本發(fā)明涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置及調(diào)平方法。

背景技術(shù)：

在當(dāng)今信息化社會(huì)，顯示器技術(shù)的快速發(fā)展，使其在人們的生活中扮演著越來越重要的角色。與此同時(shí)，人們對(duì)顯示器的要求也越來越高。最新出現(xiàn)的oled(organiclight-emittingdiode，有機(jī)發(fā)光顯示器)具有超薄、主動(dòng)發(fā)光、高亮度、高對(duì)比度、寬視角、寬工作溫度范圍、低功耗、低成本、全固態(tài)等優(yōu)點(diǎn)，將為人們提供更加理想的顯示畫面，并對(duì)現(xiàn)有的顯示產(chǎn)業(yè)格局產(chǎn)生巨大的影響，也被認(rèn)為是lcd(liquidcrystaldisplay，液晶顯示器)最強(qiáng)有力的競(jìng)爭(zhēng)者。而oled的制作依賴于光刻工藝，在進(jìn)行光刻工藝中，投影物鏡及光電測(cè)量系統(tǒng)對(duì)于曝光成像能否合格起著至關(guān)重要的作用。

現(xiàn)有光刻機(jī)中玻璃基板的尺寸較小，工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)質(zhì)量也較小，因此工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)對(duì)于整機(jī)結(jié)構(gòu)的靜力變形影響較小。然而隨著玻璃基板尺寸的增大，工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)部分的尺寸也隨之加大，從而工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)質(zhì)量也越來越重。然而支撐工件臺(tái)的物體結(jié)構(gòu)的剛度受到限制，從而容易導(dǎo)致工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)對(duì)于整機(jī)結(jié)構(gòu)的靜力變形影響越來越大，最終導(dǎo)致投影物鏡和光電測(cè)量系統(tǒng)位置發(fā)生變化而影響曝光成像等問題。

針對(duì)上述問題，現(xiàn)有技術(shù)中提供了一種光刻機(jī)投影物鏡安裝調(diào)平裝置，用于調(diào)平帶有安裝法蘭的投影物鏡。其可主動(dòng)隔離外界的振動(dòng)和沖擊對(duì)投影物鏡帶來的損害，然而該調(diào)平裝置的調(diào)節(jié)范圍太小，最多只有十幾個(gè)微米，無法滿 足現(xiàn)有調(diào)整要求?，F(xiàn)有技術(shù)中還提供了一種用于投影物鏡的傾斜度調(diào)節(jié)裝置和調(diào)節(jié)物鏡的傾斜度的方法。通過調(diào)節(jié)投影物鏡內(nèi)部結(jié)構(gòu)，來對(duì)自身傾斜的投影物鏡或工件臺(tái)的傾斜進(jìn)行補(bǔ)償。然而該裝置通過第二投影物鏡繞主點(diǎn)中心相對(duì)于第一投影物鏡的邊緣的下表面來調(diào)節(jié)傾斜度，當(dāng)?shù)谝煌队拔镧R的下表面基準(zhǔn)發(fā)生位置改變時(shí)，該種調(diào)節(jié)作用將會(huì)非常小。

之后又出現(xiàn)了一種投影式斜坡曝光光刻機(jī)裝置及方法。通過斜坡空間像對(duì)該玻璃基板的不平度進(jìn)行斜坡曝光。然而該結(jié)構(gòu)主要存在兩方面缺點(diǎn)，一是調(diào)節(jié)范圍較小且具有一定的特殊性；二是該裝置對(duì)工件臺(tái)調(diào)整要求較高且會(huì)限制工件臺(tái)的微調(diào)行程。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供了一種光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置及調(diào)平方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的調(diào)節(jié)范圍小及調(diào)節(jié)效果差的問題。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置，包括工作臺(tái)、用于支撐所述工作臺(tái)的吊框，以及用于支撐所述吊框的吊框支架、設(shè)于所述吊框支架上方的安裝基板、設(shè)于所述安裝基板上的物鏡框架、安裝于所述物鏡框架上的光電測(cè)量系統(tǒng)和至少一個(gè)投影物鏡，還包括與所述物鏡框架表面連接的傳感器測(cè)量系統(tǒng)、設(shè)于所述安裝基板上且與所述物鏡框架連接的主動(dòng)阻尼器、設(shè)于所述主動(dòng)阻尼器下方的垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)、以及分別與所述傳感器測(cè)量系統(tǒng)、主動(dòng)阻尼器和垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)電聯(lián)接的控制器。

