本發(fā)明涉及光學(xué)元件測(cè)量領(lǐng)域，具體涉及一種用于反射鏡光學(xué)元件的角度調(diào)整裝置。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，集成電路加工技術(shù)迅速發(fā)展，光刻分辨率由45nm向22nm不斷進(jìn)步，作為集成電路光刻的核心部件，光刻投影物鏡對(duì)光學(xué)元件的加工和光學(xué)系統(tǒng)整機(jī)裝調(diào)精度有著極高的要求。在光刻投影物鏡研制過(guò)程存在部分離軸非球面光學(xué)元件，其檢測(cè)需要采用立式向上測(cè)量斐索干涉儀，即測(cè)量光束豎直向上，在立式向上測(cè)量斐索干涉儀的研制過(guò)程中，斐索干涉儀主機(jī)一般是采用水平方向布置，這就需要一片反射鏡將水平測(cè)量光束反射為豎直方向，進(jìn)而需要一種用于反射鏡光學(xué)元件的角度調(diào)整裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)精細(xì)調(diào)整反射鏡的角度，并能夠?yàn)榉瓷溏R光學(xué)元件提供最小應(yīng)力支撐，以減小調(diào)整與支撐應(yīng)力對(duì)反射鏡光學(xué)元件面形精度影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

本發(fā)明提供了一種用于反射鏡光學(xué)元件的角度調(diào)整裝置。所述用于反射鏡光學(xué)元件的角度調(diào)整裝置包括：柔性支撐結(jié)構(gòu)，柔性支撐鏡框，角度調(diào)整螺釘，柔性支撐板；所述反射鏡光學(xué)元件通過(guò)所述柔性支撐結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述柔性支撐鏡框上；所述柔性支撐鏡框通過(guò)所述角度調(diào)整螺釘連接到所述柔性支撐板上。

在一些實(shí)施例中，所述用于反射鏡光學(xué)元件的角度調(diào)整裝置還包括固定角度支撐框架，所述柔性支撐板固定設(shè)置在所述固定角度支撐框架上。

在一些實(shí)施例中，所述角度調(diào)整螺釘包括角度調(diào)整細(xì)牙螺釘與角度調(diào)整緊固螺釘。

在一些實(shí)施例中，所述柔性支撐結(jié)構(gòu)為三點(diǎn)或多點(diǎn)柔性支撐結(jié)構(gòu)。

在一些實(shí)施例中，所述反射鏡光學(xué)元件通過(guò)所述柔性支撐結(jié)構(gòu)膠粘設(shè)置在所述柔性支撐鏡框上。

在一些實(shí)施例中，所述柔性支撐鏡框上設(shè)置有狹縫結(jié)構(gòu)。

在一些實(shí)施例中，所述狹縫結(jié)構(gòu)為弧形狹縫，且所述狹縫結(jié)構(gòu)與所述角度調(diào)整螺釘?shù)奈恢脤?duì)應(yīng)。

在一些實(shí)施例中，所述狹縫結(jié)構(gòu)有三個(gè)，且均勻布置在所述柔性支撐鏡框上。

在一些實(shí)施例中，所述角度調(diào)整螺釘有三組，且均勻布置在所述柔性支撐鏡框上。

在一些實(shí)施例中，所述反射鏡光學(xué)元件的表面是平面或曲面。

本發(fā)明的技術(shù)效果：本發(fā)明提供的用于反射鏡光學(xué)元件的角度調(diào)整裝置結(jié)構(gòu)能夠精密調(diào)整反射鏡光學(xué)元件的支撐角度，并減小由支撐調(diào)節(jié)引入的應(yīng)力對(duì)反射鏡光學(xué)元件面形精度的影響。

附圖說(shuō)明

圖1為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于反射鏡光學(xué)元件的角度調(diào)整裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于反射鏡光學(xué)元件的角度調(diào)整裝置中的柔性支撐鏡框的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，而不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。

參考圖1-2所示，是本發(fā)明提供的一種用于反射鏡光學(xué)元件1的角度調(diào)整裝置100。所述角度調(diào)整裝置100包括：柔性支撐結(jié)構(gòu)9，柔性支撐鏡框2，角度調(diào)整螺釘，柔性支撐板；所述反射鏡光學(xué)元件1通過(guò)所述柔性支撐結(jié)構(gòu)9設(shè)置在所述柔性支撐鏡框2上；所述柔性支撐鏡框2通過(guò)所述角度調(diào)整螺釘連接到所述柔性支撐板6上。

在一些實(shí)施例中，所述用于反射鏡光學(xué)元件的角度調(diào)整裝置100還包括固定角度支撐框架8，所述柔性支撐板6固定設(shè)置在所述固定角度支撐框架8上。

