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著色感光性樹脂組合物、濾色器及包含該濾色器的顯示裝置的制作方法

文檔序號:12800189閱讀:326來源:國知局

本發(fā)明涉及著色感光性樹脂組合物、濾色器及包含該濾色器的顯示裝置。



背景技術(shù):

近年來,如rec.itu-rbt.2020所規(guī)定那樣的色彩再現(xiàn)域廣的顯示裝置的需要不斷提高。而且,作為色彩再現(xiàn)域廣的顯示裝置的材料,需要顏色更深的濾色器。

作為濾色器的深色化的方法,可列舉提升濾色器中的著色劑濃度的方法、使用著色力高的著色劑的方法等。然而,在由著色劑濃度高的組合物制作濾色器的情況下,存在所得的圖案的形狀差等問題。另一方面,在由包含著色力高的著色劑的組合物制作濾色器的情況下,雖然能夠制造深色的濾色器的圖案,但是會使亮度下降。

此外,還可列舉通過制成厚膜而得到深色的濾色器的方法。然而,若將厚膜的濾色器應(yīng)用于液晶顯示裝置,則在鄰接像素之間發(fā)生光的混色。

jp2011-242568a1公報中,作為可以實現(xiàn)薄膜且色純度高的綠色濾色器的著色劑組合物,提出了包含c.i.顏料藍16、c.i.顏料綠g58、c.i.顏料黃129和c.i.顏料黃150且在全部顏料中的c.i.顏料藍16的含量為5~40質(zhì)量%的綠色著色劑組合物。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明提供以下所示的著色感光性樹脂組合物、濾色器及顯示裝置。

[1]一種著色感光性樹脂組合物,其包含著色劑(a)、樹脂(b)、聚合性化合物(c)及聚合引發(fā)劑(d),

著色劑(a)包含c.i.顏料藍16及c.i.顏料綠59。

[2]根據(jù)[1]所述的著色感光性樹脂組合物,其中,著色劑(a)還包含黃色顏料。

[3]根據(jù)[2]所述的著色感光性樹脂組合物,其還包含c.i.顏料黃185及c.i.顏料黃150中的任一者或兩者作為黃色顏料。

[4]根據(jù)[2]或[3]所述的著色感光性樹脂組合物,其還包含c.i.顏料黃185作為黃色顏料。

[5]根據(jù)[1]~[4]中任一項所述的著色感光性樹脂組合物,其中,聚合引發(fā)劑(d)包含肟系化合物。

[6]一種濾色器,其由[1]~[5]中任意一項所述的著色感光性樹脂組合物形成。

[7]一種顯示裝置,其包含[6]所述的濾色器。

附圖說明

圖1為在實施例及比較例的色度評價中使用的光源的分光光譜。

具體實施方式

<著色感光性樹脂組合物>

本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物包含著色劑(a)、樹脂(b)、聚合性化合物(c)及聚合引發(fā)劑(d),著色劑(a)包含c.i.顏料藍16及c.i.顏料綠59。根據(jù)本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物,能夠得到既為薄膜又使亮度良好且深色的濾色器。

由本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物得到的濾色器可以制成深色,因此可以顯示符合rec.itu-rbt.2020的標準的色域。

需要說明的是,本說明書中,只要沒有特別說明,作為各成分例示的化合物可以單獨使用或組合使用多種。

〔1〕著色劑(a)

本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物中,著色劑(a)包含c.i.顏料藍16及c.i.顏料綠59。

著色劑(a)中的c.i.顏料藍16與c.i.顏料綠59的含量比(c.i.顏料藍16/c.i.顏料綠59)以重量基準計通常為0.1~60,優(yōu)選為0.1~20,從兼顧良好的亮度和色度的觀點出發(fā),優(yōu)選為0.1~10、更優(yōu)選為0.4~6、進一步優(yōu)選為0.45~3、特別優(yōu)選為0.45~2。在著色劑(a)中,c.i.顏料綠59的含量優(yōu)選為c.i.顏料藍16及c.i.顏料綠59的總量的10~70重量%,更優(yōu)選為40~70重量%。

著色劑(a)中的c.i.顏料藍16與c.i.顏料綠59的合計含量在著色劑(a)100重量%中通常為10重量%以上,從兼顧良好的亮度和色度的觀點出發(fā),優(yōu)選為20重量%以上、更優(yōu)選為30重量%以上、進一步優(yōu)選為45重量%以上、特別優(yōu)選為50重量%以上。在著色劑(a)100重量%中,上述合計含量可以為100重量%。

如后述那樣,著色劑(a)可以包含除c.i.顏料藍16及c.i.顏料綠59以外的其他著色劑。此時,在著色劑(a)100重量%中,上述合計含量可以為90重量%以下,也可以為80重量%以下,還可以為70重量%以下。

在包含除c.i.顏料藍16及c.i.顏料綠59以外的其他著色劑的情況下,上述合計含量在著色劑(a)100重量%中可以為30重量%以上,也可以為35重量%以上。

著色劑(a)中的c.i.顏料藍16的含量在著色劑(a)100重量%中通常為1~99重量%,從兼顧良好的亮度和色度的觀點出發(fā),優(yōu)選為10~80重量%、更優(yōu)選為25~40重量%。

著色劑(a)中的c.i.顏料綠59的含量在著色劑(a)100重量%中通常為1~99重量%,從兼顧良好的亮度和色度的觀點出發(fā),優(yōu)選為2~60重量%、更優(yōu)選為5~60重量%、進一步優(yōu)選為15~50重量%。

著色劑(a)可以包含除c.i.顏料藍16及c.i.顏料綠59以外的其他著色劑。

其他著色劑可以為除顏料藍16及c.i.顏料綠59以外的其他顏料,也可以為染料,還可以為它們的兩者。

其他著色劑可以僅使用1種,也可以并用2種以上。作為其他顏料,可列舉有機顏料、無機顏料,并且可列舉色彩索引(thesocietyofdyersandcolourists出版)中被分類為顏料的化合物。

作為上述染料,可以使用公知的染料,可列舉溶劑染料、酸性染料、直接染料、媒染染料等。

作為染料,可列舉在染料索引(thesocietyofdyersandcolourists出版)中被分類為顏料以外的具有色相的染料的化合物、染色筆記(染色ノ一ト)(色染社)中記載的公知的染料。另外,根據(jù)化學(xué)結(jié)構(gòu),可列舉偶氮染料、花青染料、三苯基甲烷染料、呫噸染料、酞菁染料、蒽醌染料、萘醌染料、醌亞胺染料、甲川染料、偶氮甲川染料、方酸菁染料、吖啶染料、苯乙烯染料、香豆素染料、喹啉染料、硝基染料等。其中,優(yōu)選有機溶劑可溶性染料。

著色劑(a)可以包含除c.i.顏料藍16以外的其他藍色著色劑(藍色顏料和/或藍色染料)。作為其他藍色顏料,可例示c.i.顏料藍15、15∶3、15∶4、15∶6、60等。

作為藍色染料,可列舉:

c.i.溶劑藍4、5、14、18、35、36、37、45、58、59、59∶1、63、67、68、69、70、78、79、83、90、94、97、98、100、101、102、104、105、111、112、122、128、132、136、139等c.i.溶劑藍色染料;

c.i.酸性藍1、3、5、7、9、11、13、15、17、18、22、23、24、25、26、27、29、34、38、40、41、42、43、45、48、51、54、59、60、62、70、72、74、75、78、80、82、83、86、87、88、90、90∶1、91、92、93、93∶1、96、99、100、102、103、104、108、109、110、112、113、117、119、120、123、126、127、129、130、131、138、140、142、143、147、150、151、154、158、161、166、167、168、170、171、175、182、183、184、187、192、199、203、204、205、210、213、229、234、236、242、243、256、259、267、269、278、280、285、290、296、315、324∶1、335、340等c.i.酸性藍色染料;

c.i.直接藍1、2、3、6、8、15、22、25、28、29、40、41、42、47、52、55、57、71、76、77、78、80、81、84、85、86、90、93、94、95、97、98、99、100、101、106、107、108、109、113、114、115、117、119、120、137、149、150、153、155、156、158、159、160、161、162、163、164、165、166、167、168、170、171、172、173、188、189、190、192、193、194、195、196、198、199、200、201、202、203、207、209、210、212、213、214、222、225、226、228、229、236、237、238、242、243、244、245、246、247、248、249、250、251、252、256、257、259、260、268、274、275、293等c.i.直接藍色染料;

c.i.分散藍1、14、56、60等c.i.分散藍色染料;

c.i.堿性藍1、3、5、7、9、19、21、22、24、25、26、28、29、40、41、45、47、54、58、59、60、64、65、66、67、68、81、83、88、89等c.i.堿性藍色染料;

c.i.媒介藍1、2、3、7、8、9、12、13、15、16、19、20、21、22、23、24、26、30、31、32、39、40、41、43、44、48、49、53、61、74、77、83、84等c.i.媒介藍色染料;等。

其中,從兼顧良好的亮度和色度的觀點出發(fā),藍色著色劑中的c.i.顏料藍16的含量越高越優(yōu)選。具體而言,藍色著色劑中的c.i.顏料藍16的含量在藍色著色劑100重量%中優(yōu)選為50重量%以上、更優(yōu)選為80重量%以上、進一步優(yōu)選為90重量%以上、進一步優(yōu)選為95重量%以上、最優(yōu)選為100重量%。

著色劑(a)可以包含除c.i.顏料綠59以外的其他綠色著色劑(綠色顏料和/或綠色染料)。作為其他綠色顏料,可例示c.i.顏料綠7、36、58等。

其中,從兼顧良好的亮度和色度的觀點出發(fā),綠色著色劑中的c.i.顏料綠59的含量越高越優(yōu)選。

具體而言,綠色著色劑中的c.i.顏料綠59的含量在綠色著色劑100重量%中優(yōu)選為50重量%以上、更優(yōu)選為80重量%以上、進一步優(yōu)選為90重量%以上、特別優(yōu)選為95重量%以上、最優(yōu)選為100重量%。

作為除c.i.顏料藍16及c.i.顏料綠59以外的其他著色劑,可以包含除藍色著色劑及綠色著色劑以外的其他著色劑(顏料和/或染料)。

該其他著色劑可以僅使用1種,也可以并用2種以上。

作為除藍色著色劑及綠色著色劑以外的其他著色劑,可列舉:

c.i.顏料黃1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、129、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、185、194、214等黃色顏料;

c.i.顏料紫1、19、23、29、32、36、38等紫色顏料;等。

其中,除藍色著色劑及綠色著色劑以外的其他著色劑優(yōu)選為黃色顏料。作為黃色顏料,優(yōu)選c.i.顏料黃129、c.i.顏料黃139、c.i.顏料黃185及c.i.顏料黃150。在黃色顏料中,通過相同濾色器的厚度及相同著色劑濃度下的對比,從通過與c.i.顏料藍16及c.i.顏料綠59的組合而得到更為良好亮度的方面出發(fā),優(yōu)選包含c.i.顏料黃139、185等具有異吲哚啉骨架的著色劑(異吲哚啉系黃色顏料),尤其是更優(yōu)選包含c.i.顏料黃185。著色劑(a)可以包含2種以上黃色顏料。黃色顏料的組合并無特別限定,可列舉c.i.顏料黃185及c.i.顏料黃150的組合等。

藍色著色劑及綠色著色劑以外的其他著色劑(黃色顏料等)的含量相對于100重量份c.i.顏料綠59優(yōu)選為1~1000重量份、更優(yōu)選為50~800重量份、進一步優(yōu)選為50~300重量份。

