本發(fā)明涉及基板加工技術領域，尤其涉及一種基板烘烤裝置。

背景技術：

彩色濾色片的制程中，各產線上的玻璃基板經(jīng)涂布機涂布光阻后需要進行烘烤，其主要目的就是將經(jīng)過涂布后的光阻，通過與熱板接觸加熱的方式，將光阻內經(jīng)VCD(真空干燥)抽氣后仍殘留的部分溶劑去除，進一步將涂布的膜層固化至接近濕膜狀態(tài)，并增加光阻與基板的附著力。

熱板加熱產生的光阻溶劑會揮發(fā)后附著在烘烤裝置腔體的蓋板內表面，產線上搬運的基板越多，越多的光阻溶劑揮發(fā)從而會在蓋板表面形成凝結物；蓋板表面凝結物越多，基板存在的返工或者報廢的風險就越大。因此，容易導致基板不良率增加，影響生產品質。

彩色濾色片制程中的光阻成分主要是光阻材料和溶劑等，溶劑很難找到替代品，而光阻材料技術已相對穩(wěn)定，因此光阻材料改善空間也較小。通常有兩種改善方法：(1)保養(yǎng)烘烤裝置，需使用10％的KOH溶劑及超細百級無塵布，然而，由于原廠蓋板不可拆卸，人員也需高空作業(yè)比較危險，光阻凝結物附著在原廠蓋板后，清潔過程耗時太久，并且清潔效果不佳；(2)直接更換原廠蓋板，容易損傷腔體，而且成本較高，耗時也較久。

隨著市場的需求日益增加，產線的產能要求越來越高，因此維護時間及周期也非常重要。以上兩種方案，要么很難對烘烤裝置蓋板上的光阻凝結物進行有效的清潔，導致產品缺陷過多，影響制品異常；要么容易損傷烘烤裝置腔體，更換難度大，耗時更久。

技術實現(xiàn)要素：

鑒于現(xiàn)有技術存在的不足，本發(fā)明提供了一種光阻凝結物清潔效果佳、基板良率高的基板烘烤裝置，而且光阻凝結物清潔迅速且徹底。

為了實現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明采用了如下的技術方案：

一種基板烘烤裝置，包括頂面開口的加熱室、蓋設于所述加熱室頂部的蓋板、設于所述加熱室內的加熱器以及設于所述加熱器上方的熱板，所述蓋板內表面可拆卸地固定有與所述熱板間隔設置的中間蓋板。

作為其中一種實施方式，所述中間蓋板為不銹鋼。

作為其中一種實施方式，所述加熱器包括中間的中部加熱器和兩側的側加熱器。

作為其中一種實施方式，所述加熱室側壁開設有至少一對對流孔。

作為其中一種實施方式，至少一個所述對流孔連接有抽氣扇。

作為其中一種實施方式，所述中間蓋板上開設有通孔，所述蓋板或所述中間蓋板與所述蓋板之間的所述加熱室側壁上開設有通風口。

作為其中一種實施方式，所述中間蓋板邊緣斜向下傾斜。

作為其中一種實施方式，所述熱板下方設置有高度可調地支撐所述熱板的支撐組件。

作為其中一種實施方式，所述支撐組件為若干個陣列設置的彈性頂針。

作為其中一種實施方式，所述加熱室的至少兩個相對的側壁內設置有沿所述加熱室高度方向上延伸的滑軌，所述加熱器端部可滑動地設于所述滑軌內。

本發(fā)明通過在基板烘烤裝置的蓋板內表面設有中間蓋板，基板加熱后揮發(fā)產生的光阻凝結物不會凝結在蓋板內表面，當光阻凝結物達到一定程度需要清潔時，只需要拆下中間蓋板進行清洗或更換即可，快捷方便。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例的一種基板烘烤裝置的內部結構示意圖。

圖2為本發(fā)明實施例的一種基板烘烤裝置的部分結構示意圖。

具體實施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發(fā)明進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

