技術(shù)總結(jié)
一種高品質(zhì)因子回音壁模微球腔的制備方法，涉及光學(xué)諧振腔。包括以下步驟：1)將毫米級(jí)石英玻璃棒固定在旋轉(zhuǎn)電機(jī)上；2)將毫米級(jí)石英玻璃棒頂端用CO2激光器剝蝕至所需微球腔大小的尺度，得微米級(jí)石英玻璃棒；3)用CO2激光器燒蝕掉微米級(jí)石英玻璃棒頂端多余的長(zhǎng)度，再加熱微米級(jí)石英玻璃棒，得原始回音壁模微腔；4)提高CO2激光器的輸出功率，短時(shí)間灼燒原始回音壁模微腔，受熱的微腔在表面張力的作用下自然形成球狀，得到高品質(zhì)因子回音壁模微球腔?？傻玫街衔⑶蚯?，穩(wěn)定性更好；可制備尺寸為190～700μm的微球腔，且品質(zhì)因子高達(dá)108以上。

技術(shù)研發(fā)人員：車凱軍;湯德宇;郭長(zhǎng)磊;許惠英;蔡志平;任昌燕;張盼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廈門大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611174648
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.19
技術(shù)公布日：2017.05.31