本發(fā)明涉及集成電路制造裝備領域，具體涉及一種鏡片的調(diào)整裝置及調(diào)整方法。

背景技術(shù)：

在光學系統(tǒng)中通常設有多個鏡片，隨著光學系統(tǒng)的精度要求越來越高，對于鏡片與鏡片之間的相對位置要求也越來越高，因此在安裝過程中通常要對偏心、傾斜和空氣間隔等參數(shù)進行嚴格限定，一般情況下鏡片間的偏心、傾斜、空氣間隔要求無法通過直接安裝來保證，需通過調(diào)整的形式實現(xiàn)。此外，光學系統(tǒng)對于穩(wěn)定性要求也越來越高，所以對于工作中不需要運動的光學鏡片，安裝時通常采用剛性固定，而對于鏡片與鏡片之間的偏心、傾斜、空氣間隔等參數(shù)只能通過修磨隔圈來實現(xiàn)。

如圖1所示為現(xiàn)有通過修磨隔圈進行補償?shù)溺R組結(jié)構(gòu)圖，包括第一鏡片1’、第二鏡片2’、第一壓圈3’、第二壓圈4’、第一鏡座5’、第二鏡座6’、隔圈7’、螺釘8’，通過修磨隔圈7’來實現(xiàn)第二鏡片2’相對第一鏡片1’的偏心、傾斜、空氣間隔等參數(shù)的調(diào)整。然而該種技術(shù)存在以下不足：一是通過修磨隔圈7’的方式需對第二鏡片2’進行反復拆裝，增加了安裝過程中的風險；二是隔圈7’需要通過研磨的方式實現(xiàn)，而且每個隔圈7’都需要耗費較長的時間，延長了鏡組的裝調(diào)周期。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供了一種鏡片的調(diào)整裝置及調(diào)整方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的 風險大、拆裝麻煩和周期長的問題。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種鏡片的調(diào)整裝置，包括：

第一鏡座，用于固定第一鏡片，所述第一鏡座的上表面設有傾斜角度；

第二鏡座，用于固定第二鏡片，所述第一鏡座設于所述第二鏡座上；

傾斜調(diào)整模塊，設于所述第二鏡座下方，且位于所述第一鏡座上方，包括至少一個中部設有通孔的墊圈，所述墊圈的上表面和下表面均設有傾斜角度，所述墊圈相對所述第一鏡座沿圓周旋轉(zhuǎn)，以調(diào)整第二鏡片相對第一鏡片的傾斜角度；

空氣間隔調(diào)整模塊，包括設于所述第二鏡座下表面的若干凸臺和設于所述傾斜調(diào)整模塊上表面且位置與所述凸臺對應的若干階梯，每個所述階梯包括若干高度不同的臺階，所述第二鏡座相對所述傾斜調(diào)整模塊旋轉(zhuǎn)，使所述凸臺與不同高度的臺階對應，實現(xiàn)空氣間隔調(diào)整

偏心調(diào)整模塊，設于所述第一鏡座或第二鏡座上，帶動所述第一鏡座或第二鏡座水平移動，實現(xiàn)偏心調(diào)整。

進一步的，所述墊圈設有兩個，分別為第一墊圈和第二墊圈，所述第一墊圈的上表面和下表面均具有傾斜角度，所述第一墊圈的上表面和下表面的傾斜角呈空間上垂直分布，所述第二墊圈的上表面和下表面均設有傾斜角度，所述第二墊圈的上表面和下表面的傾斜角的空間夾角為45°，所述第一墊圈和第二墊圈相對所述第一鏡座沿圓周旋轉(zhuǎn)以調(diào)整第二鏡片相對第一鏡片的傾斜角度。

進一步的，所述第一墊圈的外周設有第一手柄，所述第一手柄帶動所述第一墊圈相對所述第一鏡座沿圓周旋轉(zhuǎn)，所述第二墊圈的外周設有第二手柄，所述第二手柄帶動所述第二墊圈相對所述第一鏡座沿圓周旋轉(zhuǎn)。

