1.一種直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,包括CCD相機、安裝在CCD相機上的光學鏡頭以及固定在光學鏡頭上的照明光源,其特征在于:所述光學鏡頭采用雙側遠心鏡頭,所述照明光源包括點光源和環(huán)形光源,所述點光源用于為光學鏡頭提供同軸照明,所述環(huán)形光源用于為光學鏡頭提供低角度照明。
2.根據權利要求1所述的直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,其特征在于:所述光學鏡頭與CCD相機通過機械件連接,所述光學鏡頭的像方焦平面位于CCD相機的感光接收面上,且所述光學鏡頭的像方焦平面略大于CCD相機的感光接收面。
3.根據權利要求1所述的直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,其特征在于:所述光學鏡頭內部自前而后依次設有第一透鏡、分光鏡、第二透鏡、第三透鏡、光闌和第四透鏡;
所述分光鏡和第一透鏡與點光源一起構成同軸照明,所述點光源的出射光線依次經過分光鏡和第一透鏡后,平行照射到被測基底上;
所述環(huán)形光源套設在光學鏡頭前端,所述環(huán)形光源的出射光線傾斜照射到被測基底上;
所述被測基底的反射光線依次經過第一透鏡、分光鏡、第二透鏡、第三透鏡、光闌和第四透鏡后,成像在CCD相機的感光接收面上。
4.根據權利要求1所述的直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,其特征在于:所述點光源采用LED點光源。
5.根據權利要求1所述的直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,其特征在于:所述環(huán)形光源采用LED陣列。
6.根據權利要求5所述的直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,其特征在于:所述LED陣列呈圓錐狀分布。