本發(fā)明涉及一種彩色濾光片巨觀檢查機(jī)設(shè)備，主要用于檢查顯示器用的彩色濾光片基板的目視巨觀異常，包括彩色濾光片的彩色上的不均勻(Mura)、背刮、背污、膜面刮傷、臟污、亮點(diǎn)、暗點(diǎn)等。

背景技術(shù)：

TFT-LCD面板之所以能夠顯示出彩色的影像，其關(guān)鍵因素在于彩色濾光片(彩色濾光片)，因彩色濾光片上涂布著紅(Red)、綠(Green)、藍(lán)(Blue)，此三種顏色的顏料光阻，光源再透過彩色濾光后，立即形成紅、綠、藍(lán)色光，最后在人眼中混合形成彩色的影像。彩色濾光片主要是由光阻涂布、預(yù)烤、曝光、顯影、烘烤等數(shù)道制程所形成，但其過程中可能會(huì)因?yàn)橹瞥躺系膮?shù)設(shè)定錯(cuò)誤或是機(jī)械設(shè)備發(fā)生故障、運(yùn)作異常甚至是空氣中的粉塵、毛屑等所導(dǎo)致彩色濾光片上出現(xiàn)瑕疵(Defect)，包括Mura、背刮、背污、膜面刮傷、臟污、亮點(diǎn)、暗點(diǎn)等。彩色濾光片上的瑕疵種類及瑕疵的大小都有可能影響到彩色濾光片是否可以判定通過檢測(cè)或是必須進(jìn)行修復(fù)甚至是丟棄等結(jié)果，若瑕疵檢測(cè)的部分沒有確實(shí)做好而影響到后段制程的進(jìn)度，或是交貨成品上的品管不良，這些都有可能增加廠商在成本上的負(fù)擔(dān)，更有可能會(huì)造成公司在商譽(yù)上的負(fù)面影響。因此，在彩色濾光片制程上的瑕疵檢測(cè)是廠商降低成本及提高市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力不可或缺的一項(xiàng)重要的步驟。彩色濾光片中的瑕疵檢測(cè)方面，可分為微觀瑕疵(Micro Defect)檢測(cè)及巨觀瑕疵(巨觀Defect)檢測(cè)兩大類，其微觀瑕疵主要是指較不明顯或不易用人眼觀察的瑕疵，必須藉由顯微鏡頭進(jìn)行檢測(cè)。而巨觀瑕疵則是指較大區(qū)域或是較明顯的瑕疵。彩色濾光片的瑕疵檢測(cè)作業(yè)多以人工方式來進(jìn)行檢測(cè)，然而，每一位技術(shù)人員對(duì)于瑕疵種類的判定水平都不太相同，且技術(shù)人員經(jīng)過一段時(shí)間的目視檢查，會(huì)因?yàn)檠劬ζ诩吧砥v而造成檢測(cè)速度變慢，甚至是造成誤判的情形發(fā)生。于是，近年來逐漸朝著自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)來發(fā)展，并且逐漸取代人工辨識(shí)，以達(dá)到提升生產(chǎn)效率及降低人力成本。本發(fā)明希望經(jīng)由發(fā)展一套彩色濾光片的巨觀檢測(cè)系統(tǒng)，以達(dá)到巨觀瑕疵檢測(cè)及分類瑕疵種類，以方便技術(shù)人員后續(xù)的處理，其主要目的為使彩色濾光片的巨觀檢測(cè)系統(tǒng)能有效地加快瑕疵檢測(cè)速度及提升廠商的在市場(chǎng)上競(jìng)爭(zhēng)力。

巨觀瑕疵相對(duì)微觀瑕疵于尺寸上來說是較大且可由人眼辨識(shí)。彩色濾光片中人眼不易觀察的瑕疵包括：白缺陷、黑缺陷、透明電極膜缺陷、膜面?zhèn)?、金屬殘留、濾光層缺陷、鉻(Cr)蝕刻不良、玻璃氣泡、異物殘留、Mura、背刮、背污、膜面刮傷、臟污、亮點(diǎn)、暗點(diǎn)等等。

