本發(fā)明涉及光刻直寫曝光機(jī)及投影顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種LDI自動(dòng)聚焦控制方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù):
光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等。
在直寫式光刻機(jī)的光刻系統(tǒng)中,特征圖形由空間光調(diào)制器微鏡陣列產(chǎn)生,這些微小鏡面可以獨(dú)立尋址單獨(dú)受控以不同的傾斜方向反射照射的光束,以產(chǎn)生空間光強(qiáng)調(diào)制,最后將特征圖形通過(guò)相應(yīng)成像光路投影到印刷電路板(Printed Circuit Board,簡(jiǎn)稱PCB板)上。
由于LDI產(chǎn)品在實(shí)際應(yīng)用中,曝光時(shí)板厚不同,在圖形曝光成像時(shí)的聚焦點(diǎn)不同,所以需要用到調(diào)焦和聚焦的功能。現(xiàn)有技術(shù)的LDI曝光設(shè)備的聚焦平臺(tái)只能沿X軸和Y軸運(yùn)動(dòng),因此需要通過(guò)聚焦棱鏡和階梯棱鏡的方式來(lái)調(diào)節(jié)鏡筒聚焦面的位置,使鏡筒聚焦面能夠位于聚焦平臺(tái)上,但是,采用這種聚焦面調(diào)節(jié)方式的LDI設(shè)備的硬件成本較高,且使用過(guò)程中維護(hù)清潔比較麻煩。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
有鑒于此,本發(fā)明的目的在于提供一種LDI自動(dòng)聚焦控制方法及系統(tǒng),以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的硬件成本較高,維護(hù)清潔麻煩的技術(shù)問(wèn)題。
第一方面,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種LDI自動(dòng)聚焦控制方法,包括以下步驟:
控制鏡筒向聚焦平臺(tái)輸出成像信息;
通過(guò)相機(jī)采集位于聚焦平臺(tái)上的成像信息;
根據(jù)成像信息判斷鏡筒的聚焦面是否位于聚焦平臺(tái)上,并給出聚焦平臺(tái)需要沿Z軸運(yùn)動(dòng)的提示信息;
聚焦平臺(tái)根據(jù)提示信息沿Z軸向上或向下運(yùn)動(dòng)至指定位置。
鏡筒的聚焦平面平行于聚焦平臺(tái),且垂直于聚焦平臺(tái)的Z軸;根據(jù)成像信息判斷鏡筒的聚焦面是否位于聚焦平臺(tái)上,并給出聚焦平臺(tái)需要沿Z軸運(yùn)動(dòng)的提示信息;聚焦平臺(tái)根據(jù)提示信息沿Z軸向上或向下運(yùn)動(dòng)至指定位置,使聚焦面與聚焦平臺(tái)重合,即通過(guò)調(diào)整聚焦平臺(tái)在Z軸方向的位置使鏡筒聚焦于聚焦平臺(tái)上,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作、維修方便。
結(jié)合第一方面,本發(fā)明實(shí)施例提供了第一方面的第一種可能的實(shí)施方式,其中,聚焦平臺(tái)根據(jù)提示信息沿Z軸向上或向下運(yùn)動(dòng)至指定位置,具體為:
聚焦平臺(tái)根據(jù)提示信息沿Z軸向下或向上運(yùn)動(dòng)一定距離,其中,提示信息為當(dāng)控制器根據(jù)成像信息判斷鏡筒當(dāng)前的聚焦面高于或低于聚焦平臺(tái)時(shí),給出聚焦面需要下降或上升的位移信息;
重復(fù)上述步驟直至聚焦平面需要沿Z軸的提示信息為零。
通過(guò)多次調(diào)整使聚焦平臺(tái)逐步逼近聚焦面,從而實(shí)現(xiàn)聚焦面位于聚焦平臺(tái)上。