著色感光性樹脂組合物中的著色劑(a)的合計含量在著色感光性樹脂組合物的固體成分100重量%中,通常為20~50重量%,但是從得到深色的濾色器的觀點出發(fā),優(yōu)選為30重量%以上,更優(yōu)選為35重量%以上。

從抗蝕劑圖案的形成容易性的觀點出發(fā),上述合計含量在著色感光性樹脂組合物的固體成分100重量%中優(yōu)選為45重量%以下。

根據(jù)本發(fā)明,通過使著色劑(a)的合計含量為適度的量,從而既能抑制圖案形狀變差等又能形成可以顯示良好的亮度且深色的濾色器。

需要說明的是,在本說明書中“著色感光性樹脂組合物的固體成分”是指在著色感光性樹脂組合物所含的成分中除溶劑(e)以外的全部成分。固體成分的總量及相對于其的各成分的含量可通過液相色譜法、氣相色譜法等公知的分析方法來測定。

著色感光性樹脂組合物中的各種顏料優(yōu)選為均勻分散在溶劑中的分散液的狀態(tài)。另外,顏料優(yōu)選為粒徑均勻。上述分散液可以通過將顏料和溶劑混合而得到。也可以根據(jù)需要混合顏料分散劑。通過使其含有顏料分散劑、進行分散處理,由此能夠得到顏料均勻分散于溶劑的狀態(tài)的顏料分散液。

作為顏料分散劑,可以使用市售的表面活性劑,可列舉硅酮系、氟系、酯系(包含聚酯系。)、陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性、聚酯系、聚胺系、丙烯酸系等的表面活性劑。表面活性劑的具體例可列舉:聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯烷基苯基醚、聚乙二醇二酯、山梨糖醇酐脂肪酸酯、脂肪酸改性聚酯、叔胺改性聚氨酯、聚乙烯亞胺等;以及以商品名為kp(信越化學(xué)工業(yè)(株)制)、floren(共榮社化學(xué)(株)制)、solsperse(zeneca(株)制)、efka(basfjapan(株)制)、ajisper(注冊商標)(ajinomotofine-techno(株)制)、disperbyk(byk-chemie公司制)等。顏料分散劑可以僅使用1種,也可以并用2種以上。

在使用顏料分散劑情況下,其使用量相對于顏料100重量份優(yōu)選為100重量份以下,更優(yōu)選為5重量份以上且50重量份以下。若顏料分散劑的使用量為上述的范圍,則有容易得到均勻分散狀態(tài)的顏料分散液的傾向。

作為構(gòu)成顏料分散液的溶劑,并無特別限定,可列舉:與著色感光性樹脂組合物可含有的后述的溶劑(e)同樣的溶劑。該溶劑優(yōu)選丙二醇單甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、丙二醇單甲基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乙二醇單甲基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基-1-丁醇、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、n,n-二甲基甲酰胺等,更優(yōu)選丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚、二丙二醇甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基-1-丁醇、3-乙氧基丙酸乙酯等。

溶劑的使用量并無特別限定。顏料分散液中的固體成分的濃度優(yōu)選為3~20重量%、更優(yōu)選為5~18重量%。

著色感光性樹脂組合物中的各種顏料,可根據(jù)需要實施松香處理、使用了引入有酸性基團或堿性基團的顏料衍生物、顏料分散劑等的表面處理、利用高分子化合物等的對顏料表面的接枝處理、利用硫酸微?;ǖ鹊奈⒘;幚?、或利用用于除去雜質(zhì)的有機溶劑或水等的洗滌處理、利用離子交換法等除去離子性雜質(zhì)的除去處理等。

〔2〕樹脂(b)

本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物含有1種或2種以上的樹脂(b)。樹脂(b)優(yōu)選為堿可溶性樹脂。作為樹脂(b),可列舉以下的樹脂[k1]~[k6]等。

樹脂[k1]:選自不飽和羧酸及不飽和羧酸酐中的至少1種(a)〔以下有時稱作“(a)”。〕與具有碳數(shù)2~4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)及烯屬不飽和鍵的單體(b)〔以下有時稱作“(b)”。)的共聚物。

樹脂[k2]:(a)、(b)及能夠與(a)共聚的單體(c)(但是,與(a)及(b)不同。)〔以下有時稱作“(c)”。)的共聚物。

樹脂[k3]:(a)與(c)的共聚物。

樹脂[k4]:使(a)與(c)的共聚物和(b)反應(yīng)而得的樹脂。

樹脂[k5]:使(b)與(c)的共聚物和(a)反應(yīng)而得的樹脂。

樹脂[k6]:使(b)與(c)的共聚物和(a)反應(yīng),再與羧酸酐反應(yīng)而得的樹脂。

作為(a),具體而言,可列舉:

(甲基)丙烯酸、巴豆酸、鄰乙烯基苯甲酸、間乙烯基苯甲酸、對乙烯基苯甲酸等不飽和單羧酸;

馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸、3-乙烯基鄰苯二甲酸、4-乙烯基鄰苯二甲酸、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸、二甲基四氫鄰苯二甲酸、1,4-環(huán)己烯二羧酸等不飽和二羧酸;

甲基-5-降冰片烯-2,3-二羧酸、5-羧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等含有羧基的雙環(huán)不飽和化合物;

馬來酸酐、檸康酸酐、衣康酸酐、3-乙烯基鄰苯二甲酸酐、4-乙烯基鄰苯二甲酸酐、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸酐、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸酐、二甲基四氫鄰苯二甲酸酐、5,6-二羧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯酸酐(納迪克酸酐(ハイミツク酸無水物))等不飽和二羧酸酐;

琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上多元羧酸的不飽和單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯;

α-(羥基甲基)(甲基)丙烯酸、在同一分子中含有羥基及羧基的不飽和(甲基)丙烯酸酯等。

其中,從共聚反應(yīng)性的觀點、在堿水溶液中的溶解性的觀點出發(fā),(a)優(yōu)選為(甲基)丙烯酸、馬來酸酐等。

需要說明的是,在本說明書中,“(甲基)丙烯酸”是指選自丙烯酸和甲基丙烯酸中的至少一種。“(甲基)丙烯?;奔啊?甲基)丙烯酸酯”等表述也同樣。

(b)是指具有碳數(shù)2~4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)(例如選自環(huán)氧乙烷環(huán)、氧雜環(huán)丁烷環(huán)及四氫呋喃環(huán)(氧雜環(huán)戊烷環(huán))中的至少1種)和烯屬不飽和鍵的聚合性化合物。(b)優(yōu)選為具有碳數(shù)2~4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)和(甲基)丙烯酰氧基的單體。

作為(b),可列舉:具有環(huán)氧乙基和烯屬不飽和鍵的單體(b1)〔以下有時稱作“(b1)”。〕、具有氧雜環(huán)丁基和烯屬不飽和鍵的單體(b2)〔以下有時稱作“(b2)”?!?、具有四氫呋喃基和烯屬不飽和鍵的單體(b3)〔以下有時稱作“(b3)”〕等。

作為(b1),可列舉:具有將不飽和脂肪族烴環(huán)氧化的結(jié)構(gòu)的單體(b1-1)〔以下有時稱作“(b1-1)”。〕、具有將不飽和脂環(huán)式烴環(huán)氧化的結(jié)構(gòu)的單體(b1-2)〔以下有時稱作“(b1-2)”。〕。

作為(b1-1),可列舉:(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基縮水甘油酯、縮水甘油基乙烯基醚、鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚、對乙烯基芐基縮水甘油基醚、α-甲基鄰乙烯基芐基縮水甘油基醚、α-甲基間乙烯基芐基縮水甘油基醚、α-甲基對乙烯基芐基縮水甘油基醚、2,3-雙(縮水甘油氧甲基)苯乙烯、2,4-雙(縮水甘油氧甲基)苯乙烯、2,5-雙(縮水甘油氧甲基)苯乙烯、2,6-雙(縮水甘油氧甲基)苯乙烯、2,3,4-三(縮水甘油氧甲基)苯乙烯、2,3,5-三(縮水甘油氧甲基)苯乙烯、2,3,6-三(縮水甘油氧甲基)苯乙烯、3,4,5-三(縮水甘油氧甲基)苯乙烯、2,4,6-三(縮水甘油氧甲基)苯乙烯等。

作為(b1-2),可列舉乙烯基環(huán)己烯一氧化物、1,2-環(huán)氧4-乙烯基環(huán)己烷(例如celloxide2000;大賽璐化學(xué)工業(yè)(株)制)、(甲基)丙烯酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯(例如,cyclomera400;大賽璐化學(xué)工業(yè)(株)制)、(甲基)丙烯酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯(例如,cyclomerm100;大賽璐化學(xué)工業(yè)(株)制)、下式(i)所示的化合物、下式(ii)所示的化合物等。

式(i)及式(ii)中,ra及rb相互獨立地表示氫原子或碳數(shù)1~4的烷基,該烷基所包含的氫原子可以被羥基取代。x1及x2相互獨立地表示單鍵、*-rc-、*-rc-o-、*-rc-s-或*-rc-nh-。rc表示碳數(shù)1~6的烷二基。*表示與o的鍵合鍵。

作為碳數(shù)1~4的烷基,可列舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等。

作為氫原子被羥基取代后的烷基,可列舉羥基甲基、1-羥基乙基、2-羥基乙基、1-羥基丙基、2-羥基丙基、3-羥基丙基、1-羥基-1-甲基乙基、2-羥基-1-甲基乙基、1-羥基丁基、2-羥基丁基、3-羥基丁基、4-羥基丁基等。

ra及rb優(yōu)選為氫原子、甲基、羥基甲基、1-羥基乙基、2-羥基乙基,更優(yōu)選為氫原子、甲基。

作為構(gòu)成rc的烷二基,可列舉亞甲基、亞乙基、丙烷-1,2-二基、丙烷-1,3-二基、丁烷-1,4-二基、戊烷-1,5-二基、己烷-1,6-二基等。

x1及x2優(yōu)選為單鍵、亞甲基、亞乙基、*-ch2-o-(*表示與o的鍵合鍵)基、*-ch2ch2-o-基,更優(yōu)選為單鍵、*-ch2ch2-o-基。

作為式(i)所示的化合物的具體例,可列舉式(i-1)~式(i-15)所示的化合物。優(yōu)選為式(i-1)、式(i-3)、式(i-5)、式(i-7)、式(i-9)、式(i-11)~式(i-15),更優(yōu)選為式(i-1)、式(i-7)、式(i-9)、式(i-15)。

作為式(ii)所示的化合物的具體例,可列舉式(ii-1)~式(ii-15)所示的化合物。優(yōu)選為式(ii-1)、式(ii-3)、式(ii-5)、式(ii-7)、式(ii-9)、式(ii-11)~式(ii-15),更優(yōu)選為式(ii-1)、式(ii-7)、式(ii-9)、式(ii-15)。

式(i)所示的化合物及式(ii)所示的化合物可以分別單獨使用。這些化合物也可以以任意的比率進行混合。在進行混合的情況下,該混合比率以式(i):式(ii)〔摩爾比〕計優(yōu)選為5∶95~95∶5,更優(yōu)選為10∶90~90∶10,進一步優(yōu)選為20∶80~80∶20。

具有氧雜環(huán)丁基和烯屬不飽和鍵的單體(b2)優(yōu)選為具有氧雜環(huán)丁基和(甲基)丙烯酰氧基的單體。作為(b2)的優(yōu)選例,可列舉3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯酰氧基乙基氧雜環(huán)丁烷。

