本發(fā)明涉及一種帶抖動校正功能的單元中的調(diào)整可動體的傾斜的方法，所述帶抖動校正功能的單元具有：可動體；具有將可動體支承為能夠擺動的支承機(jī)構(gòu)的固定體；以及抑制可動體的手抖或振動的抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

一直以來，使用裝設(shè)有拍攝用的光學(xué)單元的各種光學(xué)設(shè)備。所述光學(xué)單元為了抑制因手抖或振動產(chǎn)生的拍攝圖像的紊亂而具有使光學(xué)模塊擺動來校正抖動的抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)。在專利文獻(xiàn)1中公開有這種帶抖動校正功能的光學(xué)單元。專利文獻(xiàn)1的帶抖動校正功能的光學(xué)單元具有配置在可動體與固定體之間的萬向機(jī)構(gòu)以作為支承機(jī)構(gòu)，所述支承機(jī)構(gòu)用于將裝設(shè)有光學(xué)模塊的可動體支承為能夠相對于殼體(固定體)擺動。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2015-64501號公報(bào)

帶抖動校正功能的光學(xué)單元優(yōu)選在未驅(qū)動抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的靜止?fàn)顟B(tài)下，減小設(shè)置于固定體側(cè)的拍攝元件的光軸與設(shè)置于可動體側(cè)的光學(xué)系統(tǒng)的光軸的偏離(靜態(tài)傾斜)。并且，在構(gòu)成光學(xué)系統(tǒng)的部件分為可動體側(cè)和固定體側(cè)的情況下，未進(jìn)行抖動校正的靜止?fàn)顟B(tài)下的可動體相對于固定體的姿勢的偏離不僅影響光軸的偏離程度，而且還影響光學(xué)系統(tǒng)本身的性能。從而，優(yōu)選高精度地調(diào)整未進(jìn)行抖動校正的靜止?fàn)顟B(tài)下的可動體相對于固定體的傾斜。

在此，專利文獻(xiàn)1的帶抖動校正功能的光學(xué)單元除了具有將裝設(shè)有光學(xué)模塊的可動體支承為能夠擺動的萬向機(jī)構(gòu)之外，還具有安裝在可動體與固定體之間的板狀彈簧(彈性支承部件)。而且，通過板狀彈簧規(guī)定靜止?fàn)顟B(tài)下的可動體的姿勢。板狀彈簧具有：固定于固定體的固定體側(cè)固定部；以及固定于可動體的可動體側(cè)固定部，可動體側(cè)固定部的結(jié)構(gòu)為能夠調(diào)整可動體的安裝位置。具體而言，由于可動體側(cè)固定部與可動體之間存在間隙，因此能夠使可動體在該間隙的范圍內(nèi)移動來調(diào)整可動體的安裝位置。在這樣的結(jié)構(gòu)中，為了減小靜止?fàn)顟B(tài)下的可動體的姿勢與固定體的姿勢的偏離，要求高精度地調(diào)整可動體固定于板狀彈簧時的傾斜。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于這樣的問題，本發(fā)明的技術(shù)問題在于，在具有可動體、具有將可動體支承為能夠擺動的支承機(jī)構(gòu)的固定體以及抑制可動體的手抖或振動的抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的帶抖動校正功能的單元中，高精度地調(diào)整可動體相對于固定體的傾斜。

為了解決上述技術(shù)問題，提供一種調(diào)整可動體的傾斜的方法，該方法為在帶抖動校正功能的單元中調(diào)整可動體的傾斜的方法，所述帶抖動校正功能的單元具有：可動體；固定體，其具有將所述可動體支承為能夠擺動的支承機(jī)構(gòu)；抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其使所述可動體相對于所述固定體擺動；以及彈性支承部件，其連接所述可動體與所述固定體，該方法進(jìn)行如下工序：第一工序，在該第一工序中，形成具有與所述抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動力相反的方向的分量的力作用于所述可動體的狀態(tài)；第二工序，在該第二工序中，調(diào)節(jié)所述驅(qū)動力，以使所述可動體的傾斜方向與目標(biāo)方向一致；以及第三工序，在該第三工序中，在所述可動體的傾斜方向與目標(biāo)方向一致的狀態(tài)下，借助所述彈性支承部件連接所述可動體與所述固定體。

根據(jù)本發(fā)明，利用為了進(jìn)行可動體的抖動校正而在裝置內(nèi)部具有的抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)使可動體的傾斜方向與目標(biāo)方向一致，在可動體的傾斜方向與目標(biāo)方向一致的狀態(tài)下，連接彈性支承部件與可動體。此時，首先，對可動體的活動施加限制。具體而言，設(shè)成具有與抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動力相反的方向的分量的力(與抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動力相反的方向的力)作用于可動體的狀態(tài)，并設(shè)成為了使可動體活動而需要大于該力的力的狀態(tài)，之后，驅(qū)動抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)而調(diào)整可動體的傾斜。換句話說，向可動體施加偏置負(fù)載使可動體傾斜，對于該傾斜，使抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動力反向作用于可動體，使可動體的傾斜方向與目標(biāo)方向一致，在可動體的傾斜方向與目標(biāo)方向一致的狀態(tài)下，連接彈性支承部件與可動體。這樣一來，能夠避免在施加抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動力時、可動體因微小的力而大幅活動，因此能夠抑制可動體的傾斜發(fā)生偏差。從而，能夠高精度地調(diào)整可動體的傾斜。并且，由于利用位于裝置內(nèi)的抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)調(diào)整可動體的傾斜，因此與利用外部的驅(qū)動機(jī)構(gòu)使可動體活動的方法相比，能夠減少可動體的傾斜發(fā)生偏差的因素。由此，能夠高精度且穩(wěn)定地調(diào)整可動體的傾斜。

在本發(fā)明中，優(yōu)選在所述第一工序中，向所述可動體施加與朝向所述可動體的重心的方向不同的方向的偏置負(fù)載。這樣一來，可動體通過偏置負(fù)載而傾斜，因此從可動體傾斜的狀態(tài)開始調(diào)整傾斜。從而，在從抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)施加驅(qū)動力時，可動體越超過目標(biāo)位置，越大幅活動的可能性就會少。從而，能夠抑制可動體的傾斜發(fā)生偏差，因此能夠高精度調(diào)整可動體的傾斜。