結(jié)合第一方面,本發(fā)明實(shí)施例提供了第一方面的第二種可能的實(shí)施方式,其中,當(dāng)聚焦面與聚焦平臺(tái)之間的距離小于設(shè)定閾值時(shí),則判定聚焦面與聚焦平臺(tái)重合。
根據(jù)實(shí)驗(yàn)與工作需要設(shè)定不同的閾值,若閾值范圍較為寬松,則可通過(guò)一次移動(dòng)使鏡筒聚焦于聚焦平臺(tái),若閾值范圍較為嚴(yán)格,則可以通過(guò)多次移動(dòng)逐步逼近閾值,通過(guò)多次移動(dòng)使鏡筒聚焦于聚焦平臺(tái)。
結(jié)合第一方面及其可能的實(shí)施方式,本發(fā)明實(shí)施例提供了第一方面的第三種可能的實(shí)施方式,其中,聚焦平臺(tái)與鏡筒之間的距離通過(guò)距離傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)。
結(jié)合第一方面第四種可能的實(shí)施方式,本發(fā)明實(shí)施例提供了第一方面的第四種可能的實(shí)施方式,其中,距離傳感器為CD33。
第二方面,本發(fā)明實(shí)施例還提供一種LDI自動(dòng)聚焦控制系統(tǒng),包括:
聚焦平臺(tái),聚焦平臺(tái)可沿X軸、Y軸和Z軸運(yùn)動(dòng);
鏡筒,鏡筒的輸出端正對(duì)聚焦平臺(tái);
距離傳感器,距離傳感器用于檢測(cè)聚焦平臺(tái)與鏡筒之間的距離信息,并將距離信息發(fā)送至控制器;
相機(jī),相機(jī)用于采集鏡筒在聚焦平臺(tái)上的成像信息,并將成像信息發(fā)送至控制器;
控制器連接聚焦平臺(tái)、鏡筒,并根據(jù)成像信息判斷鏡筒的聚焦面是否位于聚焦平臺(tái)上,若聚焦面不在聚焦平臺(tái)上,則控制聚焦平臺(tái)沿Z軸運(yùn)動(dòng),直至聚焦平臺(tái)與聚焦面重合。
聚焦平臺(tái)可沿X軸、Y軸和Z軸運(yùn)動(dòng),根據(jù)成像信息判斷鏡筒的聚焦面是否位于聚焦平臺(tái)上,若聚焦面不在聚焦平臺(tái)上,則控制聚焦平臺(tái)沿Z軸運(yùn)動(dòng),直至聚焦平臺(tái)與聚焦面重合,在原有X軸,Y軸兩個(gè)方向的平臺(tái)中加入了Z軸,形成了可以上下左右前后移動(dòng)的三軸平臺(tái),可以通過(guò)調(diào)整聚焦平臺(tái)在Z軸的位置使聚焦平臺(tái)與聚集面重合,從而使鏡筒能夠聚焦于聚焦平臺(tái)。
結(jié)合第二方面,本發(fā)明實(shí)施例提供了第二方面的第一種可能的實(shí)施方式,其中,當(dāng)控制器根據(jù)成像信息判斷鏡筒當(dāng)前的聚焦面高于或低于聚焦平臺(tái)時(shí),則給出聚焦面需要下降或上升的提示信息,聚焦平臺(tái)根據(jù)提示信息沿Z軸向下或向上運(yùn)動(dòng)一定距離;
控制器控制鏡筒和相機(jī)重復(fù)上述過(guò)程直至聚焦面與聚焦平臺(tái)重合。
結(jié)合第二方面,本發(fā)明實(shí)施例提供了第二方面的第二種可能的實(shí)施方式,其中,當(dāng)聚焦面與聚焦平臺(tái)之間的距離小于設(shè)定閾值時(shí),控制器判定聚焦面與聚焦平臺(tái)重合。
結(jié)合第二方面及其可能的實(shí)施方式,本發(fā)明實(shí)施例提供了第二方面的第三種可能的實(shí)施方式,其中,距離傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)聚焦平臺(tái)與鏡筒之間的距離,并將距離信號(hào)發(fā)送至控制器。
結(jié)合第二方面第三種可能的實(shí)施方式,本發(fā)明實(shí)施例提供了第二方面的第三種可能的實(shí)施方式,其中,距離傳感器為CD33。
本發(fā)明實(shí)施例帶來(lái)了以下有益效果:
