本發(fā)明涉及直寫式光刻技術領域，具體涉及一種傾斜式掃描中數(shù)據(jù)移位的方法。

背景技術：

直寫式光刻機設備是半導體器件生產(chǎn)過程中的關鍵設施，直寫式光刻機設備是利用空間光調(diào)制器(SLM)作為圖形發(fā)生器取代傳統(tǒng)光刻機的掩模板，從而可以直接將計算機的圖形數(shù)據(jù)曝光到晶圓上，節(jié)省掩模板的費用。

由于現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展對光刻機提出了更高的要求，不僅要求光刻的線寬更小，而且要求速度更快。傳統(tǒng)的垂直掃描無法很好地滿足工業(yè)生產(chǎn)的要求，而傾斜式掃描方式在增大光學倍率，提高掃描寬度的同時，還可以提高光學分辨率。傾斜式直寫曝光機中，需要對圖像數(shù)據(jù)進行必要的移位操作，以修正在傾斜式掃描中，輸出圖像方向與DMD移動方向不一致的問題。這種移位操作需要對每幀圖像進行實時處理，計算量大，實時性要求極高，簡化移位操作的方法，就可以大大提高移位操作的效率。

圖像偏移是通過對bitmap格式的圖像數(shù)據(jù)每一行進行相應的數(shù)據(jù)移位來實現(xiàn)的。數(shù)據(jù)移位即在行起始列之前補充相應個數(shù)的零。數(shù)據(jù)移位通常都是由現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA)完成，但對于運算量大的數(shù)據(jù)，如需補零255個的時候，使用case語句將產(chǎn)生255個分支，F(xiàn)PGA處理復雜度將非常大。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的就是針對現(xiàn)有數(shù)據(jù)移位算法的不足，提供一種傾斜式掃描中數(shù)據(jù)移位的方法，能夠有效降低FPGA處理的復雜度，極大地提高移位操作的效率。

本發(fā)明的技術方案如下：

一種傾斜式掃描中數(shù)據(jù)移位的方法，所述數(shù)據(jù)移位通過現(xiàn)場可編程門陣列進行，包括如下步驟：

讀取圖形數(shù)據(jù)步驟，從存儲模塊中讀取待曝光的圖形數(shù)據(jù)；

獲取待曝光圖形數(shù)據(jù)的總行數(shù)步驟，計算所述待曝光的圖形數(shù)據(jù)的總行數(shù)，并對待曝光的圖形數(shù)據(jù)的各行按掃描順序從1開始進行編號；

計算待曝光圖形數(shù)據(jù)每一行需要補零的個數(shù)步驟，對待曝光的圖形數(shù)據(jù)中的第m行，用m除以傾斜因子N，對結果m/N向下取整，取整結果記為，即為第m行需要補零的個數(shù)；

數(shù)據(jù)移位步驟，將轉化為二進制數(shù)，將所述二進制數(shù)從低位到高位從0開始依次編號，對所述二進制數(shù)從低位開始判斷，如果當前位次數(shù)字為1，則將所在行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，其中a是當前位的編號，如果當前位次數(shù)字為0則不補零，依次判斷所有位次的數(shù)字并進行補零，完成數(shù)據(jù)移位。

優(yōu)選地，所述存儲模塊是雙倍速率同步動態(tài)隨機存儲器。

優(yōu)選地，所述傾斜因子N為大于等于4且小于等于16的任意正整數(shù)。

優(yōu)選地，所述二進制數(shù)為8比特二進制數(shù)。

優(yōu)選地，所述為大于等于0且小于等于255的正整數(shù)。在0-255之間時，可以滿足轉化成二進制數(shù)后不超過8位。

本發(fā)明具有如下有益效果：

本發(fā)明涉及一種傾斜掃描中數(shù)據(jù)移位的方法，通過將移位次數(shù)轉化為二進制數(shù)，然后逐位移位的方法實現(xiàn)數(shù)據(jù)移位。與現(xiàn)有的數(shù)據(jù)移位方法相比，本發(fā)明的移位方式簡單并且易于實現(xiàn)。對于補零個數(shù)在0-255個之間的數(shù)據(jù)移位操作，傳統(tǒng)技術則需要255個case語句，本發(fā)明的數(shù)據(jù)移位方法僅需要8個case語句即可實現(xiàn)，極大地降低了FPGA實現(xiàn)的難度。

附圖說明

圖1是傾斜式掃描中SLM與待曝光的圖形數(shù)據(jù)之間的位置關系；

圖2是本發(fā)明實施例1的傾斜掃描中數(shù)據(jù)移位的方法的流程圖；

圖3是本發(fā)明實施例2待移位數(shù)據(jù)的示意圖；

圖4是本發(fā)明實施例2補零后的原始數(shù)據(jù)示意圖；

圖5是本發(fā)明實施例2完成數(shù)據(jù)移位的示意圖。

具體實施方式

下面將結合具體實施例和附圖對本發(fā)明的技術方案進行清楚完整地描述。

附圖1是傾斜式掃描中SLM與待曝光的圖形數(shù)據(jù)之間的位置關系?？梢钥闯鯯LM相對于掃描方向間存在夾角θ。

以下是本發(fā)明的具體實施例。

實施例1

如附圖2所示，本實施例的傾斜式掃描中數(shù)據(jù)移位的方法通過FPGA進行數(shù)據(jù)移位，包括如下步驟：

讀取圖形數(shù)據(jù)步驟，從存儲模塊中讀取待曝光的圖形數(shù)據(jù)；

獲取待曝光圖形數(shù)據(jù)的總行數(shù)步驟，計算所述待曝光的圖形數(shù)據(jù)的總行數(shù)，并對待曝光的圖形數(shù)據(jù)的各行按掃描順序從1開始進行編號，分別記為第1行、第2行、第3行、……、第m行、……第n行；

