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大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng)及裝調(diào)方法與流程

文檔序號:12115847閱讀:968來源:國知局
大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng)及裝調(diào)方法與流程

本發(fā)明涉及空間光學遙感技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng)及裝調(diào)方法。



背景技術(shù):

大口徑空間光學相機鏡頭通常為反射式光學系統(tǒng),一般由主反射鏡、次反射鏡和第三反射鏡構(gòu)成。對于大口徑空間光學相機鏡頭,三個反射鏡需要具有極高的相對位置精度,以保證光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量。在大口徑空間光學相機鏡頭的研制生產(chǎn)過程中可通過對各反射鏡的高精度裝調(diào),最終使光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量滿足要求。然而,由于大口徑空間光學相機鏡頭工作在太空的微重力環(huán)境中,其結(jié)構(gòu)在地面時所受到的重力會消失,而重力變化會導致各反射鏡間的相對位置精度下降,進而降低光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量。因此,在對大口徑空間光學相機鏡頭進行設(shè)計和裝調(diào)時,需要盡量降低重力變化對各反射鏡間相對位置精度的影響,以保證光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量。

目前,空間光學相機鏡頭通常采用光軸水平的裝調(diào)方式,這種裝調(diào)方式是將相機鏡頭、裝調(diào)工裝和檢測設(shè)備平鋪在隔振平臺上簡單錯位布置,相機鏡頭采用高剛度的結(jié)構(gòu)設(shè)計,這樣在入軌工作后,重力變化引起的各反射鏡間相對位置精度的變化很小,光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量變化不大。但是,上述這種裝調(diào)方法只適用于口徑較小的空間光學相機鏡頭,對于大口徑空間光學相機鏡頭,由于其結(jié)構(gòu)尺寸巨大,特別是主反射鏡和次反射鏡的間距較大(近似于懸臂結(jié)構(gòu)),其結(jié)構(gòu)撓度大,重力變化引起的各反射鏡間相對位置精度變化較大,導致光學系統(tǒng)的光學傳遞函數(shù)大幅度下降,光學系統(tǒng)成像質(zhì)量大幅度下降。

綜上所述,亟需研制出一種適用于大口徑空間光學相機鏡頭的裝調(diào)系統(tǒng)及方法,以消除重力變化引起的光學系統(tǒng)中各反射鏡間相對位置精度變化較大的問題。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

為了解決大口徑空間光學相機鏡頭在地面光軸水平完成裝調(diào)后,由于光學系統(tǒng)中的主次鏡間距較大造成的懸臂效應(yīng)對重力變化非常敏感,進入太空的微重力環(huán)境后,各反射鏡間相對位置精度會發(fā)生較大變化,造成光學系統(tǒng)的光學傳遞函數(shù)和成像質(zhì)量大幅度下降的問題,本發(fā)明提供一種大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng)及裝調(diào)方法。

本發(fā)明為解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案如下:

本發(fā)明的大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng),包括:

鏡頭裝調(diào)架;

均勻分布在鏡頭裝調(diào)架下端內(nèi)壁圓周上的三個鏡頭連接座;

固定在鏡頭裝調(diào)架上端的次鏡裝調(diào)架;

固定在次鏡裝調(diào)架下表面中心的次鏡調(diào)整架;

固定連接在鏡頭裝調(diào)架頂端的平面鏡二維調(diào)整機構(gòu);

固定在平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)上的平射鏡;

放置在鏡頭裝調(diào)架底端的干涉儀調(diào)整架;

安裝在干涉儀調(diào)整架上的干涉儀;

固定在鏡頭裝調(diào)架下端內(nèi)壁上的三鏡調(diào)整架;

相機鏡頭,其光軸沿著豎直方向設(shè)置,包括相機基板、均勻分布在相機基板下表面圓周且與三個鏡頭連接座一一對應(yīng)相連的三個連接支座、固定在相機基板下表面的后支架、固定在相機基板上表面的主鏡組件、固定在相機基板上表面邊緣的相機框架、固定在后支架上的第一折疊鏡組件和第二折疊鏡組件、固定在次鏡調(diào)整架下表面中心同時通過次鏡墊塊安裝在相機框架上端中心的次鏡組件、固定在三鏡調(diào)整架上同時通過三鏡墊塊安裝在相機基板下表面的三鏡組件;所述第一折疊鏡組件與相機鏡頭光軸成45°夾角,所述第一折疊鏡組件中心位于相機鏡頭視軸上;