本發(fā)明實(shí)施例提供的LDI自動(dòng)聚焦控制方法通過(guò)控制鏡筒向聚焦平臺(tái)輸出成像信息,使鏡筒的聚焦平面垂直于聚焦平臺(tái)的Z軸,通過(guò)相機(jī)采集位于聚焦平臺(tái)上的成像信息;根據(jù)成像信息判斷鏡筒的聚焦面是否位于聚焦平臺(tái)上,并給出聚焦平臺(tái)需要沿Z軸運(yùn)動(dòng)的提示信息;聚焦平臺(tái)根據(jù)提示信息沿Z軸向上或向下運(yùn)動(dòng)至指定位置,使聚焦面與聚焦平臺(tái)重合,即通過(guò)調(diào)整聚焦平臺(tái)在Z軸方向的位置使鏡筒聚焦于聚焦平臺(tái)上,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作、維修方便。
本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說(shuō)明書中闡述,并且,部分地從說(shuō)明書中變得顯而易見(jiàn),或者通過(guò)實(shí)施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)在說(shuō)明書、權(quán)利要求書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。
為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂,下文特舉較佳實(shí)施例,并配合所附附圖,作詳細(xì)說(shuō)明如下。
附圖說(shuō)明
為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施方式,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本發(fā)明實(shí)施例1提供的LDI自動(dòng)聚焦控制方法流程圖;
圖2為本發(fā)明實(shí)施例1提供的聚焦面和聚焦平臺(tái)重合的示意圖;
圖3為本發(fā)明實(shí)施例1提供的聚焦平臺(tái)位于聚焦平面上方,并向聚焦面移動(dòng)的示意圖;
圖4為本發(fā)明實(shí)施例1提供的聚焦平臺(tái)位于聚焦平面下方,先向聚焦面下方移動(dòng),再反向移動(dòng)的示意圖;
圖5為本發(fā)明實(shí)施例1提供的聚焦平臺(tái)由聚焦面上方逐步逼近聚焦面的過(guò)程;
圖6為本發(fā)明實(shí)施例1提供的LDI自動(dòng)聚焦控制系統(tǒng)的示意圖。
圖標(biāo):1-聚焦面;2-聚焦平臺(tái);3-成像光束;4-控制器;5-鏡筒;6-距離傳感器;7-相機(jī)。
具體實(shí)施方式
為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
目前的LDI需要通過(guò)聚焦棱鏡和階梯棱鏡的方式來(lái)調(diào)節(jié)鏡筒聚焦面的位置,使鏡筒聚焦面能夠聚焦于聚焦平臺(tái)上,基于此,本發(fā)明實(shí)施例提供的一種LDI自動(dòng)聚焦控制方法及系統(tǒng),可以降低LDI鏡筒硬件成本,以及簡(jiǎn)化維護(hù)清潔流程。
為便于對(duì)本實(shí)施例進(jìn)行理解,首先對(duì)本發(fā)明實(shí)施例所公開(kāi)的一種LDI自動(dòng)聚焦控制方法進(jìn)行詳細(xì)介紹。
實(shí)施例1:
如圖1所示,本實(shí)施例提供了一種LDI自動(dòng)聚焦控制方法,包括以下步驟:
S1.控制鏡筒向聚焦平臺(tái)輸出成像信息。
鏡筒的輸出端正對(duì)聚焦平臺(tái),控制鏡筒向聚焦平臺(tái)輸出成像信息,聚焦平臺(tái)可沿其Z軸升降,且鏡筒聚焦面平行于聚焦平臺(tái)端面,垂直于聚焦平臺(tái)的Z軸。
S2.通過(guò)相機(jī)采集位于聚焦平臺(tái)上的成像信息。
通過(guò)CCD相機(jī)采集由鏡筒投射到聚焦平臺(tái)上的成像信息,成像信息可能是聚焦面的像信息,也可能不是聚焦面的像信息。