具有四氫呋喃基和烯屬不飽和鍵的單體(b3)優(yōu)選為具有四氫呋喃基和(甲基)丙烯酰氧基的單體。

作為(b3)的優(yōu)選例,可列舉丙烯酸四氫糠酯(例如viscoat#150、大阪有機化學(xué)工業(yè)(株)制)、甲基丙烯酸四氫糠酯等。

作為(c)的具體例,可列舉:

(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯〔在該技術(shù)領(lǐng)域中,作為慣用名而被稱作“(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基酯”。另外,有時也稱作“(甲基)丙烯酸三環(huán)癸酯”?!?、(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烯-8-基酯〔在該技術(shù)領(lǐng)域中,作為慣用名而被稱作“二聚環(huán)戊二烯基(甲基)丙烯酸酯”。〕、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸炔丙基酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸芐酯等(甲基)丙烯酸酯;

(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯等含羥基的(甲基)丙烯酸酯;

馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二羧酸二酯;

雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-(2’-羥基乙基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羥基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(羥基甲基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2’-羥基乙基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二甲氧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二乙氧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基-5-甲基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-環(huán)己基氧基羰基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-雙(叔丁氧基羰基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-雙(環(huán)己基氧基羰基)雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等雙環(huán)不飽和化合物;

n-苯基馬來酰亞胺、n-環(huán)己基馬來酰亞胺、n-芐基馬來酰亞胺、n-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺苯甲酸酯、n-琥珀酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸酯、n-琥珀酰亞胺基-6-馬來酰亞胺己酸酯、n-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺丙酸酯、n-(9-吖啶基)馬來酰亞胺等二羰基酰亞胺衍生物;

苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯酯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等。

其中,從共聚反應(yīng)性及耐熱性的觀點出發(fā),(c)優(yōu)選(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)癸酯、苯乙烯、n-苯基馬來酰亞胺、n-環(huán)己基馬來酰亞胺、n-芐基馬來酰亞胺、雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯等。另外,從使圖案形成時的顯影性優(yōu)異的方面出發(fā),(c)更優(yōu)選(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)癸酯。

在樹脂[k1]中,來自各成分的結(jié)構(gòu)單元的比率在構(gòu)成樹脂[k1]的全部結(jié)構(gòu)單元中優(yōu)選處于以下的范圍。

來自(a)的結(jié)構(gòu)單元:2~50摩爾%(更優(yōu)選10~45摩爾%);

來自(b)的結(jié)構(gòu)單元、尤其是來自(b1)的結(jié)構(gòu)單元:50~98摩爾%(更優(yōu)選55~90摩爾%)。

若樹脂[k1]的結(jié)構(gòu)單元的比率為上述范圍時,則有使保存穩(wěn)定性、顯影性、所得圖案的耐溶劑性優(yōu)異的傾向。

可以通過參考在文獻“高分子合成的實驗法”(大津隆行著發(fā)行所(株)化學(xué)同人第1版第1次印刷1972年3月1日發(fā)行)中記載的方法及在該文獻中記載的引用文獻來制造樹脂[k1]。

具體而言,可列舉:將規(guī)定量的(a)及(b)(特別是(b1))、聚合引發(fā)劑和溶劑等投入到反應(yīng)容器中,在脫氧氣氛下進行攪拌、加熱、保溫的方法。需要說明的是,此處使用的聚合引發(fā)劑及溶劑等沒有特別限定,可以使用在該領(lǐng)域中通常使用的聚合引發(fā)劑及溶劑。作為聚合引發(fā)劑,可列舉偶氮化合物(2,2’-偶氮二異丁腈、2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)等)、有機過氧化物(過氧化苯甲酰等)。作為溶劑,只要是溶解各單體的溶劑即可,可以使用作為著色感光性樹脂組合物的溶劑而后述的溶劑(e)等。

所得的共聚物可以直接使用反應(yīng)后的溶液,也可以使用濃縮或稀釋后的溶液,還可以使用通過再沉淀等方法以固體(粉體)的形式取出的物質(zhì)。特別是,在該聚合時使用后述的溶劑(e)作為溶劑,由此可以將反應(yīng)后的溶液直接使用,可以簡化制造工序。

在樹脂[k2]中,來自各成分的結(jié)構(gòu)單元的比率在構(gòu)成樹脂[k2]的全部結(jié)構(gòu)單元中優(yōu)選處于以下的范圍。

來自(a)的結(jié)構(gòu)單元:4~45摩爾%(更優(yōu)選10~30摩爾%);

來自(b)的結(jié)構(gòu)單元、尤其是來自(b1)的結(jié)構(gòu)單元:2~95摩爾%(更優(yōu)選5~80摩爾%);

來自(c)的結(jié)構(gòu)單元:1~65摩爾%(更優(yōu)選5~60摩爾%)。

若樹脂[k2]的結(jié)構(gòu)單元的比率為上述范圍,則有使保存穩(wěn)定性、顯影性、所得圖案的耐溶劑性、耐熱性及機械強度優(yōu)異的傾向。

可以與作為樹脂[k1]的制造方法而記載的方法同樣地制造樹脂[k2]。具體而言,可列舉:將規(guī)定量的(a)、(b)(特別是(b1))及(c)、聚合引發(fā)劑和溶劑等投入到反應(yīng)容器中,在脫氧氣氛下進行攪拌、加熱、保溫的方法。所得的共聚物可以直接使用反應(yīng)后的溶液,也可以使用濃縮或稀釋后的溶液,還可以使用通過再沉淀等方法以固體(粉體)的形式取出的物質(zhì)。

在樹脂[k3]中,來自各成分的結(jié)構(gòu)單元的比率在構(gòu)成樹脂[k3]的全部結(jié)構(gòu)單元中優(yōu)選處于以下的范圍。

來自(a)的結(jié)構(gòu)單元:2~55摩爾%(更優(yōu)選10~50摩爾%);

來自(c)的結(jié)構(gòu)單元:45~98摩爾%(更優(yōu)選50~90摩爾%)。

可以與作為樹脂[k1]的制造方法而記載的方法同樣地制造樹脂[k3]。

樹脂[k4]可以通過以下方式來制造:得到(a)與(c)的共聚物,并使(b)所具有的碳數(shù)2~4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)、特別是(b1)所具有的環(huán)氧乙烷環(huán)加成到(a)所具有的羧酸和/或羧酸酐上。具體而言,首先,與作為樹脂[k1]的制造方法所記載的方法同樣地制造(a)與(c)的共聚物。此時,來自各成分的結(jié)構(gòu)單元的比率在構(gòu)成(a)與(c)的共聚物的全部結(jié)構(gòu)單元中優(yōu)選為以下的范圍。

來自(a)的結(jié)構(gòu)單元:5~50摩爾%(更優(yōu)選10~45摩爾%);

來自(c)的結(jié)構(gòu)單元:50~95摩爾%(更優(yōu)選55~90摩爾%)。

接著,使來自上述共聚物中的(a)的羧酸和/或羧酸酐的一部分與(b)所具有的碳數(shù)2~4的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)、特別是(b1)所具有的環(huán)氧乙烷環(huán)進行反應(yīng)。具體而言,緊接著(a)與(c)的共聚物的制造,將燒瓶內(nèi)氣氛由氮氣置換為空氣,將(b)(特別是(b1))、羧酸或羧酸酐與環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)的反應(yīng)催化劑(三(二甲基氨基甲基)苯酚等)及阻聚劑(例如氫醌等)等加入到燒瓶內(nèi),在60~130℃反應(yīng)1~10小時,由此可以制造樹脂[k4]。

(b)的使用量、特別是(b1)的使用量相對于(a)100摩爾優(yōu)選為5~80摩爾,更優(yōu)選為10~75摩爾。通過設(shè)為該范圍,從而有使保存穩(wěn)定性、顯影性、耐溶劑性、耐熱性、機械強度及靈敏度的平衡變得良好的傾向。從使環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)的反應(yīng)性高、不易殘留未反應(yīng)的(b)的方面出發(fā),作為在樹脂[k4]中使用的(b),優(yōu)選(b1),更優(yōu)選(b1-1)。

上述反應(yīng)催化劑的使用量相對于(a)、(b)(特別是(b1))及(c)的總量優(yōu)選為0.001~5重量%。上述阻聚劑的使用量相對于(a)、(b)及(c)的總量優(yōu)選為0.001~5重量%。

可以考慮制造設(shè)備、聚合所引起的發(fā)熱量等來適當調(diào)節(jié)投料方法、反應(yīng)溫度及時間等反應(yīng)條件。需要說明的是,與聚合條件同樣,可以考慮制造設(shè)備、聚合所引起的發(fā)熱量等來適當調(diào)節(jié)投料方法、反應(yīng)溫度。

對于樹脂[k5]而言,作為第一階段,與上述的樹脂[k1]的制造方法同樣地得到(b)(特別是(b1))與(c)的共聚物。與上述同樣,所得的共聚物可以直接使用反應(yīng)后的溶液,也可以使用濃縮或稀釋后的溶液,還可以使用通過再沉淀等方法以固體(粉體)的形式取出的物質(zhì)。

來源于(b)(特別是(b1))和(c)的結(jié)構(gòu)單元的比率相對于構(gòu)成上述共聚物的全部結(jié)構(gòu)單元的合計摩爾數(shù)優(yōu)選在以下的范圍。

來自(b)的結(jié)構(gòu)單元、尤其是來自(b1)的結(jié)構(gòu)單元:5~95摩爾%(更優(yōu)選10~90摩爾%);

來自(c)的結(jié)構(gòu)單元:5~95摩爾%(更優(yōu)選10~90摩爾%)。

此外,在與樹脂[k4]的制造方法同樣的條件下,通過使(b)(特別是(b1))與(c)的共聚物所具有的來源于(b)的環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)、與(a)所具有的羧酸或羧酸酐發(fā)生反應(yīng),可制得樹脂[k5]。與上述的共聚物反應(yīng)的(a)的使用量相對于(b)(特別是(b1))100摩爾優(yōu)選為5~80摩爾。從使環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)的反應(yīng)性高、不易殘留未反應(yīng)的(b)的方面出發(fā),作為在樹脂[k5]中使用的(b),優(yōu)選(b1),更優(yōu)選(b1-1)。

樹脂[k6]是進一步使羧酸酐與樹脂[k5]反應(yīng)而得的樹脂。

使羧酸酐和、由環(huán)狀醚結(jié)構(gòu)與羧酸或羧酸酐的反應(yīng)而產(chǎn)生的羥基發(fā)生反應(yīng)。

作為羧酸酐,可列舉馬來酸酐、檸康酸酐、衣康酸酐、3-乙烯基鄰苯二甲酸酐、4-乙烯基鄰苯二甲酸酐、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸酐、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸酐、二甲基四氫鄰苯二甲酸酐、5,6-二羧基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-烯酸酐(納迪克酸酐(ハイミツク酸無水物))等。

在樹脂[k1]~[k6]中,作為樹脂(b)而優(yōu)選的樹脂為[k1]及[k2]。樹脂(b)可以由1種樹脂構(gòu)成,也可以包含2種以上的樹脂。

樹脂(b)的聚苯乙烯換算的重均分子量優(yōu)選為3,000~100,000,更優(yōu)選為5,000~50,000,進一步優(yōu)選為5,000~30,000。若分子量為上述范圍,則有未曝光部對顯影液的溶解性高、所得的圖案的殘膜率、硬度也高的傾向。樹脂(b)的分子量分布[重均分子量(mw)/數(shù)均分子量(mn)]優(yōu)選為1.1~6,更優(yōu)選為1.2~4。

