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一種周期光柵結(jié)構(gòu)的石墨烯表面等離子體激元的傳播裝置的制作方法

文檔序號:11855994閱讀:493來源:國知局

本實(shí)用新型涉及光通信技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種周期光柵結(jié)構(gòu)的石墨烯表面等離子體激元的傳播裝置。



背景技術(shù):

表面等離子體激元(Surface plasmon polariton,簡稱SPP)是通過改變金屬表面的亞波長結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的一種光波與可遷移的表面電荷之間電磁模,可以支持金屬與介質(zhì)界面?zhèn)鬏數(shù)谋砻娴入x子波,從而傳輸光能量,且不受衍射極限的限制。正因?yàn)镾PP這種獨(dú)特的性質(zhì),使其在納米量級操縱光能量發(fā)揮著重要的作用。只有一個(gè)原子厚的石墨烯因具有強(qiáng)度大、導(dǎo)熱和導(dǎo)電效率高等特性,一直被認(rèn)為是硅的“接班人”,隨著近年來石墨烯材料研究的再次迅速升溫,石墨烯波導(dǎo)中實(shí)現(xiàn)spp傳輸特性成為了可能,這就為克服其帶隙“死穴”提供了新的方向。典型的就是《Nature Nanotechnology 》在2011年6卷第10期630-634頁上登載的“Graphene plasmonics for tunable terahertz metamaterials”一文,F(xiàn)eng Wang團(tuán)隊(duì)率先在石墨烯周期條形波導(dǎo)中實(shí)現(xiàn)了SPP費(fèi)米能級的控制。然而上述結(jié)構(gòu)在進(jìn)行光刻后會顯著的降低石墨烯載流子遷移率,這使得SPP傳播距離、局域化程度降低,品質(zhì)因數(shù)過低。

通過檢索和查新發(fā)現(xiàn),目前大都采用絕大部分的周期結(jié)構(gòu)的石墨烯SPP波導(dǎo)對于SPP局域化效應(yīng)都有一定的減弱,且傳播距離有限。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,而提供一種周期光柵結(jié)構(gòu)的石墨烯表面等離子體激元的傳播裝置。這種裝置能夠增強(qiáng)SPP共振、提高周期石墨烯SPP波導(dǎo)傳播距離、且結(jié)構(gòu)簡單、易于實(shí)現(xiàn)。

實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的的技術(shù)方案是:

一種周期光柵結(jié)構(gòu)的石墨烯表面等離子體激元的傳播裝置,包括

二氧化硅基底層,所述的二氧化硅基底層的上表面刻蝕有周期光柵結(jié)構(gòu);所述周期光柵結(jié)構(gòu)的脊中設(shè)有有機(jī)染料增益介質(zhì);

石墨烯層,所述石墨烯層為陣列納米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層;

所述二氧化硅基底層的上表面與陣列納米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層疊接。

所述的二氧化硅基底層為絕緣層。

控制周期光柵結(jié)構(gòu)的光柵周期、石墨烯納米帶的寬度調(diào)節(jié)SPP共振頻率。

入射光為p偏振光垂直照射到陣列納米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層1上石墨烯波導(dǎo),垂直方向的衍射波因?yàn)槿瓷渥饔脤⒕钟蛟谑优c絕緣層二氧化硅基底層之間的周期光柵結(jié)構(gòu)中,形成光子與電子間的共振,進(jìn)而共振和光柵增強(qiáng)作用產(chǎn)生表面等離子體激元。

所述的陣列納米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層通過等離子體刻蝕工藝制作,制得的石墨烯的層數(shù)和寬度由碳納米管的層數(shù)和刻蝕時(shí)間來調(diào)控,通過改變陣列納米帶結(jié)構(gòu)層的石墨烯納米帶的寬度能夠調(diào)節(jié)SPP的共振頻率。

所述的周期光柵結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)入射光和SPP相位匹配,從而增強(qiáng)表面等離子體共振現(xiàn)象。

所述的有機(jī)染料增益介質(zhì)的加入能夠?yàn)楣鈻艑?dǎo)模電磁場提供傳播空間,且依據(jù)SPP共振頻率調(diào)節(jié)染料分子濃度,有利于降低SPP的傳播損耗、提高SPP的品質(zhì)因數(shù)Q值。

這種裝置采用了衍射波激發(fā)SPP,利用了石墨烯高載流子遷移率特點(diǎn),通過光柵結(jié)構(gòu)與染料分子提高SPP傳播特性,且能夠應(yīng)用控制光柵周期、石墨烯納米帶的寬度實(shí)現(xiàn)SPP共振頻率調(diào)節(jié),這能夠?yàn)镾PP在新型光子器件、寬帶通訊系統(tǒng)、微小光子回路、光電子集成等方面應(yīng)用提供關(guān)鍵器件。

這種裝置能夠增強(qiáng)SPP共振、提高周期石墨烯SPP波導(dǎo)傳播距離、且結(jié)構(gòu)簡單、易于實(shí)現(xiàn)。

附圖說明

圖1為實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中,1.陣列納米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層 2.周期光柵結(jié)構(gòu)3.二氧化硅基底層4.有機(jī)染料增益介質(zhì)5.入射光。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型的內(nèi)容作進(jìn)一步闡述,但不是對本實(shí)用新型的限定。

實(shí)施例:

參照圖1,一種周期光柵結(jié)構(gòu)的石墨烯表面等離子體激元的傳播裝置,包括

二氧化硅基底層3,所述的二氧化硅基底層3的上表面刻蝕有周期光柵結(jié)構(gòu)2;所述周期光柵結(jié)構(gòu)2的脊中設(shè)有有機(jī)染料增益介質(zhì)4;

石墨烯層,所述石墨烯層為陣列納米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層1;

所述二氧化硅基底層3的上表面與陣列納米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層1疊接。

所述的二氧化硅基底層3為絕緣層。

控制周期光柵結(jié)構(gòu)2的光柵周期、石墨烯層1中納米帶的寬度調(diào)節(jié)SPP共振頻率。

入射光5為p偏振光垂直照射到陣列納米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層1上的石墨烯波導(dǎo),垂直方向的衍射波因?yàn)槿瓷渥饔脤⒕钟蛟陉嚵屑{米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層1與絕緣層二氧化硅基底層3之間的周期光柵結(jié)構(gòu)2中,形成光子與電子間的共振,進(jìn)而共振和光柵增強(qiáng)作用產(chǎn)生表面等離子體激元。

所述的陣列納米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層1通過等離子體刻蝕工藝制作,制得的石墨烯的層數(shù)和寬度由碳納米管的層數(shù)和刻蝕時(shí)間來調(diào)控,通過改變陣列納米帶結(jié)構(gòu)的石墨烯層1的納米帶的寬度能夠調(diào)節(jié)SPP的共振頻率。

所述的周期光柵結(jié)構(gòu)2能夠?qū)崿F(xiàn)入射光和SPP相位匹配,從而增強(qiáng)表面等離子體共振現(xiàn)象。

所述的有機(jī)染料增益介質(zhì)4的加入能夠?yàn)楣鈻艑?dǎo)模電磁場提供傳播空間,且依據(jù)SPP共振頻率調(diào)節(jié)染料分子濃度,有利于降低SPP的傳播損耗、提高SPP的品質(zhì)因數(shù)Q值。

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