本發(fā)明涉及的是一種彩色濾光片返工方法，屬于彩色濾光片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

在彩色濾光片的生產(chǎn)工藝中，黑色矩陣BM、紅綠藍RGB和柱高PS制程及其修補制程，存在一定比率的不合格產(chǎn)品，會進入返工Rework工序，但是在實際生產(chǎn)構(gòu)成中，由于檢查機臺的特性，經(jīng)常會出現(xiàn)設(shè)備誤判，把合格的產(chǎn)品也判定為不合格產(chǎn)品，這樣這些誤判不合格產(chǎn)品和不合格產(chǎn)品全部進入返工Rework工序，影響了彩色濾光片產(chǎn)品的良率。

現(xiàn)有技術(shù)在黑色矩陣BM、紅綠藍RGB和柱高PS制程及其修補制程之后，被檢查設(shè)備判定為不合格產(chǎn)品，全部自動進入返工Rework工序，返工Rework設(shè)備自動蝕刻剝離使得產(chǎn)品變成白玻璃；這樣使得被檢查設(shè)備誤判不合格產(chǎn)品也進入返工Rework工序，降低了成品率，增加了產(chǎn)品的成本。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明提出的是一種用于彩色濾光片生產(chǎn)工藝中的彩色濾光片返工方法，其目的旨在解決設(shè)備誤判為不合格產(chǎn)品自動進入返工Rework工序，對于誤判不合格產(chǎn)品，增加虛擬站點人為進行判定，將誤判的產(chǎn)品改判回到主制程，避免不合格產(chǎn)品；從而提高產(chǎn)品的合格率。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案：彩色濾光片返工方法，包括如下工藝步驟：

1）在彩色濾光片的第一道黑色矩陣BM、紅綠藍RGB和柱高PS制程后不合格產(chǎn)品需要進行返工Rework工序，對于誤判不合格產(chǎn)品進行分類后再投入黑色矩陣BM制程；

2）在紅綠藍RGB的制程和紅綠藍RGB修補制程中的不合格產(chǎn)品不但可以進行返工Rework工序，而且可以對誤判不合格產(chǎn)品重新回到主流程下一制程；

3）在PS制程和PS修補制程中不合格產(chǎn)品，正常進行返工Rework工序而且可以對誤判不合格產(chǎn)品在返工暫存區(qū)FR01B站點人為進行判定后回到主流程下一制程；

為了防止有時人為疏忽，誤判產(chǎn)品不合格產(chǎn)品NG，設(shè)定邏輯流程，允許進入BM返工站點F250R、RGB返工站點F550R、PS返工站點F750R三個返工Rework工序站點的產(chǎn)品在未投入返工Rework之前可以跳站到返工暫存區(qū)Rework Bank站點，再復(fù)判一次；進一步減少出錯的幾率。

本發(fā)明的優(yōu)點：

1）解決設(shè)備誤判返工為不合格產(chǎn)品自動進入返工Rework工序，無法直接返回主流程的情況；

2）通過人為再次判定，可減少不合格產(chǎn)品比率，提高產(chǎn)品良率，降低產(chǎn)品生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1是BM制程Rework優(yōu)化后的工藝流程圖。

圖2是RGB制程Rework優(yōu)化后的工藝流程圖。

圖3是PS制程Rework優(yōu)化后的工藝流程圖。

為了描述方便，做以下定義：

F2000 BM制程；

F3000 Red制程；

F4000 Green制程；

F5000 Blue制程；

F6000 ITO制程；

F7000 PS制程；

F8000 最終檢查制程；

F8500 Sort分類制程；

F250R BM返工制程；

F550R RGB返工制程；

F750R PS返工制程；

FR01B 返工暫存區(qū)。

具體實施方式

彩色濾光片返工方法，包括如下工藝步驟：

1）在彩色濾光片的第一道黑色矩陣BM、紅綠藍RGB和柱高PS制程后不合格產(chǎn)品需要進行返工Rework工序，對于誤判不合格產(chǎn)品進行分類后再投入黑色矩陣BM制程；

2）在紅綠藍RGB的制程和紅綠藍RGB修補制程中的不合格產(chǎn)品不但可以進行返工Rework工序，而且可以對誤判不合格產(chǎn)品重新回到主流程下一制程；

3）在PS制程和PS修補制程中不合格產(chǎn)品，正常進行返工Rework工序而且可以對誤判不合格產(chǎn)品在返工暫存區(qū)FR01B站點人為進行判定后回到主流程下一制程；

為了防止有時人為疏忽，誤判產(chǎn)品不合格產(chǎn)品NG，設(shè)定邏輯流程，允許進入BM返工站點F250R、RGB返工站點F550R、PS返工站點F750R三個返工Rework工序站點的產(chǎn)品在未投入返工Rework之前可以跳站到返工暫存區(qū)Rework Bank站點，再復(fù)判一次；進一步減少出錯的幾率。

下面結(jié)合附圖進一步描述本發(fā)明的技術(shù)方案：

對照圖1， BM制程Rework優(yōu)化后的工藝流程，包括：

1)在BM和BM Repair制程，被檢查設(shè)備判定不合格產(chǎn)品，首先進入虛擬站點FR01B等待；

2)全部為不合格產(chǎn)品，則讓該類產(chǎn)品進入BM返工F250R站點，進入返工Rework工序；全部為合格產(chǎn)品，則讓該類產(chǎn)品進入Red制程F3000站點，進入Red工序；為混合產(chǎn)品，則讓該類產(chǎn)品進入分類Sort工序，分類選出合格產(chǎn)品進入Red制程F3000站點，不合格產(chǎn)品NG進入BM返工F250R站點。