樹脂(b)的溶液酸值優(yōu)選為5~180mg-koh/g、更優(yōu)選為10~100mg-koh/g、進一步優(yōu)選為12~50mg-koh/g。酸值是作為中和1g樹脂所需的氫氧化鉀的量(mg)所測定的值,可通過例如使用氫氧化鉀水溶液進行滴定來求出。

樹脂(b)的含量在著色感光性樹脂組合物的固體成分100重量%中優(yōu)選為5~50重量%、更優(yōu)選為10~40重量%、進一步優(yōu)選為15~30重量%。若樹脂(b)的含量為上述范圍,則有未曝光部對顯影液的溶解性高的傾向。

〔3〕聚合性化合物(c)

聚合性化合物(c)只要是能夠利用因光照射等而由聚合引發(fā)劑(d)產(chǎn)生的活性自由基等進行聚合的化合物,則并無特別限定,可列舉具有聚合性的烯屬不飽和鍵的化合物等。聚合性化合物(c)的重均分子量優(yōu)選為3,000以下。

作為聚合性化合物(c),優(yōu)選為具有3個以上烯屬不飽和鍵的光聚合性化合物,可列舉三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇十(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇九(甲基)丙烯酸酯、三(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)異氰脲酸酯、乙二醇改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、乙二醇改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、丙二醇改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、丙二醇改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己內(nèi)酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。其中,優(yōu)選二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。

本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物可以含有1種或2種以上的聚合性化合物(c)。聚合性化合物(c)的含量相對于著色感光性樹脂組合物中的樹脂(b)100重量份優(yōu)選為20~150重量份、更優(yōu)選為80~120重量份。

〔4〕聚合引發(fā)劑(d)

聚合引發(fā)劑(d)只要是通過光、熱的作用產(chǎn)生活性自由基、酸等,能引發(fā)聚合的化合物就沒有特別限定,可以使用公知的聚合引發(fā)劑。

作為聚合引發(fā)劑(d),可列舉o-?;?acyloxime)化合物等肟系化合物、苯烷基酮(alkylphenone)化合物、聯(lián)咪唑化合物、三嗪化合物、?;趸⒒衔锏取>酆弦l(fā)劑(d)可以考慮靈敏度、精密圖案形狀的形成等而并用2種以上。從在靈敏度及精密地制作具有所需線寬的圖案形狀上有利的觀點出發(fā),聚合引發(fā)劑(d)優(yōu)選包含o-酰基肟化合物等肟系化合物。

o-酰基肟化合物為具有式(d)所示的結(jié)構(gòu)的化合物。以下,*表示鍵合鍵。

o-酰基肟化合物優(yōu)選為選自例如式(d1)所示的化合物(以下有時稱作“化合物(d1)”。)、式(d2)所示的化合物(以下有時稱作“化合物(d2)”。)及式(d3)所示的化合物(以下有時稱作“化合物(d3)”。)中的至少1種。

式(d1)~(d3)中,

rd1表示可以具有取代基的碳數(shù)6~18的芳香族烴基、可以具有取代基的碳數(shù)3~36的雜環(huán)基、可以具有取代基的碳數(shù)1~15的烷基、或組合了芳香族烴基和由該烷基衍生出的烷二基的可以具有取代基的基團,上述烷基中所含的亞甲基(-ch2-)可以置換為-o-、-co-、-s-、-so2-或-nrd5-;

rd2表示碳數(shù)6~18的芳香族烴基、碳數(shù)3~36的雜環(huán)基或碳數(shù)1~10的烷基;

rd3表示可具有取代基的碳數(shù)6~18的芳香族烴基、或可具有取代基的碳數(shù)3~36的雜環(huán)基;

rd4表示可以具有取代基的碳數(shù)6~18的芳香族烴基、或可以具有取代基的碳數(shù)1~15的脂肪族烴基,上述脂肪族烴基中所含的亞甲基(-ch2-)可以置換為-o-、-co-或-s-,上述脂肪族烴基中所含的次甲基(-ch<)可以置換為-po3<,上述脂肪族烴基中所含的氫原子可以被oh基取代;

rd5表示碳數(shù)1~10的烷基,該烷基所含的亞甲基(-ch2-)可以置換為-o-或-co-。

rd1所示的芳香族烴基的碳數(shù)優(yōu)選為6~15、更優(yōu)選為6~12、進一步優(yōu)選為6~10。作為該芳香族烴基,可列舉苯基、萘基、蒽基、菲基、聯(lián)苯基、三聯(lián)苯基等,但優(yōu)選苯基、萘基,更優(yōu)選苯基。

rd1所示的芳香族烴基可以具有1個或2個以上的取代基。

取代基優(yōu)選在芳香族烴基的α位、γ位進行取代,更優(yōu)選在γ位進行取代。作為該取代基,可列舉:甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、十三烷基、十四烷基、十五烷基等碳數(shù)1~15的烷基;氟原子、氯原子、碘原子、溴原子等鹵素原子;等。

作為上述取代基的烷基的碳數(shù)優(yōu)選為1~10,更優(yōu)選為1~7。作為該取代基的烷基可以為直鏈狀、支鏈狀及環(huán)狀中的任一種,也可以為將鏈狀的基團與環(huán)狀的基團組合而成的基團。作為該取代基的烷基中所含的亞甲基(-ch2-)可以置換為-o-或-s-。該烷基中所含的氫原子可以被氟原子、氯原子、碘原子、溴原子等鹵素原子取代,優(yōu)選被氟原子取代。

關(guān)于rd1所示的芳香族烴基,就作為該取代基的烷基而言,可列舉下述式所示的基團等。式中,*表示鍵合鍵。

關(guān)于rd1所示的基團,作為可以具有取代基的芳香族烴基,可列舉下述式所示的基團等。式中,*表示鍵合鍵。

關(guān)于rd1所示的基團,作為可以具有取代基的芳香族烴基,優(yōu)選下述式所示的基團。

(式中,rd6表示可以被鹵素原子取代的碳數(shù)1~10的烷基,rd6中所含的氫原子可以被鹵素原子取代。m2表示1~5的整數(shù)。)

作為rd6所示的烷基,可列舉與關(guān)于rd1所示的芳香族烴基而作為取代基所例示的烷基同樣的基團。rd6的碳數(shù)優(yōu)選為2~7,更優(yōu)選為2~5。rd6所示的烷基可以為直鏈狀、支鏈狀及環(huán)狀中的任一種,優(yōu)選為鏈狀。

作為rd6中的鹵素原子,可列舉氟原子、氯原子、碘原子、溴原子,特別優(yōu)選氟。另外,優(yōu)選rd6中所含的氫原子中的2個以上且10個以下的氫原子被鹵素原子取代,更優(yōu)選3個以上且6個以下的氫原子被鹵素原子取代。rd6o-基的取代位置優(yōu)選為鄰位、對位,特別優(yōu)選對位。另外,m2優(yōu)選為1~2,特別優(yōu)選為1。

rd1所示的雜環(huán)基的碳數(shù)優(yōu)選為3~20,更優(yōu)選為3~10,進一步優(yōu)選為3~5。作為該雜環(huán)基,可列舉吡咯基、呋喃基、噻吩基、吲哚基、苯并呋喃基及咔唑基等。

rd1所示的雜環(huán)基可以具有1個或2個以上的取代基。作為該取代基,可列舉關(guān)于rd1所示的芳香族烴基而作為取代基所例示的基團。

rd1所示的烷基的碳數(shù)優(yōu)選為1~12。作為rd1所示的烷基,可列舉甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、十三烷基、十四烷基及十五烷基等。這些烷基可以為直鏈狀、支鏈狀及環(huán)狀中的任一種,也可以為將鏈狀的基團與環(huán)狀的基團組合而成的基團。另外,在rd1所示的烷基中,亞甲基(—ch2-)可以置換為-o-、-co-、-s-、-so2-或-nrd5-,氫原子可以被oh基或sh基取代。

rd5表示碳數(shù)1~10的烯基,優(yōu)選為碳數(shù)1~5的烷基,更優(yōu)選為碳數(shù)1~3的烷基。該烷基可以為鏈狀(直鏈狀或支鏈狀),也可以為環(huán)狀,可以為直鏈狀、支鏈狀及環(huán)狀中的任一種,也可以為將鏈狀的基團與環(huán)狀的基團組合而成的基團。另外,在rd5的烷基中,亞甲基(-ch2-)可以置換為-o-或-co-。

關(guān)于rd1,作為可以具有取代基的烷基,具體而言,可列舉下述式所示的基團等。*表示鍵合鍵。

rd1所示的、組合了芳香族烴基和由上述烷基衍生出的烷二基的基團的碳數(shù)優(yōu)選為7~33、更優(yōu)選為7~18、進一步優(yōu)選為7~12。該組合后的基團可以具有1個或2個以上的取代基,作為該取代基,可列舉與芳香族烴基、烷基可具有的取代基同樣的基團。作為該rd1所示的、組合了芳香族烴基和由上述烷基衍生出的烷二基的基團,可列舉芳烷基,具體而言,可列舉下述式所示的基團。式中,*表示鍵合鍵。

其中,作為rd1,優(yōu)選可以具有取代基的芳香族烴基或可以具有取代基的烷基,更優(yōu)選可以具有取代基的芳香族烴基。

rd2所示的芳香族烴基的碳數(shù)優(yōu)選為6~15、更優(yōu)選為6~12、進一步優(yōu)選為6~10。作為該芳香族烴基,可列舉苯基、萘基、蒽基、菲基、聯(lián)苯基及三聯(lián)苯基等。

rd2所示的雜環(huán)基的碳數(shù)優(yōu)選為3~20,更優(yōu)選為3~10,進一步優(yōu)選為3~5。作為該雜環(huán)基,可列舉吡咯基、呋喃基、噻吩基、吲哚基、苯并呋喃基及咔唑基等。

rd2所示的烷基的碳數(shù)優(yōu)選為1~7、更優(yōu)選為1~5、進一步優(yōu)選為1~3。作為該烷基,可列舉甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基及癸基等。該烷基可以為直鏈狀、支鏈狀及環(huán)狀中的任一種,也可以為將鏈狀的基團與環(huán)狀的基團組合而成的基團。

作為rd2,優(yōu)選鏈狀烷基、更優(yōu)選為碳數(shù)1~5的鏈狀烷基、進一步優(yōu)選為碳數(shù)1~3的鏈狀烷基、特別優(yōu)選為甲基。

rd3所示的芳香族烴基的碳數(shù)優(yōu)選為6~15、更優(yōu)選為6~12、進一步優(yōu)選為6~10。作為該芳香族烴基,可列舉苯基、萘基、蒽基、菲基、聯(lián)苯基及三聯(lián)苯基等,更優(yōu)選苯基、萘基。

rd3所示的芳香族烴基可以具有1個或2個以上的取代基。取代基優(yōu)選在芳香族烴基的α位、γ位進行取代。作為該取代基,優(yōu)選碳數(shù)1~15的脂肪族烴基,具體而言,可列舉:甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基及癸基等碳數(shù)1~15的烷基;乙烯基、丙烯基、丁烯基、戊烯基、己烯基、庚烯基、壬烯基及癸烯基等碳數(shù)1~15的烯基;等。

關(guān)于rd3,芳香族烴基可以具有的脂肪族烴基的碳數(shù)更優(yōu)選為1~7,該脂肪族烴基可以為直鏈狀、支鏈狀及環(huán)狀中的任一種,也可以為將鏈狀的基團與環(huán)狀的基團組合而成的基團。該脂肪族烴基中所含的亞甲基(-ch2-)可以置換為-o-、-co-或-s-,次甲基(-ch<)可以置換為-n<。