在一些實(shí)施例中，所述角度調(diào)整螺釘包括角度調(diào)整細(xì)牙螺釘3與角度調(diào)整緊固螺釘4。

在一些實(shí)施例中，所述柔性支撐結(jié)構(gòu)9為三點(diǎn)或多點(diǎn)柔性支撐結(jié)構(gòu)。

在一些實(shí)施例中，所述反射鏡光學(xué)元件1通過(guò)所述柔性支撐結(jié)構(gòu)9膠粘設(shè)置在所述柔性支撐鏡框2上。

在一些實(shí)施例中，所述柔性支撐鏡框2上設(shè)置有狹縫結(jié)構(gòu)5。

在一些實(shí)施例中，所述狹縫結(jié)構(gòu)5為弧形狹縫，且所述狹縫結(jié)構(gòu)5與所述角度調(diào)整螺釘?shù)奈恢脤?duì)應(yīng)。

在一些實(shí)施例中，所述狹縫結(jié)構(gòu)5有三個(gè)，且均勻布置在所述柔性支撐鏡框2上。

在一些實(shí)施例中，所述角度調(diào)整螺釘有三組，且均勻布置在所述柔性支撐鏡框2上。

在一些實(shí)施例中，所述反射鏡光學(xué)元件1的表面是平面或曲面。

本發(fā)明一種用于反射鏡光學(xué)元件的角度調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)如圖1﹑圖2所示，反射鏡光學(xué)元件1通過(guò)三點(diǎn)或多點(diǎn)柔性支撐結(jié)構(gòu)9膠粘連接到柔性支撐鏡框2上，柔性支撐鏡框2通過(guò)3組角度調(diào)整細(xì)牙螺釘3與角度調(diào)整緊固螺釘4連接到柔性支撐板6上，柔性支撐板6通過(guò)鏡框支撐連接螺釘7連接到固定角度支撐框架8上。通過(guò)上述連接，反射鏡光學(xué)元件1通過(guò)固定角度支撐框架8進(jìn)行角度初步定位，當(dāng)分別調(diào)整3個(gè)角度調(diào)整細(xì)牙螺釘3的支撐高度時(shí)，因支撐高度不同，可使柔性支撐鏡框2繞柔性支撐鏡框平面兩個(gè)傾斜方向進(jìn)行角度調(diào)整，進(jìn)而帶動(dòng)反射鏡光學(xué)元件1進(jìn)行精密角度調(diào)整。角度調(diào)整結(jié)束后緊固角度調(diào)整緊固螺釘4，以防止反射鏡光學(xué)元件1的角度位置發(fā)生變化。通過(guò)上述步驟實(shí)施，可以實(shí)現(xiàn)反射鏡光學(xué)元件1的高效率﹑高精度角度調(diào)整功能。

所述調(diào)整螺釘采用精密細(xì)牙螺釘，以提高角度調(diào)整的分辨率。在柔性支撐鏡框2的調(diào)整螺釘方向上，加工有消應(yīng)力的狹縫結(jié)構(gòu)5，以減小鏡框上調(diào)整螺釘接觸處局部受力過(guò)大，對(duì)柔性支撐鏡框的變形的影響。

通過(guò)三點(diǎn)或多點(diǎn)柔性支撐結(jié)構(gòu)9支撐反射鏡光學(xué)元件1，并在柔性支撐鏡框2上加工有消應(yīng)力狹縫結(jié)構(gòu)5，可以最大程度減小角度調(diào)整與支撐對(duì)反射鏡光學(xué)元件1面形精度的影響。

所述反射鏡光學(xué)元件1通過(guò)三點(diǎn)或多點(diǎn)柔性支撐結(jié)構(gòu)膠粘連接至柔性支撐鏡框2上，柔性支撐結(jié)構(gòu)9采用電火花加工方式加工。

從上述技術(shù)方案可以看出，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明技術(shù)方案具有以下有益效果：

(1)本發(fā)明中反射鏡光學(xué)元件采用三點(diǎn)或多點(diǎn)柔性結(jié)構(gòu)支撐方式支撐，減小了剛性支撐對(duì)反射鏡光學(xué)元件面形精度的影響。

(2)本發(fā)明中通過(guò)調(diào)整螺釘支撐的結(jié)構(gòu)調(diào)整柔性支撐鏡框的角度，進(jìn)而間接調(diào)整反射鏡光學(xué)元件的角度，并在柔性支撐鏡框調(diào)整螺釘位置加工有消應(yīng)力狹縫結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步減小調(diào)整螺釘支撐應(yīng)力對(duì)反射鏡光學(xué)元件面形精度的影響。

(3)本發(fā)明中采用固定角度支撐框架初定位反射鏡光學(xué)元件的角度，采用3組精密細(xì)牙調(diào)整螺釘精密調(diào)整反射鏡光學(xué)元件的最終角度，提高了反射鏡支撐結(jié)構(gòu)的剛度和角度調(diào)整的效率。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個(gè)該特征。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系，除非另有明確的限定。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過(guò)中間媒介間接接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本說(shuō)明書(shū)的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書(shū)中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不必須針對(duì)的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說(shuō)明書(shū)中描述的不同實(shí)施例或示例以及不同實(shí)施例或示例的特征進(jìn)行結(jié)合和組合。

盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，可以理解的是，上述實(shí)施例是示例性的，不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和變型。

以上所述本發(fā)明的具體實(shí)施方式，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。任何根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思所作出的各種其他相應(yīng)的改變與變形，均應(yīng)包含在本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。