S3.根據(jù)成像信息判斷鏡筒的聚焦面是否位于聚焦平臺(tái)上,并給出聚焦平臺(tái)需要沿Z軸運(yùn)動(dòng)的提示信息。
根據(jù)CCD采集的成像信息的清晰度判斷聚焦面是否位于聚焦平臺(tái)上,若成像信息的評(píng)判參數(shù)在設(shè)定的閾值范圍內(nèi),則判斷為聚焦面與聚焦平臺(tái)在同一平面,此時(shí)給出提示信息為0;若成像信息的評(píng)判參數(shù)不在設(shè)定閾值范圍內(nèi),則判斷聚焦面與聚焦平臺(tái)不在同一平面,此時(shí)給出聚焦平臺(tái)需要沿Z軸運(yùn)動(dòng)的提示信息。
S4.聚焦平臺(tái)根據(jù)提示信息沿Z軸向上或向下運(yùn)動(dòng)至指定位置。
1.如圖2所示,鏡筒將攜帶成像信息的成像光束3投向聚焦平臺(tái)2,當(dāng)聚焦面與聚焦平臺(tái)2重合時(shí),成像信息的評(píng)判參數(shù)位于選定的閾值范圍內(nèi),則聚焦面與聚焦平臺(tái)2在同一平面,給出提示信息為零,聚焦平臺(tái)2無(wú)需再移動(dòng)。
2.粗調(diào),適用于精度要求較低的工作或?qū)嶒?yàn)環(huán)境。
設(shè)定:當(dāng)聚焦平臺(tái)與實(shí)際聚焦面不重合時(shí),聚焦平臺(tái)根據(jù)提示信息先向下移動(dòng)。
2.1如圖3所示,當(dāng)聚焦平臺(tái)2位于聚焦面1上方時(shí),聚焦平臺(tái)2先根據(jù)提示信息向下移動(dòng)距離a1,使用相機(jī)采集鏡筒投射到聚焦平臺(tái)2上的成像信息,并判斷聚焦面1與聚焦平臺(tái)2是否重合,若評(píng)判參數(shù)在設(shè)定的第一閾值范圍內(nèi),則認(rèn)為聚焦面1與聚焦平臺(tái)2重合,則提示信息給出零,聚焦平臺(tái)2無(wú)需再移動(dòng)。
2.2圖4中,當(dāng)聚焦平臺(tái)2位于聚焦面1下方時(shí),聚焦平臺(tái)2先根據(jù)提示信息向下移動(dòng)距離a1,使用相機(jī)采集鏡筒投射到聚焦平臺(tái)2上的成像信息,并判斷聚焦面1與聚焦平臺(tái)2是否重合,由于聚焦平臺(tái)2距離聚焦面1更遠(yuǎn),評(píng)判參數(shù)相應(yīng)變差,此時(shí),控制聚焦平臺(tái)2反向移動(dòng)2a1,然后使用相機(jī)采集鏡筒投射到聚焦平臺(tái)2上的成像信息,并判斷聚焦面1與聚焦平臺(tái)2是否重合,若評(píng)判參數(shù)在設(shè)定的第一閾值范圍內(nèi),則認(rèn)為聚焦面1與聚焦平臺(tái)2重合,則提示信息給出零,聚焦平臺(tái)2無(wú)需再移動(dòng)。
3.細(xì)調(diào),適用于精度要求較高的工作或?qū)嶒?yàn)環(huán)境。
設(shè)定:當(dāng)聚焦平臺(tái)與實(shí)際聚焦面不重合時(shí),聚焦平臺(tái)根據(jù)提示信息先向下移動(dòng)。
3.1如圖4和圖5所示,當(dāng)聚焦平臺(tái)2位于聚焦面1上方時(shí),聚焦平臺(tái)2先根據(jù)提示信息向下移動(dòng)距離a1,使用相機(jī)采集鏡筒投射到聚焦平臺(tái)2上的成像信息,并判斷聚焦面1與聚焦平臺(tái)2是否重合,若評(píng)判參數(shù)直接在第二閾值范圍內(nèi),聚焦面1和聚焦平臺(tái)2重合,聚焦平臺(tái)2無(wú)需再移動(dòng);若評(píng)判參數(shù)在第一閾值與第二閾值范圍內(nèi),則認(rèn)為聚焦面1與聚焦平臺(tái)2不重合,給出提示信息a2,控制聚焦平臺(tái)2繼續(xù)想下運(yùn)動(dòng)a2,并判斷評(píng)判參數(shù)是否在第二閾值范圍內(nèi),若在,則認(rèn)為聚焦面1與聚焦平臺(tái)2重合,聚焦平臺(tái)2無(wú)需再移動(dòng),若不在第二閾值范圍內(nèi),則給出提示信息a3,控制聚焦平臺(tái)2根據(jù)提示信息繼續(xù)向下運(yùn)動(dòng)a3,并采集成像信息,然后判斷,以此類推,直至評(píng)判參數(shù)在第二閾值范圍內(nèi)。
