欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

一種直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置的制作方法

文檔序號:12459157閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,包括CCD相機、安裝在CCD相機上的光學鏡頭以及固定在光學鏡頭上的照明光源,其特征在于:所述光學鏡頭采用雙側遠心鏡頭,所述照明光源包括點光源和環(huán)形光源,所述點光源用于為光學鏡頭提供同軸照明,所述環(huán)形光源用于為光學鏡頭提供低角度照明。

2.根據權利要求1所述的直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,其特征在于:所述光學鏡頭與CCD相機通過機械件連接,所述光學鏡頭的像方焦平面位于CCD相機的感光接收面上,且所述光學鏡頭的像方焦平面略大于CCD相機的感光接收面。

3.根據權利要求1所述的直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,其特征在于:所述光學鏡頭內部自前而后依次設有第一透鏡、分光鏡、第二透鏡、第三透鏡、光闌和第四透鏡;

所述分光鏡和第一透鏡與點光源一起構成同軸照明,所述點光源的出射光線依次經過分光鏡和第一透鏡后,平行照射到被測基底上;

所述環(huán)形光源套設在光學鏡頭前端,所述環(huán)形光源的出射光線傾斜照射到被測基底上;

所述被測基底的反射光線依次經過第一透鏡、分光鏡、第二透鏡、第三透鏡、光闌和第四透鏡后,成像在CCD相機的感光接收面上。

4.根據權利要求1所述的直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,其特征在于:所述點光源采用LED點光源。

5.根據權利要求1所述的直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,其特征在于:所述環(huán)形光源采用LED陣列。

6.根據權利要求5所述的直寫光刻設備中的雙光源雙照明方式的圖像采集裝置,其特征在于:所述LED陣列呈圓錐狀分布。

當前第2頁1 2 3 
網友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1
鄂托克前旗| 上蔡县| 蓬安县| 新乐市| 和平区| 开平市| 进贤县| 台湾省| 淳安县| 桐梓县| 平利县| 叙永县| 定陶县| 辽中县| 遵义县| 托克托县| 左权县| 呼图壁县| 梅河口市| 建昌县| 高密市| 寻甸| 新民市| 新乡市| 石台县| 德州市| 商水县| 财经| 南木林县| 横峰县| 徐汇区| 铁力市| 两当县| 柘城县| 开远市| 比如县| 仁布县| 五莲县| 河津市| 特克斯县| 越西县|