作為rd3所示的芳香族烴基可以具有的脂肪族烴基,可列舉下述式所示的基團等。式中,*表示鍵合鍵。

關(guān)于rd3,作為可以具有取代基的芳香族烴基,可列舉下述式所示的基團等。式中,*表示鍵合鍵。

rd3所示的雜環(huán)基的碳數(shù)優(yōu)選為3~20,更優(yōu)選為3~10,進一步優(yōu)選為3~5。作為該雜環(huán)基,可列舉吡咯基、呋喃基、噻吩基、吲哚基、苯并呋喃基及咔唑基等。另外,rd3所示的雜環(huán)基可以具有1個或2個以上的取代基,作為該取代基,可列舉與rd1中的芳香族烴基可以具有的取代基同樣的基團。

rd3優(yōu)選為具有取代基的芳香族烴基,作為該取代基,優(yōu)選碳數(shù)1~7(更優(yōu)選碳數(shù)1~3)的鏈狀烷基,取代基的個數(shù)優(yōu)選為2個以上且5個以下。

rd4所示的芳香族烴基的碳數(shù)優(yōu)選為6~15、更優(yōu)選為6~12、進一步優(yōu)選為6~10。作為該芳香族烴基,可列舉苯基、萘基、蒽基、菲基、聯(lián)苯基及三聯(lián)苯基等,更優(yōu)選苯基及萘基,進一步優(yōu)選苯基。另外,rd4所示的芳香族烴基可以具有1個或2個以上的取代基。作為該取代基,可列舉與rd1的芳香族烴基可以具有的取代基同樣的基團。

rd4所示的脂肪族烴基的碳數(shù)優(yōu)選為1~13、更優(yōu)選為2~10、進一步優(yōu)選為4~9。作為rd4所示的脂肪族烴基,可列舉:甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、十三烷基、十四烷基及十五烷基等烷基;乙烯基、丙烯基、丁烯基、戊烯基、己烯基、庚烯基、辛烯基、壬烯基、癸烯基、十一碳烯基、十二碳烯基、十三碳烯基、十四碳烯基及十五碳烯基等烯基;等。這些脂肪族烴基可以為鏈狀(直鏈狀或支鏈狀),也可以為環(huán)狀,還可以為將鏈狀的基團與環(huán)狀的基團組合而成的基團。另外,在rd4的脂肪族烴基中,亞甲基(-ch2-)可以置換為-o-、-co-或-s-,次甲基(-ch<)可以置換為-po3<,上述脂肪族烴基中所含的氫原子可以被oh基取代。

關(guān)于rd4,作為可以具有取代基的脂肪族烴基,可列舉下述式所示的基團等。式中,*表示鍵合鍵。

rd4優(yōu)選為可以具有取代基的鏈狀脂肪族烴基,更優(yōu)選為不具有取代基的鏈狀烷基,進一步優(yōu)選為不具有取代基的支鏈狀烷基。

作為化合物(d1),可列舉式(d1)所示的化合物,具體而言,可列舉具有在(d1-1)~(d1-67)的各欄中記載的取代基的組合的式(d1)的化合物。表1~7中,*表示鍵合鍵。

表1

表2

表3

表4

表5

表6

表7

其中,優(yōu)選具有(d1-3)中記載的取代基的化合物~具有(d1-6)中記載的取代基的化合物、具有(d1-18)中記載的取代基的化合物~具有(d1-52)中記載的取代基的化合物、具有(d1-55)中記載的取代基的化合物、具有(d1-56)中記載的取代基的化合物、具有(d1-60)中記載的取代基的化合物、具有式(d1-61)中記載的取代基的化合物,

更優(yōu)選具有(d1-3)中記載的取代基的化合物~具有(d1-6)中記載的取代基的化合物、具有(d1-18)中記載的取代基的化合物~具有(d1-41)中記載的取代基的化合物,

進一步優(yōu)選為具有(d1-24)中記載的取代基的化合物、具有(d1-36)中記載的取代基的化合物~具有(d1-40)中記載的取代基的化合物,

特別優(yōu)選為具有(d1-24)中記載的取代基的化合物。

化合物(d1)例如可以利用日本特表2014-500852號公報中記載的制造方法進行制造。

化合物(d2)優(yōu)選為

rd1為可以具有取代基的碳數(shù)1~15的烷基、

rd2為碳數(shù)1~10的烷基、

rd3為可以具有取代基的碳數(shù)6~18的芳香族烴基、

rd4為可以具有取代基的碳數(shù)1~15的脂肪族烴基的化合物,

更優(yōu)選為

rd1表示甲基、乙基或丙基、

rd2表示甲基、乙基或丙基、

rd3表示被甲基取代后的苯基、

rd4為甲基、乙基或丙基的化合物,

進一步優(yōu)選為

rd1及rd2為甲基、rd3為鄰甲苯基及rd4為乙基的化合物。

化合物(d3)優(yōu)選為

rd1為可以具有取代基的碳數(shù)1~15的烷基、

rd2為碳數(shù)6~18的芳香族烴基的化合物,

更優(yōu)選為

rd1為己基及rd2為苯基的化合物。

作為這樣的o-?;炕衔铮闪信en-苯甲酰氧基-1-(4-苯硫基苯基)丁烷-1-酮-2-亞胺、n-苯甲酰氧基-1-(4-苯硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺、n-苯甲酰氧基-1-(4-苯硫基苯基)-3-環(huán)戊基丙烷-1-酮-2-亞胺、n-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9h-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺、n-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(3,3-二甲基-2,4-二氧雜環(huán)戊基甲基氧基)苯甲?;鶀-9h-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺、n-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9h-咔唑-3-基]-3-環(huán)戊基丙烷-1-亞胺、n-苯甲酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?;?-9h-咔唑-3-基]-3-環(huán)戊基丙烷-1-酮-2-亞胺等。也可以使用irgacureoxe01、oxe02、oxe03(以上為basf公司制)、n-1919(adeka公司制)等市售品。若為這些o-?;炕衔铮瑒t有得到光刻性能(リソ性能)優(yōu)異的濾色器的傾向。

苯烷基酮化合物是具有式(d4)所示的結(jié)構(gòu)或式(d5)所示的結(jié)構(gòu)的化合物。這些結(jié)構(gòu)中,苯環(huán)可以具有取代基。

作為具有式(d4)所示的結(jié)構(gòu)的化合物,可列舉2-甲基-2-嗎啉代-1-(4-甲硫基苯基)丙烷-1-酮、2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-2-芐基丁烷-1-酮、2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]丁烷-1-酮等。也可以使用irgacure369、907、379(以上為basf公司制)等市售品。

作為具有式(d5)所示的結(jié)構(gòu)的化合物,可列舉2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2-羥基-2-甲基-1-〔4-(2-羥基乙氧基)苯基〕丙烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-羥基-2-甲基-1-(4-異丙基苯基)丙烷-1-酮的低聚物、α,α-二乙氧基苯乙酮、苯偶酰二甲基縮酮等。

在靈敏度方面,作為苯烷基酮化合物,優(yōu)選具有式(d4)所示的結(jié)構(gòu)的化合物。

作為聯(lián)咪唑化合物,可列舉:2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯(lián)咪唑、2,2’-雙(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯(lián)咪唑(參照日本特開平6-75372號公報、日本特開平6-75373號公報等。)、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯(lián)咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧基苯基)聯(lián)咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(二烷氧基苯基)聯(lián)咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)聯(lián)咪唑(參照日本特公昭48-38403號公報、日本特開昭62-174204號公報等。)、4,4’,5,5’-位的苯基被烷氧羰基置換的咪唑化合物(參照日本特開平7-10913號公報等)等。其中,優(yōu)選下述式所示的化合物或它們的混合物。

作為三嗪化合物,可列舉2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(呋喃-2-基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪、2,4-雙(三氯甲基)-6-〔2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基〕-1,3,5-三嗪等。

作為?;趸⒒衔?,可列舉2,4,6-三甲基苯甲?;交趸⒌取?/p>

此外,作為聚合引發(fā)劑(d),可列舉:苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻異丁醚等苯偶姻化合物;二苯甲酮、鄰苯甲?;郊姿峒柞?、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲?;?4’-甲基二苯基硫醚、3,3’,4,4’-四(叔丁基過氧羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等二苯甲酮化合物;9,10-菲醌、2-乙基蒽醌、樟腦醌等醌化合物;10-丁基-2-氯吖啶酮、聯(lián)苯酰、苯乙醛酸甲酯、二茂鈦化合物等。優(yōu)選將它們與后述的聚合引發(fā)助劑(d1)(特別是胺類)組合使用。

相對于樹脂(b)和聚合性化合物(c)的合計量100重量份,聚合引發(fā)劑(d)的含量優(yōu)選為0.1~30重量份、更優(yōu)選為5~25重量份、進一步優(yōu)選10~20重量份。若聚合引發(fā)劑(d)的含量為上述范圍內(nèi),則由于存在因高靈敏度化而縮短曝光時間的傾向,因此存在使濾色器的生產(chǎn)率提高的傾向。

〔5〕聚合引發(fā)助劑(d1)

聚合引發(fā)助劑(d1)是用于促進由聚合引發(fā)劑引發(fā)了聚合的聚合性化合物(c)的聚合的化合物或敏化劑。在包含聚合引發(fā)助劑(d1)的情況下,與聚合引發(fā)劑(d)組合使用。

作為聚合引發(fā)助劑(d1),可列舉胺化合物、烷氧基蒽化合物、噻噸酮化合物及羧酸化合物等。其中,優(yōu)選噻噸酮化合物。聚合引發(fā)助劑(d1)可以并用2種以上。

作為胺化合物,可列舉三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸異戊酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、n,n-二甲基對甲苯胺、4,4’-雙(二甲基氨基)二苯甲酮(通稱米蚩酮)、4,4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、4,4’-雙(乙基甲基氨基)二苯甲酮等,其中,優(yōu)選4,4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮??梢允褂胑ab-f(保土谷化學(xué)工業(yè)(株)制)等市售品。

作為烷氧基蒽化合物,可列舉9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽、9,10-二丁氧基蒽、2-乙基-9,10-二丁氧基蒽等。

作為噻噸酮化合物,可列舉2-異丙基噻噸酮、4-異丙基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2,4-二氯噻噸酮、1-氯-4-丙氧基噻噸酮等。

作為羧酸化合物,可列舉苯硫基乙酸、甲基苯硫基乙酸、乙基苯硫基乙酸、甲基乙基苯硫基乙酸、二甲基苯硫基乙酸、甲氧基苯硫基乙酸、二甲氧基苯硫基乙酸、氯苯硫基乙酸、二氯苯硫基乙酸、n-苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、萘硫基乙酸、n-萘基甘氨酸、萘氧基乙酸等。

聚合引發(fā)助劑(d1)的含量相對于樹脂(b)及聚合性化合物(c)的總量100重量份優(yōu)選為0.1~30重量份、更優(yōu)選為1~20重量份。若聚合引發(fā)助劑(d1)的含量為該范圍內(nèi),則能夠以更高的靈敏度形成著色圖案,有使濾色器的生產(chǎn)率提高的傾向。

〔6〕硫醇化合物(t)

本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物可以含有1種或2種以上的硫醇化合物(t)。在聚合引發(fā)劑(d)為o-?;炕衔锏入肯祷衔铩⒑?或聯(lián)咪唑化合物時,特別優(yōu)選使用硫醇化合物(t)。硫醇化合物(t)為在分子內(nèi)具有至少1個巰基(-sh)的化合物。硫醇化合物(t)優(yōu)選為在分子內(nèi)具有1個巰基的化合物。