進(jìn)一步的，所述傳感器測(cè)量系統(tǒng)的上下兩端分別與所述物鏡框架的下表面和所述吊框上表面連接。

進(jìn)一步的，所述投影物鏡設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述投影物鏡之間設(shè)有空隙，所述光電測(cè)量系統(tǒng)的位置與所述空隙相對(duì)應(yīng)。

進(jìn)一步的，所述主動(dòng)阻尼器包括若干柔性塊和支撐所述柔性塊的第一支撐板，所述第一支撐板位于所述垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)的上方，所述柔性塊的一側(cè)所述物 鏡框架連接。

進(jìn)一步的，所述柔性塊內(nèi)設(shè)有壓電陶瓷，所述壓電陶瓷與控制器連接，用于調(diào)整所述柔性塊的結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述柔性塊設(shè)有三個(gè)，三個(gè)所述柔性塊設(shè)于所述物鏡框架的其中兩條對(duì)邊上。

進(jìn)一步的，設(shè)在所述物鏡框架的同一條邊上的兩個(gè)柔性塊呈倒“八”字設(shè)置，且與所述物鏡框架相應(yīng)邊的夾角均為45°，設(shè)在所述物鏡框架另一條邊上的柔性塊與物鏡框架相應(yīng)邊的夾角為0°。

進(jìn)一步的，所述垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)包括第一楔形塊、設(shè)于所述第一楔形塊上方且與所述第一楔形塊相適配第二楔形塊以及與所述第一楔形塊的一側(cè)連接的傳動(dòng)裝置，用于帶動(dòng)所述第一楔形塊水平運(yùn)動(dòng)，所述第二楔形塊設(shè)于所述第一支撐板下方，且與所述第一支撐板固定連接。

進(jìn)一步的，所述垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)還包括設(shè)于所述第一楔形塊和安裝基板之間的第二支撐板、設(shè)于所述第二支撐板上方且位置與所述傳動(dòng)裝置對(duì)應(yīng)的第一擋塊、設(shè)于所述第一支撐板下方且位置與所述第二楔形塊對(duì)應(yīng)的第二擋塊，所述第二支撐板上設(shè)有支撐所述第一支撐板的彈性支撐件。

進(jìn)一步的，所述第一擋塊和所述第二擋塊的外周包覆有聚氨酯。

進(jìn)一步的，所述彈性支撐件包括若干彈簧。

進(jìn)一步的，所述彈簧設(shè)有4個(gè)，均勻分布于所述第一楔形塊的外周。

進(jìn)一步的，所述第一楔形塊內(nèi)設(shè)有至少一個(gè)第一豎向通孔，所述第二楔形塊內(nèi)設(shè)有與所述第一豎向通孔相適配的第二豎向通孔，所述第一豎向通孔和第二豎向通孔內(nèi)設(shè)有外徑小于所述第一豎向通孔和第二豎向通孔內(nèi)徑的定位銷，所述定位銷的底部固設(shè)于所述第二支撐板上。

進(jìn)一步的，所述定位銷的外周包覆有聚氨酯。

進(jìn)一步的，所述第一豎向通孔和第二豎向通孔的橫截面均為腰形。

進(jìn)一步的，所述第一豎向通孔設(shè)有兩個(gè)，且兩個(gè)所述第一豎向通孔間隙排 列。

進(jìn)一步的，所述物鏡框架采用陶瓷材料制成。

本發(fā)明還提供了一種光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置的調(diào)平方法，包括以下步驟：