計算待曝光圖形數(shù)據(jù)每一行需要補零的個數(shù)步驟，對待曝光的圖形數(shù)據(jù)中的第m行，用m除以傾斜因子N，對結果m/N向下取整，取整結果記為，即為第m行需要補零的個數(shù)。傾斜因子N取大于等于4且小于等于16的任意正整數(shù)。

數(shù)據(jù)移位步驟，將轉化為二進制數(shù)，將所述二進制數(shù)從低位到高位從0開始依次編號，分別記為p[0]、p[1]、p[2]、p[3]、……、直到p[n]。本發(fā)明的方法中一般是0-255之間的正整數(shù)，轉化得到的二進制數(shù)為8比特二進制數(shù)，因此編號為從p[0]到p[7]。對該二進制數(shù)從低位開始判斷，即從p[0]開始判斷，如果p[0]=1，則將所在行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，即補1個0；如果p[0]=0則不補零。依次判斷所有位次的數(shù)字并進行補零，完成數(shù)據(jù)移位。

以=10為例，轉化為8比特二進制數(shù)為00001010，從p[0]開始判斷：

p[0]=0，不補零；

p[1]=1，將所在行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，即補2個零；

p[2]=0，不補零；

p[3]=1，將所在行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，即補8個零；

p[4]=0，不補零；

p[5]=0，不補零；

p[6]=0，不補零；

p[7]=0，不補零。

完成補零，總共補了2+8=10個零，即進行了10次數(shù)據(jù)移動。

實施例2

本實施例給出了某一具體圖形數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)移位示意圖。

圖3是本實施例待移位數(shù)據(jù)的示意圖，本實施例待移位圖形數(shù)據(jù)共有40行，從第一行開始編號，分別記為第1行、第2行、第3行……直至第40行。

取傾斜因子N=4，從第1行開始：

第1行，，轉化為8比特二進制數(shù)為00000000，進行數(shù)據(jù)移位：

p[0]=0，不補零；

p[1]=0，不補零；

p[2]=0，不補零；

p[3]=0，不補零；

p[4]=0，不補零；

p[5]=0，不補零；

p[6]=0，不補零；

p[7]=0，不補零。

因此第1行不補零。

第2行，，同第1行，不補零；

第3行，，同第1行，不補零；

第4行，，轉化為8比特二進制數(shù)為00000001，進行數(shù)據(jù)移位：

p[0]=1，將第4行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，即補1個零；

p[1]=0，不補零；

p[2]=0，不補零；

p[3]=0，不補零；

p[4]=0，不補零；

p[5]=0，不補零；

p[6]=0，不補零；

p[7]=0，不補零。

完成補零，總共補了1個零，即進行了1次數(shù)據(jù)移動。

第5行，，同第4行，將第5行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，即補1個零。

第6行，，同第4行，將第6行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，即補1個零。

第7行，，同第4行，將第7行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，即補1個零。

第8行，，轉化為8比特二進制數(shù)為00000010，進行數(shù)據(jù)移位：

p[0]=0，不補零；

p[1]=1，將第4行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，即補2個零；

p[2]=0，不補零；

p[3]=0，不補零；

p[4]=0，不補零；

p[5]=0，不補零；

p[6]=0，不補零；

p[7]=0，不補零。

完成補零，總共補了2個零，即進行了2次數(shù)據(jù)移動。

按照上述步驟重復，對剩下的行完成補零操作，到第40行時，，轉化為8比特二進制數(shù)為00001010，進行數(shù)據(jù)移位：

p[0]=0，不補零；

p[1]=1，將所在行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，即補2個零；

p[2]=0，不補零；

p[3]=1，將所在行的數(shù)據(jù)在起始列前補個零，即補8個零；

p[4]=0，不補零；

p[5]=0，不補零；

p[6]=0，不補零；

p[7]=0，不補零。

完成補零，總共補了2+8=10個零，即進行了10次數(shù)據(jù)移動。

圖4是本發(fā)明實施例2補零后的原始數(shù)據(jù)示意圖。對圖4的數(shù)據(jù)按照DMD總列數(shù)刪去多余部分，得到圖5，即為本實施例完成數(shù)據(jù)移位的示意圖。

以上應用具體實施例對本發(fā)明的技術方案進行了詳細闡述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。同時，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的核心思想，對于本領域的一般技術人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處。因此，基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。綜上所述，本說明書內(nèi)容不應理解為對本發(fā)明的限制。