本發(fā)明涉及光刻機設(shè)備的制造領(lǐng)域，具體涉及一種用于光刻機曝光的快門裝置及其使用方法。

背景技術(shù)：

光刻技術(shù)是用于在襯底表面上印刷具有特征的構(gòu)圖。經(jīng)常使用的基片為表面涂有光敏感介質(zhì)的半導體晶片或玻璃基片。在光刻過程中，晶片放在晶片臺上，通過處在光刻設(shè)備內(nèi)的曝光裝置，將特征構(gòu)圖投射到晶片表面。

光刻機的一個重要指標是曝光劑量，曝光劑量過大或不足都將影響光刻膠顯影效果，因此對于曝光劑量的精確控制將直接影響光刻機的刻蝕精度。

現(xiàn)有中低端光刻機的曝光系統(tǒng)采用高壓汞燈作為光源，曝光開始、結(jié)束由光路中的機械快門控制，曝光劑量大小由曝光時間確定。具體過程如下：

1)首先通過預熱和環(huán)境控制使高壓汞燈輸出光功率達到穩(wěn)定；

2)接著計算曝光時間，打開快門開始曝光，同步開始計時；

3)最后時間到，關(guān)閉快門，曝光結(jié)束。

近年來，隨著汞燈輸出功率不斷增加，這就意味著在相同的曝光劑量下，曝光快門的開閉時間必須更短。然而，傳統(tǒng)的機械式快門由于結(jié)構(gòu)的限制，快門開閉時間已然接近極限，若一味地提高曝光快門的功率只會增加控制系統(tǒng)的負擔。同時，長時間超功率的運作也增加了系統(tǒng)的不穩(wěn)定性。

針對上述問題，現(xiàn)有技術(shù)中提供了一種用于光刻機曝光分系統(tǒng)的快門裝置，在高功率音圈電機的帶動下使快門高速開閉，然而為達到更短的快門開閉時間，音圈電機通常處于大功率運行狀態(tài)，然而音圈電機本身的可靠性和穩(wěn)定性未能 達到實際需求，致使該快門在工作過程中頻發(fā)諸多問題，最終影響了光刻機的穩(wěn)定性和光刻效果。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供了一種用于光刻機曝光的快門裝置及其使用方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的可靠性和穩(wěn)定性不高的問題。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種用于光刻機曝光的快門裝置，包括快門葉片、驅(qū)動所述快門葉片旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機、與所述旋轉(zhuǎn)電機電聯(lián)接的控制器和用于支撐所述旋轉(zhuǎn)電機的底座，所述快門葉片包括一旋轉(zhuǎn)中心，以及對應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)中心設(shè)置的至少一開口區(qū)域和遮蔽區(qū)域，所述旋轉(zhuǎn)中心連接至所述旋轉(zhuǎn)電機，所述旋轉(zhuǎn)電機帶動所述快門葉片旋轉(zhuǎn)完成快門的開閉動作，以形成曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域，且在形成所述曝光區(qū)域和所述非曝光區(qū)域過程中，所述旋轉(zhuǎn)電機和/或快門葉片旋轉(zhuǎn)速度不為零。

進一步的，所述快門葉片的旋轉(zhuǎn)中心和旋轉(zhuǎn)電機之間還設(shè)有連接塊。

進一步的，所述旋轉(zhuǎn)電機與所述連接塊之間還設(shè)有減速器。

進一步的，所述底座與所述減速器固定連接。

進一步的，所述快門葉片中的開口區(qū)域和遮蔽區(qū)域分別為1個，所述開口區(qū)域和遮蔽區(qū)域?qū)?yīng)的圓心角均為180度。

進一步的，所述快門葉片中的開口區(qū)域和遮蔽區(qū)域分別為2個，沿所述旋轉(zhuǎn)中心對稱設(shè)置，所述開口區(qū)域和遮蔽區(qū)域?qū)?yīng)的圓心角均為90度。