粗動(dòng)調(diào)節(jié)，在工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，通過傳感器測(cè)量系統(tǒng)檢測(cè)物鏡框架的垂向位移和傾斜的角度，并將檢測(cè)信息發(fā)送控制器進(jìn)行處理之后控制垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述物鏡框架垂向運(yùn)動(dòng)，使投影物鏡和光電測(cè)量系統(tǒng)與吊框的位置保持相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)；

微動(dòng)調(diào)節(jié)，控制器根據(jù)接收的檢測(cè)信息控制主動(dòng)阻尼器微動(dòng)調(diào)整自身結(jié)構(gòu)，抑制投影物鏡的低頻振動(dòng)，以減小由外界因素引起投影物鏡內(nèi)部的響應(yīng)。

進(jìn)一步的，所述粗動(dòng)調(diào)節(jié)中，所述垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述物鏡框架垂向運(yùn)動(dòng)具體為：傳動(dòng)裝置帶動(dòng)第一楔形塊水平運(yùn)動(dòng)，使其上方的第二楔形塊沿垂向運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述物鏡框架垂向運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步的，所述微動(dòng)調(diào)節(jié)中，所述主動(dòng)阻尼器調(diào)整自身結(jié)構(gòu)具體為：通過控制柔性塊中的壓電陶瓷發(fā)生反應(yīng)，使柔性塊的結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，從而調(diào)整投影物鏡和光電測(cè)量系統(tǒng)與吊框的相對(duì)位置。

本發(fā)明提供的光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置及調(diào)平方法，通過設(shè)置與物鏡框架表面連接的傳感器測(cè)量系統(tǒng)，在工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)實(shí)時(shí)檢測(cè)物鏡框架垂向的位移和傾斜的角度，并將檢測(cè)信息發(fā)送控制器進(jìn)行處理，通過控制器控制垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述物鏡框架垂向運(yùn)動(dòng)，使投影物鏡和光電測(cè)量系統(tǒng)與吊框的位置保持相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)，實(shí)現(xiàn)粗動(dòng)調(diào)節(jié)，同時(shí)控制器根據(jù)檢測(cè)信息控制主動(dòng)阻尼器微動(dòng)調(diào)整自身結(jié)構(gòu)，抑制投影物鏡的低頻振動(dòng)，減小由外界因素引起投影物鏡內(nèi)部的響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)微動(dòng)調(diào)節(jié)。本發(fā)明不僅實(shí)現(xiàn)了投影物鏡和光電測(cè)量系統(tǒng)不受外界振動(dòng)和沖擊的影響的目的，同時(shí)使投影物鏡和光電測(cè)量系統(tǒng)與支撐工件臺(tái)的吊框位置始終保持相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)，從而提高了投影物鏡的曝光成像質(zhì)量以及光電測(cè)量系統(tǒng)的檢測(cè)性能。

附圖說明

圖1是本發(fā)明光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置的俯視圖；

圖3是本發(fā)明垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)的主視圖；

圖4是本發(fā)明垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)的俯視圖。

圖中所示：1、工作臺(tái)；2、吊框；3、吊框支架；4、安裝基板；5、物鏡框架；6、光電測(cè)量系統(tǒng)；7、投影物鏡；8、傳感器測(cè)量系統(tǒng)；9、主動(dòng)阻尼器；91、柔性塊；92、第一支撐板；91a～91c、第一～第三柔性塊；10、垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)；101、第一楔形塊；1011、第一豎向通孔；1021、第二豎向通孔；102、第二楔形塊；103、傳動(dòng)裝置；104、第二支撐板；105、第一擋塊；106、第二擋塊；107、定位銷；108、彈簧；11、控制器。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)描述：