所述平面鏡、次鏡組件、主鏡組件三者的光軸均與相機鏡頭的光軸重合。

進一步的,通過次鏡調(diào)整架實現(xiàn)對次鏡組件在X軸、Y軸、Z軸三個平動方向和俯仰、扭擺、旋轉(zhuǎn)三個轉(zhuǎn)動方向上的六維調(diào)整。

進一步的,通過平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)實現(xiàn)對平面鏡在俯仰、扭擺兩個轉(zhuǎn)動方向上的調(diào)整。

進一步的,通過干涉儀調(diào)整架實現(xiàn)對干涉儀在俯仰、扭擺兩個轉(zhuǎn)動方向和X軸、Y軸、Z軸三個平動方向上的五維調(diào)整。

進一步的,通過三鏡調(diào)整架實現(xiàn)對三鏡組件在X軸、Y軸、Z軸三個平動方向和俯仰、扭擺、旋轉(zhuǎn)三個轉(zhuǎn)動方向上的六維調(diào)整。

本發(fā)明還提供了一種大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)方法,包括以下步驟:

步驟一、先將連接支座固定在相機基板下表面,再將主鏡組件按照其理論位置固定在相機基板上表面,最后將相機框架通過定位銷與相機基板進行定位后緊固;

步驟二、先將鏡頭連接座固定在鏡頭裝調(diào)架下端內(nèi)壁上,再將相機基板連同連接支座、主鏡組件、相機框架吊裝到鏡頭裝調(diào)架上,最后將連接支座與鏡頭連接座緊固連接,保證相機鏡頭1的光軸沿著豎直方向;

步驟三、將平射鏡固定在平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)上,再將二者整體固定在鏡頭裝調(diào)架頂端;

步驟四、將后支架固定在相機基板下表面,將第一折疊鏡組件按照其理論位置固定在后支架上;

步驟五、將次鏡裝調(diào)架、次鏡調(diào)整架和次鏡組件固連后安裝到鏡頭裝調(diào)架上端,通過調(diào)整干涉儀調(diào)整架調(diào)整干涉儀使其位于一次像面處;

步驟六、采用系統(tǒng)自準直方法,所述干涉儀從一次像面處發(fā)出的光束依次經(jīng)第一折疊鏡組件、相機基板、主鏡組件、次鏡組件、主鏡組件、平射鏡反射后按照原光路反射回干涉儀中,最終形成干涉條紋和系統(tǒng)波前誤差,根據(jù)干涉條紋中的像差類型和大小多次調(diào)整次鏡調(diào)整架消除像差,實現(xiàn)主鏡組件和次鏡組件相對位置的精確調(diào)整;

步驟七、測量次鏡組件與相機框架各連接點之間的距離,修研次鏡墊塊,將次鏡組件、次鏡墊塊、相機框架固連后將次鏡裝調(diào)架、次鏡調(diào)整架移除;

步驟八、將第二折疊鏡組件按照其理論位置固定在后支架上,將三鏡組件與三鏡調(diào)整架固定后放置在三鏡組件處,通過調(diào)整干涉儀調(diào)整架調(diào)整干涉儀使其位于二次像面處;

步驟九、采用系統(tǒng)自準直方法,所述干涉儀從二次像面處發(fā)出的光束依次經(jīng)第二折疊鏡組件、三鏡組件、第一折疊鏡組件、相機基板、主鏡組件、次鏡組件、主鏡組件、平射鏡反射后按照原光路反射回干涉儀中,最終形成干涉條紋和系統(tǒng)波前誤差,根據(jù)干涉條紋中的像差類型和大小多次調(diào)整三鏡調(diào)整架消除像差,實現(xiàn)三鏡組件、主鏡組件和次鏡組件相對位置的精確調(diào)整;

步驟十、測量三鏡組件與相機基板各連接點之間的距離,修研三鏡墊塊,將三鏡組件、三鏡墊塊、相機基板固連后將三鏡調(diào)整架移除,完成相機鏡頭整體裝調(diào)。

本發(fā)明的有益效果是:

1、本發(fā)明的大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng),采用平面鏡、干涉儀和相機鏡頭的系統(tǒng)自準直檢測方法,通過微調(diào)各反射鏡間相對位置進行相機鏡頭的精密調(diào)整,同時采用相機鏡頭光軸豎直方向的裝調(diào)結(jié)構(gòu),可以保證大口徑空間光學相機鏡頭在地面完成裝調(diào)后,進入太空的微重力環(huán)境時,各反射鏡間相對位置精度變化較小,光學系統(tǒng)成像質(zhì)量基本保持不變。本發(fā)明的大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng),結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,裝調(diào)難度小。

