本實用新型涉及一種光刻系統(tǒng)，尤其涉及一種應用氣浮轉臺的快速光刻系統(tǒng)。

背景技術：

隨著科技的發(fā)展，光刻技術的發(fā)展也極為迅速。

例如，預先制版再進行蝕刻的方式，適用于生產(chǎn)同一規(guī)格的電路板。

再比如，以單一激光頭對空白光盤進行鐳射的方式，適用于定制化的光刻需求。

但是，無論哪種光刻方式，都無法兼顧高效與定制化的需求。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型針對現(xiàn)有技術的弊端，提供一種快速光刻系統(tǒng)。

本實用新型所述的快速光刻系統(tǒng)，包括放置待刻工件的操作臺、以及對所述待刻工件進行光刻的光刻裝置，所述操作臺為氣浮轉臺，所述待刻工件被固定設置于所述氣浮轉臺的臺面上；

還包括用于接收外部輸入的待刻工件所對應的加工信息的待刻信息輸入單元、用于實時反饋待刻工件相對于光刻裝置所處的相對位置信息的待刻工件位置信息反饋單元、和用于根據(jù)待刻工件位置信息和待刻信息而驅動所述光刻裝置對待刻工件實行光刻的待刻信息輸出調(diào)制控制器；

其中，所述待刻信息輸入單元接收外部輸入的待刻信息，并將所述待刻信息發(fā)送至待刻信息輸出調(diào)制控制器；

所述待刻信息輸出調(diào)制控制器根據(jù)接收到的待刻信息、并結合所述待刻工件位置信息反饋單元反饋的待刻工件位置信息向所述光刻裝置發(fā)出光刻控制信號；

所述光刻裝置根據(jù)所述光刻控制信號對所述待刻工件進行光刻。

本實用新型所述的快速光刻系統(tǒng)中，所述光刻裝置是由多根光纖按預定形式排列固定而構成的光纖束；

所述光纖束根據(jù)光刻控制指令而射出光或關閉關射出。

本實用新型所述的快速光刻系統(tǒng)中，在每根光纖的起始端均設置有對應的光源，且每個光源均設置有對應的通斷控制器；

所述待刻信息輸出調(diào)制控制器發(fā)出的光刻控制信號分別控制各個通斷控制器的打開或關閉，以控制光纖束中對應的光纖得以射出光或者關閉光射出。

本實用新型所述的快速光刻系統(tǒng)中，所述待刻信息輸入單元包括信息輸入模塊、信息轉換模塊、和信息輸出模塊；

其中，所述信息輸入模塊用于接收外部輸入的圖形文件形式的待刻信息；

所述信息轉換模塊將圖形文件形式的待刻信息轉換為點陣形式的待刻信息，并將轉換后的點陣形式的待刻信息經(jīng)由信息輸出模塊輸出至待刻信息輸出調(diào)制控制器。

本實用新型所述的快速光刻系統(tǒng)中，所述待刻工件位置信息反饋單元為設置于氣浮轉臺上的編碼器；

所述編碼器實時向待刻信息輸出調(diào)制控制器發(fā)出編碼信息，所述編碼信息對應反映出待刻工件相對于光刻裝置所處的相對位置信息。

本實用新型所述的快速光刻系統(tǒng)中，所述待刻信息輸出調(diào)制控制器包括待刻信息接收模塊、編碼信息接收模塊、運算控制模塊、以及控制信號輸出模塊；

其中，所述待刻信息接收模塊用于接收點陣形式的待刻信息，并將接收到的點陣形式的待刻信息發(fā)送至運算控制模塊；

所述編碼信息接收模塊用于接收編碼信息，并將接收到的編碼信息發(fā)送至運算控制模塊；

所述運算控制模塊對接收到的點陣形式的待刻信息和編碼信息應用預置程序進行計算，以確定當前的下一時刻的點陣形式的待刻信息，并根據(jù)該確定的待刻信息計算對應的下一時刻的光刻控制信號；

所述控制信號輸出模塊向所述光刻裝置發(fā)出下一時刻的光刻控制信號。

本實用新型所述的快速光刻系統(tǒng)中，通過在氣浮轉臺上設置待刻工件，并通過分別控制光纖束中每個光纖的光射出與光關閉，使得能夠一次性完成大數(shù)據(jù)量的光刻動作，不僅能夠滿足個性化的定制需求，同時也大幅提高了光刻效率。

附圖說明

圖1為本實用新型所述的快速光刻系統(tǒng)的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型做進一步的詳細說明，以令本領域技術人員參照說明書文字能夠據(jù)以實施。

如圖1所示，本實用新型所述的快速光刻系統(tǒng)，包括放置待刻工件的操作臺、以及對所述待刻工件進行光刻的光刻裝置。為實現(xiàn)高效、同時兼顧定制化的特性需求，本實用新型中以氣浮轉臺作為操作臺，再將待刻工件固定設置于所述氣浮轉臺的臺面上。這樣，利用氣浮轉臺轉動時平穩(wěn)、無振動的特性，可實現(xiàn)對置于氣浮轉臺的臺面上的待刻工件進行快速光刻。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型所述的快速光刻系統(tǒng)還包括用于接收外部輸入的待刻工件所對應的加工信息的待刻信息輸入單元、用于實時反饋待刻工件相對于光刻裝置所處的相對位置信息的待刻工件位置信息反饋單元、和用于根據(jù)待刻工件位置信息和待刻信息而驅動所述光刻裝置對待刻工件實行光刻的待刻信息輸出調(diào)制控制器。