進一步的，所述快門葉片中的開口區(qū)域和遮蔽區(qū)域分別為3個，沿所述旋轉(zhuǎn)中心間隔設(shè)置，所述開口區(qū)域和遮蔽區(qū)域?qū)?yīng)的圓心角均為60度。

進一步的，所述遮蔽區(qū)域包括沿所述旋轉(zhuǎn)中心由內(nèi)而外同心設(shè)置的鏤空部分和光斑掃描區(qū)域遮蔽部分。

進一步的，所述鏤空部分呈扇環(huán)形，所述光斑掃描區(qū)域遮蔽部分呈環(huán)形。

本發(fā)明還提供了一種用于光刻機曝光的快門裝置的使用方法，包括以下步 驟：

s1：安裝快門葉片、旋轉(zhuǎn)電機、控制器和底座，所述快門葉片具有一旋轉(zhuǎn)中心，以及對應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)中心設(shè)置的至少一開口區(qū)域和遮蔽區(qū)域；

s2：通過控制器控制所述旋轉(zhuǎn)電機旋轉(zhuǎn)，從而帶動所述快門葉片旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)過程中完成快門的開閉動作，以形成曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域。

進一步的，所述步驟s1中，所述遮蔽區(qū)域包括沿所述旋轉(zhuǎn)中心由內(nèi)而外同心設(shè)置的鏤空部分和光斑掃描區(qū)域遮蔽部分。

進一步的，所述鏤空部分呈扇環(huán)形，所述光斑掃描區(qū)域遮蔽部分呈環(huán)形。

進一步的，所述步驟s2中，在形成所述曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域過程中，所述控制器控制旋轉(zhuǎn)電機啟動后，帶動所述快門葉片進行加速-勻速-減速-靜止-加速的循環(huán)運動。

進一步的，在所述快門關(guān)閉階段中，所述快門葉片完成所述加速過程和減速過程，在所述快門打開階段，所述快門葉片處于勻速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。

進一步的，所述步驟s2中，在形成所述曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域過程中，所述控制器控制所述旋轉(zhuǎn)電機啟動后，帶動所述快門葉片進行加速-勻速-減速-勻速-加速的循環(huán)運動。

進一步的，在所述快門關(guān)閉階段中，所述快門葉片完成所述加速過程和減速過程，在所述快門打開階段，所述快門葉片處于勻速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。

進一步的，所述旋轉(zhuǎn)電機加速后的恒定速度≥10倍減速后的恒定速度。

本發(fā)明提供的用于光刻機曝光的快門裝置及其使用方法，通過在快門葉片中設(shè)置一旋轉(zhuǎn)中心以及對應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)中心設(shè)置的至少一開口區(qū)域和遮蔽區(qū)域，將旋轉(zhuǎn)中心連接至所述旋轉(zhuǎn)電機，所述旋轉(zhuǎn)電機帶動所述快門葉片旋轉(zhuǎn)，完成快門的開閉動作，以形成曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域，通過在遮蔽區(qū)域中設(shè)置鏤空部分，有效減輕了快門葉片的質(zhì)量，提高對快門葉片旋轉(zhuǎn)過程中的控制效果，提高了對曝光劑量的控制準確度。通過控制器的控制作用，將快門的開閉過程設(shè)于快門葉片的勻速運動的階段，將快門葉片的加速和減速過程設(shè)于時間和行 程都較為寬裕的快門關(guān)閉階段，大大降低了對旋轉(zhuǎn)電機的轉(zhuǎn)矩的要求，同時由于旋轉(zhuǎn)電機的轉(zhuǎn)速較高，有效縮短了快門的開閉時間，進一步提高了對曝光劑量的控制準確度，提高了光刻機的光刻效果。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例1中用于光刻機曝光的快門裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實施例1快門葉片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3a-3b是本發(fā)明實施例1快門關(guān)閉狀態(tài)的示意圖；