在本發(fā)明中，在所述第一工序中，向所述可動體施加彈簧負(fù)載?；蛘?，向所述可動體施加壓重物的負(fù)載?；蛘?，向所述可動體施加反作用力或者吸引力，所述反作用力或者吸引力在保持于所述可動體的磁鐵與未保持于所述可動體的磁鐵之間發(fā)揮作用。通過利用這些方法施加偏置負(fù)載，能夠利用簡單的結(jié)構(gòu)對可動體的活動施加限制。從而，能夠避免在施加抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的力時，可動體因微小的力而大幅活動，因此能夠抑制可動體的傾斜發(fā)生偏差。從而，能夠高精度地調(diào)整可動體的傾斜。

在本發(fā)明中，優(yōu)選在所述第三工序中，利用UV固化型粘接劑固定所述可動體和所述彈性支承部件，在進(jìn)行所述UV固化型粘接劑的涂布以及固化處理的期間，以保持所述偏置負(fù)載和所述驅(qū)動力平衡的狀態(tài)的方式控制所述抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)。這樣一來，能夠減少可動體的位置在UV固化型粘接劑固化的中途因施加于固定部位的力的變動而發(fā)生偏移的可能性。

在本發(fā)明中，優(yōu)選在所述第二工序中，通過檢測由所述可動體反射的測量光來測量所述可動體的傾斜方向。如此，若利用光學(xué)式的傾斜測量方法，則與接觸式的傾斜測量方法相比，能夠減少可動體的位置偏移因素。從而，能夠高精度地調(diào)整可動體的傾斜。

在本發(fā)明中，優(yōu)選所述抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有線圈和磁鐵，在所述第二工序中，測量所述可動體的傾斜方向，并進(jìn)行反饋控制，所述反饋控制根據(jù)所測量的所述傾斜方向與所述目標(biāo)方向的偏離而控制向所述線圈供給的驅(qū)動電流。這樣一來，能夠利用自動調(diào)整使可動體的傾斜方向與目標(biāo)方向?qū)R。從而，能夠容易調(diào)整可動體的傾斜。在該情況下，能夠在所述第一工序中，向所述可動體施加與朝向所述可動體的重心的方向不同的方向的偏置負(fù)載，以使所述可動體傾斜，在所述第二工序中，利用所述抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)向與所述可動體的基于所述偏置負(fù)載的傾斜方向相反的方向施加所述驅(qū)動力，以所述可動體的傾斜方向與所述目標(biāo)方向一致的方式進(jìn)行調(diào)節(jié)，在所述第三工序中，在利用在所述第一工序中施加的所述偏置負(fù)載和在所述第二工序中施加的基于所述抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的所述驅(qū)動力對所述可動體的活動施加限制的狀態(tài)下，固定所述可動體和所述彈性支承部件。

在本發(fā)明中，優(yōu)選所述支承機(jī)構(gòu)將所述可動體支承為能夠向兩個方向擺動，所述兩個方向?yàn)槔@與所述固定體的中心軸線交叉的第一方向的擺動方向和繞與所述中心軸線以及所述第一方向交叉的第二方向的擺動方向，所述抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)具有：第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其使所述可動體繞所述第一方向擺動；以及第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)，其使所述可動體繞所述第二方向擺動，在所述第一工序中，向所述可動體施加使所述可動體繞所述第一方向傾斜的第一負(fù)載和使所述可動體繞所述第二方向傾斜的第二負(fù)載中的至少一個負(fù)載，以使所述可動體傾斜，在所述第二工序中，控制所述第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及所述第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)，調(diào)節(jié)所述可動體的繞所述第一方向的傾斜方向和繞所述第二方向的傾斜方向，以所述可動體的傾斜方向與所述目標(biāo)方向一致的方式進(jìn)行調(diào)節(jié)，在所述第三工序中，安裝所述彈性支承部件，以便以能夠相對于所述固定體向所述第一方向以及所述第二方向相對移動的狀態(tài)支承所述可動體。這樣一來，在將光學(xué)模塊裝設(shè)于可動體的情況下，能夠按照目標(biāo)設(shè)定光學(xué)模塊的光軸方向。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，由于利用為了進(jìn)行可動體的抖動校正而在裝置內(nèi)部具有的抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)調(diào)整可動體的傾斜，因此與利用外部的驅(qū)動機(jī)構(gòu)使可動體活動的方法相比，能夠減少可動體的傾斜發(fā)生偏差的因素。并且，由于預(yù)先對可動體的活動施加限制，并從該狀態(tài)起，驅(qū)動抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)而調(diào)整可動體的傾斜，因此能夠避免在施加抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動力時、可動體因微小的力而大幅活動。從而，能夠抑制可動體的傾斜發(fā)生偏差。由此，能夠高精度且穩(wěn)定地調(diào)整可動體的傾斜。

附圖說明

圖1是應(yīng)用了本發(fā)明的帶抖動校正功能的單元的立體圖。

圖2是圖1的帶抖動校正功能的單元的剖視圖。

圖3是圖1的帶抖動校正功能的單元的分解立體圖。

圖4是支承機(jī)構(gòu)以及抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)的說明圖。

圖5是表示通過彈性支承部件連接可動體與固定體的方法的說明圖。

圖6是表示通過彈性支承部件連接可動體與固定體的方法的說明圖。

圖7是調(diào)整可動體的傾斜的方法的說明圖。

圖8是調(diào)整可動體的傾斜的控制框圖。

圖9是調(diào)整可動體的傾斜的方法的流程圖。

圖10是表示向可動體施加偏置負(fù)載的方法的變形例的說明圖。

符號說明

1 帶抖動校正功能的單元

2 光學(xué)模塊

10 可動體

20 固定體

30 支承機(jī)構(gòu)

31 第一接點(diǎn)彈簧保持部

32 第二接點(diǎn)彈簧保持部

33 第一接點(diǎn)彈簧

34 第二接點(diǎn)彈簧

36 第一擺動支承部

37 第二擺動支承部

38 球體

39 可動框

40 保持架

41 框部

42 保持孔

44 壁部

45 線圈保持部

46 缺口部

47 階梯部

48 固定用凸部

49 止擋部件

50 抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)

51 磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)

51X 第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)

51Y 第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)