2、本發(fā)明的大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)方法,由于采用了相機鏡頭的光軸豎直方向的裝調(diào)方式,主次鏡間幾乎無懸臂,結(jié)構(gòu)剛度高,因此在大口徑空間光學相機鏡頭進入太空的微重力環(huán)境時,各反射鏡間相對位置精度變化較小,光學系統(tǒng)成像質(zhì)量基本保持不變。本發(fā)明的大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)方法,操作簡單可靠,具有極佳的工程可實施性。

3、本發(fā)明的大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng)及裝調(diào)方法適用于光學遙感器反射鏡檢測以及光學系統(tǒng)裝調(diào)等領(lǐng)域。

附圖說明

圖1為相機鏡頭的主視圖。

圖2為圖1所示的相機鏡頭的俯視圖。

圖3為本發(fā)明的大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng)的剖面圖。

圖4為本發(fā)明的大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng)的剖面圖。

圖中:1、相機鏡頭,101、相機框架,102、次鏡組件,103、次鏡墊塊,104、主鏡組件,105、相機基板,106、后支架,107、第一折疊鏡組件,108、三鏡組件,109、三鏡墊塊,110、第二折疊鏡組件,111、一次像面,112、二次像面,113、連接支座,2、鏡頭裝調(diào)架,3、鏡頭連接座,4、次鏡裝調(diào)架,5、次鏡調(diào)整架,6、平面鏡,7、平面鏡二維調(diào)整機構(gòu),8、干涉儀,9、干涉儀調(diào)整架,10、三鏡調(diào)整架。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細說明。

本發(fā)明的大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng),主要包括:相機鏡頭1、鏡頭裝調(diào)架2、三個鏡頭連接座3、次鏡裝調(diào)架4、次鏡調(diào)整架5、平面鏡6、平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)7、干涉儀8、干涉儀調(diào)整架9、三鏡調(diào)整架10。

如圖1至圖4所示,三個鏡頭連接座3通過螺釘固定連接在鏡頭裝調(diào)架2下端內(nèi)壁上,三個鏡頭連接座3沿著鏡頭裝調(diào)架2下端內(nèi)壁圓周均勻分布。次鏡裝調(diào)架4固定連接在鏡頭裝調(diào)架2上端。次鏡調(diào)整架5固定連接在次鏡裝調(diào)架4下表面中心,次鏡調(diào)整架5可以實現(xiàn)三個平動方向(X軸、Y軸、Z軸)和三個轉(zhuǎn)動方向(俯仰、扭擺、旋轉(zhuǎn))的六維調(diào)整。平射鏡6固定連接在平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)7上。平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)7固定連接在鏡頭裝調(diào)架2頂端,平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)7可以實現(xiàn)俯仰和扭擺兩個轉(zhuǎn)動方向的調(diào)整。干涉儀調(diào)整架9放置在鏡頭裝調(diào)架2底端,干涉儀調(diào)整架9可以實現(xiàn)繞相機鏡頭1的光軸轉(zhuǎn)動以外的兩個轉(zhuǎn)動方向(俯仰、扭擺)和三個平動方向(X軸、Y軸、Z軸)的五維調(diào)整。干涉儀8安裝在干涉儀調(diào)整架9上。三鏡調(diào)整架10固定在鏡頭裝調(diào)架2下端內(nèi)壁上,三鏡調(diào)整架10可以實現(xiàn)三個平動方向(X軸、Y軸、Z軸)和三個轉(zhuǎn)動方向(俯仰、扭擺、旋轉(zhuǎn))的六維調(diào)整。次鏡調(diào)整架5、平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)7、干涉儀調(diào)整架9、三鏡調(diào)整架10的調(diào)整量和調(diào)整精度均需要根據(jù)具體的光學設(shè)計公差精度進行確定。