圖4a-4b是本發(fā)明實施例1快門全開狀態(tài)的示意圖；

圖5a-5b分別是本發(fā)明實施例1快門半開和半閉狀態(tài)的示意圖；

圖6是本發(fā)明實施例1快門葉片在不同曝光狀態(tài)下的旋轉(zhuǎn)速度示意圖；

圖7是本發(fā)明實施例1中快門在一個曝光周期內(nèi)的曝光劑量理論利用率；

圖8是本發(fā)明實施例2快門葉片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9是本發(fā)明實施例4快門葉片在不同曝光狀態(tài)下的旋轉(zhuǎn)速度示意圖。

圖中所示：1、快門葉片；11、旋轉(zhuǎn)中心；12、開口區(qū)域；13、遮蔽區(qū)域；131、鏤空部分；132、光斑掃描區(qū)域遮蔽部分；2、旋轉(zhuǎn)電機；3、底座；4、連接塊；5、減速器；6、光斑。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作詳細描述。

實施例1

如圖1-7所示，本發(fā)明提供了一種用于光刻機曝光的快門裝置，包括快門葉片1、驅(qū)動所述快門葉片1旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機2、與所述旋轉(zhuǎn)電機2電聯(lián)接的控制器(圖中未標出)和用于支撐所述旋轉(zhuǎn)電機2的底座3，所述快門葉片1包括一旋轉(zhuǎn)中心11，以及對應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)中心11設(shè)置的至少一開口區(qū)域12和遮蔽區(qū)域13，所述旋轉(zhuǎn)中心11連接至所述旋轉(zhuǎn)電機2，所述旋轉(zhuǎn)電機2帶動所述快門葉 片1旋轉(zhuǎn)完成快門的開閉動作，以形成曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域，且在形成所述曝光區(qū)域和所述非曝光區(qū)域過程中，所述旋轉(zhuǎn)電機2和/或快門葉片1的旋轉(zhuǎn)速度不為零。

請繼續(xù)參照圖1，所述快門葉片1的旋轉(zhuǎn)中心11和旋轉(zhuǎn)電機2之間還設(shè)有連接塊4，用于將所述快門葉片1的旋轉(zhuǎn)中心11與旋轉(zhuǎn)電機2的輸出軸進行有效固定，避免兩者發(fā)生相對運動，提高對快門葉片1旋轉(zhuǎn)過程中的控制效果。

請繼續(xù)參照圖1，所述旋轉(zhuǎn)電機2與所述連接塊4之間還設(shè)有減速器5，具體的，本實施中，減速器5的選型速度比為4:1，減速器5與旋轉(zhuǎn)電機2的輸出軸連接，減速器5用于協(xié)調(diào)旋轉(zhuǎn)電機2極限轉(zhuǎn)速和極限扭矩之間的矛盾，由于扭矩越高旋轉(zhuǎn)電機2的功率越大，這里通過設(shè)置減速器5在不增大旋轉(zhuǎn)電機2功率的同時增加輸出的扭矩。

優(yōu)選的，所述底座3與所述減速器5固定連接，具體的，所述底座3設(shè)于減速器5下方，對整個快門裝置進行支撐。

如圖2所示，所述快門葉片1中的開口區(qū)域12和遮蔽區(qū)域13分別為2個，沿所述旋轉(zhuǎn)中心11對稱設(shè)置，所述開口區(qū)域12和遮蔽區(qū)域13對應(yīng)的圓心角均為90度。

優(yōu)選的，所述遮蔽區(qū)域13包括沿所述旋轉(zhuǎn)中心11由內(nèi)而外同心設(shè)置的鏤空部分131和光斑掃描區(qū)域遮蔽部分132，如圖2所示，所述鏤空部分131呈扇環(huán)形，有效減輕了快門葉片的質(zhì)量，提高對快門葉片旋轉(zhuǎn)過程中的控制效果，提高了對曝光劑量的控制準確度。所述光斑掃描區(qū)域遮蔽部分132呈環(huán)形，實現(xiàn)快門葉片1旋轉(zhuǎn)過程中對光斑6進行遮擋，形成非曝光區(qū)域。