52 磁鐵

53 線圈

70 彈性支承部件

71 固定體側(cè)連接部

72 可動體側(cè)連接部

73 臂部

74 卡合孔

75 凹部

80 柔性布線基板

81 矩形框部分

82 拉繞部

100、100A、100B 限制部

101 測量臺

102 可動體按壓部

103 凹部

104 移動部件

105 彈簧

106 壓重物

107 第一磁鐵

108 第二磁鐵

110 測量部

111 自準(zhǔn)直器

112 反射部件

120 控制部

121 傾斜量計(jì)算電路

122 驅(qū)動力計(jì)算電路

123X 第一驅(qū)動電流控制電路

123Y 第二驅(qū)動電流控制電路

210 第一殼體

211 主體部

212 端板部

214 窗

216 側(cè)板部

250 第二殼體

251 第一部件

252 第二部件

253 開口部

254、255 側(cè)壁部

256 安裝面

258 固定用凸部

391 支點(diǎn)部

392 連接部

393 蜿蜒部

F 偏置負(fù)載

F1 第一負(fù)載

F2 第二負(fù)載

H 基準(zhǔn)面

H0 目標(biāo)方向

L 中心軸線

L0 光軸

R1 第一軸線

R2 第二軸線

W 可動體的重心

W1 壓重物的重心

具體實(shí)施方式

(整體結(jié)構(gòu))

以下，參照附圖對本發(fā)明的在帶抖動校正功能的單元中調(diào)整可動體的傾斜的方法的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是帶抖動校正功能的單元的立體圖，圖2是帶抖動校正功能的單元1的剖視圖(圖1的A-A剖視圖)。在圖1、圖2所示的帶抖動校正功能的單元1裝設(shè)有光學(xué)模塊2(參照圖2)。裝設(shè)有光學(xué)模塊2的帶抖動校正功能的單元1例如用于帶攝像頭的移動電話、行車記錄儀等的光學(xué)設(shè)備或者裝設(shè)于安全帽、自行車、遙控直升機(jī)等的運(yùn)動攝像頭或可穿戴式攝像頭等光學(xué)設(shè)備。在這樣的光學(xué)設(shè)備中，若在拍攝時發(fā)生抖動，則為了避免拍攝圖像產(chǎn)生紊亂，驅(qū)動帶抖動校正功能的單元1來校正抖動。

在本說明書中，XYZ這三個軸是相互正交的方向，用+X表示X軸方向的一側(cè)，用-X表示X軸方向的另一側(cè)，用+Y表示Y軸方向的一側(cè)，用-Y表示Y軸方向的另一側(cè)，用+Z表示Z軸方向的一側(cè)，用-Z表示Z軸方向的另一側(cè)。Z軸方向是帶抖動校正功能的單元1的中心軸線L。中心軸線L方向是在將光學(xué)模塊2裝設(shè)于帶抖動校正功能的單元1的情況下、應(yīng)與光學(xué)模塊2的光軸L0(參照圖2)一致的方向。并且，-Z方向是光軸L0方向的像側(cè)，+Z方向是成為光軸L0方向的被攝體側(cè)的方向。帶抖動校正功能的單元1繞X軸的旋轉(zhuǎn)相當(dāng)于所謂的俯仰(縱搖)，繞Y軸的旋轉(zhuǎn)相當(dāng)于所謂的偏轉(zhuǎn)(橫搖)。并且，繞Z軸的旋轉(zhuǎn)相當(dāng)于所謂的側(cè)傾。

圖3是帶抖動校正功能的單元1的分解立體圖。如圖2、圖3所示，帶抖動校正功能的單元1具有：可動體10；固定體20；將可動體10支承為能夠相對于固定體20擺動的支承機(jī)構(gòu)30；產(chǎn)生使可動體10相對于固定體20相對變位的磁驅(qū)動力的抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50；連接可動體10與固定體20的彈性支承部件70；以及柔性布線基板80。帶抖動校正功能的單元1經(jīng)由柔性布線基板80與上位的控制裝置電連接，該上位的控制裝置設(shè)置于供帶抖動校正功能的單元1裝設(shè)的光學(xué)設(shè)備的主體側(cè)。在光學(xué)設(shè)備產(chǎn)生抖動時檢測抖動的陀螺儀(抖動檢測傳感器)的輸出被輸入至控制裝置?？刂蒲b置根據(jù)陀螺儀的輸出而驅(qū)動抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50而使可動體10擺動，以進(jìn)行抖動校正。

可動體10被支承機(jī)構(gòu)30支承為能夠繞與中心軸線L交叉的第一軸線R1(參照圖1)擺動，并且支承為能夠繞與中心軸線L以及第一軸線R1交叉的第二軸線R2(參照圖1)擺動。第一軸線R1以及第二軸線R2是固定體20的對角方向，并與中心軸線L正交。并且，第一軸線R1以及第二軸線R2相互正交。在此，第一軸線R1以及第二軸線R2是與X軸以及Y軸交叉的方向，但是可動體10繞第一軸線R1的擺動以及繞第二軸線R2的擺動被轉(zhuǎn)換為組合可動體10繞X軸的擺動以及繞Y軸的擺動的活動。即，支承機(jī)構(gòu)30將可動體10支承為能夠繞X軸以及繞Y軸擺動。

(固定體)

固定體20具有：在從Z軸方向觀察時呈大致正方形的外形的第一殼體210；以及從-Z方向側(cè)組裝于第一殼體210的第二殼體250。第一殼體210通過焊接等固定于第二殼體250。第一殼體210具有：包圍可動體10的周圍的方筒狀的主體部211；以及從主體部211的+Z方向的端部向內(nèi)側(cè)突出的矩形框狀的端板部212。在端板部212的中央形成有窗214。主體部211具有位于+X方向側(cè)、-X方向側(cè)、+Y方向側(cè)、-Y方向側(cè)這些各方向的側(cè)板部216。

第二殼體250由矩形框狀的第一部件251和矩形框狀的第二部件252這兩個部件構(gòu)成，第二部件252安裝于第一部件251的+Z方向側(cè)。第二殼體250設(shè)置有矩形的開口部253。在開口部253的內(nèi)周側(cè)配置有連接可動體10與固定體20的彈性支承部件70。彈性支承部件70是板狀彈簧。第二部件252具有從第一軸線R1上的對角位置向+Z方向立起的側(cè)壁部254、255。在側(cè)壁部254、255形成有第一接點(diǎn)彈簧保持部31，第一接點(diǎn)彈簧保持部31構(gòu)成支承機(jī)構(gòu)30的第一擺動支承部36。

(抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu))

圖4是支承機(jī)構(gòu)30以及抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50的說明圖，圖4(a)是從帶抖動校正功能的單元1拆卸第一殼體210后的狀態(tài)的立體圖，圖4(b)是第二擺動支承部37的局部剖視圖(圖4(a)的B-B剖視圖)。抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50具有設(shè)置在固定體20與可動體10之間的四組磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51。各磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51具有磁鐵52和線圈53。線圈53是空芯線圈，其保持于可動體10的+X方向側(cè)以及-X方向側(cè)的側(cè)面和可動體10的+Y方向側(cè)以及-Y方向側(cè)的側(cè)面。如圖2、圖3所示，磁鐵52在第一殼體210的主體部211中保持在位于+X方向側(cè)、-X方向側(cè)、+Y方向側(cè)、-Y方向側(cè)這些各方向的側(cè)板部216的內(nèi)表面。從而，在可動體10與第一殼體210的主體部211之間，磁鐵52與線圈53無論在+X方向側(cè)、-X方向側(cè)、+Y方向側(cè)、-Y方向側(cè)中的哪一方向側(cè)都相向。

磁鐵52的與主體部211接觸的外表面?zhèn)群兔嫦蚓€圈53的內(nèi)表面?zhèn)缺淮呕刹煌臉O。并且，磁鐵52沿著中心軸線L方向(即，Z軸方向)被分割為兩個部分，并被磁化成內(nèi)表面?zhèn)鹊拇艠O以分割位置為邊界不同。因此，線圈53的上下的長邊部分被用作有效邊。四個磁鐵的外表面?zhèn)纫约皟?nèi)表面?zhèn)鹊拇呕瘓D案相同。第一殼體210由磁性材料構(gòu)成，并作為與磁鐵52相對應(yīng)的軛發(fā)揮功能。

如圖4所示，磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51具有：由位于可動體10的+Y方向側(cè)以及-Y方向側(cè)的兩組磁鐵52以及線圈53構(gòu)成的第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X；以及由位于可動體10的+X方向側(cè)以及-X方向側(cè)的兩組磁鐵52以及線圈53構(gòu)成的第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y。構(gòu)成第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X的兩個線圈53以在通電時產(chǎn)生繞X軸的相同方向的磁驅(qū)動力的方式配線連接。并且，構(gòu)成第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y的兩個線圈53以在通電時產(chǎn)生繞Y軸的相同方向的磁驅(qū)動力的方式配線連接。從而，當(dāng)向第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X的線圈53通電時，在Y軸方向上隔著可動體10相向的兩個部位向可動體10施加繞X軸的相同方向的旋轉(zhuǎn)力。并且，當(dāng)向第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y的線圈53通電時，在X軸方向上隔著可動體10相向的兩個部位向可動體10施加繞Y軸的相同方向的旋轉(zhuǎn)力。從而，通過向第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X的線圈通電，能夠進(jìn)行俯仰(縱搖)方向的抖動校正。并且，通過向第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y的線圈通電，能夠進(jìn)行偏轉(zhuǎn)(橫搖)方向的抖動校正。

(可動體)

如圖2、圖3所示，可動體10具有：供光學(xué)模塊2安裝的保持架40；以及安裝于保持架40的-Z方向的端部的框狀的止擋部件49。在可動體10擺動時，止擋部件49與固定體20的第二殼體250的內(nèi)周面抵接而限制可動體10的擺動范圍。保持架40具有在從Z軸方向觀察時的平面形狀為大致正方形的框部41，在框部41的中央形成有用于配置光學(xué)模塊2的圓形的保持孔42。光學(xué)模塊2在固定于保持架40時，在Z軸方向上與設(shè)置于保持架40的基準(zhǔn)面H抵接而被定位。

如圖3所示，在框部41的+X方向側(cè)、-X方向側(cè)、+Y方向側(cè)、-Y方向側(cè)這些各側(cè)的端緣配置有向+Z方向立起的壁部44。壁部44配置成包圍保持孔42的外周側(cè)，在框部41的各側(cè)端緣的中央沿著X軸方向或者Y軸方向呈直線狀延伸。四個部位的壁部44分別具有線圈保持部45，線圈保持部45形成于朝向與保持孔42相反的一側(cè)的外側(cè)面。線圈保持部45是矩形的凸部，安裝有磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51的線圈53。如圖2所示，線圈保持部45從線圈53的中央向磁鐵52側(cè)突出，并與磁鐵52相向。當(dāng)可動體10通過振動等在X軸方向或者Y軸方向上變位時，線圈保持部45與磁鐵52抵接而限制可動體10的移動范圍。

在框部41安裝有用于向線圈53供電的柔性布線基板80。柔性布線基板80具有：沿著四個部位的壁部44的內(nèi)周側(cè)延伸的矩形框部分81；從矩形框部分81的內(nèi)周緣穿過保持孔42向-Z方向引出的帶狀的拉繞部82；以及設(shè)置于拉繞部82的-Z方向的端部的平板狀部分83。在矩形框部分81連接有四個線圈53。平板狀部分83位于比第二殼體250的開口部253靠-Z方向側(cè)的位置，并與設(shè)置于光學(xué)模塊2的電子元件連接。

在框部41的第一軸線R1上的對角位置設(shè)置有缺口部46，缺口部46用與第一軸線R1垂直的面切除而成。在將可動體10組裝于固定體20時，設(shè)置于第二殼體250的第一軸線R1上的對角位置的側(cè)壁部254、255配置在缺口部46。從而，設(shè)置于側(cè)壁部254、255的第一接點(diǎn)彈簧保持部31配置在框部41的第一軸線R1上的對角位置。并且，在框部41的第二軸線R2上的對角位置形成有第二接點(diǎn)彈簧保持部32，第二接點(diǎn)彈簧保持部32構(gòu)成支承機(jī)構(gòu)30的第二擺動支承部37。

