內壁接觸后冷凝放熱。

進一步的，所述進氣管套設于所述抽排管外周。

進一步的，所述第二供氣設備包括依次連接的壓縮空氣供給設備、加濕器和調節(jié)閥，將加濕后的壓縮空氣通入所述外腔體內。

進一步的，所述外腔體上還設有出氣管，所述出氣管通過負壓閥連通所述氣液回收設備。

進一步的，所述第二供氣設備包括依次連接的冷凝氣體供給設備和調節(jié)閥，將冷凝氣體通入所述外腔體內。

進一步的，所述外腔體上還設有出氣管，所述出氣管通過負壓閥連通所述冷凝氣體供給設備。

進一步的，所述進氣管和出氣管間隔分布。

進一步的，所述供氣開口呈圓形或方形或矩形或長橢圓形或三角形，所述供氣開口的直徑或寬度為0.1～0.2mm。

進一步的，所述內腔體的外壁與所述外腔體的內壁之間設有若干翅片，為所述內腔體提供徑向支撐。

進一步的，所述翅片沿平行于所述內腔體的軸線方向分布或呈螺旋形分布。

進一步的，所述冷凝氣體是水蒸氣、烴蒸氣、烴類蒸氣的混合物或氨蒸氣。

進一步的，所述浸沒頭的橫截面呈圓形或多邊形。

進一步的，所述供氣腔的橫截面呈圓形或多邊形。

進一步的，所述供氣腔設有與所述浸沒頭底面連通的供氣狹縫，氣體從所述供氣狹縫中吹出，在所述浸沒頭與所述基底之間形成氣簾，所述供氣縫隙的寬度為0.1～0.2mm。

進一步的，所述供氣腔設有與所述浸沒頭底面連通的若干供氣開口，相鄰所述供氣開口之間的距離為0.2～0.3mm。

進一步的，所述內腔體和外腔體的縱截面均呈圓形或多邊形。

進一步的，所述內腔體和外腔體的橫截面均呈圓形或多邊形。

進一步的，所述內腔體設有與所述浸沒頭底面連通的抽排狹縫，所述抽排縫隙的寬度大于0.2mm。

進一步的，所述內腔體設有與所述浸沒頭底面連通的若干抽排開口，所述抽排開口呈圓形或方形或矩形或長橢圓形或三角形，所述抽排開口的直徑或寬度大于0.3mm。

進一步的，所述浸沒頭由航空鋁或鋼材料制成。

本發(fā)明還提供一種浸液限制機構的溫度補償方法，在用于抽取氣液混合物的抽排腔之外套設冷凝腔，在冷凝腔內通入氣體，使所述氣體與所述抽排腔的外壁、所述冷凝腔的內壁接觸后冷凝放熱。

進一步的，所述冷凝腔內氣體的流動方向與所述抽排腔內氣液混合物的流動方向相反，形成逆流換熱。

進一步的，所述氣體為加濕后的壓縮空氣。

進一步的，所述氣體為冷凝氣體。

進一步的，所述冷凝氣體是水蒸氣、烴蒸氣、烴類蒸氣的混合物或氨蒸氣。

本發(fā)明提供一種浸液限制機構及溫度補償方法，與現(xiàn)有技術相比存在以下優(yōu)點：

(1)通過設置包括內腔體和外腔體的氣液回收腔，內腔體用于氣液混合物的抽排，外腔體用于冷凝氣體供給，通過冷凝放熱的方法對發(fā)生蒸發(fā)制冷現(xiàn)象的內腔體進行熱補償，外腔體包覆內腔體，可以對內腔體進行可全面的熱補償，增大了熱補償?shù)拿娣e，提高了熱補償效率；

(2)外腔體將內腔體與其他部位進行了熱隔離，降低了制冷“冷源”(即內腔體)作用在浸沒頭其余部位上的制冷功率；

(3)外腔體的冷凝入口與內腔體的出口位置相對應，使外腔體內冷凝氣體的流動方向與內腔體內氣液混合物的流動方向相反，形成逆流換熱，實現(xiàn)呈非均勻分布的熱補償功率對應呈非均勻分布的制冷功率，極大提高了整個浸沒頭 溫度控制的均勻性；

(4)直接在內層壁上進行熱補償，減小了熱補償路徑上的熱阻，大大提高了熱補償效率；

(5)不采用多個加熱器及其引線等電氣元件，提高了浸液限制機構的可靠性。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有浸沒式光刻機的結構示意圖；

