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降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11862777閱讀:423來源:國知局
降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及熔結(jié)結(jié)構(gòu),具體涉及一種玻璃粉的熔結(jié)結(jié)構(gòu)。



背景技術(shù):

AM-OLED的Frit(熔結(jié))封裝工藝是為了最大限度地避免水分和氧氣的滲透。是在面板邊緣的透明陽極和金屬反射陰極之間使用熔結(jié)玻璃粉,激光通過透明陽極加熱熔結(jié)玻璃粉,使玻璃粉熔結(jié),形成水分和氧氣的壁障。

但是由于激光均勻性(laser uniformity)的原因,激光光束的能量分布由中心向邊緣成正態(tài)分布。為了保證光束的平均能量強度可以滿足熔結(jié)能量閾值,往往光束中心的能量強度大大高于熔結(jié)能量閾值,使得熔結(jié)玻璃粉一側(cè)的LTPS膜層中H+釋放,在玻璃粉熔結(jié)過程中氣化,使熔結(jié)的玻璃中產(chǎn)生大量的空孔,形成細(xì)小的水分和氧氣的通道,降低了玻璃粉熔結(jié)后的壁障效果。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

有鑒于此,本發(fā)明提供一種降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),解決玻璃粉的熔結(jié)過程中能量分布不均勻,熔結(jié)的玻璃中易于產(chǎn)生大量空孔的技術(shù)問題。

本發(fā)明的降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),在激光頭和熔結(jié)材料之間,沿激光頭的主光軸,依次設(shè)置激光束調(diào)整透鏡和半透半反射透鏡,激光光斑照射熔結(jié)材料完成熔結(jié)過程。

所述半透半反射透鏡的直徑小于半透半反射透鏡設(shè)置位置的激光束調(diào)整透鏡出射光斑的直徑。

所述半透半反射透鏡鍍單層半透膜或復(fù)合層半透膜。

所述激光束調(diào)整透鏡出射的激光形成第一光斑,通過半透半反射透鏡出射的激光形成第二光斑,第二光斑位于第一光斑中心,第一光斑與第二光斑的能量相當(dāng)或者第一光斑的能量大于第二光斑的能量。

所述半透半反射透鏡設(shè)置為凹透鏡。

所述半透半反射透鏡設(shè)置為平光透鏡。

所述激光束調(diào)整透鏡為一組沿主光軸可調(diào)節(jié)的透鏡。

所述半透半反射透鏡為一組沿主光軸可調(diào)節(jié)的透鏡。

所述半透半反射透鏡的直徑小于激光束調(diào)正透鏡的直徑。

所述激光頭和激光束調(diào)正透鏡之間,沿激光頭的主光軸,設(shè)置擴束透鏡。

本發(fā)明提供的降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),將透鏡與半透膜相結(jié)合,使得光束的光斑尺寸和能量分布可以靈活適應(yīng)Frit封裝工藝對熔結(jié)尺寸的要求。利用透光膜的半透光性改善了激光束的能量分布,使得激光束能量均勻性得以改善。進而利用透鏡與透光膜的結(jié)合可以使得能量分布和光斑形狀相配合,靈活適應(yīng)Frit封裝工藝對熔結(jié)尺寸的要求。

當(dāng)光斑中間部分的能量與周邊相同時,可以避免激光光斑中間溫度高,造成LTPS基板中H+的釋放。當(dāng)光斑中間部分的能量比周邊低時,兩側(cè)熔融frit的溫度增高,可以更好的使兩側(cè)的frit熔融,并均勻流動填充,達(dá)到提高封裝效果的作用。

附圖說明

圖1為本發(fā)明降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為本發(fā)明降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)另一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。

參考圖1,本發(fā)明一個實施例的降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括以下結(jié)構(gòu):

在激光頭01和熔結(jié)材料之間,沿激光頭01的主光軸,依次設(shè)置激光束調(diào)整透鏡02和半透半反射透鏡03;

激光光斑照射熔結(jié)材料完成熔結(jié)過程。

通過激光束調(diào)整透鏡02出射的激光形成第一光斑,第一光斑通過半透半反射透鏡03出射的激光形成第二光斑,第二光斑位于第一光斑中心。

激光束調(diào)整透鏡02,用于調(diào)整第一光斑照射在熔結(jié)材料上的直徑;