進一步的，所述凸臺設有三個，沿所述第二鏡座的下表面均勻分布，所述階梯也設有三個，位置與所述凸臺相對應。

進一步的，所述偏心調(diào)整模塊包括頂絲，所述頂絲設于所述第一鏡座或第 二鏡座的外周，帶動所述第一鏡座或第二鏡座平移，使所述第一鏡片和第二鏡片的光軸重合。

進一步的，所述第一鏡片與所述第一鏡座之間設有第一壓圈，所述第二鏡片與所述第二鏡座之間設有第二壓圈。

進一步的，所述第一鏡座通過第一螺釘固設于所述第二鏡座上，所述第一鏡座和墊圈靠近邊緣的一側(cè)均設有貫穿上下表面的螺孔，所述第一螺釘由下至上穿設于所述螺孔中，上端伸至所述第二鏡座內(nèi)。

進一步的，所述第一鏡座和第二鏡座分別與所述傾斜調(diào)整模塊通過第二螺釘連接。

本發(fā)明還提供一種鏡片的調(diào)整裝置的調(diào)整方法，包括以下步驟：

s1：將第一鏡片固定于第一鏡座上，將第二鏡片固定于第二鏡座上；

s2：由下至上依次連接所述第一鏡座、傾斜調(diào)整模塊和第二鏡座，且保證所述第一鏡座、傾斜調(diào)整模塊和第二鏡座兩兩之間的相對位置可調(diào)；

s3：沿圓周旋轉(zhuǎn)傾斜調(diào)整模塊中的墊圈，調(diào)整第二鏡片相對第一鏡片的傾斜角度；

s4：沿圓周旋轉(zhuǎn)空氣間隔調(diào)整模塊中第二鏡座下表面的凸臺，使所述凸臺與傾斜調(diào)整模塊上表面階梯中不同高度的臺階對應，進行空氣間隔調(diào)整；

s5：通過偏心調(diào)整模塊帶動所述第一鏡座或第二鏡座平移，進行偏心調(diào)整；

s6：對第一鏡座、第二鏡座和傾斜調(diào)整模塊的相對位置進行固定。

進一步的，所述步驟s1中，所述第一鏡片通過第一壓圈固定在所述第一鏡座上，所述第二鏡片通過第二壓圈固定在所述第二鏡座上。

進一步的，所述步驟s2中，所述第二鏡座與所述傾斜調(diào)整模塊之間以及所述第一鏡座與所述傾斜調(diào)整模塊之間通過第二螺釘連接，且在初始安裝時，所述第二螺釘處于松動狀態(tài)，并在調(diào)整完成后進行擰緊。

進一步的，所述步驟s2中，在安裝時需保證所述傾斜調(diào)整模塊中的第一墊圈下表面的傾斜角與第二墊圈上表面的傾斜角呈空間上垂直分布，同時所述第 二墊圈下表面的傾斜角與所述第一鏡座上表面的傾斜角呈空間上垂直分布。