如圖1至圖4所示,相機鏡頭1包括:相機框架101、次鏡組件102、次鏡墊塊103、主鏡組件104、相機基板105、后支架106、第一折疊鏡組件107、三鏡組件108、三鏡墊塊109、第二折疊鏡組件110、一次像面111、二次像面112、三個連接支座113。相機基板105中心為通孔,該通孔尺寸與主鏡組件104的中心孔尺寸相同。三個連接支座113均通過螺釘固定連接在相機基板105下表面,三個連接支座113沿著相機基板105下表面圓周均勻分布。后支架106通過螺釘固定連接在相機基板105下表面。主鏡組件104通過螺釘固定連接在相機基板105上表面。相機框架101先通過定位銷與相機基板105進行定位,再通過螺釘將兩者緊固連接,相機框架101固定連接在相機基板105上表面邊緣。將連接后的相機基板105整體(即相機基板105連同連接支座113、主鏡組件104、相機框架101)吊裝到鏡頭裝調(diào)架2上,然后將三個連接支座113分別與三個鏡頭連接座3采用螺釘緊固,使相機鏡頭1與鏡頭調(diào)整架2穩(wěn)固的連接在一起。次鏡組件102固定連接在次鏡調(diào)整架5下表面中心,同時次鏡組件102通過次鏡墊塊103安裝在相機框架101上端中心。第一折疊鏡組件107通過螺釘固定連接在后支架106上,第一折疊鏡組件107位于相機基板105的通孔下端,第一折疊鏡組件107與相機鏡頭1的光軸成45°夾角,第一折疊鏡組件107的中心位于相機鏡頭1的視軸上。三鏡組件108固定連接在三鏡調(diào)整架10上,同時三鏡組件108通過三鏡墊塊109安裝在相機基板105下表面。第二折疊鏡組件110通過螺釘固定連接在后支架106上。在對次鏡組件102、主鏡組件104和三鏡組件108進行裝調(diào)的過程中,需要平面鏡6和干涉儀8共同進行微調(diào)以實現(xiàn)其精密調(diào)整。

上述的平面鏡6、次鏡組件102、主鏡組件104三者的均光軸與相機鏡頭1的光軸重合。

本發(fā)明的一種大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)方法,是通過上述的大口徑空間光學相機鏡頭裝調(diào)系統(tǒng)實現(xiàn)的,主要采用相機鏡頭1的光軸豎直方向的裝調(diào)方式,其具體的裝調(diào)過程如下:

步驟一、先將連接支座113固定在相機基板105下表面,再將主鏡組件104按照其理論位置固定在相機基板105上表面,最后將相機框架101通過定位銷與相機基板105進行定位后緊固;

步驟二、先將鏡頭連接座3固定在鏡頭裝調(diào)架2下端內(nèi)壁上,再將相機基板105連同連接支座113、主鏡組件104、相機框架101吊裝到鏡頭裝調(diào)架2上,最后將連接支座113與鏡頭連接座3緊固連接,保證相機鏡頭1的光軸沿著豎直方向;

步驟三、將平射鏡6固定在平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)7上,再將二者整體固定在鏡頭裝調(diào)架2頂端;

步驟四、將后支架106固定在相機基板105下表面,將第一折疊鏡組件107按照其理論位置固定在后支架106上;

步驟五、將次鏡裝調(diào)架4、次鏡調(diào)整架5和次鏡組件102固連后安裝到鏡頭裝調(diào)架2上端,通過調(diào)整干涉儀調(diào)整架9調(diào)整干涉儀8使其位于一次像面111處;

步驟六、采用系統(tǒng)自準直方法,所述干涉儀8從一次像面111處發(fā)出的光束依次經(jīng)第一折疊鏡組件107、相機基板105、主鏡組件104、次鏡組件102、主鏡組件104、平射鏡6反射后按照原光路反射回干涉儀8中,最終形成干涉條紋和系統(tǒng)波前誤差,根據(jù)干涉條紋中的像差類型和大小多次調(diào)整次鏡調(diào)整架5消除像差,使系統(tǒng)波前誤差RMS值優(yōu)于λ/15,實現(xiàn)主鏡組件104和次鏡組件102相對位置的精確調(diào)整;

步驟七、測量次鏡組件102與相機框架101各連接點之間的距離,修研次鏡墊塊103,將次鏡組件102、次鏡墊塊103、相機框架101固連后將次鏡裝調(diào)架4、次鏡調(diào)整架5移除;

步驟八、將第二折疊鏡組件110按照其理論位置固定在后支架106上,將三鏡組件108與三鏡調(diào)整架10固定后放置在三鏡組件108處,通過調(diào)整干涉儀調(diào)整架9調(diào)整干涉儀8使其位于二次像面112處;