巨觀檢測(cè)是在不同方位及角度時(shí)，以不同燈源來檢查玻璃是否有Mura、磨刮及膜污等；于檢測(cè)玻璃時(shí)是以缺陷規(guī)格，由專門人員來判定玻璃的良品或不良品，尤其，在面板成品/半成品(Cell)的后段檢驗(yàn)中，時(shí)常會(huì)發(fā)現(xiàn)由待檢測(cè)彩色濾光片不均勻所造成色不均(Mura)現(xiàn)象；常見的色不均現(xiàn)象，又可分為云狀色不均(Cloud Mura)與線狀色不均(Line Mura)等各式各樣的瑕疵，此類瑕疵由于會(huì)嚴(yán)重影響使用者的視覺感受，故為判別液晶顯示器品質(zhì)的重要依據(jù)。目前彩色濾光片業(yè)界所開發(fā)出來的光阻涂飾后、顯影前的相關(guān)檢查機(jī)制，例如：Sampling Na巨觀、Auto-Thickness Measure與Virtual Image Check等等，僅局限于檢驗(yàn)出顯影前的巨觀瑕疵，對(duì)于顯影后至彩色濾光片出貨前，其終端巨觀瑕疵檢驗(yàn)，并無法提供有效的幫助。

目前彩色濾光片業(yè)界是采用透過光，進(jìn)行終端巨觀瑕疵檢驗(yàn)，其中，待檢測(cè)彩色濾光片座落在光源與檢驗(yàn)者之間，其上配置有紅色光阻、綠色光阻、藍(lán)色光阻與黑色矩陣等各式光阻；檢驗(yàn)者是藉由目視的方式，觀察光源自待檢測(cè)彩色濾光片后方所穿透的光線，檢驗(yàn)是否有巨觀瑕疵的問題；然而，在待檢測(cè)彩色濾光片的制造過程中，要對(duì)顯影后的成品/半成品，進(jìn)行色不均的檢驗(yàn)，要透過單獨(dú)地透過肉眼判定，是非常困難的，因此，上述的檢驗(yàn)，仍然無法有效地檢驗(yàn)出巨觀瑕疵。

另外，過去在彩色濾光片為小片出貨時(shí)，雖然會(huì)利用屏蔽檢驗(yàn)(Mask View)的方式，確認(rèn)R/G/B三個(gè)顏色是否有色不均的現(xiàn)象，成效也相當(dāng)良好。但是到了整片(Full Sheet)出貨以及負(fù)型樹脂黑色矩陣導(dǎo)入以后，由于治具制作與處理上的困難，便無法再應(yīng)用了，以致于造成出貨時(shí)的巨觀瑕疵檢出能力低落。

屏蔽配置在光源與待檢測(cè)彩色濾光片之間，其遮光區(qū)域?qū)?yīng)于待檢測(cè)彩色濾光片的紅色光阻與藍(lán)色光阻，透光區(qū)域則對(duì)應(yīng)于綠色光阻；如此，透過屏蔽與待檢測(cè)彩色濾光片的作用，便可將光源所發(fā)射出的白光轉(zhuǎn)換為綠光，檢驗(yàn)者便可根據(jù)所過濾后綠光狀況，即單一綠色畫面，以便于檢驗(yàn)巨觀瑕疵，判斷是否有綠色的色不均問題。同理，如欲檢驗(yàn)紅色或藍(lán)色畫面時(shí)，只需將待檢測(cè)彩色濾光片或屏蔽，作左右一個(gè)次畫素的位移即可，使得透光區(qū)域得以分別對(duì)應(yīng)至紅色光阻或藍(lán)色光阻。在完成R/G/B單色畫面的檢驗(yàn)后，即可對(duì)色不均的巨觀瑕疵，作出綜合性的判斷。