進一步的，所述步驟s3中具體為，通過沿圓周方向推動第一手柄，帶動所述第一墊圈相對所述第一鏡座沿圓周旋轉(zhuǎn)。

進一步的，所述步驟s3中具體為，通過沿圓周方向推動第二手柄，帶動所述第二墊圈相對所述第二鏡座沿圓周旋轉(zhuǎn)。

進一步的，所述步驟s5中具體為，通過調(diào)整第一鏡座外周的頂絲，使第一鏡座的中心軸相對于第二鏡座的中心軸平移，使第一鏡片與第二鏡片的光軸重合。

進一步的，所述步驟s5中具體為，通過調(diào)整第二鏡座外周的頂絲，使第二鏡座的中心軸相對于第一鏡座的中心軸平移，使第一鏡片與第二鏡片的光軸重合。

本發(fā)明提供一種鏡片的調(diào)整裝置及調(diào)整方法，通過在傾斜調(diào)整模塊中設置上表面和下表面均設有傾斜角度的墊圈，通過使墊圈相對所述第一鏡座沿圓周旋轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)傾斜調(diào)整；通過設置空氣間隔調(diào)整模塊中位于第二鏡座下表面的凸臺和位于傾斜調(diào)整模塊上表面包括高度不同臺階的階梯，通過轉(zhuǎn)動第二鏡座，使凸臺與不同高度的臺階對應，實現(xiàn)空氣間隔調(diào)整；通過設置位于第一鏡座或第二鏡座上的偏心調(diào)整模塊，帶動第一鏡座或第二鏡座沿水平面移動，使第一鏡片與第二鏡片的光軸重合，實現(xiàn)偏心調(diào)整。本發(fā)明實現(xiàn)了鏡組的在線調(diào)整，降低了現(xiàn)有技術(shù)中多次拆裝鏡組帶來的裝配風險，縮短了鏡組的裝調(diào)周期，提高了生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有通過修磨隔圈進行補償?shù)溺R組結(jié)構(gòu)圖；

圖2是本發(fā)明鏡片的調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3a是本發(fā)明鏡片的調(diào)整裝置中第一鏡座的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3b是圖3a中a-a處的剖視圖；

圖4a是本發(fā)明鏡片的調(diào)整裝置中第一墊圈結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4b是本發(fā)明鏡片的調(diào)整裝置中第一墊圈上表面傾斜角的示意圖；

圖4c是本發(fā)明鏡片的調(diào)整裝置中第一墊圈下表面傾斜角的示意圖；

圖5a是本發(fā)明鏡片的調(diào)整裝置中第二墊圈結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5b是圖5a中b-b處的剖視圖；

圖5c是鏡片的調(diào)整裝置中第二墊圈的主視圖。

圖1中所示：1’、第一鏡片；2’、第二鏡片；3’、第一壓圈；4’、第二壓圈；5’、第一鏡座；6’、第二鏡座；7’、隔圈；8’、螺釘；

圖2-5c中所示：1、第一鏡座；2、第一鏡片；3、第一壓圈；4、第二鏡座；41、凸臺；5、第二鏡片；6、第二壓圈；7、傾斜調(diào)整模塊；71、階梯；8、墊圈；81、第一墊圈；811、第一手柄；82、第二墊圈；821、第二手柄；9、螺孔；10、偏心調(diào)整模塊；101、頂絲；11、第一螺釘；12、第二螺釘。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作詳細描述：

如圖2-5c所示，本發(fā)明提供一種鏡片的調(diào)整裝置，包括：

第一鏡座1，用于固定第一鏡片2，所述第一鏡座1的上表面設有傾斜角度，如圖3a-3b所示，第一鏡座1上表面的傾斜角為β1。第一鏡座1與第一鏡片2之間設有第一壓圈3，第一鏡片2通過第一壓圈3固定在第一鏡座1上。

第二鏡座4，用于固定第二鏡片5，優(yōu)選的，第二鏡座4與第二鏡片5之間設有第二壓圈6，第二鏡片5通過第二壓圈6固定在第二鏡座4上。所述第一鏡座1設于所述第二鏡座4上，本實施例中，第一鏡座1位于所述第二鏡座4下方，固定在第二鏡座4下表面。

傾斜調(diào)整模塊7，設于所述第二鏡座4下方，且位于所述第一鏡座1上方，包括至少一個中部設有通孔的墊圈8，所述墊圈8的上表面和下表面均設有傾斜角度，所述墊圈8相對所述第一鏡座1沿圓周旋轉(zhuǎn)，以調(diào)整第二鏡片5相對第 一鏡片2的傾斜角度。