步驟九、采用系統(tǒng)自準直方法,所述干涉儀8從二次像面112處發(fā)出的光束依次經(jīng)第二折疊鏡組件110、三鏡組件108、第一折疊鏡組件107、相機基板105、主鏡組件104、次鏡組件102、主鏡組件104、平射鏡6反射后按照原光路反射回干涉儀8中,最終形成干涉條紋和系統(tǒng)波前誤差,根據(jù)干涉條紋中的像差類型和大小多次調(diào)整三鏡調(diào)整架10消除像差,使系統(tǒng)波前誤差RMS值優(yōu)于λ/10,實現(xiàn)三鏡組件108、主鏡組件104和次鏡組件102相對位置的精確調(diào)整;

步驟十、測量三鏡組件108與相機基板105各連接點之間的距離,修研三鏡墊塊109,將三鏡組件108、三鏡墊塊109、相機基板105固連后將三鏡調(diào)整架10移除,完成相機鏡頭1整體裝調(diào)。

具體實施方式一

針對一個口徑2.5m、主鏡與次鏡間隔達到3.5m、焦距為30m的大口徑空間光學相機鏡頭進行裝調(diào),具體過程如下:

步驟一、將三個連接支座113通過螺釘固定連接在相機基板105下表面,三個連接支座113沿著相機基板105下表面圓周均勻分布,將主鏡組件104按照其理論位置通過螺釘固定連接在相機基板105上表面,將相機框架101與相機基板105通過定位銷進行定位,然后將相機框架101通過螺釘固定連接在相機基板105上表面邊緣。

步驟二、將三個鏡頭連接座3通過螺釘固定連接在鏡頭裝調(diào)架2下端內(nèi)壁上,三個鏡頭連接座3沿著鏡頭裝調(diào)架2下端內(nèi)壁圓周均勻分布,將連接后的相機基板105整體(相機基板105連同連接支座113、主鏡組件104、相機框架101)吊裝到鏡頭裝調(diào)架2上,然后采用螺釘將三個連接支座113分別與三個鏡頭連接座3進行緊固連接,使相機鏡頭1與鏡頭調(diào)整架2穩(wěn)固的連接在一起,同時,需要保證相機鏡頭1的光軸沿著豎直方向。

步驟三、將平射鏡6固定連接在平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)7上,將平面鏡二維調(diào)整機構(gòu)7連同平面鏡6固定連接在鏡頭裝調(diào)架2頂端。

步驟四、將后支架106通過螺釘固定連接在相機基板105下表面,將第一折疊鏡組件107按照其理論位置通過螺釘固定連接在后支架106上。

步驟五、如圖3所示,將次鏡裝調(diào)架4、次鏡調(diào)整架5和次鏡組件102通過螺釘固定連接在一起后安裝到鏡頭裝調(diào)架2上端,將干涉儀8安裝在干涉儀調(diào)整架9上,通過調(diào)整干涉儀調(diào)整架9來調(diào)整干涉儀8的位置,使用卷尺等粗定位工具進行測量,使干涉儀8位于一次像面111的理論位置附近。

步驟六、如圖3所示,采用系統(tǒng)自準直的檢測方法,干涉儀8從一次像面111處發(fā)出光束射到第一折疊鏡組件107上,被第一折疊鏡組件107反射后依次通過相機基板105的通孔、主鏡組件104的中心孔入射到次鏡組件102上,次鏡組件102將接收到的光束反射到主鏡組件104上,主鏡組件104將接收到的光束反射到平射鏡6上,反射到平射鏡6上的光束再按照原光路反射回干涉儀8中(即光束按照平面鏡6、主鏡組件104、次鏡組件102、第一折疊鏡組件107、干涉儀8的順序進行反射),最終形成干涉條紋和系統(tǒng)波前誤差,由于主鏡組件104和次鏡組件102之間存在0.3mm左右的初始位置誤差,因此形成的干涉條紋中會出現(xiàn)球差、慧差和像散等像差,系統(tǒng)波前誤差也會比較大,根據(jù)像差的類型和大小多次微調(diào)次鏡調(diào)整架5消除像差,使系統(tǒng)波前誤差RMS值優(yōu)于λ/15(λ是光學系統(tǒng)檢測時,干涉儀8發(fā)出的激光束的波長,λ=632.8nm)的設(shè)計要求,實現(xiàn)主鏡組件104和次鏡組件102兩者之間相對位置的精確調(diào)整。

步驟七、使用內(nèi)徑千分表等高精度測量工具測量次鏡組件102與相機框架101各連接點之間的距離,修研次鏡墊塊103,將次鏡組件102、次鏡墊塊103、相機框架101通過螺釘固定連接在一起,然后將次鏡裝調(diào)架4、次鏡調(diào)整架5與次鏡組件102之間的連接螺釘松開,并將次鏡裝調(diào)架4、次鏡調(diào)整架5移除。