如圖1-2所示，本發(fā)明提供了一種光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置，包括工作臺(tái)1、用于支撐所述工作臺(tái)1的吊框2，以及用于支撐所述吊框2的吊框支架3、設(shè)于所述吊框支架3上方的安裝基板4、設(shè)于所述安裝基板4上的物鏡框架5、安裝于所述物鏡框架5上的光電測(cè)量系統(tǒng)6和至少一個(gè)投影物鏡7，該調(diào)平裝置還包括與所述物鏡框架5表面連接的傳感器測(cè)量系統(tǒng)8、設(shè)于所述安裝基板4上且與所述物鏡框架5連接的主動(dòng)阻尼器9、設(shè)于所述主動(dòng)阻尼器9下方的垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10、以及分別與所述傳感器測(cè)量系統(tǒng)8、主動(dòng)阻尼器9和垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10電聯(lián)接的控制器11。優(yōu)選的，所述物鏡框架5采用陶瓷材料制成，結(jié)構(gòu)剛度很強(qiáng)，若投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6固定在物鏡框架5上，則不會(huì)產(chǎn)生剛體位移。本實(shí)施例中，物鏡框架5直接放在安裝基板4上，外界的振動(dòng)和沖擊通過安裝基板4直接傳遞到物鏡框架5上，即傳遞到投影物鏡7及光電測(cè)量系統(tǒng)5 上，從而使投影物鏡7內(nèi)部的鏡片響應(yīng)發(fā)生變化，造成物鏡成像不達(dá)標(biāo)，因此需要對(duì)其進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整。在工件臺(tái)1運(yùn)動(dòng)的同時(shí)實(shí)時(shí)檢測(cè)物鏡框架5垂向的位移和傾斜的角度，并將檢測(cè)信息發(fā)送控制器11進(jìn)行處理，并通過控制器11控制垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10帶動(dòng)所述物鏡框架5垂向運(yùn)動(dòng)，使投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6與吊框2的位置保持相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)，實(shí)現(xiàn)粗動(dòng)調(diào)節(jié)，同時(shí)控制器11根據(jù)檢測(cè)信息控制主動(dòng)阻尼器9微動(dòng)調(diào)整自身結(jié)構(gòu)，抑制投影物鏡7的低頻振動(dòng)，減小由外界因素引起投影物鏡7內(nèi)部的響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)微動(dòng)調(diào)節(jié)，不僅實(shí)現(xiàn)了投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6不受外界振動(dòng)和沖擊的影響的目的，同時(shí)使投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6保持與支撐工件臺(tái)1的吊框2位置始終保持相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)，從而提高了投影物鏡7的曝光成像質(zhì)量以及光電測(cè)量系統(tǒng)6的檢測(cè)性能。

優(yōu)選的，所述傳感器測(cè)量系統(tǒng)8的上下兩端分別與所述物鏡框架5的下表面和所述吊框2上表面連接，用于在工件臺(tái)1運(yùn)動(dòng)的同時(shí)實(shí)時(shí)檢測(cè)物鏡框架5垂向的位移和傾斜的角度，并將檢測(cè)信息發(fā)送控制器11進(jìn)行處理，得到物鏡框架5的垂向位移和傾斜角度數(shù)據(jù)，并通過得到的數(shù)據(jù)控制垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10帶動(dòng)所述物鏡框架5垂向運(yùn)動(dòng)，同時(shí)控制主動(dòng)阻尼器9微動(dòng)調(diào)整自身結(jié)構(gòu)，抑制投影物鏡7的低頻振動(dòng)，減小由外界因素引起投影物鏡7內(nèi)部的響應(yīng)。

