技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于設(shè)備的方法，該設(shè)備用于制造或使用掩膜版或顯示基板，包括如下步驟：提供母版；設(shè)置測(cè)量點(diǎn)步驟：根據(jù)待測(cè)掩膜版或顯示基板在母版上設(shè)置多個(gè)測(cè)量點(diǎn)，所述多個(gè)測(cè)量點(diǎn)對(duì)應(yīng)于將對(duì)待測(cè)掩膜版或顯示基板進(jìn)行像素位置精度測(cè)量的位置；測(cè)量誤差值步驟：將母版置于設(shè)備的坐標(biāo)系下，在各個(gè)測(cè)量點(diǎn)處測(cè)量設(shè)備與母版之間的誤差值。

技術(shù)研發(fā)人員：林治明;王震;張健;黃俊杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201610929809
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.31
技術(shù)公布日：2017.03.15