空氣間隔調(diào)整模塊，包括設于所述第二鏡座4下表面的若干凸臺41和設于所述傾斜調(diào)整模塊7上表面且位置與所述凸臺41對應的若干階梯71，每個所述階梯71包括若干高度不同的臺階，所述第二鏡座4相對所述傾斜調(diào)整模塊7旋轉(zhuǎn)，使所述凸臺41與不同高度的臺階對應，實現(xiàn)空氣間隔調(diào)整。

偏心調(diào)整模塊10，設于所述第一鏡座1或第二鏡座4上，帶動所述第一鏡座1或第二鏡座2水平(即沿xy平面)移動，進行偏心調(diào)整。

請繼續(xù)參照圖1，所述墊圈8設有兩個，分別為第一墊圈81和第二墊圈82，本實施例中，第一墊圈81設于第二墊圈82下方，第一墊圈81的上表面和下表面均具有傾斜角度，所述第一墊圈81的上表面和下表面的傾斜角呈空間上垂直分布，如圖4a-4d所示，第一墊圈81上表面的傾斜角為α1，下表面的傾斜角為α2，且α1、α2空間上呈垂直分布。所述第二墊圈82的上表面和下表面均設有傾斜角度，所述第二墊圈82的上表面和下表面的傾斜角之間的空間夾角為45°，如圖5a-5c所示，第二墊圈82上表面的傾斜角為θ2，下表面的傾斜角為θ1，且θ1、θ2空間上呈45度角；所述第一墊圈81和第二墊圈82相對所述第一鏡座1沿圓周旋轉(zhuǎn)以調(diào)整第二鏡片相5對第一鏡片2的傾斜角度。優(yōu)選的，所述第一墊圈81的外周設有第一手柄811，所述第一手柄811帶動所述第一墊圈81相對所述第一鏡座1沿圓周旋轉(zhuǎn)，以帶動第二鏡片5相對第一鏡片2進行傾斜角度調(diào)整。所述第二墊圈82的外周設有第二手柄821，所述第二手柄821帶動所述第二墊圈82相對所述第一鏡座1沿圓周旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)第二鏡片5相對第一鏡片2的傾斜角度調(diào)整。

具體的，沿圓周方向推動第一手柄811，第一墊圈81會沿中心軸旋轉(zhuǎn)，與此同時第二鏡片5也隨之旋轉(zhuǎn)，由于第一鏡座1的上表面具有傾斜角度(對應的傾斜角為β1)，第一墊圈81下表面具有傾斜角度(對應的傾斜角為α2)，因此在旋轉(zhuǎn)時第二鏡片5相對第一鏡片2同時沿rx、ry旋轉(zhuǎn)；在安裝時需保證傾斜角α2與β1空間上呈垂直布置，可實現(xiàn)角度的正負調(diào)整，進一步提高了調(diào) 整效果。在該調(diào)整過程中，調(diào)整分辨率由傾斜角α2、β1決定，當α2＝β1＝90+a1°時，令第一墊圈81旋轉(zhuǎn)角b1，則第一鏡片2的角度變化c1，c1與a1、b1之間的關(guān)系為：c1＝a1(-0.0163b1+1.4657)，當b1＝90°時為零位，當b1＝91°，a1＝1°時c1＝0.0176°。

沿圓周方向推動第二手柄821，第二墊圈82會沿中心軸旋轉(zhuǎn)，與此同時第二鏡片5也隨之旋轉(zhuǎn)，由于第一墊圈81上表面具有傾斜角度(對應的傾斜角為α1)、第二墊圈82的下表面具有傾斜角度(對應的傾斜角為θ1)，因此在旋轉(zhuǎn)時第二鏡片5相對第一鏡片2同時沿rx、ry旋轉(zhuǎn)；在安裝時需保證α1與θ1在空間上呈垂直布置，可實現(xiàn)角度的正負調(diào)整。在該調(diào)整過程中調(diào)整分辨率由θ2、α1決定，當θ2＝α1＝90+a2°時，令第二墊圈82的旋轉(zhuǎn)角b2，第二鏡片5的角度變化c2，則c2與a2、b2之間的關(guān)系為：c2＝a2(-0.0163b2+1.4657)，當b2＝90°時為零位，當b2＝91°，a2＝1°時c2＝0.0176°。