本發(fā)明還提供了一種用于光刻機曝光的快門裝置的使用方法，包括以下步驟：

s1：安裝快門葉片1、旋轉(zhuǎn)電機2、控制器和底座3，所述快門葉片1具有一旋轉(zhuǎn)中心11，以及對應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)中心11設(shè)置的至少一開口區(qū)域12和遮蔽區(qū)域13，所述遮蔽區(qū)域13包括沿所述旋轉(zhuǎn)中心11由內(nèi)而外同心設(shè)置的鏤空部分 131和光斑掃描區(qū)域遮蔽部分132，所述鏤空部分131呈扇環(huán)形，有效減輕了快門葉片的質(zhì)量，提高對快門葉片旋轉(zhuǎn)過程中的控制效果，提高了對曝光劑量的控制準確度。

s2：通過控制器驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)電機2旋轉(zhuǎn)，從而帶動所述快門葉片1旋轉(zhuǎn)，形成曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域。優(yōu)選的，在形成所述曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域過程中，所述控制器控制旋轉(zhuǎn)電機2啟動后，帶動快門葉片1進行加速-勻速-減速-靜止-加速的循環(huán)運動。如圖6所示，在所述快門關(guān)閉階段中，即對應(yīng)圖中的非曝光區(qū)域，所述快門葉片1完成所述加速過程和減速過程，在所述快門打開階段，即對應(yīng)圖中的曝光區(qū)域，所述快門葉片1處于勻速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。具體的，快門打開階段包括快門半開、半閉階段和全開狀態(tài)，如圖3a-5b所示。通過控制器的控制作用，將快門的開閉過程設(shè)于快門葉片1的勻速運動的階段，將快門葉片1的加速和減速過程設(shè)于時間和行程都較為寬裕的快門關(guān)閉階段，大大降低了對旋轉(zhuǎn)電機2的轉(zhuǎn)矩的要求，同時由于旋轉(zhuǎn)電機2的轉(zhuǎn)速較高，有效縮短了快門的開閉時間，進一步提高了對曝光劑量的控制準確度，提高了光刻機的光刻效果。

針對本實施例中的快門葉片1結(jié)構(gòu)，在快門葉片1從半開狀態(tài)-全開狀態(tài)-半閉狀態(tài)這一勻速轉(zhuǎn)動周期內(nèi)，曝光劑量的理論利用率為58.75％，如圖7所示。

設(shè)入射光的照度是g，曝光的需求劑量為k，則曝光時間t為：

由于設(shè)有減速器5，選型速度比4:1，非曝光區(qū)域為1/4圓周，則旋轉(zhuǎn)電機2的轉(zhuǎn)速p為：

設(shè)本實施例中入射光的照度g＝3000mw/cm²，以最小曝光計量k為80mj 計算得到：

旋轉(zhuǎn)電機2的轉(zhuǎn)速p為：

本實施中，非曝光區(qū)域占圓周1/4，旋轉(zhuǎn)電機2必須在該區(qū)域內(nèi)完成減速到0，再加速到7661rpm的過程，故角加速度為：

其中v為旋轉(zhuǎn)電機2的線性轉(zhuǎn)速。

根據(jù)本實施例中的快門葉片1的結(jié)構(gòu)計算得到轉(zhuǎn)動慣量j＝1.2×10-5kg/m²，代入到扭矩公式可得：

在該條件下，非曝光狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)電機2的運動時間為31.3ms。根據(jù)非曝光時長的需求，在快門葉片1停止旋轉(zhuǎn)的階段選擇停留時間。