圖2是現(xiàn)有浸液限制機構的結構示意圖；

圖3是本發(fā)明實施例1浸液限制機構的結構示意圖；

圖4是圖3的a-a處的剖視圖；

圖5a、5b分別是本發(fā)明實施例1氣液回收腔的結構示意圖；

圖6是本發(fā)明實施例1中氣液回收腔內的氣體流動示意圖；

圖7是本發(fā)明實施例2中氣液回收腔內的氣體流動示意圖。

圖1-2中所示：1’、主框架；2’、照明系統(tǒng)；3’掩模板；4’、投影物鏡；5’、浸液；6’、浸沒頭；620’、供氣口；621’、供氣腔；622’、供氣管路；630’、氣液抽排口；631’、氣液回收腔；632’、抽排管路；7’、基底；8’、基底臺；9’、供液設備；10’、供氣設備；11’、氣液回收設備；

圖3-7中所示：4、投影物鏡；5、浸液；6、浸沒頭；62、供氣腔；621、供氣口；63、氣液回收腔；631、內腔體；632、外腔體；633、氣液抽排口；634、冷凝出口；635、冷凝入口；636、內層壁；637、外層壁；638、翅片；7、基底；8、第二供氣設備；9、氣液回收設備；10、抽排管；11、進氣管；12、加濕器；13、調節(jié)閥；14、負壓閥；15、冷凝氣體供給設備；16、冷凝液回收設備。

具體實施方式

下面結合附圖對本發(fā)明作詳細描述。

實施例1

如圖3-4所示，本發(fā)明提供一種浸液限制機構，設于投影物鏡4和基底7之間，根據(jù)基底臺的運動狀態(tài)，在投影物鏡4的視場范圍，提供一個穩(wěn)定的浸液流場，同時保證浸液流場與外界隔絕，保證液體不泄漏。本浸液限制機構包括浸沒頭6，優(yōu)選的，所述浸沒頭6的橫截面呈圓形或多邊形，本實施例中，浸沒頭6的橫截面呈正方形，如圖4所示。所述浸沒頭6上由外到內依次設有供氣腔62和氣液回收腔63，即氣液回收腔63設在供氣腔62的外周，所述供氣腔62與第一供氣設備(圖中未標出)的出口連通，且與所述浸沒頭6的底面通過若干供氣口621連通，用于形成對所述浸液密封的氣簾；所述氣液回收腔63包括內至外包同軸設置的內腔體631和外腔體632，其中內腔體631由內層壁636圍成，外腔體632由外層壁637圍成，所述內腔體631通過抽排管10與氣液回收設備9連通，用于抽排氣液混合物，所述外腔體632通過進氣管11與第二供氣設備8連通，所述第二供氣設備8提供的氣體與所述內腔體631外壁、外腔體632內壁接觸后冷凝放熱。具體的，內腔體631和外腔體632的數(shù)量可以為一個或多個，內腔體631之間相互獨立，每個外腔體632與一個內腔體631對應，包覆于該內腔體631外側，通過設置包括內腔體631和外腔體632的氣液回收腔63，分別用于氣液混合物的抽排和冷凝氣體供給，通過冷凝放熱的方法對發(fā)生蒸發(fā)制冷現(xiàn)象的內腔體631進行熱補償，外腔體632包覆內腔體631，可以對內腔體631進行可全面的熱補償，增大了熱補償?shù)拿娣e，提高了熱補償效率。

優(yōu)選的，所述供氣腔62的橫截面呈圓形或多邊形，本實施例中，供氣腔62的橫截面呈圓形，若干所述供氣口621為連續(xù)型供氣口，且在所述浸沒頭6的底面形成圓形或多邊形的縫隙，如圖4中所示為圓形縫隙，所述縫隙的寬度為0.1～0.2mm。若干所述供氣口621也可以為離散型供氣口，相鄰供氣口621之間的距離為0.2～0.3mm，若干所述供氣口621呈圓形或方形或矩形或長橢圓形或三角形，所述供氣口621的直徑或寬度為0.1～0.2mm。具體的，第一供氣設備向浸 沒頭6內的供氣腔62供給氣體，所述氣體優(yōu)選為壓縮空氣，壓縮空氣在供氣腔62內緩沖后，通過供氣腔底部的供氣口621噴出，形成朝向基底表面的“氣刀”，阻擋浸液流場中的浸液5泄漏。