作為在分子內(nèi)具有1個巰基的化合物,可列舉2-巰基噁唑、2-巰基噻唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并噁唑、2-巰基煙酸、2-巰基吡啶、2-巰基吡啶-3-醇、2-巰基吡啶-n-氧化物、4-氨基-6-羥基-2-巰基嘧啶、4-氨基-6-羥基-2-巰基嘧啶、4-氨基-2-巰基嘧啶、6-氨基-5-亞硝基-2-硫脲嘧啶、4,5-二氨基-6-羥基-2-巰基嘧啶、4,6-二氨基-2-巰基嘧啶、2,4-二氨基-6-巰基嘧啶、4,6-二羥基-2-巰基嘧啶、4,6-二甲基-2-巰基嘧啶、4-羥基-2-巰基-6-甲基嘧啶、4-羥基-2-巰基-6-丙基嘧啶、2-巰基-4-甲基嘧啶、2-巰基嘧啶、2-硫脲嘧啶、3,4,5,6-四氫嘧啶-2-硫醇、4,5-二苯基咪唑-2-硫醇、2-巰基咪唑、2-巰基-1-甲基咪唑、4-氨基-3-肼基-5-巰基-1,2,4-三唑、3-氨基-5-巰基-1,2,4-三唑、2-甲基-4h-1,2,4-三唑-3-硫醇、4-甲基-4h-1,2,4-三唑-3-硫醇、3-巰基1h-1,2,4-三唑-3-硫醇、2-氨基-5-巰基-1,3,4-噻二唑、5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇、2,5-二巰基-1,3,4-噻二唑、(呋喃-2-基)甲烷硫醇、2-巰基-5-噻唑烷酮、2-巰基噻唑啉、2-巰基-4(3h)-喹唑酮、1-苯基-1h-四唑-5-硫醇、2-喹啉硫醇、2-巰基-5-甲基苯并咪唑、2-巰基-5-硝基苯并咪唑、6-氨基-2-巰基苯并噻唑、5-氯-2-巰基苯并噻唑、6-乙氧基-2-巰基苯并噻唑、6-硝基-2-巰基苯并噻唑、2-巰基萘并咪唑、2-巰基萘并噁唑、3-巰基-1,2,4-三唑、4-氨基-6-巰基吡唑并[2,4-d]吡啶、2-氨基-6-嘌呤硫醇、6-巰基嘌呤及4-巰基-1h-吡唑并[2,4-d]嘧啶等。

作為在分子內(nèi)具有2個以上巰基的化合物,可列舉己二硫醇、癸二硫醇、1,4-雙(甲硫基)苯、丁二醇雙(3-巰基丙酸酯)、丁二醇雙(3-巰基乙酸酯)、乙二醇雙(3-巰基乙酸酯)、三羥甲基丙烷三(3-巰基乙酸酯)、丁二醇雙(3-巰基丙酸酯)、三羥甲基丙烷三(3-巰基丙酸酯)、三羥甲基丙烷三(3-巰基乙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基乙酸酯)、三羥基乙基三(3-巰基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巰基丁酸酯)及1,4-雙(3-巰基丁基氧基)丁烷等。

硫醇化合物(t)的含量相對于聚合引發(fā)劑(d)100重量份優(yōu)選為0.5~50重量份,更優(yōu)選為5~45重量份,進一步優(yōu)選為10~40重量份。若硫醇化合物(t)的含量為上述范圍內(nèi),則有靈敏度變高、且顯影性變良好的傾向。

〔7〕溶劑(e)

本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物優(yōu)選包含1種或2種以上的溶劑(e)。作為溶劑(e),可列舉酯溶劑(包含-coo-的溶劑)、除酯溶劑以外的醚溶劑(包含-o-的溶劑)、醚酯溶劑(包含-coo-和-o-的溶劑)、除酯溶劑以外的酮溶劑(包含-co-的溶劑)、醇溶劑、芳香族烴溶劑、酰胺溶劑及二甲基亞砜等。

作為酯溶劑,可列舉乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羥基異丁酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、乙酸環(huán)己醇酯及γ-丁內(nèi)酯等。

作為醚溶劑,可列舉乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單丙基醚、乙二醇單丁基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單丁醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單丁基醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、四氫呋喃、四氫吡喃、1,4-二噁烷、二乙二醇二甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二丙基醚、二乙二醇二丁基醚、苯甲醚、苯乙醚及甲基苯甲醚等。

作為醚酯溶劑,可列舉甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單丙基醚乙酸酯、乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇單丁醚乙酸酯及二丙二醇甲基醚乙酸酯等。

作為酮溶劑,可列舉4-羥基-4-甲基-2-戊酮、丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、環(huán)戊酮、環(huán)己酮及異佛爾酮等。

作為醇溶劑,可列舉甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、丙二醇及甘油等。

作為芳香族烴溶劑,可列舉苯、甲苯、二甲苯及均三甲苯等。作為酰胺溶劑,可列舉n,n-二甲基甲酰胺、n,n-二甲基乙酰胺及n-甲基吡咯烷酮等。

從涂布性、干燥性的方面出發(fā),溶劑(e)優(yōu)選包含在1atm下的沸點為120℃以上且180℃以下的有機溶劑。溶劑(e)優(yōu)選包含選自丙二醇單甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、丙二醇單甲基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乙二醇單甲基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基-1-丁醇、4-羥基-4-甲基-2-戊酮及n,n-二甲基甲酰胺中的至少1種,更優(yōu)選包含選自丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚、二丙二醇甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基-1-丁醇及3-乙氧基丙酸乙酯中的至少1種。

溶劑(e)的含量在著色感光性樹脂組合物中優(yōu)選為70~95重量%,更優(yōu)選為75~92重量%。換言之,著色感光性樹脂組合物的固體成分優(yōu)選為5~30重量%,更優(yōu)選為8~25重量%。若溶劑(e)的含量為上述范圍內(nèi),則涂布時的平坦性變得良好,并且形成濾色器時色濃度不會不足,因此存在顯示特性變得良好的傾向。

〔8〕流平劑(f)

本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物可以包含1種或2種以上的流平劑(f)。作為流平劑(f),可列舉(不包含氟原子的)硅酮系表面活性劑、氟系表面活性劑及具有氟原子的硅酮系表面活性劑等。它們可以在側(cè)鏈具有聚合性基團。

作為(不包含氟原子的)硅酮系表面活性劑,可列舉在分子內(nèi)具有硅氧烷鍵的表面活性劑等。具體而言,可列舉:toraysiliconedc3pa、toraysiliconesh7pa、toraysiliconedc11pa、toraysiliconesh21pa、toraysiliconesh28pa、toraysiliconesh29pa、toraysiliconesh30pa、toraysiliconesh8400(商品名:東麗-道康寧(株)制);kp321、kp322、kp323、kp324、kp326、kp340、kp341(信越化學(xué)工業(yè)(株)制);tsf400、tsf401、tsf410、tsf4300、tsf4440、tsf4445、tsf-4446、tsf4452及tsf4460(momentiveperformancematerialsjapan合同會社制)等。

作為氟系表面活性劑,可列舉在分子內(nèi)具有氟碳鏈的表面活性劑等。具體而言,可列舉:fluorad(注冊商標)fc430、fluoradfc431(住友3m(株)制);megafac(注冊商標)f142d、megafacf171、megafacf172、megafacf173、megafacf177、megafacf183、megafacf554、megafacr30、megafacrs-718-k(dic(株)制);ftop(注冊商標)ef301、ftopef303、ftopef351、ftopef352(三菱材料電子化成(株)制);surflon(注冊商標)s381、surflons382、surflonsc101、surflonsc105(旭硝子(株)制);以及e5844((株)daikinfinechemical研究所制)等。

作為具有氟原子的硅酮系表面活性劑,可列舉在分子內(nèi)具有硅氧烷鍵及氟碳鏈的表面活性劑等。具體而言,可列舉megafac(注冊商標)r08、megafacbl20、megafacf475、megafacf477及megafacf443(dic(株)制)等。

流平劑(f)的含量在著色感光性樹脂組合物中通常為0.001重量%以上且0.2重量%以下,優(yōu)選為0.002重量%以上且0.1重量%以下,更優(yōu)選為0.005重量%以上且0.05重量%以下。需要說明的是,在該含量中不包括上述顏料分散劑的含量。

〔9〕抗氧化劑(g)

從提高著色劑(a)的耐熱性及耐光性的觀點出發(fā),著色感光性樹脂組合物優(yōu)選含有抗氧化劑。作為抗氧化劑,只要為工業(yè)上通常使用的抗氧化劑,則并無特別限定,可以使用酚系抗氧化劑、磷系抗氧化劑及硫系抗氧化劑等??寡趸瘎┛梢允褂?種以上。

作為酚系抗氧化劑,可列舉:irganox1010(irganox1010:季戊四醇四[3-(3,5-二-叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、basf(株)制)、irganox1076(irganox1076:十八烷基-3-(3,5-二-叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯、basf(株)制)、irganox1330(irganox1330:3,3’,3”,5,5’,5”-六叔丁基-a,a’,a”-(均三甲苯-2,4,6-三基)三對甲酚、basf(株)制)、irganox3114(irganox3114:1,3,5-三(3,5-二-叔丁基-4-羥基芐基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1h,3h,5h)-三酮、basf(株)制)、irganox3790(irganox3790:1,3,5-三((4-叔丁基-3-羥基-2,6-二甲苯基)甲基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1h,3h,5h)-三酮、basf(株)制)、irganox1035(irganox1035:硫代二亞乙基雙[3-(3,5-二-叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、basf(株)制)、irganox1135(irganox1135:苯丙烷酸、3,5-雙(1,1-二甲基乙基)-4-羥基、c7-c9側(cè)鏈烷基酯、basf(株)制)、irganox1520l(irganox1520l:4,6-雙(辛基硫代甲基)鄰甲酚、basf(株)制)、irganox3125(irganox3125、basf(株)制)、irganox565(irganox565:2,4-雙(正辛基硫基)-6-(4-羥基3’、5’-二-叔丁基苯胺基)-1,3,5-三嗪、basf(株)制)、adkstabao-80(adkstabao-80:3,9-雙(2-(3-(3-叔丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙酰氧基)-1,1-二甲基乙基)-2,4,8,10-四氧雜螺(5,5)十一烷、(株)adeka制)、sumilizer(sumilizerbht、住友化學(xué)(株)制)、sumilizerga-80(sumilizerga-80、住友化學(xué)(株)制)、sumilizergs(sumilizergs、住友化學(xué)(株)制)、cyanox1790(cyanox1790、(株)cytec制)及維生素e(eisai(株)制)等。

作為磷系抗氧化劑,可列舉:irgafos168(irgafos168:三(2,4-二-叔丁基苯基)亞磷酸酯、basf(株)制)、irgafos12(irgafos12:三[2-[[2,4,8,10-四-叔丁基二苯并[d、f][1,3,2]二氧雜膦-6-基]氧基]乙基]胺、basf(株)制)、irgafos38(irgafos38:雙(2,4-雙(1,1-二甲基乙基)-6-甲基苯基)乙酯亞磷酸、basf(株)制)、adkstab329k((株)adeka制)、adkstabpep36((株)adeka制)、adkstabpep-8((株)adeka制)、sandstabp-epq(clariant公司制)、weston618(weston618、ge公司制)、weston619g(weston619g、ge公司制)、ultranox626(ultranox626、ge公司制)及sumilizergp(sumilizergp:6-[3-(3-叔丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙氧基]-2,4,8,10-四-叔丁基二苯并[d,f][1.3.2]二噁磷雜庚(ジ才キサホスフエピン))(住友化學(xué)(株)制)等。