實施例2

如圖8所示，與實施例1不同的是，所述快門葉片1中的開口區(qū)域12和遮蔽區(qū)域13分別為1個，所述開口區(qū)域12和遮蔽區(qū)域13對應(yīng)的圓心角均為180度。同時在結(jié)構(gòu)上去除了減速器5，直接由旋轉(zhuǎn)電機2帶動快門葉片1旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選的，所述遮蔽區(qū)域13包括沿所述旋轉(zhuǎn)中心11由內(nèi)而外同心設(shè)置的鏤空部分131和光斑掃描區(qū)域遮蔽部分132，所述鏤空部分131呈扇環(huán)形，有效減輕了快門葉片的質(zhì)量，提高對快門葉片旋轉(zhuǎn)過程中的控制效果，提高了對曝光劑量的控制準確度。所述光斑掃描區(qū)域遮蔽部分132呈環(huán)形，實現(xiàn)快門葉片1旋轉(zhuǎn)過 程中對光斑進行遮擋，形成非曝光區(qū)域。本實施例中，快門葉片1中開口區(qū)域11和遮蔽區(qū)域12分別為1個，以縮短快門葉片1半開或半閉狀態(tài)占整個曝光周期的時間，從而提高了曝光劑量的利用率。

針對本實施例中的快門葉片1結(jié)構(gòu)，在快門葉片1從半開狀態(tài)-全開狀態(tài)-半閉狀態(tài)這一勻速轉(zhuǎn)動周期內(nèi)，曝光劑量的理論利用率為86.11％。

設(shè)入射光的照度是g，曝光的需求劑量為k，則曝光時間t為：

非曝光區(qū)域為1/2圓周，旋轉(zhuǎn)電機2的轉(zhuǎn)速p為：

非曝光區(qū)域占圓周1/2，旋轉(zhuǎn)電機2必須在該區(qū)域內(nèi)完成減速到0，再加速到4491rpm的過程，故角加速度為：

其中v為旋轉(zhuǎn)電機2的線性轉(zhuǎn)速。

根據(jù)本實施例中的快門葉片1的結(jié)構(gòu)計算得到轉(zhuǎn)動慣量j＝1×10-5kg/m2，代入到扭矩公式得：

t＝j(luò)×ε×1000＝256mnm(10)

在該條件下，非曝光狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)電機2的運動時間為26.7ms。根據(jù)非曝光時長的需求，在曝光快門葉片1停止旋轉(zhuǎn)的階段選擇停留時間。

實施例3

與實施例1不同的是，所述快門葉片1中的開口區(qū)域12和遮蔽區(qū)域13分別為3個，沿所述旋轉(zhuǎn)中心11間隔設(shè)置，所述開口區(qū)域12和遮蔽區(qū)域13對應(yīng)的圓心角均為60度。優(yōu)選的，所述遮蔽區(qū)域13包括沿所述旋轉(zhuǎn)中心11由內(nèi)而外同心設(shè)置的鏤空部分131和光斑掃描區(qū)域遮蔽部分132，所述鏤空部分131呈 扇環(huán)形，有效減輕了快門葉片的質(zhì)量，提高對快門葉片旋轉(zhuǎn)過程中的控制效果，提高了對曝光劑量的控制準確度。所述光斑掃描區(qū)域遮蔽部分132呈環(huán)形，實現(xiàn)快門葉片1旋轉(zhuǎn)過程中對光斑進行遮擋，形成非曝光區(qū)域。

針對本實施例中的快門葉片1結(jié)構(gòu)，在快門葉片1從半開狀態(tài)-全開狀態(tài)-半閉狀態(tài)這一勻速轉(zhuǎn)動周期內(nèi)，曝光劑量的理論利用率為50％。

設(shè)入射光的照度是g，曝光的需求劑量為k，則曝光時間t為：

由于設(shè)有減速器5，選型速度比4:1，非曝光區(qū)域為1/6圓周，則旋轉(zhuǎn)電機2的轉(zhuǎn)速p為：

非曝光區(qū)域占圓周1/6，電機必須在該區(qū)域內(nèi)完成減速到0，再加速到5217rpm的過程，故角加速度為：

根據(jù)本實施例中的快門葉片1的結(jié)構(gòu)計算得到轉(zhuǎn)動慣量j＝1×10-5kg/m2，代入到扭矩公式得：

在該條件下，非曝光狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)電機2的運動時間為30ms。根據(jù)非曝光時長的需求，在曝光快門葉片1停止旋轉(zhuǎn)的階段選擇停留時間。