綜合上述，仍需要彩色濾光片巨觀檢查機(jī)臺(tái)的改良對(duì)象與方法，以提高液晶顯示器面板的生產(chǎn)效率、產(chǎn)量及質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題以及在不同制程階段中可以快速地檢測(cè)出巨觀瑕疵，本發(fā)明的目的在于提供一種檢測(cè)彩色濾光片的檢驗(yàn)方法，以達(dá)到在制程的不同階段提供不同針對(duì)性的檢查。本發(fā)明是有關(guān)于一種彩色濾光片巨觀(Macro)檢查機(jī)，彩色濾光片巨觀檢查機(jī)是TFT-LCD產(chǎn)業(yè)中彩色濾光片(CF彩色濾光片)制程中重要的檢查設(shè)備。主要用于檢查CF基板的目視巨觀異常，包括mura、背刮、背污、膜面刮傷、臟污、亮點(diǎn)、暗點(diǎn)等。在CF產(chǎn)線制程中為主生產(chǎn)線內(nèi)(Inline)彩色濾光片巨觀檢查機(jī)設(shè)計(jì)裝置，于制程中的不同階段提供不同針對(duì)性的檢查。

本發(fā)明的特點(diǎn)為：(1)將巨觀檢查至于涂布(Coater)之后曝光機(jī)(曝光)之前并且配合彩膜色度計(jì)(EIT)設(shè)備，主要針對(duì)涂布后所產(chǎn)生的膜厚異常進(jìn)行檢出。其優(yōu)點(diǎn)為可及時(shí)發(fā)現(xiàn)涂布后出現(xiàn)的異常，后續(xù)制程可針對(duì)異常進(jìn)行處理以及可對(duì)彩膜色度計(jì)檢出的mura(色不均色斑)進(jìn)行人員確認(rèn)。其缺點(diǎn)為檢出的異常會(huì)存在假性異常(false異常)。(2)將巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)至于曝光機(jī)(曝光)后而在顯影(Developer)前，主要針對(duì)涂布及曝光后產(chǎn)生的異常進(jìn)行檢出。其優(yōu)點(diǎn)為可及時(shí)發(fā)現(xiàn)涂布及曝光后出現(xiàn)的異常，后續(xù)制程可針對(duì)異常進(jìn)行處理及可以消除部分false異常。其缺點(diǎn)為與彩膜色度計(jì)配合情況不佳。(3)將巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)至于顯影后烤箱(Oven)前，主要針對(duì)顯影后出現(xiàn)的異常進(jìn)行檢出。其優(yōu)點(diǎn)為可及時(shí)發(fā)現(xiàn)顯影后出現(xiàn)的異常，后續(xù)可以針對(duì)異常進(jìn)行處理。其缺點(diǎn)為不能與彩膜色度計(jì)配合，檢出頻度及攔截能力有限及異常品處理過程復(fù)雜。(4)將巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)至于烤箱后，對(duì)所述layer所有制程完成之后進(jìn)行檢出。其優(yōu)點(diǎn)為檢出準(zhǔn)確，可最大限度的排除false異常。其優(yōu)點(diǎn)為檢出異常無法進(jìn)行后續(xù)處理，只能重工(Rework)，發(fā)生異常損失極大。上述之外，本發(fā)明的效益更包括可實(shí)現(xiàn)四種主要檢查設(shè)計(jì)：正常抽檢涂布機(jī)后玻璃基板；正常抽檢曝光后玻璃基板；與彩膜色度計(jì)配合，對(duì)彩膜色度計(jì)檢出的異常玻璃基板進(jìn)行人員復(fù)判；對(duì)彩膜突起檢查機(jī)(INS)所檢查出的異物在巨觀進(jìn)行檢查，因此可不需要額外增加額外占地面積，以節(jié)省成本。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，巨觀機(jī)臺(tái)需增加一個(gè)屏蔽(Shutter)，在巨觀機(jī)臺(tái)原本傳輸通道屏蔽的上方或者下方合適位置增加一個(gè)屏蔽。在軟體上需要根據(jù)送片信號(hào)發(fā)出的單位調(diào)整平臺(tái)(Stage)高度以接受玻璃基板。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，巨觀檢查機(jī)臺(tái)外在原有傳送帶(CV)基礎(chǔ)上需增加一條傳送帶。根據(jù)傳輸通道的情況可以在原傳送帶上方再增加一條傳送帶即可。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，玻璃基板自上游前來其玻璃基板流動(dòng)設(shè)備的流片方法為進(jìn)入巨觀檢查機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢查。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，玻璃基板自上游前來其玻璃基板流動(dòng)設(shè)備的流片方法為跳過(Bypass)巨觀檢查機(jī)臺(tái)直接進(jìn)入曝光機(jī)。