框部41的外周面呈+X方向側(cè)、-X方向側(cè)、+Y方向側(cè)、-Y方向側(cè)的各個面在Z軸方向的中途位置具有臺階的形狀。即，如圖2、圖3所示，在框部41的外周面的-Z方向側(cè)的部分設(shè)置有向內(nèi)周側(cè)凹陷的階梯部47，在階梯部47的-Z方向的端部安裝有止擋部件49。階梯部47具有固定用凸部48，固定用凸部48形成于朝向+X方向側(cè)、-X方向側(cè)、+Y方向側(cè)、-Y方向側(cè)的各個面的中央。固定用凸部48沿著Z軸方向呈直線狀延伸，并作為卡合彈性支承部件70的卡合部發(fā)揮功能。

(支承機(jī)構(gòu))

將可動體10支承為能夠相對于固定體20擺動的支承機(jī)構(gòu)30構(gòu)成于第二殼體250與保持架40之間。在本實(shí)施方式中，將萬向機(jī)構(gòu)用作支承機(jī)構(gòu)30。支承機(jī)構(gòu)30(萬向機(jī)構(gòu))具有：在將可動體10組裝于固定體20時配置在第一軸線R1方向上離開的兩個部位的第一擺動支承部36；配置在第二軸線R2方向上離開的兩個部位的第二擺動支承部37；以及被第一擺動支承部36以及第二擺動支承部37支承的可動框39。

如圖3、圖4所示，可動框39是大致矩形的萬向彈簧。可動框39具有：設(shè)置于繞中心軸線L的四個部位的支點(diǎn)部391；以及繞中心軸線L連接相鄰的支點(diǎn)部391的連接部392。在各支點(diǎn)部391的內(nèi)側(cè)面通過焊接等固定有金屬制的球體38。通過該球體38在各支點(diǎn)部391設(shè)置有朝向可動框39的中心的半球狀的凸面。連接部392具有沿著X軸方向或者Y軸方向延伸的蜿蜒部393，能夠沿著與中心軸線L正交的方向彈性變形。

第一擺動支承部36具有：設(shè)置于固定體20的第二殼體250的第一接點(diǎn)彈簧保持部31；以及保持于第一接點(diǎn)彈簧保持部31的第一接點(diǎn)彈簧33。第一接點(diǎn)彈簧33是呈U字狀彎曲的金屬制的板簧。第一擺動支承部36配置在支點(diǎn)部391的內(nèi)周側(cè)，并借助以沿著第一軸線R1方向可彈性變形的狀態(tài)安裝的第一接點(diǎn)彈簧33支承可動框39，上述支點(diǎn)部391設(shè)置在第一軸線R1方向的對角位置。

第二擺動支承部37具有：設(shè)置于可動體10的保持架40的第二接點(diǎn)彈簧保持部32；以及保持于第二接點(diǎn)彈簧保持部32的第二接點(diǎn)彈簧34。第二接點(diǎn)彈簧34是呈U字狀彎曲的金屬制的板簧，形狀與第一接點(diǎn)彈簧33相同。第二擺動支承部37借助以沿著第二軸線R2方向可彈性變形的狀態(tài)安裝的第二接點(diǎn)彈簧34支承可動框39。

在第一擺動支承部36的第一接點(diǎn)彈簧33以及第二擺動支承部37的第二接點(diǎn)彈簧34分別形成有半球狀的接點(diǎn)部，該接點(diǎn)部與焊接于支點(diǎn)部391的球體38接觸。通過第一接點(diǎn)彈簧33以及第二接點(diǎn)彈簧34的半球狀的接點(diǎn)部與球體38點(diǎn)接觸，支承可動框39的設(shè)置于繞中心軸線L的四個部位的支點(diǎn)部391。從而，以能夠分別繞與中心軸線L方向正交的兩個方向(第一軸線R1方向以及第二軸線R2方向)旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)支承可動框39。

(彈性支承部件)

圖5、圖6是表示通過彈性支承部件連接可動體10與固定體20的方法的說明圖，圖5是保持架40、彈性支承部件70以及第一部件251的分解立體圖。并且，圖6是將帶抖動校正功能的單元1從-Z方向側(cè)觀察到的仰視圖，表示將固定體20的第一部件251、可動體10的止擋部件49以及柔性布線基板80拆卸后的狀態(tài)。如圖2所示，彈性支承部件70配置于固定體20的-Z方向的端部，并連接固定體20與可動體10。通過彈性支承部件70規(guī)定處于未驅(qū)動抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50的靜止?fàn)顟B(tài)時的可動體10的姿勢。

如圖5所示，彈性支承部件70是加工金屬板而成的矩形框狀的板狀彈簧。彈性支承部件70具有：與固定體20連接的固定體側(cè)連接部71；與可動體10連接的可動體側(cè)連接部72；以及連接固定體側(cè)連接部71與可動體側(cè)連接部72的臂部73。如圖5所示，第一部件251具有形成于朝向+Z方向的端面的四角的安裝面256。在四個部位的安裝面256分別形成有向+Z方向突出的固定用凸部258。固定體側(cè)連接部71形成于彈性支承部件70的外周部的四角，并形成有供固定用凸部258嵌入的卡合孔74。另一方面，可動體側(cè)連接部72形成于彈性支承部件70的內(nèi)周緣。可動體側(cè)連接部72是沿著配置于彈性支承部件70的內(nèi)周側(cè)的可動體10的部分(階梯部47)的外周面的形狀的框狀部，具有形成于與設(shè)置于階梯部47的固定用凸部48對應(yīng)的位置的凹部75。

(通過彈性支承部件連接固定體與可動體的結(jié)構(gòu))

彈性支承部件70在進(jìn)行固定體20與可動體10的組裝工作之前安裝于固定體20的第二殼體250。首先，在將第一部件251與第二部件252分離的狀態(tài)下，將彈性支承部件70從+Z方向側(cè)安裝于第一部件251。此時，使固定體側(cè)連接部71的卡合孔74與固定用凸部258卡合，以將彈性支承部件70定位于第一部件251。在安裝彈性支承部件70之后，接合第一部件251與第二部件252而形成第二殼體250。