步驟八、如圖4所示,將第二折疊鏡組件110按照其理論位置通過螺釘固定連接在后支架106上,將三鏡組件108與三鏡調(diào)整架10通過螺釘固定連接后放置在三鏡組件108的理論位置附近,通過調(diào)整干涉儀調(diào)整架9來調(diào)整干涉儀8的位置,使用卷尺等粗定位工具進行測量,使干涉儀8位于二次像面112的理論位置附近。

步驟九、如圖4所示,采用系統(tǒng)自準直的檢測方法,干涉儀8從二次像面112處發(fā)出光束射到第二折疊鏡組件110上,第二折疊鏡組件110將接收到的光束反射到三鏡組件108上,三鏡組件108將接收到的光束反射到第一折疊鏡組件107上,第一折疊鏡組件107對接收到的光束進行反射后依次通過相機基板105的通孔、主鏡組件104的中心孔入射到次鏡組件102上,次鏡組件102將接收到的光束反射到主鏡組件104上,主鏡組件104將接收到的光束反射到平射鏡6上,反射到平射鏡6上的光束再按照原光路反射回干涉儀8中(即光束按照平面鏡6、主鏡組件104、次鏡組件102、第一折疊鏡組件107、干涉儀8的順序進行反射),最終形成干涉條紋和系統(tǒng)波前誤差,由于三鏡組件108與由主鏡組件104和次鏡組件102組成的系統(tǒng)間存在0.4mm左右的初始位置誤差,因此形成的干涉條紋中會出現(xiàn)球差、慧差和像散等像差,系統(tǒng)波前誤差也會比較大,根據(jù)像差的類型和大小多次微調(diào)三鏡調(diào)整架10消除像差,使系統(tǒng)波前誤差RMS值優(yōu)于λ/10(λ是光學系統(tǒng)檢測時,干涉儀8發(fā)出的激光束的波長,λ=632.8nm)的設(shè)計要求,實現(xiàn)三鏡組件108、主鏡組件104和次鏡組件102三者之間相對位置的精確調(diào)整。

步驟十、使用內(nèi)徑千分表等高精度測量工具測量三鏡組件108與相機基板105各連接點之間的距離,修研三鏡墊塊109,將三鏡組件108、三鏡墊塊109、相機基板105通過螺釘固定連接在一起,然后將三鏡調(diào)整架10與三鏡組件108之間的連接螺釘松開,并將三鏡調(diào)整架10移除,完成相機鏡頭1的整體裝調(diào)。

本實施方式中,各反射鏡的理論位置可以理解為:

主鏡組件104中的主鏡與次鏡組件102中的次鏡之間的相對位置關(guān)系為:主鏡中心與次鏡中心均位于相機鏡頭1的光軸上,主鏡中心與次鏡中心沿相機鏡頭1光軸方向上的距離為3500mm。

次鏡組件102中的次鏡與第一折疊鏡組件107中的第一折疊鏡之間的相對位置關(guān)系為:次鏡中心與第一折疊鏡中心沿相機鏡頭1光軸方向上的距離為4100mm,沿垂直于相機鏡頭1光軸方向上的距離為107mm。

第一折疊鏡組件107中的第一折疊鏡與一次像面111之間的相對位置關(guān)系為:第一折疊鏡中心與一次像面111中心沿相機鏡頭1光軸方向上的距離為112mm,沿垂直于相機鏡頭1光軸方向上的距離為455mm。

一次像面111與三鏡組件108中的三鏡之間的相對位置關(guān)系為:一次像面111中心與三鏡中心沿相機鏡頭1光軸方向上的距離為121mm,沿垂直于相機鏡頭1光軸方向上的距離為615mm。

三鏡組件108中的三鏡與第二折疊鏡組件110中的第二折疊鏡之間的相對位置關(guān)系為:三鏡中心與第二折疊鏡中心沿相機鏡頭1光軸方向上的距離為31mm,沿垂直于相機鏡頭1光軸方向上的距離為1637mm。

第二折疊鏡組件110中的第二折疊鏡與二次像面112之間的相對位置關(guān)系為:第二折疊鏡中心與二次像面112中心沿相機鏡頭1光軸方向上的距離為129mm,沿垂直于相機鏡頭1光軸方向上的距離為1026mm。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應(yīng)當指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。

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