3.2如圖4和圖5所示,當(dāng)聚焦平臺(tái)2位于聚焦面1下方時(shí),聚焦平臺(tái)2先根據(jù)提示信息向下移動(dòng)距離a1,使用相機(jī)采集鏡筒投射到聚焦平臺(tái)2上的成像信息,并判斷聚焦面1與聚焦平臺(tái)2是否重合,由于此時(shí)聚焦平臺(tái)2距離聚焦面1更遠(yuǎn),評(píng)判參數(shù)相應(yīng)變差,控制聚焦平臺(tái)2反向移動(dòng)2a1,然后使用相機(jī)采集鏡筒投射到聚焦平臺(tái)2上的成像信息,并判斷聚焦面1與聚焦平臺(tái)2是否重合,具體判斷方法同上述3.1所述。
優(yōu)選地,對(duì)于細(xì)調(diào),提示信息給出的距離信息呈遞減趨勢(shì)。
需要說(shuō)明的是,若聚焦平臺(tái)2移動(dòng)過(guò)程中評(píng)判參數(shù)變差,則說(shuō)明聚焦平臺(tái)2移動(dòng)距離a后與聚焦面1之間的距離大于移動(dòng)前與聚焦面1之間的距離,應(yīng)反向移動(dòng)2a,再采集成像信息,并進(jìn)行后續(xù)判定。
此外,本實(shí)施例中聚焦平臺(tái)2與鏡筒之間的距離通過(guò)距離傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),本實(shí)施例中的距離傳感器優(yōu)選采用CD33。
實(shí)施例2:
本發(fā)明實(shí)施例提供了一種LDI自動(dòng)聚焦控制系統(tǒng),包括聚焦平臺(tái)2、鏡筒5、距離傳感器6、相機(jī)7和控制器4,控制器4連接聚焦平臺(tái)2、鏡筒5、距離傳感器6和相機(jī)7,聚焦平臺(tái)2可沿X軸、Y軸和Z軸運(yùn)動(dòng);鏡筒5的輸出端正對(duì)聚焦平臺(tái)2;距離傳感器6用于檢測(cè)聚焦平臺(tái)2與鏡筒5之間的距離信息,并將距離信息發(fā)送至控制器4;相機(jī)7用于采集鏡筒5在聚焦平臺(tái)2上的成像信息,并將成像信息發(fā)送至所述控制器4;控制器4連接聚焦平臺(tái)2、鏡筒5,并根據(jù)成像信息判斷鏡筒5的聚焦面是否位于聚焦平臺(tái)2上,若聚焦面不在聚焦平臺(tái)2上,則控制聚焦平臺(tái)2沿Z軸運(yùn)動(dòng),直至聚焦平臺(tái)2與聚焦面重合。
優(yōu)選地,當(dāng)控制器4根據(jù)成像信息判斷鏡筒5當(dāng)前的聚焦面高于或低于聚焦平臺(tái)2時(shí),則給出聚焦平臺(tái)2需要下降或上升的提示信息,聚焦平臺(tái)2根據(jù)提示信息沿Z軸向下或向上運(yùn)動(dòng)一定距離;控制器4控制鏡筒5和相機(jī)7重復(fù)上述過(guò)程直至聚焦面與聚焦平臺(tái)2重合。
本發(fā)明實(shí)施例中聚焦平臺(tái)2移動(dòng)過(guò)程中,距離傳感器6優(yōu)選采用CD33實(shí)時(shí)檢測(cè)聚焦平臺(tái)2與鏡筒5之間的距離,并將距離信號(hào)發(fā)送至控制器4。當(dāng)聚焦面1與聚焦平臺(tái)2之間的距離小于設(shè)定閾值時(shí),控制器4判定聚焦面與聚焦平臺(tái)2重合。
需要說(shuō)明的是,本發(fā)明實(shí)施例中聚焦平臺(tái)2根據(jù)提示信息直接移動(dòng)至聚焦面或是逐步逼近聚焦面的方法與實(shí)施例1中相同,在此不予贅述。
本發(fā)明實(shí)施例提供的LDI自動(dòng)聚焦控制系統(tǒng),與上述實(shí)施例提供的LDI自動(dòng)聚焦控制方法具有相同的技術(shù)特征,所以也能解決相同的技術(shù)問(wèn)題,達(dá)到相同的技術(shù)效果。