在旋轉(zhuǎn)第一手柄811和第二手柄821時，第二鏡片5的中心軸會相對第二鏡片2在rx、ry上同時改變，調(diào)整時根據(jù)觀察儀器上顯示的十字叉位置變化情況，對第一手柄811和第二手柄821進行配合使用。

優(yōu)選的，所述凸臺41設有三個，沿所述第二鏡座3的下表面均勻分布，所述階梯71也設有三個，位置與所述凸臺41相對應，本實施例中，階梯71設于第一墊圈81的上表面，在進行空氣間隔調(diào)整時，沿圓周旋轉(zhuǎn)第二鏡座3下表面的凸臺41，使所述凸臺41與對應階梯71中不同高度的臺階貼合，從而使第二鏡片5相對于第一鏡片2的空氣間隔發(fā)生變化。

請繼續(xù)參照圖2，所述偏心調(diào)整模塊10包括頂絲101，所述頂絲101設于所述第一鏡座1或第二鏡座4的外周，帶動所述第一鏡座1或第二鏡座4沿水平方向(即沿xy平面)移動，使所述第一鏡片2和第二鏡片5的光軸重合，本實施例中，頂絲101設于第二鏡座4的外周，完成偏心調(diào)整。

請繼續(xù)參照圖2，所述第一鏡座1通過第一螺釘11固設于所述第二鏡座4上，所述第一鏡座1和墊圈8靠近邊緣的一側(cè)均設有貫穿上下表面呈弧形的螺 孔9，所述第一螺釘11由下至上穿設于所述螺孔9中，上端伸至所述第二鏡座4內(nèi)，在初始安裝時，僅將第一螺釘11套設在螺孔9中，不擰緊，在完成對傾斜角度、空氣間隔和偏心的調(diào)整之后，對第一螺釘11進行擰緊，實現(xiàn)兩者的位置固定不變。

優(yōu)選的，所述第一鏡座1和第二鏡座4分別與所述傾斜調(diào)整模塊7通過第二螺釘12連接，且在初始安裝時，所述第二螺釘12處于松動狀態(tài)，并在調(diào)整完成后進行擰緊。

本發(fā)明還提供了一種鏡片的調(diào)整裝置的調(diào)整方法，包括以下步驟：

s1：將第一鏡片2固定于第一鏡座1上，將第二鏡片5固定于第二鏡座4上；具體的，第一鏡片2通過第一壓圈3固定在第一鏡座1上，第二鏡片5通過第二壓圈6固定在第二鏡座4上。所述第一鏡座1設于所述第二鏡座4上，本實施例中，第一鏡座1位于所述第二鏡座4下方，固定在第二鏡座4下表面。

s2：將所述第二鏡座4安裝于傾斜調(diào)整模塊7上方，將所述第一鏡座1安裝于傾斜調(diào)整模塊7下方，且所述第二鏡座4與所述傾斜調(diào)整模塊7之間以及所述第一鏡座1與所述傾斜調(diào)整模塊7之間的相對位置可調(diào)；具體的，所述第二鏡座4與所述傾斜調(diào)整模塊7之間以及所述第一鏡座1與所述傾斜調(diào)整模塊7之間通過第二螺釘12連接，且在初始安裝時，所述第二螺釘12處于松動狀態(tài)，并在調(diào)整完成后擰緊固定。在安裝時需保證所述傾斜調(diào)整模塊7中的第一墊圈81下表面的傾斜角與第二墊圈82上表面的傾斜角呈空間上垂直分布，同時所述第二墊圈82下表面的傾斜角與所述第一鏡座1上表面的傾斜角呈空間上垂直分布，具體的，第一墊圈81上表面的傾斜角為α1，下表面的傾斜角為α2，且α1、α2空間上呈垂直分布。所述第二墊圈82的上表面和下表面均設有傾斜角度，所述第二墊圈82的上表面和下表面的傾斜角呈空間上垂直分布，如圖4a-4c所示，第二墊圈82上表面的傾斜角為θ2，下表面的傾斜角為θ1，且θ1、θ2空間上呈45度角。

