技術(shù)總結(jié)
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種壓印裝置，用于使模具與施加在基片上的樹(shù)脂接觸，以便執(zhí)行在基片上形成圖形，所述壓印裝置包括：分配器，所述分配器構(gòu)造成將樹(shù)脂施加在基片上；以及樹(shù)脂供給單元，所述樹(shù)脂供給單元構(gòu)造成將樹(shù)脂供給至分配器，其中，所述樹(shù)脂供給單元包括：樹(shù)脂儲(chǔ)存儲(chǔ)罐，所述樹(shù)脂儲(chǔ)存儲(chǔ)罐構(gòu)造成儲(chǔ)存樹(shù)脂；泵，所述泵構(gòu)造成使樹(shù)脂在所述樹(shù)脂儲(chǔ)存儲(chǔ)罐和分配器之間連續(xù)循環(huán)；以及過(guò)濾器，所述過(guò)濾器布置在被循環(huán)的樹(shù)脂的流動(dòng)通路處，并構(gòu)造成除去異物或金屬離子。還提供了一種物品制造方法。

技術(shù)研發(fā)人員：V·N·特拉斯凱特;宮島義一;M·S·沙夫蘭;李索爾
受保護(hù)的技術(shù)使用者：佳能株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201610325478
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.17
技術(shù)公布日：2016.11.30