作為硫系抗氧化劑,可列舉:硫代二丙酸二月桂酯、硫代二丙酸二肉豆蔻酯、硫代二丙酸二硬脂酯等硫代二丙酸二烷酯化合物;以及四[亞甲基(3-十二烷基硫基)丙酸酯]甲烷等多元醇的β-烷基巰基丙酸酯化合物等。

〔10〕其他成分

在本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物中可以根據(jù)需要含有1種或2種以上的填充劑、除樹脂(b)以外的高分子化合物、密合促進劑、紫外線吸收劑、抗凝聚劑、有機酸、有機胺化合物、固化劑等添加劑。

作為填充劑,可列舉玻璃、二氧化硅、氧化鋁等。

作為除樹脂(b)以外的高分子化合物,可列舉聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇單烷基醚及聚氯烷基丙烯酸酯等。

作為密合促進劑,可列舉乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、n-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、n-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷及3-巰基丙基三甲氧基硅烷等。

作為紫外線吸收劑,可列舉:2-(2-羥基-3-叔丁基-5-甲基苯基)-5-氯苯并三唑等苯并三唑系化合物;2-羥基-4-辛基氧基二苯甲酮等二苯甲酮系化合物;2,4-二-叔丁基苯基-3,5-二-叔丁基-4-羥基苯甲酸酯等苯甲酸酯系化合物;2-(4,6-二苯基-1,3,5-三嗪-2-基)-5-己基氧基苯酚等三嗪系化合物;等。

作為抗凝聚劑,可列舉聚丙烯酸鈉等。

有機酸被用于調(diào)整顯影性等,具體而言,可列舉:

甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、特戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛酸等脂肪族單羧酸;

草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、巴西基酸、甲基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、環(huán)己烷二甲酸、衣康酸、檸康酸、馬來酸、富馬酸、中康酸等脂肪族二羧酸;

丙三羧酸、丙烯三羧酸、樟腦三酸等脂肪族三羧酸;

苯甲酸、甲基苯甲酸、枯酸、2,3-二甲基苯甲酸、均三甲苯酸等芳香族單羧酸;

鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對苯二甲酸等芳香族二羧酸;

偏苯三酸、均苯三酸、偏苯四酸、均苯四酸等芳香族多羧酸;等。

作為有機胺化合物,可列舉:

正丙基胺、異丙基胺、正丁基胺、異丁基胺、仲丁基胺、叔丁基胺、正戊基胺、正己基胺、正庚基胺、正辛基胺、正壬基胺、正癸基胺、正十一烷基胺、正十二烷基胺等單烷基胺;

環(huán)己基胺、2-甲基環(huán)己基胺、3-甲基環(huán)己基胺、4-甲基環(huán)己基胺等單環(huán)烷基胺;

甲基乙基胺、二乙基胺、甲基正丙基胺、乙基正丙基胺、二正丙基胺、二異丙基胺、二正丁基胺、二異丁基胺、二仲丁基胺、二叔丁基胺、二正戊基胺、二正己基胺等二烷基胺;

甲基環(huán)己基胺、乙基環(huán)己基胺等單烷基單環(huán)烷基胺;

二環(huán)己基胺等二環(huán)烷基胺;

二甲基乙基胺、甲基二乙基胺、三乙基胺、二甲基正丙基胺、二乙基正丙基胺、甲基二正丙基胺、乙基二正丙基胺、三正丙基胺、三異丙基胺、三正丁基胺、三異丁基胺、三仲丁基胺、三叔丁基胺、三正戊基胺、三正己基胺等三烷基胺;

二甲基環(huán)己基胺、二乙基環(huán)己基胺等二烷基單環(huán)烷基胺;

甲基二環(huán)己基胺、乙基二環(huán)己基胺、三環(huán)己基胺等單烷基二環(huán)烷基胺;

2-氨基乙醇、3-氨基-1-丙醇、1-氨基-2-丙醇、4-氨基-1-丁醇、5-氨基-1-戊醇、6-氨基-1-己醇等單烷醇胺;

4-氨基-1-環(huán)己醇等單環(huán)烷醇胺;

二乙醇胺、二正丙醇胺、二異丙醇胺、二正丁醇胺、二異丁醇胺、二正戊醇胺、二正己醇胺等二烷醇胺;

二(4-環(huán)己醇)胺等二環(huán)烷醇胺;

三乙醇胺、三正丙醇胺、三異丙醇胺、三正丁醇胺、三異丁醇胺、三正戊醇胺、三正己醇胺等三烷醇胺;

三(4-環(huán)己醇)胺等三環(huán)烷醇胺;

3-氨基-1,2-丙二醇、2-氨基-1,3-丙二醇、4-氨基-1,2-丁二醇、4-氨基-1,3-丁二醇、3-二甲基氨基-1,2-丙二醇、3-二乙基氨基-1,2-丙二醇、2-二甲基氨基-1,3-丙二醇、2-二乙基氨基-1,3-丙二醇等氨基烷二醇;

4-氨基-1,2-環(huán)己二醇、4-氨基-1,3-環(huán)己二醇等氨基環(huán)烷二醇;

1-氨基環(huán)戊酮甲醇、4-氨基環(huán)戊酮甲醇等含氨基環(huán)烷酮甲醇;

1-氨基環(huán)己酮甲醇、4-氨基環(huán)己酮甲醇、4-二甲基氨基環(huán)戊烷甲醇、4-二乙基氨基環(huán)戊烷甲醇、4-二甲基氨基環(huán)己烷甲醇、4-二乙基氨基環(huán)己烷甲醇等含氨基環(huán)烷甲醇;

β-丙氨酸、2-氨基丁酸、3-氨基丁酸、4-氨基丁酸、2-氨基異丁酸、3-氨基異丁酸、2-氨基戊酸、5-氨基戊酸、6-氨基己酸、1-氨基環(huán)丙烷羧酸、1-氨基環(huán)己烷羧酸、4-氨基環(huán)己烷羧酸等氨基羧酸;

苯胺、鄰甲基苯胺、間甲基苯胺、對甲基苯胺、對乙基苯胺、對正丙基苯胺、對異丙基苯胺、對正丁基苯胺、對叔丁基苯胺、1-萘基胺、2-萘基胺、n,n-二甲基苯胺、n,n-二乙基苯胺、對甲基-n,n-二甲基苯胺等芳香族胺;

鄰氨基芐醇、間氨基芐醇、對氨基芐醇、對二甲基氨基芐醇、對二乙基氨基芐醇等氨基芐醇;

鄰氨基苯酚、間氨基苯酚、對氨基苯酚、對二甲基氨基苯酚、對二乙基氨基苯酚等氨基苯酚;

間氨基苯甲酸、對氨基苯甲酸、對二甲基氨基苯甲酸、對二乙基氨基苯甲酸等氨基苯甲酸;等。

作為固化劑,可列舉:能夠通過加熱與樹脂(b)中的羧基反應(yīng)而將樹脂(b)交聯(lián)的化合物、能夠單獨聚合而使著色圖案固化的化合物等。作為固化劑,可列舉環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物等。

固化劑可以僅使用1種,也可以并用2種以上。

作為環(huán)氧化合物,可列舉:雙酚a系環(huán)氧樹脂、氫化雙酚a系環(huán)氧樹脂、雙酚f系環(huán)氧樹脂、氫化雙酚f系環(huán)氧樹脂、酚醛型環(huán)氧樹脂、其他芳香族系環(huán)氧樹脂、脂環(huán)族系環(huán)氧樹脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹脂、縮水甘油基酯系樹脂、縮水甘油基胺系樹脂、環(huán)氧化油等環(huán)氧樹脂、這些環(huán)氧樹脂的溴化衍生物、除環(huán)氧樹脂及其溴化衍生物以外的脂肪族、脂環(huán)族或芳香族的環(huán)氧化合物、丁二烯的(共)聚合物的環(huán)氧化物、異戊二烯的(共)聚合物的環(huán)氧化物、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯的(共)聚合物、三縮水甘油基異氰脲酸酯等。作為環(huán)氧樹脂的市售品,可列舉鄰甲酚酚醛型環(huán)氧樹脂、“sumiepoxy(注冊商標)escn-195xl-80”(住友化學(xué)(株)制)等。

作為氧雜環(huán)丁烷化合物,可列舉碳酸酯雙氧雜環(huán)丁烷、亞二甲苯基雙氧雜環(huán)丁烷、己二酸酯雙氧雜環(huán)丁烷、對苯二甲酸酯雙氧雜環(huán)丁烷、環(huán)己烷二羧酸雙氧雜環(huán)丁烷等。

本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物在含有環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物等作為固化劑的情況下,可以包含能夠使環(huán)氧化合物的環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁烷化合物的氧雜環(huán)丁烷骨架開環(huán)聚合的化合物。作為該化合物,可列舉多元羧酸、多元羧酸酐、產(chǎn)酸劑等。

作為多元羧酸,除作為上述的有機酸所例示的化合物外,還可列舉:

3,4-二甲基鄰苯二甲酸、均苯四酸、偏苯三酸、1,4,5,8-萘四甲酸、3,3’,4,4’-二苯甲酮四甲酸等芳香族多元羧酸;

1,2,3,4-丁烷四甲酸等脂肪族多元羧酸;

六氫鄰苯二甲酸、3,4-二甲基四氫鄰苯二甲酸、六氫間苯二甲酸、六氫對苯二甲酸、1,2,4-環(huán)戊烷三甲酸、1,2,4-環(huán)己烷三甲酸、環(huán)戊烷四羧酸、1,2,4,5-環(huán)己烷四甲酸等脂環(huán)式多元羧酸;等。

作為多元羧酸酐,可列舉:

鄰苯二甲酸酐、均苯四酸酐、偏苯三酸酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四羧酸二酐等芳香族多元羧酸酐;

衣康酸酐、琥珀酸酐、檸康酸酐、十二碳烯基琥珀酸酐、丙三酸酐、馬來酸酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸二酐等脂肪族多元羧酸酐;

六氫鄰苯二甲酸酐、3,4-二甲基四氫鄰苯二甲酸酐、1,2,4-環(huán)戊烷三甲酸酐、1,2,4-環(huán)己烷三甲酸酐、環(huán)戊烷四羧酸二酐、1,2,4,5-環(huán)己烷四甲酸二酐、納迪克酸酐(ハイミツク酸無水物)、na酸酐(無水ナジン酸)等脂環(huán)式多元羧酸酐;

乙二醇雙偏苯三酸酐酯、甘油三偏苯三酸酐酯等含酯基羧酸酐;等。

作為羧酸酐,可以使用作為環(huán)氧樹脂固化劑而市售的產(chǎn)品。作為環(huán)氧樹脂固化劑,可列舉商品名“adekahardener(注冊商標)eh-700”((株)adeka制)、商品名“rikacid(注冊商標)hh”(新日本理化(株)制)、商品名“mh-700”(新日本理化(株)制)等。

作為產(chǎn)酸劑,可列舉:4-羥基苯基二甲基锍對甲苯磺酸鹽、4-羥基苯基二甲基锍六氟銻酸鹽、4-乙酰氧基苯基二甲基锍對甲苯磺酸鹽、4-乙酰氧基苯基·甲基·芐基锍六氟銻酸鹽、三苯基锍對甲苯磺酸鹽、三苯基锍六氟銻酸鹽、二苯基碘鎓對甲苯磺酸鹽、二苯基碘鎓六氟銻酸鹽等鎓鹽、硝基芐基甲苯磺酸鹽、苯偶姻甲苯磺酸酯等。