在將可動體10組裝于固定體20時，可動體10的階梯部47配置于第二殼體250的開口部253。彈性支承部件70的可動體側(cè)連接部72配置成包圍配置于開口部253的階梯部47。在此，如圖6所示，可動體側(cè)連接部72稍微大于階梯部47的外形，在階梯部47的外周面與可動體側(cè)連接部72之間存在間隙。并且，設(shè)置于可動體側(cè)連接部72的凹部75與設(shè)置于階梯部47的固定用凸部48以中間存在間隙的狀態(tài)卡合。也就是說，在將可動體10組裝于固定體20時，彈性支承部件70的可動體側(cè)連接部72以能夠相對于可動體10相對移動的狀態(tài)與可動體10卡合。

在本實(shí)施方式中，在將可動體10組裝于固定體20之后，在可動體側(cè)連接部72以能夠相對于可動體10相對移動的狀態(tài)與可動體10卡合的狀態(tài)下，調(diào)整可動體10的姿勢(傾斜)。在調(diào)整可動體10的傾斜之后，利用UV固化型粘接劑固定可動體側(cè)連接部72與可動體10。

(調(diào)整可動體的傾斜的方法)

圖7是調(diào)整可動體10的傾斜的方法的說明圖，圖7(a)表示向可動體10施加了偏置負(fù)載的狀態(tài)，圖7(b)表示使可動體10的傾斜方向與目標(biāo)方向一致的狀態(tài)。在本實(shí)施方式中，在將光學(xué)模塊2安裝于可動體10時，以光學(xué)模塊2的光軸L0與帶抖動校正功能的單元1的中心軸線L一致的方式調(diào)整可動體10的傾斜，之后，利用UV固化型粘接劑連接可動體10與彈性支承部件70。如上所述，由于通過可動體10的基準(zhǔn)面H規(guī)定光學(xué)模塊2的姿勢，因此以基準(zhǔn)面H朝向與中心軸線L垂直的方向(目標(biāo)方向H0：參照圖7(a))的方式調(diào)整可動體10的傾斜。

如圖7(a)、圖7(b)所示，用于調(diào)整可動體10的傾斜的裝置具有：向可動體10施加偏置負(fù)載而限制其活動的限制部100；測量可動體10的傾斜方向的傾斜測量部110；以及根據(jù)傾斜測量部110的輸出而控制抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50并校正可動體10的傾斜的控制部120。如此，在本實(shí)施方式中，作為用于調(diào)整可動體10的傾斜的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，并沒有使用從外部使帶抖動校正功能的單元1活動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，而是使用了在帶抖動校正功能的單元1的內(nèi)部具有的抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50。

限制部100具有：載置帶抖動校正功能的單元1的測量臺101；以及設(shè)置于測量臺101的可動體按壓部102?？蓜芋w按壓部102具有：形成于測量臺101的凹部103；能夠沿凹部103的軸線方向移動的移動部件104；以及將移動部件104向從凹部103突出的方向施力的彈簧105。帶抖動校正功能的單元1以安裝有彈性支承部件70的一側(cè)(即，在圖1、圖2中朝向-Z方向的一側(cè))為上方設(shè)置于測量臺101。并且，帶抖動校正功能的單元1設(shè)置成可動體按壓部102在從中心軸線L上偏離的位置按壓可動體10。可動體按壓部102通過彈簧105對移動部件104施力而按壓可動體10，由此對可動體10施加與中心軸線L平行的偏置負(fù)載F。

可動體10的重心W位于帶抖動校正功能的單元1的中心軸線L上?？蓜芋w按壓部102在從中心軸線L上偏離的位置向與中心軸線L平行的方向按壓可動體10。即，可動體按壓部102向可動體10施加以使可動體10傾斜的方式起作用的偏置負(fù)載F。另外，偏置負(fù)載F可以不是與中心軸線L平行的力，只要是能夠使可動體10傾斜的方向的力即可。即，從可動體按壓部102施加于可動體10的偏置負(fù)載F只要是朝向與朝向可動體10的重心W的方向不同的方向的力即可。

傾斜測量部110具有自準(zhǔn)直器111和反射部件112。自準(zhǔn)直器111將與設(shè)置于測量臺101上的帶抖動校正功能的單元1的中心軸線L平行的測量光照射至帶抖動校正功能的單元1。反射部件112例如為反射鏡，與作為光學(xué)模塊2的安裝面的基準(zhǔn)面H平行地安裝于可動體10。傾斜測量部110通過利用自準(zhǔn)直器111檢測由反射部件112反射的反射光，檢測可動體10的傾斜方向θ(參照圖7(a))。在本實(shí)施方式中，以光學(xué)模塊2的光軸L0(參照圖2)與帶抖動校正功能的單元1的中心軸線L一致為目標(biāo)調(diào)整可動體10的傾斜。從而，應(yīng)與基準(zhǔn)面H的傾斜方向一致的目標(biāo)方向H0是與中心軸線L垂直的方向。因此，以θ＝0的方式調(diào)整可動體10的傾斜。

可動體10被支承機(jī)構(gòu)30支承為能夠沿著繞X軸和繞Y軸這兩個方向擺動。限制部100向可動體10施加產(chǎn)生繞X軸的傾斜的第一負(fù)載F1和產(chǎn)生繞Y軸的傾斜的第二負(fù)載F2以作為偏置負(fù)載F。例如，在測量臺101的以設(shè)置于測量臺101的帶抖動校正功能的單元1的中心軸線L為基準(zhǔn)分離90度的角度位置分別設(shè)置有可動體按壓部102。通過在兩個部位設(shè)置可動體按壓部102，能夠通過其中一個可動體按壓部102向可動體10施加產(chǎn)生繞X軸的傾斜的第一負(fù)載F1。并且，能夠通過另一個可動體按壓部102向可動體10施加產(chǎn)生繞Y軸的傾斜的第二負(fù)載F2。

另外，限制部100也可以是從一個部位的可動體按壓部102施加合成了第一負(fù)載F1和第二負(fù)載F2的負(fù)載以作為偏置負(fù)載F的結(jié)構(gòu)。或者，也可以是只施加第一負(fù)載F1和第二負(fù)載F2中的任一負(fù)載的結(jié)構(gòu)。并且，在將可動體按壓部102設(shè)置于兩個部位的情況下，其位置關(guān)系并不限定于以中心軸線L為基準(zhǔn)分離90度的角度位置。