本發(fā)明實(shí)施例所提供的LDI自動(dòng)聚焦控制方法及系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品,包括存儲(chǔ)了程序代碼的計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),所述程序代碼包括的指令可用于執(zhí)行前面方法實(shí)施例中所述的方法,具體實(shí)現(xiàn)可參見(jiàn)方法實(shí)施例,在此不再贅述。
所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以清楚地了解到,為描述的方便和簡(jiǎn)潔,上述描述的系統(tǒng)和裝置的具體工作過(guò)程,可以參考前述方法實(shí)施例中的對(duì)應(yīng)過(guò)程,在此不再贅述。
另外,在本發(fā)明實(shí)施例的描述中,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過(guò)中間媒介間接相連,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。
所述功能如果以軟件功能單元的形式實(shí)現(xiàn)并作為獨(dú)立的產(chǎn)品銷售或使用時(shí),可以存儲(chǔ)在一個(gè)計(jì)算機(jī)可讀取存儲(chǔ)介質(zhì)中?;谶@樣的理解,本發(fā)明的技術(shù)方案本質(zhì)上或者說(shuō)對(duì)現(xiàn)有技術(shù)做出貢獻(xiàn)的部分或者該技術(shù)方案的部分可以以軟件產(chǎn)品的形式體現(xiàn)出來(lái),該計(jì)算機(jī)軟件產(chǎn)品存儲(chǔ)在一個(gè)存儲(chǔ)介質(zhì)中,包括若干指令用以使得一臺(tái)計(jì)算機(jī)設(shè)備(可以是個(gè)人計(jì)算機(jī),服務(wù)器,或者網(wǎng)絡(luò)設(shè)備等)執(zhí)行本發(fā)明各個(gè)實(shí)施例所述方法的全部或部分步驟。而前述的存儲(chǔ)介質(zhì)包括:U盤、移動(dòng)硬盤、只讀存儲(chǔ)器(ROM,Read-Only Memory)、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM,Random Access Memory)、磁碟或者光盤等各種可以存儲(chǔ)程序代碼的介質(zhì)。
在本發(fā)明的描述中,需要說(shuō)明的是,術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外,術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上所述實(shí)施例,僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式,用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案,而非對(duì)其限制,本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此,盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi),其依然可以對(duì)前述實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改或可輕易想到變化,或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改、變化或者替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍,都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此,本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。