對照圖2， RGB制程Rework優(yōu)化后的工藝流程，包括：

1)在RGB和RGB Repair制程，被檢查設(shè)備判定不合格產(chǎn)品，首先進入虛擬站點等待；

2)全部為不合格產(chǎn)品NG，則讓該類產(chǎn)品進入F550R站點，進入Rework工序；全部為合格產(chǎn)品，則讓該類產(chǎn)品進入ITO制程F6000站點，進入ITO工序；為混合產(chǎn)品，則讓該類產(chǎn)品進入分類Sort工序，分類選出合格產(chǎn)品進入ITO制程F6000站點，不合格產(chǎn)品NG進入Rework制程F550R站點。

對照圖3，PS制程Rework優(yōu)化后的工藝流程，包括：

1)在柱高PS制程和PS Repair制程，被檢查設(shè)備判定不合格產(chǎn)品，首先進入虛擬站點Wait；

2)全部為不合格產(chǎn)品，則讓該類產(chǎn)品進入F750R站點，進入Rework工序；全部為合格產(chǎn)品，則讓該類產(chǎn)品進入R制程F8000站點，進入最終檢查工序；為混合產(chǎn)品，則讓該類產(chǎn)品進入Sort工序，分類選出合格產(chǎn)品進入最終檢查制程F8000站點，不合格產(chǎn)品NG進入制程F750R站點；

同時，為了防止有時人為疏忽，誤判產(chǎn)品為不合格產(chǎn)品NG，我們設(shè)定的邏輯流程中，允許進入F250R、F550R和F750R三個Rework工序站點的產(chǎn)品在未投入返工之前可以跳站到FR01B返工暫存區(qū)站點，可以再復(fù)判一次。

設(shè)備NG PORT口出賬的邏輯已做更改，現(xiàn)不會直接進入Rework（F250R、F550R、F750R）站點，一旦NG port口在online模式下出賬，NG的Lot賬目會進入到Rework的虛擬站點FR01B，在這個站點需要制造部人員對基板再次進行人為確認，對這些NG Lot里的基板進行復(fù)判，判定基板的OK和NG等級；判定OK的可以回到原制程的下一站點（例如基板是從F2000判NG進來的，復(fù)判OK后經(jīng)操作會返回到F3000站點），判定NG則會進入Rework站點。

實施例1

基板在Green工序F4000站點檢查機臺判定NG，人為通過系統(tǒng)復(fù)判OK后，基板會返回到F5000站點；

（1）NG port口正常出賬的NG 批次信息在系統(tǒng)主界面的批次列表下是查詢不到的，需要到批次菜單下的返工基板人為復(fù)判界面中查看；

（2）進入返工基板人為復(fù)判界面，點擊查看按鈕，在批次列表中可以看到各站點NG port口正常出賬的NG 批次信息。上個制程站點欄位顯示的是該卡匣的NG 批次來源站點，返工制程站點欄位是指該批次基板如果真實復(fù)判為NG要進入的返工Rework站點，卡匣號一欄顯示的是NG批次基板進入的卡匣信息；

（3）進入返工基板人為復(fù)判界面的批次信息，需要制造部專門人員進行復(fù)判工作，如圖所示，假設(shè)C6CF0498對應(yīng)的批次P21569R040里的2枚基板全部復(fù)判為OK產(chǎn)品，進行如下操作：

1）點擊批次列表下C6CF0498對應(yīng)的批次P21569R040，不良品基板列表會顯示出該批次下的所有基板信息，勾選全選復(fù)選框；

2）勾選良品基板列表的全選復(fù)選框；

3）點擊右向箭頭，會將不良品基板列表基板信息導(dǎo)入到良品基板列表中；

4）點擊確定按鈕顯示執(zhí)行成功后，在系統(tǒng)主界面的F5000站點可以看到C6CF0498對應(yīng)批次信息（NG基板救回的基板信息會回到原NG站點的下一制程站點）；如下所示，產(chǎn)品返回到主制程，進行下一道工序。

實施例2

基板在Red工序F3000站點檢查機臺判定NG，人為判定若全部為NG，基板會進入F550R返工工序；

如果返工基板人為復(fù)判界面的某批次基板信息全復(fù)判為NG，如圖所示，假設(shè)C6CF0647對應(yīng)的批次P38569R052里的2枚基板全部復(fù)判為NG產(chǎn)品，進行如下操作：

1）點擊批次列表下C6CF0647對應(yīng)的批次P38569R052，勾選不良品基板列表全選復(fù)選框；

2）點擊確定顯示操作成功后后，在系統(tǒng)主界面的F550R站點可以看到C6CF0647對應(yīng)批次信息，該NG Lot就進入返工Rework站點。

實施例3

基板在BM工序F2000站點檢查機臺判定NG，通過人為確認后，判定部分為OK品，部分為NG品，產(chǎn)品需進入不同的工序；

假如返工基板人為復(fù)判界面的某批次基板信息中有幾枚基板需要判為OK回到主制程站點，其余NG送到Rework站點，假設(shè)C6CF0270對應(yīng)的批次P38569R061里的2枚基板中一枚基板P385653424F7需改判為OK，其余一枚為NG，需進行如下操作：

1）點擊批次下C6CF0270對應(yīng)的批次P38569R061，勾選不良品基板列表下需復(fù)判為OK的基板前的復(fù)選框；

2）點擊右向箭頭將該OK基板信息導(dǎo)入到良品基板列表下；

3）點擊確定顯示執(zhí)行成功后，則該卡匣C6CF0270對應(yīng)批次信息會進入F8500站點（ST1、ST2、ST3的JUDGESORTMODE）；

4）之后通過Sorter分揀機臺分選，OK品進入下一制程，NG品進入Rework工序。