s3：沿圓周旋轉(zhuǎn)傾斜調(diào)整模塊7中的墊圈8，調(diào)整第二鏡片5相對第一鏡片 2的傾斜角度；通過沿圓周方向推動第一手柄811，帶動所述第一墊圈81相對所述第一鏡座1沿圓周旋轉(zhuǎn)，以帶動第二鏡片5相對第一鏡片2進行傾斜角度調(diào)整；通過沿圓周方向推動第二手柄821，帶動所述第二墊圈82相對所述第二鏡座4沿圓周旋轉(zhuǎn)。

s4：沿圓周旋轉(zhuǎn)空氣間隔調(diào)整模塊中第二鏡座4下表面的凸臺41，使所述凸臺41與傾斜調(diào)整模塊7上表面階梯71中高度不同的臺階對應，進行空氣間隔調(diào)整，具體的，沿圓周旋轉(zhuǎn)第二鏡座3下表面的凸臺41，使所述凸臺41與不同高度的臺階貼合，從而使第二鏡片5相對于第一鏡片2的空氣間隔發(fā)生變化。

s5：通過偏心調(diào)整模塊10帶動所述第一鏡座1或第二鏡座4平移，帶動所述第一鏡座1或第二鏡座2水平(即沿xy平面)移動，具體的，通過調(diào)整第一鏡座1外周的頂絲101，使第一鏡座的中心軸相對于第二鏡座的中心軸平移，使所述第一鏡片2和第二鏡片5的光軸重合，或者通過調(diào)整第二鏡座4外周的頂絲101，使第二鏡座4的中心軸相對于第一鏡座1的中心軸平移，使第一鏡片2與第二鏡片5的光軸重合，本實施例中，頂絲101設于第二鏡座4的外周，以完成進行偏心調(diào)整。

s6：對第一鏡座1、第二鏡座4和傾斜調(diào)整模塊7的相對位置進行固定，在調(diào)整完成之后，對第一螺絲12和第二螺絲13進行擰緊，保證三者的位置固定不變。

綜上所述，本發(fā)明提供一種鏡片的調(diào)整裝置及調(diào)整方法，通過在傾斜調(diào)整模塊7中設置上表面和下表面均設有傾斜角度的墊圈8，且保證上表面和下表面的傾斜角呈空間上垂直分布，通過使墊圈8相對所述第一鏡座1沿圓周旋轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)傾斜調(diào)整；通過設置空氣間隔調(diào)整模塊中位于第二鏡座4下表面的凸臺41和位于傾斜調(diào)整模塊7上表面具有高度不同臺階的階梯71，通過轉(zhuǎn)動第二鏡座4，使凸臺41與不同高度的臺階對應，實現(xiàn)空氣間隔調(diào)整；通過設置位于第一鏡座1或第二鏡座4上的偏心調(diào)整模塊10，帶動第一鏡座1或第二鏡座4沿水平面移動，使第一鏡片2與第二鏡片5的光軸重合，實現(xiàn)偏心調(diào)整。本發(fā) 明實現(xiàn)了鏡組的在線調(diào)整，降低了現(xiàn)有技術(shù)中多次拆裝鏡組帶來的裝配風險，縮短了鏡組的裝調(diào)周期，提高了生產(chǎn)效率。

雖然說明書中對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但這些實施方式只是作為提示，不應限定本發(fā)明的保護范圍。在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)進行各種省略、置換和變更均應包含在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。