參閱圖1，本發(fā)明實施例的基板烘烤裝置包括頂面開口的加熱室10、蓋設于加熱室10頂部的蓋板20、設于加熱室10內的加熱器30以及設于加熱器30上方的熱板40，蓋板20內表面可拆卸地固定有與熱板40間隔設置的中間蓋板50。

中間蓋板50完全覆蓋在蓋板20的內表面，以免出現(xiàn)縫隙導致基板烘烤揮發(fā)出的光阻凝結物污染蓋板20。烘烤制程時，基板1平放在熱板40上表面，通過加熱器30對上方的熱板40進行加熱，使得基板1表面的光阻材料和溶劑等揮發(fā)后附著在中間蓋板50表面。當光阻凝結物達到一定程度需要清潔時，只需要拆下中間蓋板進行清洗或更換即可，清洗和更換都非常方便。

如圖2所示，本實施例的加熱器30包括中間的中部加熱器31和兩側的側加熱器32，中部加熱器31和側加熱器32都布置呈條狀，分別對應熱板40的中間區(qū)域和邊緣區(qū)域，對熱板40區(qū)域化加熱，例如，當基板1某一區(qū)域的濕度較高時，可以通過加熱器30提高相應區(qū)域的加熱溫度。加熱室10內還可設置有溫度傳感器，通過實時檢測熱板40相應區(qū)域的烘烤溫度實現(xiàn)精確加熱控制。

在烘烤過程中，為加速風干，在加熱室10側壁開設有至少一對對流孔100，本實施例優(yōu)選每側的側壁均開設有若干個對流孔100，并在其中一個對流孔100旁連接有抽氣扇101，通過抽氣扇101可以加速加熱室10內的空氣對流和熱交換，避免影響烘烤效果。

中間蓋板50優(yōu)選采用不銹鋼材料，成本低且耐腐蝕，清洗方便。中間蓋板50與加熱室10的可拆卸連接方式優(yōu)選可以采用如下方式進行：在加熱室10的各側壁開設有通孔，中間蓋板50放置到位后貼合在通孔表面，通過單獨設置的固定塊51(如圖1)插入該通孔后，固定塊51與加熱室10的各側壁將中間蓋板50夾持于其中，中間蓋板50即完成固定。當需要拆卸中間蓋板50時，只需拔出各個固定塊51，中間蓋板50即可取下，拆裝迅速。

另外，中間蓋板50上還開設有通孔，并在蓋板20或中間蓋板50與蓋板20之間的加熱室10側壁上開設有通風口，以加速中間蓋板50散熱和光阻凝結物固化。

在一種實施方式中，在中間蓋板50完全遮擋蓋板20內表面的前提下，中間蓋板50的邊緣還設計成斜向下傾斜的構造，烘烤過程中產生的液態(tài)或半固態(tài)的光阻凝結物可順著中間蓋板50的邊緣流下。另外，在加熱室10側壁內側的四周、中間蓋板50的下方設置有盛裝流下的光阻凝結物的容器。

熱板40下方設置有高度可調地支撐熱板40的支撐組件60。這里，支撐組件60為若干個陣列設置的彈性頂針。加熱室10的至少兩個相對的側壁內設置有沿加熱室10高度方向上延伸的滑軌，加熱器30端部可滑動地設于滑軌內?；搴婵狙b置在加熱室10外設有液壓裝置，可通過液壓裝置驅動加熱器30沿滑軌縱向運動，調節(jié)加熱器30與熱板40的間隔，以間接調節(jié)加熱效果。

綜上所述，本發(fā)明通過在基板烘烤裝置的蓋板內表面設有中間蓋板，基板加熱后揮發(fā)產生的光阻凝結物不會凝結在蓋板內表面，當光阻凝結物達到一定程度需要清潔時，只需要拆下中間蓋板進行清洗或更換即可，快捷方便。

以上所述僅是本申請的具體實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本申請原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本申請的保護范圍。