優(yōu)選的，所述內腔體631和外腔體632的橫截面均呈圓形或多邊形，本實施例中，內腔體631和外腔體632的橫截面均呈圓形，內腔體631和外腔體632的縱截面均呈圓形或多邊形，本實施例中為正方形，如圖5a所示，且內腔體631的截面積同外腔體632的截面積之比恒定，以保證內腔體631同外腔體632具有相同的流通路徑和連續(xù)的流量貫穿。如圖3所示，內腔體631下方設有氣液抽排口633，用于抽排浸沒頭6邊緣的氣液混合物。優(yōu)選的，所述氣液抽排口633可為連續(xù)型氣液抽排口，例如縫隙，且在所述浸沒頭6的底面形成圓形或多邊形的縫隙，如圖3中所示為圓形縫隙，所述縫隙的寬度大于0.2mm。所述氣液抽排口633也可以為若干呈圓形或方形或矩形或長橢圓形或三角形的開口，所述開口的直徑或寬度大于0.3mm。

繼續(xù)參照圖6，進一步的，所述內腔體631的出口與氣液回收設備9的入口通過抽排管10連通，所述外腔體632的冷凝入口635與第二供氣設備8通過進氣管11連接，所述進氣管11套設于所述抽排管10外周，當然進氣管11也可設于所述抽排管10的旁邊，優(yōu)選的，所述第二供氣設備8與所述進氣管11之間還依次連有加濕器12和調節(jié)閥13。所述外腔體632上還設有與冷凝入口635間隔分布的冷凝出口634，所述冷凝出口634設有出氣管，所述出氣管通過負壓閥14連通所述氣液回收設備9。具體的，加濕器13對來自第二供氣設備8的氣體(優(yōu)選為壓縮空氣)加濕，加濕后的濕壓縮空氣經調節(jié)閥13調節(jié)流量后通過進氣管11向外腔體632供給加濕過的壓縮空氣，濕的壓縮空氣按圖6所示流動方向流至冷凝出口634排出經負壓閥14調節(jié)后至氣液回收設備9中。

如圖5b所示，所述內層壁636和外層壁637之間設有若干翅片638，為內層壁636提供徑向支撐，若干所述翅片638呈平行于內腔體632的軸線方向分布或呈螺旋形分布。需要說明的是，本實施例所述結構除采用傳統(tǒng)機械加工方 法加工外，還可采用3d打印技術制成傳統(tǒng)機械加工方法難以實現(xiàn)的更為復雜的內部結構。

請繼續(xù)參照圖6，所述內腔體631的出口和所述外腔體632的冷凝入口635均設有兩個，均沿x軸排列，且兩個所述內腔體631的出口之間及兩個所述外腔體632的冷凝入口635之間分別關于y軸對稱分布，所述外腔體632的冷凝出口634也設有兩個，沿y軸排列，且關于x軸對稱。冷凝氣體從左右兩側的冷凝入口635進入外腔體632，沿上下兩側流動至冷凝出口634后排出至氣液回收設備9中；同時氣液混合物從氣液抽排口633進入內腔體631后沿左右兩側流動至內腔體631的出口后通過抽排管10抽排至氣液回收設備9中。由于內腔體631和內層壁636上持續(xù)發(fā)生的液體蒸發(fā)制冷功率越遠離出口越小，蒸發(fā)制冷功率呈不均勻分布，而外腔體632內的冷凝氣體的飽和度越遠離冷凝入口635越小，導致冷凝放熱功率逐漸降低，因此冷凝放熱功率同樣呈不均勻分布。由于內腔體631的出口位置與外腔體632的冷凝入口位置相對應，因此外腔體632內的壓縮空氣流動方向與內腔體631內的氣液混合物流動方向相反，形成逆流換熱，即呈逐漸降低的制冷功率分布正好對應于呈逐漸降低的加熱功率分布；以非均勻分布的熱補償功率對應補償非均勻分布的制冷功率，極大提高了整個浸沒頭溫度控制的均勻性。

優(yōu)選的，所述浸沒頭6由航空鋁或鋼材料制成，因此浸沒頭6的導熱率遠遠大于環(huán)繞內腔體631的外腔體632內的壓縮氣體的導熱率，因此外腔體632起到了很好的絕熱隔熱作用，被包裹的內腔體631內氣液混合物的制冷功率難以“泄漏”至浸沒頭6的其它部位，有利于對浸沒頭6的整體溫度均勻性的有效控制。具體的，外腔體631的熱阻如下式所述：