如圖2所示，所述投影物鏡7設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述投影物鏡7之間設(shè)有空隙，所述光電測(cè)量系統(tǒng)6的位置與所述空隙相對(duì)應(yīng)，具體的，物鏡框架5上設(shè)有兩個(gè)與投影物鏡7相適配的通孔，投影物鏡7由上至下安裝于所述通孔內(nèi)，本實(shí)施例中兩個(gè)通孔之間設(shè)有空隙，光電測(cè)量系統(tǒng)6設(shè)于物鏡框架5上表面或下表面，本實(shí)施例中位于下表面，位置與兩個(gè)通孔(也即兩個(gè)投影物鏡7)之間的空隙相對(duì)應(yīng)，需要說明的是，在裝配過程中，先要調(diào)平物鏡框架5，然后再安裝投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6。

如圖2所示，所述主動(dòng)阻尼器9包括若干柔性塊91和支撐所述柔性塊91的第一支撐板92，所述第一支撐板92位于所述垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10的上方，所述柔性塊91的一側(cè)所述物鏡框架5連接。優(yōu)選的，所述柔性塊91內(nèi)設(shè)有壓電陶 瓷(圖中未標(biāo)出)，用于調(diào)整所述柔性塊91自身的結(jié)構(gòu)，所述壓電陶瓷與控制器11連接，在控制器11的控制下發(fā)生反應(yīng)，微動(dòng)調(diào)整柔性塊91的結(jié)構(gòu)，從而抑制投影物鏡7的低頻振動(dòng)。優(yōu)選的，所述柔性塊91設(shè)有三個(gè)，設(shè)于所述物鏡框架5的其中兩條對(duì)邊上，即其中一條邊上對(duì)應(yīng)一個(gè)柔性塊91，另一條對(duì)邊上對(duì)應(yīng)兩個(gè)柔性塊91，為了清楚描述，將三個(gè)柔性塊91分別標(biāo)為第一、二、三柔性塊91a、91b、91c，如圖2所示，其中第一柔性塊91a和第二柔性塊91b設(shè)于同一條邊上，第三柔性塊91c設(shè)于另一條對(duì)邊上。優(yōu)選的，所述位于同一條邊上的兩個(gè)柔性塊91即第一柔性塊91a和第二柔性塊91b呈倒“八”字設(shè)置，且與所述物鏡框架5相應(yīng)邊的夾角均為45°，即第一柔性塊91a和第二柔性塊91b的相應(yīng)邊與所述物鏡框架5呈45度角傾斜設(shè)置，且兩者的傾斜方向相反，形成倒八字形，以抵消由外界振動(dòng)和沖擊帶來水平向的影響，設(shè)于所述物鏡框架5另一條邊上的柔性塊91(即第三柔性塊91c)與相應(yīng)邊的夾角為0°，即第三柔性塊91c的相應(yīng)邊與物鏡框架5的對(duì)應(yīng)邊貼合。第一、二、三柔性塊91a、91b、91c三者形成三點(diǎn)支撐，效果穩(wěn)定。需要說明的是，柔性塊91的外部結(jié)構(gòu)與中國(guó)專利cn101226345a中的相同，此處不做贅述。

