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一種太赫茲一維立體相位光柵的制作方法

文檔序號:11862349閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種太赫茲一維立體相位光柵,其特征在于:

所述的相位光柵由長方體金屬板(1)上表面刻出一系列平整光滑的矩形凹槽構(gòu)成,金屬板的材質(zhì)是鋁、鐵、鋁合金或鈦合金,所述的凹槽底面與長方體金屬板(1)的上表面平行,凹槽的深度分別為h1、h2、…、hN-1、hN,h1、h2、h3、…、hN-2、hN-1、hN順次增大,N為元胞的個數(shù),深度相同的凹槽視為一個元胞;光柵的最大槽深hmax,由光譜分辨率R和光線入射角α共同決定,滿足:

<mrow> <msub> <mi>h</mi> <mrow> <mi>m</mi> <mi>a</mi> <mi>x</mi> </mrow> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <mi>c</mi> <mi>o</mi> <mi>s</mi> <mi>&alpha;</mi> </mrow> <mrow> <mn>2</mn> <mi>R</mi> </mrow> </mfrac> </mrow>

式中:α表示太赫茲波的入射角,R為光柵的光譜分辨率;

元胞的個數(shù)N滿足:

<mrow> <mi>N</mi> <mo>&GreaterEqual;</mo> <mfrac> <mrow> <mn>4</mn> <msub> <mi>h</mi> <mrow> <mi>m</mi> <mi>a</mi> <mi>x</mi> </mrow> </msub> <msub> <mi>&sigma;</mi> <mi>max</mi> </msub> </mrow> <mrow> <mi>c</mi> <mi>o</mi> <mi>s</mi> <mi>&alpha;</mi> </mrow> </mfrac> </mrow>

式中:σmax表示所用太赫茲波段的最大波數(shù);

元胞中凹槽的個數(shù)n滿足:

<mrow> <mi>n</mi> <mo>&GreaterEqual;</mo> <mn>2</mn> <mrow> <mo>(</mo> <mfrac> <msub> <mi>&sigma;</mi> <mi>max</mi> </msub> <msub> <mi>&sigma;</mi> <mi>min</mi> </msub> </mfrac> <mo>+</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>

式中:σmin表示所用太赫茲波的最小波數(shù);

光柵的占空比:d:a>1,其中d為光柵周期,a為凹槽槽寬。

2.根據(jù)權(quán)利1所述的一種太赫茲一維立體相位光柵,其特征在于:所述的矩形凹槽的槽寬a滿足:

a≥10λmax,

槽長b滿足:

b≥100λmax

其中λmax表示所用太赫茲波段的最大波長。

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