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，玻璃基板自上游前來其玻璃基板流動(dòng)設(shè)備的流片方法為跳過巨觀檢查機(jī)臺(tái)及曝光機(jī)直接流向下游。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，玻璃基板自曝光機(jī)出來后其玻璃基板流動(dòng)設(shè)備的流片方法為通過下部流片信道流向下游。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，玻璃基板自曝光機(jī)出來后其玻璃基板流動(dòng)設(shè)備的流片方法為經(jīng)過上部流片信道進(jìn)入巨觀檢查機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢查。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，玻璃基板自曝光機(jī)出來后其玻璃基板流動(dòng)設(shè)備的流片方法為經(jīng)過上部流片信道進(jìn)入巨觀檢查機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢查。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，彩色濾光片巨觀檢查機(jī)臺(tái)，未曝光玻璃基板或彩膜色度計(jì)(EIT)檢出標(biāo)記玻璃基板由上方屏蔽進(jìn)入機(jī)臺(tái)；曝光后玻璃基板由下方屏蔽進(jìn)入機(jī)臺(tái)；所有玻璃基板均由下方屏蔽流往下游。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，彩色濾光片巨觀檢查機(jī)臺(tái)，正常抽檢涂布后玻璃基板。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，彩色濾光片巨觀檢查機(jī)臺(tái)，正常抽檢曝光玻璃基板。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，彩色濾光片巨觀檢查機(jī)臺(tái)，與彩膜色度計(jì)配合，對(duì)彩膜色度計(jì)檢出的異常玻璃基板進(jìn)行人員復(fù)判。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，將巨觀檢查至于涂布之后曝光機(jī)(曝光)之前并且配合彩膜色度計(jì)設(shè)備，主要針對(duì)涂布后所產(chǎn)生的膜厚異常進(jìn)行檢出。其優(yōu)點(diǎn)為可及時(shí)發(fā)現(xiàn)涂布后出現(xiàn)的異常，后續(xù)制程可針對(duì)異常進(jìn)行處理以及可對(duì)彩膜色度計(jì)檢出的mura(色不均色斑)進(jìn)行人員確認(rèn)。其缺點(diǎn)為檢出的異常會(huì)存在false異常。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，將巨觀檢查至于曝光機(jī)(曝光)后而在顯影前，主要針對(duì)涂布及曝光后產(chǎn)生的異常進(jìn)行檢出。其優(yōu)點(diǎn)為可及時(shí)發(fā)現(xiàn)涂布及曝光后出現(xiàn)的異常，后續(xù)制程可針對(duì)異常進(jìn)行處理及可以消除部分false異常。其缺點(diǎn)為與彩膜色度計(jì)配合情況不佳。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，將巨觀檢查至于顯影后烤箱前，主要針對(duì)顯影后出現(xiàn)的異常進(jìn)行檢出。其優(yōu)點(diǎn)為可及時(shí)發(fā)現(xiàn)顯影后出現(xiàn)的異常，后續(xù)可以針對(duì)異常進(jìn)行處理。其缺點(diǎn)為不能與彩膜色度計(jì)配合，檢出頻度及攔截能力有限及異常品處理過程復(fù)雜。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，將巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)至于烤箱后，對(duì)所述layer所有制程完成之后進(jìn)行檢出。其優(yōu)點(diǎn)為檢出準(zhǔn)確，可最大限度的排除false異常。其優(yōu)點(diǎn)為檢出異常無法進(jìn)行后續(xù)處理，只能重工，發(fā)生異常損失極大。

附圖說明

圖1是本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃基板自上游前來其玻璃基板流動(dòng)設(shè)備的流片方法(1)進(jìn)入巨觀檢查機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢查。(2)為跳過(Bypass)巨觀檢查機(jī)臺(tái)直接進(jìn)入曝光機(jī)。(3)跳過巨觀檢查機(jī)臺(tái)及曝光機(jī)直接流向下游。

圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的將巨觀檢查至于涂布(Coater)之后曝光機(jī)(曝光)之前并且配合彩膜色度計(jì)(EIT)設(shè)備，主要針對(duì)涂布后所產(chǎn)生的膜厚異常進(jìn)行檢出的示意圖。

圖3是本發(fā)明一實(shí)施例的將巨觀檢查至于曝光機(jī)(曝光)后而在顯影(Developer)前，主要針對(duì)涂布及曝光后產(chǎn)生的異常進(jìn)行檢出的示意圖。

圖4是本發(fā)明一實(shí)施例的將巨觀檢查至于顯影后烤箱(Oven)前，主要針對(duì)顯影后出現(xiàn)的異常進(jìn)行檢出的示意圖。

圖5是本發(fā)明一實(shí)施例的將巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)至于烤箱后，對(duì)所述layer所有制程完成之后進(jìn)行檢出的示意圖。

圖6A～6B是本發(fā)明一實(shí)施例的巨觀檢查機(jī)臺(tái)需增加一個(gè)屏蔽。在巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)原本傳輸通道屏蔽的上方或者下方合適位置增加一個(gè)屏蔽。在軟體上需要根據(jù)送片信號(hào)發(fā)出的單位調(diào)整平臺(tái)高度以接受玻璃基板。

具體實(shí)施方式

以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「?jìng)?cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。

附圖和說明被認(rèn)為在本質(zhì)上是示出性的，而不是限制性的。在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號(hào)表示。另外，為了理解和便于描述，附圖中示出的每個(gè)組件的尺寸和厚度是任意示出的，但是本發(fā)明不限于此。

在附圖中，為了清晰起見，夸大了層、膜、面板、區(qū)域等的厚度。在附圖中，為了理解和便于描述，夸大了一些層和區(qū)域的厚度。將理解的是，當(dāng)例如層、膜、區(qū)域或基底的組件被稱作“在”另一組件“上”時(shí)，所述組件可以直接在所述另一組件上，或者也可以存在中間組件。

另外，在說明書中，除非明確地描述為相反的，否則詞語“包括”將被理解為意指包括所述組件，但是不排除任何其它組件。此外，在說明書中，“在......上”意指位于目標(biāo)組件上方或者下方，而不意指必須位于基于重力方向的頂部上。

為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的一種用以彩色濾光片巨觀檢查機(jī)設(shè)備，其具體實(shí)施方式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。

在圖1中，運(yùn)用巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)(Macro)機(jī)臺(tái)100自身單位調(diào)整平臺(tái)(Stage)可移動(dòng)的特性，在傳統(tǒng)巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)單屏蔽(Shutter)設(shè)計(jì)基礎(chǔ)上增加一個(gè)屏蔽，再適當(dāng)增加用以搬運(yùn)彩色濾光片基板的外部搬運(yùn)設(shè)備，結(jié)合玻璃基板流動(dòng)設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)彩膜巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)設(shè)備100針對(duì)曝光前玻璃基板、曝光后玻璃基板以及結(jié)合曝光機(jī)120和彩膜色度計(jì)(EIT)檢查結(jié)果的多項(xiàng)檢出應(yīng)用。

請(qǐng)參閱圖1及圖6A～B，圖1是本發(fā)明一實(shí)施例的玻璃基板自上游前來其玻璃基板流動(dòng)設(shè)備的流片方法(1)進(jìn)入巨觀檢查機(jī)臺(tái)進(jìn)行檢查。(2)為跳過(Bypass)巨觀檢查機(jī)臺(tái)直接進(jìn)入曝光機(jī)。(3)跳過巨觀檢查機(jī)臺(tái)及曝光機(jī)直接流向下游，圖6A～6B是本發(fā)明一實(shí)施例的巨觀檢查機(jī)臺(tái)需增加一個(gè)屏蔽。在巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)原本傳輸通道屏蔽102的上方或者下方合適位置增加一個(gè)屏蔽101。在軟體上需要根據(jù)送片信號(hào)發(fā)出的單位調(diào)整平臺(tái)高度以接受玻璃基板，在圖1中，玻璃基板自上游前來可有三種流片方法：a.進(jìn)入Macro機(jī)臺(tái)100進(jìn)行檢查；b.跳過Macro機(jī)臺(tái)100直接進(jìn)入曝光機(jī)；c.跳過Macro 100及曝光機(jī)120直接流向下游。