優(yōu)選的，所述垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10包括第一楔形塊101、設(shè)于所述第一楔形塊101上方且與所述第一楔形塊101相適配第二楔形塊102以及與所述第一楔形塊101的一側(cè)連接的傳動(dòng)裝置103，用于帶動(dòng)所述第一楔形塊101水平運(yùn)動(dòng)，所述第二楔形塊102設(shè)于所述第一支撐板92下方，且與所述第一支撐板92固定連接，具體的，可通過螺釘?shù)葎傂赃B接件連接，以保證兩者的連接強(qiáng)度。優(yōu)選的，該垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10還包括設(shè)于所述第一楔形塊101和安裝基板4之間的第二支撐板104、設(shè)于所述第二支撐板104上方且位置與所述傳動(dòng)裝置103對(duì)應(yīng)的第一擋塊105、設(shè)于所述第一支撐板92下方且位置與所述第二楔形102塊對(duì)應(yīng)的第二擋塊106。優(yōu)選的，所述第一擋塊105和所述第二擋塊106的外周包覆有聚氨酯。所述第二支撐板104上設(shè)有支撐所述第一支撐板92的彈性支撐件，所述彈性支撐件包括若干彈簧108，優(yōu)選的，所述彈簧108設(shè)有4個(gè)，均勻分布于所述 第一楔形塊101的外周，從而滿足柔性塊91所需的支撐剛度需求。具體的，傳動(dòng)裝置103帶動(dòng)第一楔形塊101水平運(yùn)動(dòng)，使其上方的第二楔形塊102沿垂向運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述物鏡框架5垂向運(yùn)動(dòng)，如圖3-4所示，當(dāng)傳動(dòng)裝置103帶動(dòng)第一楔形塊101向左運(yùn)動(dòng)時(shí)，第二楔形塊102沿垂向上升，反之，當(dāng)傳動(dòng)裝置103帶動(dòng)第一楔形塊101向右運(yùn)動(dòng)時(shí)，第二楔形塊102沿垂向下降，以恢復(fù)物鏡框架5原始的狀態(tài)，即保證投影物鏡7及光電測(cè)量系統(tǒng)6的位置與吊框2的位置保持相對(duì)不變，且在第一楔形塊101和第二楔形塊102在運(yùn)動(dòng)的過程中分別受第一擋塊105和第二擋塊106的阻擋作用，運(yùn)動(dòng)行程受到限制，因此根據(jù)實(shí)際需要設(shè)計(jì)第一擋塊105與第一楔形塊101之間以及第二擋塊106與第二楔形塊102之間的距離即可控制垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10的調(diào)整范圍。

優(yōu)選的，所述第一楔形塊101內(nèi)設(shè)有至少一個(gè)第一豎向通孔1011，所述第二楔形塊102內(nèi)設(shè)有與所述第一豎向通孔1011相適配的第二豎向通孔1021，如圖3-4所示，所述第一豎向通孔1011設(shè)有兩個(gè)，且兩個(gè)所述第一豎向通孔1011之間間隔分布，第二豎向通孔1021與第一豎向通孔1011的位置和大小均對(duì)應(yīng)。所述第一豎向通孔1011和第二豎向通孔1021內(nèi)設(shè)有外徑小于所述第一豎向通孔1011和第二豎向通孔1021內(nèi)徑的定位銷107，所述定位銷107的底部固設(shè)于所述第二支撐板104上，所述定位銷107的外周包覆有聚氨酯。優(yōu)選的，所述第一豎向通孔1011和第二豎向通孔1021的橫截面均為腰形，如圖4所示，實(shí)際工作時(shí)，所述第一楔形塊101的單向運(yùn)動(dòng)行程小于所述第一豎向通孔1011與所述定位銷107之間的間隙，使得所述定位銷107不干擾所述第一楔形塊101的移動(dòng)。

通過設(shè)置第一擋塊105、第二擋塊106和定位銷107不僅可以防止因傳動(dòng)裝置103出現(xiàn)故障，而導(dǎo)致第二楔形塊102下滑，從而與物鏡框架5或投影物鏡7發(fā)生撞擊；同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)限制調(diào)整的范圍的作用，因調(diào)整范圍越大，垂向距離越高，彈簧108的受力就越大支撐柔性塊91的整體剛度下降越大，滿足不了柔性塊91調(diào)整的剛度需求。

本發(fā)明還提供一種光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置的調(diào)平方法，包括以下步驟：