式中，r熱阻表示內層壁636與外層壁637間的熱阻，單位℃/w；d表示內層壁636與外層壁637間的距離，單位m；a表示內層壁636與外層壁637間的 傳熱面積，單位m²；λ表示內層壁636與外層壁637間的熱傳導系數(shù)，單位w/m℃。若沒有外腔體632，則相當于外腔體632位置處熱傳導系數(shù)λ為浸沒頭6的材料如航空鋁或鋼等的熱傳導系數(shù)，一般為100-200w/m℃或20-50w/m℃。而本發(fā)明外腔體632中以濕壓縮空氣為主，其導熱系數(shù)小于0.5w/m℃。可見，設置外腔體632后r熱阻將增大百倍甚至以上，環(huán)繞內腔體631形成的外腔體632起到了很好的保溫作用，防止內腔體631內的制冷功率“泄漏”，有利于浸沒頭6的整體溫度均勻性的有效控制。

實施例2

如圖7所示，與實施例1不同的是，本實施例中，所述內腔體631的出口與氣液回收設備9的入口通過抽排管10連通，所述外腔體632的冷凝入口635與冷凝氣體供給設備15通過進氣管11連接，所述進氣管11套設于所述抽排管10的外周，所述冷凝出口634通過出氣管和冷凝液回收設備16的入口連通，即單獨設立冷凝氣體供給設備15為外腔體632提供冷凝氣體，優(yōu)選的，所述冷凝氣體為水蒸氣、烴蒸氣、烴類蒸氣的混合物或氨蒸氣，同時設置單獨的冷凝液回收設備16對外腔體632中的冷凝液進行回收，所述冷凝氣體供給設備15與所述進氣管11之間還連有調節(jié)閥13，所述冷凝出口634和冷凝液回收設備16的入口之間還設有負壓閥14。具體的，冷凝氣體供給設備15中的冷凝氣體經調節(jié)閥13調節(jié)流量后通過進氣管11通入到外腔體632內，冷凝氣體按圖7所示流動方向流至冷凝出口634，并經負壓閥14回收至冷凝液回收設備16中。優(yōu)選的，冷凝氣體從左右兩側的冷凝入口635進入外腔體632，沿上下兩側流動至冷凝出口634后，通過出氣管排出至冷凝液回收設備16中；同時氣液混合物從氣液抽排口633進入內腔體631后沿左右兩側流動至內腔體631的出口后通過抽排管10抽排至氣液回收設備9中。由于內腔體631和內層壁636上持續(xù)發(fā)生的液體蒸發(fā)制冷功率越遠離出口越小，蒸發(fā)制冷功率呈不均勻分布，而外腔體632內的冷凝氣體的飽和度越遠離冷凝入口635越小，導致冷凝放熱功率逐漸降低， 因此冷凝放熱功率同樣呈不均勻分布。由于內腔體631的出口位置與外腔體632的冷凝入口位置相對應，因此外腔體632內的壓縮空氣流動方向與內腔體631內的氣液混合物流動方向相反，形成逆流換熱，即呈逐漸降低的制冷功率分布正好對應于呈逐漸降低的加熱功率分布；以非均勻分布的熱補償功率對應補償非均勻分布的制冷功率，極大提高了整個浸沒頭溫度控制的均勻性。

綜上所述，本發(fā)明提供一種浸液限制機構及溫度補償方法，與現(xiàn)有技術相比存在以下優(yōu)點：

(1)通過設置包括內腔體631和外腔體632的氣液回收腔63，內腔體631用于氣液混合物的抽排，外腔體632用于冷凝氣體供給，通過冷凝放熱的方法對發(fā)生蒸發(fā)制冷現(xiàn)象的內腔體631進行熱補償，外腔體632包覆內腔體631，可以對內腔體631進行可全面的熱補償，增大了熱補償?shù)拿娣e，提高了熱補償效率；

(2)外腔體632將內腔體631與其他部位進行了熱隔離，降低了制冷“冷源”作用在浸沒頭6其余部位上的制冷功率；

(3)外腔體632的冷凝入口635與內腔體631的出口位置相對應，使外腔體632內冷凝氣體的流動方向與內腔體631內氣液混合物的流動方向相反，形成逆流換熱，實現(xiàn)呈非均勻分布的熱補償功率對應呈非均勻分布的制冷功率，極大提高了整個浸沒頭6溫度控制的均勻性；

(4)直接在內層壁636上進行熱補償，減小了熱補償路徑上的熱阻，大大提高了熱補償效率；

(5)不采用多個加熱器及其引線等電氣元件，提高了浸液限制機構的可靠性。

雖然說明書中對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但這些實施方式只是作為提示，不應限定本發(fā)明的保護范圍。在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內進行各種省略、置換和變更均應包含在本發(fā)明的保護范圍內。