<著色感光性樹脂組合物的制造方法>

本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物可以通過將著色劑(a)、樹脂(b)、聚合性化合物(c)、聚合引發(fā)劑(d)以及根據(jù)需要添加的溶劑(e)、硫醇化合物(t)、流平劑(f)、聚合引發(fā)助劑(d1)、抗氧化劑(g)、其他成分混合來制備。

<濾色器及其制造方法、濾色器以及顯示裝置>

本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物作為濾色器、特別是綠色濾色器的材料有用。由本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物形成的濾色器也落入本申請發(fā)明的范疇。濾色器可以形成著色圖案。

作為由本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物制造著色圖案的方法,可列舉光刻法、噴墨法、印刷法等。其中,優(yōu)選光刻法。光蝕刻法為如下方法:將著色感光性樹脂組合物涂布在基板上,并使其干燥,形成著色組合物層,隔著光掩模將該著色組合物層曝光,進行顯影。在光刻法中,由能夠通過在曝光時不使用光掩模和/或不進行顯影、而形成上述著色組合物層的固化物即涂膜的本發(fā)明的著色感光性樹脂組合物形成的著色圖案、涂膜,為本發(fā)明的濾色器。

本發(fā)明的濾色器典型地被用作綠色像素。

作為基板,可使用:石英玻璃、硼硅酸鹽玻璃、鋁硅酸鹽玻璃、在表面進行了二氧化硅涂敷而成的鈉鈣玻璃等的玻璃板;聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯等的樹脂板;硅、在上述基板上形成鋁、銀、銀/銅/鈀合金薄膜等的基板。在這些基板上還可以形成其他的濾色器層、樹脂層、晶體管、電路等。

利用光刻法的各色像素的形成,可以在公知或慣用的裝置、條件下進行,例如可以按照以下方式來制作。首先,將著色感光性樹脂組合物涂布在基板上,進行加熱干燥(預(yù)烘焙)和/或減壓干燥,由此除去溶劑等揮發(fā)成分而使其干燥,得到平滑的著色組合物層。作為涂布方法,可列舉旋轉(zhuǎn)涂布法、狹縫涂布法、狹縫和旋轉(zhuǎn)涂布法等。

進行加熱干燥時的溫度優(yōu)選為30~120℃,更優(yōu)選為50~110℃。另外,作為加熱時間,優(yōu)選為10秒鐘~5分鐘,更優(yōu)選為30秒鐘~3分鐘。在進行減壓干燥時,優(yōu)選在50~150pa的壓力下且20~25℃的溫度范圍內(nèi)進行。著色組合物層的膜厚沒有特別限定,只要根據(jù)目標濾色器的膜厚適當選擇即可。根據(jù)本發(fā)明,可以形成即使為薄膜也能顯示良好的亮度并且深色的濾色器。

接著,將著色組合物層隔著用于形成目標著色圖案的光掩模進行曝光。該光掩模上的圖案沒有特別限定,可以使用對應(yīng)于目標用途的圖案。作為曝光中使用的光源,優(yōu)選發(fā)出250~450nm的波長的光的光源。例如,可以使用截取該波長區(qū)域的過濾器截取低于350nm的光、或使用取出這些波長區(qū)域的帶通濾波器選擇性地取出436nm附近、408nm附近、365nm附近的光。

具體而言,作為光源,可列舉汞燈、發(fā)光二極管、金屬鹵化物燈、鹵素?zé)舻取?/p>

在曝光中,為了能夠?qū)ζ毓饷嬲w均勻地照射平行光線、或者進行光掩模與形成有著色組合物層的基板的準確對位,優(yōu)選使用掩模對準器及步進器等曝光裝置。

通過使曝光后的著色組合物層與顯影液接觸進行顯影,從而在基板上形成著色圖案。通過顯影,可將著色組合物層的未曝光部溶解于顯影液而除去。

作為顯影液,優(yōu)選例如氫氧化鉀、碳酸氫鈉、碳酸鈉、四甲基氫氧化銨等堿性化合物的水溶液。這些堿性化合物的水溶液中的濃度優(yōu)選為0.01~10重量%,更優(yōu)選為0.03~5重量%。顯影液還可以含有表面活性劑。

顯影方法可以是槳板(paddle)法、浸漬法及噴霧法等中任一種。在顯影時還可以將基板以任意的角度傾斜。優(yōu)選顯影后進行水洗。

此外,優(yōu)選對所得的著色圖案進行后烘焙。后烘焙溫度優(yōu)選為150~250℃,更優(yōu)選為160~235℃。后烘焙時間優(yōu)選為1~120分鐘,更優(yōu)選為10~60分鐘。

從對鄰接像素產(chǎn)生影響的方面出發(fā),所得的涂膜的膜厚優(yōu)選盡可能地薄。

尤其是在制成厚膜的情況下,在制作液晶面板時,有時光源的光會通過2色以上的像素而漏出來,在從斜向觀察面板的情況下,有使色彩的鮮艷度喪失的風(fēng)險。后烘焙后的涂膜優(yōu)選為3μm以下、更優(yōu)選為2.8μm以下。

涂膜的下限并無特別限定,通常為1μm以上,也可以為1.5μm以上。如上所述,根據(jù)本發(fā)明,可以形成即使為薄膜也能顯示良好的亮度并且為深色的濾色器。

涂膜的亮度越高越優(yōu)選,優(yōu)選為38.5以上、更優(yōu)選為39以上,上限并無特別限定,通常為70以下。

本發(fā)明的濾色器作為顯示裝置(液晶顯示裝置、有機el裝置、電子紙等)及固體攝像元件中使用的濾色器有用。

實施例

以下,示出實施例及比較例對本發(fā)明進行更具體地說明,但本發(fā)明并不受這些例子限定。例中,表示含量或使用量的%及份只要沒有特別說明均為重量基準。

<合成例1:樹脂(b)的制備>

向具有回流冷凝管、滴液漏斗及攪拌機的1l的燒瓶內(nèi)適量流入氮氣置換成氮氣氣氛后,加入丙二醇單甲基醚乙酸酯280重量份,邊攪拌邊加熱到80℃。

接著,將混合丙烯酸38重量份、3,4-環(huán)氧三環(huán)[5.2.1.02,6]癸烷-8-基丙烯酸酯及3,4-環(huán)氧三環(huán)[5.2.1.02,6]-9-基丙烯酸酯的混合物289重量份、以及丙二醇單甲基醚乙酸酯125重量份混合而得的混合溶液用5小時滴加到上述丙二醇單甲基醚乙酸酯中。另一方面,將在丙二醇單甲基醚乙酸酯235重量份中溶解有2,2-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)33重量份的混合溶液用6小時滴加到上述丙二醇單甲基醚乙酸酯中。

滴加結(jié)束后,在該溫度下保持4小時后,冷卻至室溫,得到b型粘度(23℃)為125mpas、固體成分為37.0重量%、溶液酸值為27mg-koh/g的共聚物〔樹脂溶液(b)〕。該共聚物的重均分子量mw為9200、分散度(即,分子量分布)為2.08。

使用gpc法,在以下的條件下進行樹脂溶液(b)中所含的樹脂(共聚物)的聚苯乙烯換算重均分子量mw及數(shù)均分子量mn的測定。

<合成例2:顏料分散液(a1)的制備>

將以下成分混合,使用珠磨機使顏料充分分散,從而得到顏料分散液(a1)。

c.i.顏料藍1612.0份

丙烯酸系顏料分散劑5.4份

丙二醇單甲基醚乙酸酯82.6份

<合成例3:顏料分散液(a2)的制備>

將以下成分混合,使用珠磨機使顏料充分分散,從而得到顏料分散液(a2)。

c.i.顏料綠5914.0份

丙烯酸系顏料分散劑1.9份

丙二醇單甲基醚乙酸酯84.1份

<合成例4:顏料分散液(a3)的制備>

將以下成分混合,使用珠磨機使顏料充分分散,從而得到顏料分散液(a3)。

c.i.顏料綠5814.0份

丙烯酸系顏料分散劑1.9份

丙二醇單甲基醚乙酸酯84.1份

<合成例5:顏料分散液(a4)的制備>

將以下成分混合,使用珠磨機使顏料充分分散,從而得到顏料分散液(a4)。

c.i.顏料黃18512.0份

丙烯酸系顏料分散劑6.0份

丙二醇單甲基醚乙酸酯82.0份

<合成例6:顏料分散液(a5)的制備>

將以下成分混合,使用珠磨機使顏料充分分散,從而得到顏料分散液(a5)。

c.i.顏料黃15012.0份

丙烯酸系顏料分散劑3.6份

丙二醇單甲基醚乙酸酯84.4份

<合成例7:顏料分散液(a6)的制備>

將以下成分混合,使用珠磨機使顏料充分分散,從而得到顏料分散液(a6)。

c.i.顏料黃12913.0份

丙烯酸系顏料分散劑5.2份

丙二醇單甲基醚乙酸酯81.8份

<合成例8:顏料分散液(a7)的制備>

將以下成分混合,使用珠磨機使顏料充分分散,從而得到顏料分散液(a7)。

c.i.顏料黃13912.0份

丙烯酸系顏料分散劑4.0份

丙二醇單甲基醚乙酸酯84.0份

<實施例1~8和比較例1~5>

(1)著色感光性樹脂組合物的制備

將表8中記載的各成分混合,由此得到著色感光性樹脂組合物。需要說明的是,在制備著色感光性樹脂組合物時,按照使著色感光性樹脂組合物的固體成分達到20重量%的方式混合丙二醇單甲基醚乙酸酯。表8中的各成分的配合量的單位為“重量份”。聚合性化合物(c)、聚合引發(fā)劑(d)及流平劑(f)使用以下物質(zhì)。

聚合性化合物(c):二季戊四醇六丙烯酸酯(kayaraddpha;日本化藥(株)制)、

聚合引發(fā)劑(d):下述式所示的化合物。

流平劑(f):聚醚改性硅油(toraysiliconesh8400:東麗-道康寧(株)制)。

表8

(2)圖案的制作

利用旋涂法在2英寸見方的玻璃基板(eaglexg;康寧公司制)上涂布著色感光性樹脂組合物后,在100℃下預(yù)烘焙3分鐘。冷卻后,對涂布有該著色感光性樹脂組合物的基板,使用曝光機(tme-150rsk;topcon(株)制),在大氣氣氛下,以80mj/cm2的曝光量(365nm基準)進行光照射。之后,在烘箱中以230℃后烘焙30分鐘,得到圖膜。

(3)膜厚測定

對所得的涂膜,使用膜厚測定裝置(dektak3;日本真空技術(shù)(株)制)測定了膜厚(μm)。結(jié)果如表9所示。

(4)色度評價

對所得的涂膜,使用測色機(osp-sp-200;奧林巴斯(株)制)測定分光,使用具有圖1所示的分光光譜的光源的特性函數(shù),測定cie的xyz表色系的xy色度坐標(x、y)、亮度(y)、及分光的峰頂(最大峰的極大波長(nm))。結(jié)果如表9所示。

表9

在實施例1~8及比較例1~5中,將色度坐標(x,y)統(tǒng)一為目標綠色色度坐標之一即(0.170,0.760)。需要說明的是,rec.itu-rbt.2020的綠色的色度坐標(x,y)為(0.170,0.797)。

在實施例1~8及比較例1~5中,還使膜厚為同等(2.7μm、比較例3為2.8μm)程度。

在實施例1~8中,與比較例1~5相比,能夠?qū)崿F(xiàn)亮度y更高的濾色器。在比較例4中,為了實現(xiàn)色度坐標(0.170,0.760)而需要厚膜化,無法得到充分的亮度y。

在比較例5中,雖然膜厚與實施例1~8相同且亮度y本身較高,但是無法達成色度坐標(0.170,0.760)。

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