粗動(dòng)調(diào)節(jié)，在工件臺(tái)1運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，通過傳感器測(cè)量系統(tǒng)8檢測(cè)物鏡框架6的垂向的位移和傾斜的角度，并將檢測(cè)信息發(fā)送控制器11進(jìn)行處理之后控制垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10帶動(dòng)所述物鏡框架5垂向運(yùn)動(dòng)，使投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6與吊框2的位置保持相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)；所述垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10帶動(dòng)所述物鏡框架5垂向運(yùn)動(dòng)具體為：傳動(dòng)裝置103帶動(dòng)第一楔形塊101水平運(yùn)動(dòng)，使其上方的第二楔形塊102沿垂向運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述物鏡框架5垂向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)傳動(dòng)裝置103帶動(dòng)第一楔形塊101向左運(yùn)動(dòng)時(shí)，第二楔形塊102沿垂向上升，反之，當(dāng)傳動(dòng)裝置103帶動(dòng)第一楔形塊101向右運(yùn)動(dòng)時(shí)，第二楔形塊102沿垂向下降，以恢復(fù)物鏡框架5原始的狀態(tài)，即保證投影物鏡7及光電測(cè)量系統(tǒng)6的位置與吊框2的位置保持相對(duì)不變，且在第一楔形塊101和第二楔形塊102在運(yùn)動(dòng)的過程中分別受第一擋塊105和第二擋塊106的阻擋作用，運(yùn)動(dòng)行程受到限制，因此根據(jù)實(shí)際需要設(shè)計(jì)第一擋塊105與第一楔形塊101之間以及第二擋塊106與第二楔形塊102之間的距離即可控制垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10的調(diào)整范圍。

微動(dòng)調(diào)節(jié)，控制器11根據(jù)接收的檢測(cè)信息控制主動(dòng)阻尼器9微動(dòng)調(diào)整自身結(jié)構(gòu)，抑制投影物鏡7的低頻振動(dòng)，以減小由外界因素引起投影物鏡7內(nèi)部的響應(yīng)，所述主動(dòng)阻尼器9調(diào)整自身結(jié)構(gòu)具體為：通過控制柔性塊91中的壓電陶瓷發(fā)生反應(yīng)，使柔性塊91的結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，從而調(diào)整投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6與吊框2的相對(duì)位置。不僅實(shí)現(xiàn)了投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6不受外界振動(dòng)和沖擊的影響的目的，同時(shí)使投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6保持與支撐工件臺(tái)1的吊框2位置始終保持相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)，從而提高了投影物鏡7的曝光成像質(zhì)量以及光電測(cè)量系統(tǒng)6的檢測(cè)性能。

綜上所述，本發(fā)明提供的光刻機(jī)投影物鏡的調(diào)平裝置及調(diào)平方法，通過設(shè)置與物鏡框架5表面連接的傳感器測(cè)量系統(tǒng)8，在工件臺(tái)1運(yùn)動(dòng)的同時(shí)實(shí)時(shí)檢測(cè)物鏡框架5的垂向位移和傾斜的角度，并將檢測(cè)信息發(fā)送控制器11進(jìn)行處理，通過控制器11控制垂向調(diào)整機(jī)構(gòu)10帶動(dòng)所述物鏡框架5垂向運(yùn)動(dòng)，使投影物 鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6與吊框2的位置保持相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)，實(shí)現(xiàn)粗動(dòng)調(diào)節(jié)，同時(shí)控制器11根據(jù)檢測(cè)信息控制主動(dòng)阻尼器9微動(dòng)調(diào)整自身結(jié)構(gòu)，抑制投影物鏡7的低頻振動(dòng)，減小由外界因素引起投影物鏡7內(nèi)部的響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)微動(dòng)調(diào)節(jié)。本發(fā)明不僅實(shí)現(xiàn)了投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6不受外界振動(dòng)和沖擊的影響的目的，同時(shí)使投影物鏡7和光電測(cè)量系統(tǒng)6與支撐工件臺(tái)1的吊框2的位置始終保持相對(duì)靜止?fàn)顟B(tài)，從而提高了投影物鏡7的曝光成像質(zhì)量以及光電測(cè)量系統(tǒng)的檢測(cè)性能。

雖然說明書中對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但這些實(shí)施方式只是作為提示，不應(yīng)限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種省略、置換和變更均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。