圖8是調(diào)整可動體10的傾斜的控制框圖?？刂撇?20是與設(shè)置于測量臺101的帶抖動校正功能的單元1以及自準(zhǔn)直器111連接的控制單元?？刂撇?20具有傾斜量計(jì)算電路121、驅(qū)動力計(jì)算電路122以及驅(qū)動電流控制電路123X、123Y。如上所述，在限制部100將繞X軸和繞Y軸的兩個方向的偏置負(fù)載施加于可動體10的情況下，由自準(zhǔn)直器111測量的傾斜成為繞X軸的傾斜量和繞Y軸的傾斜量的合成量。傾斜量計(jì)算電路121根據(jù)自準(zhǔn)直器111的輸出而求出可動體10繞X軸的傾斜量(俯仰傾斜量)和繞Y軸的傾斜量(偏轉(zhuǎn)傾斜量)。傾斜量計(jì)算電路121求出的傾斜量例如相當(dāng)于將當(dāng)前的基準(zhǔn)面H的傾斜方向相對于目標(biāo)方向H0的偏離量分為X軸方向分量和Y軸方向分量。

驅(qū)動力計(jì)算電路122根據(jù)通過傾斜量計(jì)算電路121算出的繞X軸以及繞Y軸的傾斜量求出用于使可動體10的傾斜方向與目標(biāo)方向H0一致的、第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X以及第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y的驅(qū)動量。具體而言，驅(qū)動力計(jì)算電路122求出的驅(qū)動量是向第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X以及第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y的線圈53通電的電流值(校正電流)。驅(qū)動力計(jì)算電路122向驅(qū)動電流控制電路123X施加用于控制第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X的線圈53的通電量的俯仰校正指示以作為用于使所求出的校正電流流過的指令信號。并且，向驅(qū)動電流控制電路123Y施加用于控制第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y的線圈53的通電量的偏轉(zhuǎn)校正指示。

(可動體的傾斜調(diào)整)

圖9是調(diào)整可動體10的傾斜的方法的流程圖，表示在調(diào)整可動體10的傾斜之后、通過彈性支承部件70連接固定體20與可動體10的工序。首先，在開始調(diào)整可動體10的傾斜之前，將彈性支承部件70安裝于固定體20，從而將可動體10組裝于固定體20。開始調(diào)整傾斜之前的帶抖動校正功能的單元1的狀態(tài)是如下狀態(tài)：如在彈性支承部件70的安裝方法的欄中說明，彈性支承部件70的固定體側(cè)連接部71固定于固定體20，并且可動體側(cè)連接部72以能夠相對于可動體10相對移動的狀態(tài)與可動體10卡合。

在步驟S1(第一工序)中，通過限制部100向帶抖動校正功能的單元1施加偏置負(fù)載F。具體而言，將帶抖動校正功能的單元1設(shè)置于測量臺101，從兩個部位的可動體按壓部102向可動體10施加產(chǎn)生繞X軸的傾斜的第一負(fù)載F1和產(chǎn)生繞Y軸的傾斜的第二負(fù)載F2。

在步驟S2～S8(第二工序)中，控制部120控制抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50，進(jìn)行使可動體10基準(zhǔn)面H的傾斜方向與目標(biāo)方向H0對齊的自動調(diào)整。首先，在步驟S2中，自準(zhǔn)直器111檢測可動體10的傾斜量，并將繞X軸的方向以及繞Y軸的方向的傾斜量(俯仰傾斜量、偏轉(zhuǎn)傾斜量)按方向輸出至控制部120。在步驟S2中檢測出的傾斜量是與目標(biāo)方向H0的偏離量。然后，在步驟S3中，通過驅(qū)動力計(jì)算電路122進(jìn)行根據(jù)繞X軸以及繞Y軸的傾斜量求出俯仰校正指示以及偏轉(zhuǎn)校正指示的處理。接著，在步驟S4中，通過接收了俯仰校正指示以及偏轉(zhuǎn)校正指示的驅(qū)動電流控制電路123X以及驅(qū)動電流控制電路123Y進(jìn)行向第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X的線圈53以及第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y的線圈53接通校正電流的處理。

當(dāng)在步驟S4中接通校正電流時，從第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X以及第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y向可動體10施加磁驅(qū)動力。通過校正電流產(chǎn)生的磁驅(qū)動力是與偏置負(fù)載F相反的方向的力。從而，可動體10向解除基于偏置負(fù)載F的傾斜的方向擺動，以使可動體10的傾斜校正與校正電流相應(yīng)的角度。

在步驟S5中，與步驟S2相同地由自準(zhǔn)直器111進(jìn)行可動體10的傾斜量的檢測。接著，進(jìn)入步驟S6，判定每一個方向的傾斜量是否大于容許量。在判定為偏離量大于容許量的情況下(步驟S6：否)，返回到步驟S3?？刂撇?20進(jìn)行重復(fù)步驟S3～S6的反饋控制，直至與目標(biāo)方向H0的偏離量低于容許量為止。

控制部120在判定傾斜量為容許量以下時(步驟S6：是)，進(jìn)入步驟S7。在步驟S7(連接工序)中，將以能夠相對于可動體10相對移動的狀態(tài)與可動體10卡合的可動體側(cè)連接部72固定于可動體10，由此借助彈性支承部件70連接可動體10與固定體20。具體而言，在可動體側(cè)連接部72的凹部75與可動體10的固定用凸部48卡合的部位涂布UV固化型粘接劑，之后，照射UV光使UV固化型粘接劑固化。在進(jìn)行UV固化型粘接劑的涂布以及固化處理的期間，控制部120以維持第一負(fù)載F1及第二負(fù)載F2與繞X軸的磁驅(qū)動力及繞Y軸的磁驅(qū)動力平衡的狀態(tài)的方式控制抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50，其中，上述第一負(fù)載F1及第二負(fù)載F2從限制部100施加于可動體10，上述繞X軸的磁驅(qū)動力及繞Y軸的磁驅(qū)動力從第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X及第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y施加于可動體10。

在完成UV固化型粘接劑的固化處理、并利用彈性支承部件70連接可動體10與固定體20之后，從帶抖動校正功能的單元1拆卸反射部件112，并從測量臺101拆卸帶抖動校正功能的單元1。

(作用效果)

