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激光解析離子源激光光路的制作方法

文檔序號:12269440閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種激光解析離子源激光光路,包括傾斜設(shè)置在離子源腔體(1)左上方的激光光纖頭調(diào)節(jié)器(2),所述激光光纖頭調(diào)節(jié)器(2)下方設(shè)置有透鏡組支架,其特征在于:所述透鏡組支架上依次設(shè)置有與激光光纖頭調(diào)節(jié)器(2)主光軸同軸的準(zhǔn)直用平凸透鏡(3)、聚焦用雙凸透鏡(4)、聚焦用負(fù)彎月透鏡(5)和聚焦用正彎月透鏡(6),使入射光纖(7)直徑為0.2mm,入射發(fā)散角為24.5度時,聚焦焦點(diǎn)(8)直徑達(dá)到50~120um,當(dāng)入射光為1W時,所述聚焦焦點(diǎn)(8)處平均功率密度能夠達(dá)到160~252W/mm2

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的采用非球面透鏡的激光解析離子源激光光路,其特征在于:所述準(zhǔn)直用平凸透鏡(3)的直徑為15~35mm,焦距為40~100mm;所述聚焦用雙凸透鏡(4)的外徑為15~35mm,焦距為20~100mm;所述聚焦用負(fù)彎月透鏡(5)的外徑為8~20mm,焦距為-30~-100mm;所述聚焦用正彎月透鏡(6)的外徑為8~20mm,焦距為20~100mm;聚焦用負(fù)彎月透鏡(5)和聚焦用正彎月透鏡(6)的鏡面相貼合,所述入射光纖(7)頭部與準(zhǔn)直用平凸透鏡(3)的間距H1在25~35mm之間,聚焦用正彎月透鏡(6)與聚焦焦點(diǎn)(8)的間距H2在25~35mm之間,準(zhǔn)直用平凸透鏡(3)與聚焦用雙凸透鏡(4)的間距H3在75~85mm之間,聚焦用雙凸透鏡(4)與聚焦用正彎月透鏡(6)的間距H4在15~25mm之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的采用非球面透鏡的激光解析離子源激光光路,其特征在于:位于所述聚焦用雙凸透鏡(4)和聚焦用負(fù)彎月透鏡(5)之間、所述聚焦用負(fù)彎月透鏡(5)和聚焦用正彎月透鏡(6)之間的所述離子源腔體(1)壁面上均開設(shè)有排氣孔(9)。

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