實施例4

與實施例不同的是，本實施例中提供一種用于光刻機曝光的快門裝置的使用方法，包括以下步驟：

s1：安裝快門葉片、旋轉(zhuǎn)電機、控制器和底座，所述快門葉片具有一旋轉(zhuǎn) 中心，以及對應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)中心設(shè)置的至少一開口區(qū)域和遮蔽區(qū)域；

s1：安裝快門葉片1、旋轉(zhuǎn)電機2、控制器和底座3，所述快門葉片1具有一旋轉(zhuǎn)中心11，以及對應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)中心11設(shè)置的至少一開口區(qū)域12和遮蔽區(qū)域13，所述遮蔽區(qū)域13包括沿所述旋轉(zhuǎn)中心11由內(nèi)而外同心設(shè)置的鏤空部分131和光斑掃描區(qū)域遮蔽部分132，所述鏤空部分131呈扇環(huán)形，有效減輕了快門葉片1的質(zhì)量，提高對快門葉片1旋轉(zhuǎn)過程中的控制效果，提高了對曝光劑量的控制準確度。

s2：通過控制器驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)電機2旋轉(zhuǎn)，從而帶動所述快門葉片1旋轉(zhuǎn)，形成曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域。優(yōu)選的，在形成所述曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域過程中，所述控制器控制旋轉(zhuǎn)電機2啟動后，帶動快門葉片1進行加速-勻速-減速-勻速-加速的循環(huán)運動，如圖9所示。優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)電機2加速后的恒定速度≥10倍減速后的恒定速度。該種快門葉片1旋轉(zhuǎn)速度變化的周期適合曝光時間長，且快門關(guān)閉時間短的情況。由于快門關(guān)閉時間短，該方案對于光源的照度利用率較高。此外，由于旋轉(zhuǎn)電機2在啟動時電流極大，過大的電流會導致旋轉(zhuǎn)電機2內(nèi)部積聚更多的熱量，進而導致旋轉(zhuǎn)電機2內(nèi)部結(jié)構(gòu)膨脹，導致旋轉(zhuǎn)電機2卡死甚至導線短路的問題。而本實施例中，由于帶動快門葉片1的旋轉(zhuǎn)電機2一直處于運動狀態(tài)，避免需要經(jīng)常啟動而引起的問題，從而提高快門的可靠性，延長其使用壽命。

綜上所述，本發(fā)明提供的用于光刻機曝光的快門裝置及其使用方法，通過在快門葉片1中設(shè)置一旋轉(zhuǎn)中心11以及對應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)中心11設(shè)置的至少一開口區(qū)域12和遮蔽區(qū)域13，將旋轉(zhuǎn)中心11連接至所述旋轉(zhuǎn)電機2，所述旋轉(zhuǎn)電機2帶動所述快門葉片1旋轉(zhuǎn)，完成快門的開閉動作，以形成曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域，通過在遮蔽區(qū)域13中設(shè)置鏤空部分131，有效減輕了快門葉片1的質(zhì)量，提高對快門葉片1旋轉(zhuǎn)過程中的控制效果，提高了對曝光劑量的控制準確度。通過控制器的控制作用，將快門的開閉過程設(shè)于快門葉片1的勻速運動的階段，將快門葉片1的加速和減速過程設(shè)于時間和行程都較為寬裕的快門關(guān)閉 階段，大大降低了對旋轉(zhuǎn)電機2的轉(zhuǎn)矩的要求，同時由于旋轉(zhuǎn)電機2的轉(zhuǎn)速較高，有效縮短了快門的開閉時間，進一步提高了對曝光劑量的控制準確度，提高了光刻機的光刻效果。

雖然說明書中對本發(fā)明的實施方式進行了說明，但這些實施方式只是作為提示，不應(yīng)限定本發(fā)明的保護范圍。在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)進行各種省略、置換和變更均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。