其中，所述待刻信息輸入單元接收外部輸入的待刻信息，并將所述待刻信息發(fā)送至待刻信息輸出調(diào)制控制器。具體而言，如圖1所示，所述待刻信息輸入單元包括信息輸入模塊、信息轉換模塊、和信息輸出模塊。

所述信息輸入模塊用于接收外部輸入的圖形文件形式的待刻信息。本實用新型中，所述待刻信息輸入單元可采用計算機能具有交互及運算功能的電子設備，例如，通過計算機的數(shù)據(jù)接口輸入圖形文件，該圖形文件包含了欲對待刻工件進行光刻操作的待刻信息。所述信息轉換模塊將圖形文件形式的待刻信息轉換為點陣形式的待刻信息，并將轉換后的點陣形式的待刻信息經(jīng)由信息輸出模塊輸出至待刻信息輸出調(diào)制控制器。該信息轉換模塊同樣可使用計算機等具有數(shù)據(jù)處理功能的設備，只需在該設備中預先存儲將圖形文件形式的待刻信息轉換為點陣形式的待刻信息的程序即可。之所以將圖形文件形式的待刻信息轉換為點陣形式的待刻信息，是因為在后敘的光刻裝置中，所述光刻裝置是由若干個光纖組成的光纖束構成的，這樣，點陣形式的待刻信息能夠完全對應至光纖束中的每個光纖，從而提高光刻的準確性和效率。

所述待刻信息輸出調(diào)制控制器根據(jù)接收到的待刻信息、并結合所述待刻工件位置信息反饋單元反饋的待刻工件位置信息向所述光刻裝置發(fā)出光刻控制指令。如圖1所示，所述待刻信息輸出調(diào)制控制器具體包括待刻信息接收模塊、編碼信息接收模塊、運算控制模塊、以及控制信號輸出模塊。

其中，所述待刻信息接收模塊用于接收點陣形式的待刻信息，并將接收到的點陣形式的待刻信息發(fā)送至運算控制模塊。所述待刻信息接收模塊接收的點陣形式的待刻信息，是由前述的待刻信息輸入單元中的信息轉換模塊轉換而來的。

所述編碼信息接收模塊用于接收編碼信息，并將接收到的編碼信息發(fā)送至運算控制模塊。本實用新型中，所述編碼信息來自于待刻工件位置信息反饋單元。具體而言，所述待刻工件位置信息反饋單元為設置于氣浮轉臺上的編碼器。所述編碼器實時向待刻信息輸出調(diào)制控制器發(fā)出編碼信息，所述編碼信息對應反映出待刻工件相對于光刻裝置所處的相對位置信息。也就是說，在光刻過程中，氣浮轉臺連同待刻工件是相對于光刻裝置轉動的，那么，為了確定在當前的下一時刻的具體光刻操作，就需要知道當前的下一時刻待刻工件相對于光刻裝置所處的相對位置信息。而通過在氣浮轉臺上設置編碼器，并對編碼器的初始位置進行校準后，就可根據(jù)編碼器的編碼信號確定氣浮轉臺在當前時刻相對于光刻裝置的相對位置，從而也就可以判斷出當前的下一時刻氣浮轉臺和其上的待刻工件相對于光刻裝置的相對位置信息，以便于在下一時刻進行具體的光刻動作。

所述運算控制模塊對接收到的點陣形式的待刻信息和編碼信息應用預置程序進行計算，以確定當前的下一時刻的點陣形式的待刻信息，并根據(jù)該確定的待刻信息計算對應的下一時刻的光刻控制信號。所述運算控制模塊根據(jù)預置程序可確定點陣形式的待刻信息在整個光刻過程中的先后光刻順序，那么，結合接收到的當前時刻的編碼信息就可確定下一時刻確切的點陣形式的待刻信息，從而可以根據(jù)該確定的下一時刻的點陣形式的待刻信息而計算出下一時刻對應的光刻控制信號。

所述控制信號輸出模塊向所述光刻裝置發(fā)出由運算控制模塊確定出的下一時刻的光刻控制信號，并由所述光刻裝置根據(jù)所述光刻控制信號對所述待刻工件進行光刻。

本實用新型中，所述光刻裝置是由多根光纖按預定形式排列固定而構成的光纖束；所述光纖束根據(jù)光刻控制信號而射出光或關閉關射出。具體而言，在每根光纖的起始端均設置有對應的光源，且每個光源均設置有對應的通斷控制器；所述待刻信息輸出調(diào)制控制器發(fā)出的光刻控制信號分別控制各個通斷控制器的打開或關閉，以控制光纖束中對應的光纖得以射出光或者關閉光射出，從而在氣浮轉臺帶動待刻工件相對于光刻裝置做高速穩(wěn)定轉動時，一次性在待刻工件上完成大數(shù)據(jù)量的光刻動作。無論從操作的便利性、還是光刻的效率而言，相對于現(xiàn)有技術中的光刻方式均有顯著提升。

盡管本實用新型的實施方案已公開如上，但其并不僅僅限于說明書和實施方式中所列運用，它完全可以被適用于各種適合本實用新型的領域，對于熟悉本領域的人員而言，可容易地實現(xiàn)另外的修改，因此在不背離權利要求及等同范圍所限定的一般概念下，本實用新型并不限于特定的細節(jié)和這里示出與描述的圖例。