半透半反射透鏡03,用于調(diào)整第二光斑的能量(密度),并調(diào)整第二光斑照射在熔結(jié)材料上的直徑。

半透半反射透鏡03的直徑小于半透半反射透鏡03設(shè)置位置的激光束調(diào)整透鏡02出射光斑的直徑。

上述半透半反射透鏡03可以鍍單層半透膜,或復(fù)合層半透膜。

本發(fā)明一個實施例的降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)中,通過改變半透半反射透鏡03的透光率,使得第一光斑與第二光斑的能量相當(dāng),或者第一光斑的能量大于第二光斑的能量。

本發(fā)明另一個實施例的降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)中,上述半透半反射透鏡03可以設(shè)置為平光透鏡,以保持第二光斑的能量均衡,與第一光斑的能量相當(dāng)。使得第一光斑和第二光斑照射的熔結(jié)材料能量均衡,熔結(jié)過程平順穩(wěn)定。

本發(fā)明另一個實施例的降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)中,上述半透半反射透鏡03也可以設(shè)置為凹透鏡,以保持第二光斑的能量低于第二光斑的能量。使得第一光斑照射的熔結(jié)材料的熔結(jié)過程快于第二光斑照射的熔結(jié)材料的熔結(jié)過程。

本發(fā)明另一個實施例的降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)中,設(shè)置激光束調(diào)整透鏡02為一組沿主光軸可(移動)調(diào)節(jié)的透鏡,適時調(diào)整第一光斑的面積。

本發(fā)明另一個實施例的降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)中,設(shè)置半透半反射透鏡03為一組沿主光軸可(移動)調(diào)節(jié)的透鏡,適時調(diào)整第二光斑的面積。

本發(fā)明實施例降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu),可以有效克服激光光斑能量分布不均衡的缺陷,適度、適時調(diào)整能量集中的光斑中心面積的有效能量,使得熔結(jié)密封過程中不會因激光均勻性在固化的熔結(jié)材料中產(chǎn)生空孔,避免了熔結(jié)材料隔水隔氣性能的下降。

如圖1所示,本發(fā)明一實施例的降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在激光主光軸上的激光束調(diào)正透鏡02,位于激光束調(diào)正透鏡02一側(cè)的激光頭01,位于激光束調(diào)正透鏡02另一側(cè)的半透半反射透鏡03,半透半反射透鏡03的直徑小于激光束調(diào)正透鏡02的直徑。

半透半反射透鏡03為平光透鏡或凹透鏡。

進一步優(yōu)化,半透半反射透鏡03為一組沿主光軸可調(diào)節(jié)的透鏡。

進一步優(yōu)化,激光束調(diào)整透鏡02為一組沿主光軸可調(diào)節(jié)的透鏡。

如圖2所示,本發(fā)明另一實施例的降低熔結(jié)密封過程中氣泡的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)在上述實施例基本結(jié)構(gòu)不變的基礎(chǔ)上,在激光頭01和激光束調(diào)正透鏡02之間設(shè)置擴束透鏡21,用于將激光的平行光線均勻擴散為激光束調(diào)正透鏡02的入射光線。可以有效避免激光的平行光線集中在主光軸附近,造成不必要的能量損失。

在實際應(yīng)用中,激光頭01產(chǎn)生的平行光能量集中在主光軸附近,通過擴束透鏡21形成較大的出射光斑使能量在一定面積上均勻分布,激光束調(diào)整透鏡02將該出射光斑進一步調(diào)整為出射的第一光斑,以適應(yīng)照射熔結(jié)材料尺寸的需要。第一光斑沿主光軸方向照射,在第一光斑的中心位置,通過半透半反射透鏡03形成濾除主光軸部分多余能量的出射的第二光斑,第一光斑與第二光斑作為一個整體照射在透明陽極41和LTPS層43間的熔結(jié)材料(粉末)上,根據(jù)需要調(diào)節(jié)第一光斑與第二光斑的能量分布比例,形成熔結(jié)材料不同的熔結(jié)特性,使得形成水分和氧氣的壁障的同時不會造成H+的釋放,造成空孔削弱壁障功能。

擴束透鏡21、單一或成組的激光束調(diào)整透鏡02和單一或成組的半透半反射透鏡03的鏡片選擇遵循透鏡聚焦成像原理,焦距、焦點位置和透鏡類型間的約束關(guān)系通過公知公式可以進行推導(dǎo),本實施例中不作具體限定。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。

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