在圖1中，玻璃基板自曝光機(jī)120出來后有兩種流片方法：a.通過下部流片通道流向下游；b.經(jīng)過上部部流片通道進(jìn)入Macro機(jī)臺(tái)100進(jìn)行檢查。

在圖1中，在Macro機(jī)臺(tái)100方面，未曝光玻璃基板或彩膜色度計(jì)130檢出標(biāo)記玻璃基板由上方屏蔽進(jìn)入機(jī)臺(tái)；曝光后玻璃基板由下方屏蔽進(jìn)入機(jī)臺(tái)；所有玻璃基板均由下方屏蔽流往下游。

請(qǐng)參閱圖2，圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的將巨觀檢查至于涂布(Coater)之后曝光機(jī)(曝光)之前并且配合彩膜色度計(jì)設(shè)備，主要針對(duì)涂布后所產(chǎn)生的膜厚異常進(jìn)行檢出的示意圖，在圖2中，將巨觀檢查機(jī)臺(tái)100至于涂布110之后曝光機(jī)120之前并且配合彩膜色度計(jì)設(shè)備130，主要針對(duì)涂布110后所產(chǎn)生的膜厚異常進(jìn)行檢出?？杉皶r(shí)發(fā)現(xiàn)涂布110后出現(xiàn)的異常，后續(xù)制程可針對(duì)異常進(jìn)行處理以及可對(duì)彩膜色度計(jì)130檢出的Mura(色不均色斑)進(jìn)行人員確認(rèn)。其缺點(diǎn)為檢出的異常會(huì)存在false異常。

請(qǐng)參閱圖3，圖3是本發(fā)明一實(shí)施例的將巨觀檢查至于曝光機(jī)(曝光)后而在顯影(Developer)前，主要針對(duì)涂布及曝光后產(chǎn)生的異常進(jìn)行檢出的示意圖，在圖3中，將巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)100至于曝光機(jī)120后而在顯影140前，主要針對(duì)涂布110及曝光后產(chǎn)生的異常進(jìn)行檢出?？杉皶r(shí)發(fā)現(xiàn)涂布110及曝光后出現(xiàn)的異常，后續(xù)制程可針對(duì)異常進(jìn)行處理及可以消除部分false異常。其缺點(diǎn)為與彩膜色度計(jì)130配合情況不佳。

請(qǐng)參閱圖4，圖4是本發(fā)明一實(shí)施例的將巨觀檢查至于顯影后烤箱(Oven)前，主要針對(duì)顯影后出現(xiàn)的異常進(jìn)行檢出的示意圖，在圖4中，將巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)100至于顯影140后烤箱150前，主要針對(duì)顯影140后出現(xiàn)的異常進(jìn)行檢出?？杉皶r(shí)發(fā)現(xiàn)顯影140后出現(xiàn)的異常，后續(xù)可以針對(duì)異常進(jìn)行處理。其缺點(diǎn)為不能與彩膜色度計(jì)130配合，檢出頻度及攔截能力有限及異常品處理過程復(fù)雜。

請(qǐng)參閱圖5，圖5是本發(fā)明一實(shí)施例的將巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)至于烤箱后，對(duì)所述layer所有制程完成之后進(jìn)行檢出的示意圖，在圖5中，將巨觀檢測(cè)機(jī)臺(tái)100至于烤箱150后，對(duì)所述layer所有制程完成之后進(jìn)行檢出。其優(yōu)點(diǎn)為檢出準(zhǔn)確，可最大限度的排除false異常。其優(yōu)點(diǎn)為檢出異常無法進(jìn)行后續(xù)處理，只能重工，發(fā)生異常損失極大。

“在一些實(shí)施例中”及“在各種實(shí)施例中”等用語被重復(fù)地使用。所述用語通常不是指相同的實(shí)施例；但它亦可以是指相同的實(shí)施例?！鞍?、“具有”及“包括”等用詞是同義詞，除非其前后文意顯示出其它意思。

以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。