如上所述，本實(shí)施方式的調(diào)整可動體10的傾斜的方法利用為了進(jìn)行可動體10的抖動校正而在帶抖動校正功能的單元1的內(nèi)部具有的抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50使可動體10的基準(zhǔn)面H的傾斜方向與目標(biāo)方向H0一致，在可動體10的基準(zhǔn)面H的傾斜方向與目標(biāo)方向H0一致的狀態(tài)下，固定彈性支承部件70和可動體10。此時，首先，對可動體10的活動施加限制。具體而言，設(shè)成向可動體10施加偏置負(fù)載F(第一負(fù)載F1、第二負(fù)載F2)而使可動體10傾斜的狀態(tài)，并且設(shè)成為了使可動體10活動而需要與偏置負(fù)載F相應(yīng)的驅(qū)動力的狀態(tài)。在該情況下，偏置負(fù)載F成為具有與抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50的驅(qū)動力相反的方向的分量的力發(fā)揮作用的狀態(tài)。然后，從該狀態(tài)起，驅(qū)動抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50而調(diào)整可動體10的傾斜。這樣一來，能夠避免在施加抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50的驅(qū)動力時、可動體10因微小的力而大幅活動，因此能夠抑制可動體10的傾斜發(fā)生偏差。從而，能夠高精度地調(diào)整可動體10的傾斜。并且，由于利用位于帶抖動校正功能的單元1的內(nèi)部的抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50調(diào)整可動體10的傾斜，因此與利用外部的驅(qū)動機(jī)構(gòu)使可動體10活動的方法相比，能夠減少可動體10的傾斜發(fā)生偏差的因素。由此，能夠高精度且穩(wěn)定地調(diào)整可動體10的傾斜。

在本實(shí)施方式中，通過向可動體10施加偏置負(fù)載，對可動體10的活動施加限制。例如，施加彈簧負(fù)載以作為偏置負(fù)載。通過利用彈簧，能夠利用簡單的結(jié)構(gòu)對可動體10的活動施加限制。從而，能夠避免在從抖動校正用驅(qū)動機(jī)構(gòu)50施加恢復(fù)力時、可動體10因微小的力而大幅活動，因此能夠抑制可動體10的傾斜發(fā)生偏差。從而，能夠高精度地調(diào)整可動體10的傾斜。

在本實(shí)施方式中，在通過UV固化型粘接劑固定彈性支承部件70和可動體10的工序期間，維持從限制部100施加于可動體10的第一負(fù)載F1以及第二負(fù)載F2與從第一磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51X以及第二磁驅(qū)動機(jī)構(gòu)51Y施加于可動體10的繞X軸的磁驅(qū)動力以及繞Y軸的磁驅(qū)動力平衡的狀態(tài)。從而，在通過UV固化型粘接劑進(jìn)行固定的中途，固定位置因施加于固定部位的力的變動而發(fā)生偏離的可能性就會少。從而，能夠高精度地調(diào)整可動體10的傾斜。

在本實(shí)施方式中，利用自準(zhǔn)直器111進(jìn)行可動體10的傾斜檢測。若利用光學(xué)式傾斜測量方法，則與接觸式傾斜測量方法相比，能夠減少可動體10的位置偏移因素。從而，能夠高精度地調(diào)整可動體10的傾斜。

在本實(shí)施方式中，根據(jù)自準(zhǔn)直器111的輸出而進(jìn)行反復(fù)調(diào)整向線圈53供給的驅(qū)動電流的反饋控制，直至可動體10的傾斜方向與目標(biāo)方向一致為止。從而，能夠通過自動調(diào)整使可動體10的基準(zhǔn)面H的傾斜方向與目標(biāo)方向H0對齊，從而能夠容易調(diào)整可動體10的傾斜。

(變形例)

上述實(shí)施方式的限制部100為了向可動體10施加偏置負(fù)載F而利用了彈力，但是也可以為了施加偏置負(fù)載F而利用其他方法。圖10是表示限制部100的變形例的說明圖，圖10(a)表示利用壓重物的變形例，圖10(b)表示利用磁鐵的反作用力的變形例。如圖10(a)所示，變形例1的限制部100A具有載置于可動體10的壓重物106。在將壓重物106安裝于可動體10的狀態(tài)下，壓重物106的重心W1位于從帶抖動校正功能的單元1的中心軸線L上偏離的位置。從而，從壓重物106施加于可動體10的負(fù)載成為偏置負(fù)載，與上述實(shí)施方式相同地能夠在使可動體10傾斜的狀態(tài)下調(diào)整傾斜。

如圖10(b)所示，變形例2的限制部100B具有：安裝于可動體10的第一磁鐵107；以及安裝于測量臺101的第二磁鐵108。第一磁鐵107與第二磁鐵108是相向的面的磁極相同的磁鐵，并配置在從帶抖動校正功能的單元1的中心軸線L上偏離的位置。變形例2的限制部100B能夠利用在第一磁鐵107與第二磁鐵108之間發(fā)揮作用的反作用力向可動體10施加偏置負(fù)載F?；蛘?，也可以將第一磁鐵107和第二磁鐵108設(shè)為相向的面的磁極不同的磁鐵。在該情況下，能夠利用在第一磁鐵107與第二磁鐵108之間發(fā)揮作用的吸引力向可動體10施加偏置負(fù)載F。從而，無論在哪一種情況下，都與上述實(shí)施方式相同地能夠?qū)⑹┘咏o可動體10的偏置負(fù)載F以作為偏置負(fù)載。

(其他實(shí)施方式)

(1)上述實(shí)施方式將本發(fā)明應(yīng)用于使用萬向機(jī)構(gòu)以作為將可動體支承為能夠繞X軸以及繞Y軸擺動的支承機(jī)構(gòu)的帶抖動校正功能的單元，但是也可以將本發(fā)明應(yīng)用于使用樞軸機(jī)構(gòu)以作為支承機(jī)構(gòu)的帶抖動校正功能的單元。

(2)上述實(shí)施方式利用自準(zhǔn)直器111檢測可動體10的傾斜方向，但是也可以利用其他方法檢測可動體10的傾斜方向。例如，也可以利用接觸式檢測機(jī)構(gòu)。或者，也可以利用激光位移計(jì)檢測可動體10的變位，并根據(jù)檢測出的變位量求出傾斜方向。