本實(shí)用新型涉及具有由準(zhǔn)靜態(tài)(quasi-static)壓電致動(dòng)可傾斜的結(jié)構(gòu)的微機(jī)械設(shè)備。特定地，在下文中將參照以MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)而獲得的微鏡，而這不暗示任何一般性損失。

背景技術(shù)：

微機(jī)械結(jié)構(gòu)已知為具有利用半導(dǎo)體材料的技術(shù)獲得的鏡結(jié)構(gòu)。

這些微機(jī)械設(shè)備被用在便攜裝置中，諸如舉例為便攜計(jì)算機(jī)、膝上型電腦、筆記本電腦(包括超薄型筆記本電腦)、PDA、平板電腦、蜂窩電話和智能電話中，以用于光學(xué)應(yīng)用，特別是根據(jù)需要用于引導(dǎo)由光源生成的光束。

憑借它們減小的尺寸，這些設(shè)備能夠滿足關(guān)于面積和厚度的體積的嚴(yán)格要求。

例如，微機(jī)械鏡設(shè)備被用在小型化投影機(jī)模塊(所謂的微型投影機(jī))中，其能夠以一定距離投影圖像或生成期望的光圖案。

結(jié)合圖像采集模塊，該種類的投影機(jī)模塊例如使得其能夠產(chǎn)生三維(3D)照片或視頻相機(jī)以用于獲得三維圖像。

微機(jī)械鏡結(jié)構(gòu)通常包括在腔體上懸掛的鏡元件并且從半導(dǎo)體材料的本體制造來(lái)移動(dòng)(例如具有傾斜或旋轉(zhuǎn)移動(dòng))以用于以任何期望的方式引導(dǎo)入射光束。

例如，圖1示意性地示出了微型投影機(jī)9，其包括光源1(通常是激光源)，生成由三個(gè)單色束(一個(gè)單色束用于每種基色)形成的光束2，單色束通過(guò)僅示意性表示的光學(xué)系統(tǒng)3而被鏡元件5在屏幕6的方向上偏轉(zhuǎn)。在所示的示例中，二維類型的鏡元件5被驅(qū)動(dòng)以便于圍繞垂直軸線A和水平軸線B旋轉(zhuǎn)。鏡元件5圍繞垂直軸線A的旋轉(zhuǎn)生成快速水平掃描，如在圖2中所示。鏡元件5圍繞水平軸線B的旋轉(zhuǎn)(與垂直軸線A垂直)生成通常是鋸齒類型的較慢垂直掃描。

所獲得的掃描方案在圖2中示出并由7標(biāo)記。

鏡元件5的旋轉(zhuǎn)經(jīng)由致動(dòng)系統(tǒng)而被驅(qū)動(dòng)，其現(xiàn)在是靜電、電磁或壓電類型的。

例如，圖3示出了具有純靜電致動(dòng)的鏡元件5。在此，芯片10包括在基底(不可見)之上懸掛的平臺(tái)11，其具有反射表面(未示出)并且通過(guò)第一對(duì)臂12(第一扭轉(zhuǎn)彈簧)由懸掛框架13支撐。第一壁12在平臺(tái)11的相反側(cè)上延伸并且限定鏡元件5的旋轉(zhuǎn)軸線A。懸掛框架13經(jīng)由第二對(duì)臂16(第二扭轉(zhuǎn)彈簧)被連接到芯片10的固定周界部分15，該第二對(duì)臂16使得懸掛框架13和平臺(tái)11能夠圍繞水平軸線B旋轉(zhuǎn)。第一臂12和第二臂16被耦合到靜電類型的相應(yīng)致動(dòng)組件18A、18B。每個(gè)致動(dòng)組件18A、18B在此包括面向相應(yīng)的第二電極20的第一電極19。

具體而言，第一電極19相對(duì)于相應(yīng)的臂12、16被固定并且與第二電極20形成梳指以用于生成容性耦合。憑借每個(gè)致動(dòng)組件18A、18B的電極19、20的布置，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)也被定義為“梳驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)”。

通過(guò)在第一電極19與第二電極20之間施加適當(dāng)?shù)碾妷?，可能的是在它們之間生成吸引/排斥力，因而致使第一電極19相對(duì)于第二電極20的旋轉(zhuǎn)以及臂12、16圍繞相應(yīng)軸線A、B的扭轉(zhuǎn)。以此方式，獲得平臺(tái)11圍繞軸線A、B的受控旋轉(zhuǎn)，因而在水平方向以及在垂直方向掃描。

鏡元件5圍繞垂直軸線A的產(chǎn)生水平掃描的旋轉(zhuǎn)以通常為25kHz的諧振方式中±12°的角度而獲得，而鏡元件5圍繞水平軸線B的產(chǎn)生垂直掃描的旋轉(zhuǎn)以60Hz的±8°的角度而獲得，這適用于視頻信號(hào)的幀率。如提及的，由于較低的垂直掃描率，其可以以準(zhǔn)靜態(tài)、非諧振的方式被驅(qū)動(dòng)。

已經(jīng)提出的是以壓電方式控制至少圍繞水平軸線B的掃描移動(dòng)。例如，在美國(guó)專利申請(qǐng)公布文本2011/0292479中描述的設(shè)備中，懸掛的框架經(jīng)由具有線圈形狀的彈簧元件被連接到固定結(jié)構(gòu)，該彈簧元件由相互平行且沿著彼此布置的多個(gè)臂形成。每個(gè)臂承載壓電帶，并且相鄰的壓電帶在相反的極性電壓(例如，±20V)被偏壓。由于壓電材料的特性，該偏壓導(dǎo)致相鄰的臂在相反方向(向上及向下)上的形變，以及框架和平臺(tái)在第一方向上圍繞水平軸線B的旋轉(zhuǎn)。通過(guò)施加相反的偏壓，獲得了框架的和平臺(tái)在與第一方向相反的第二方向上的旋轉(zhuǎn)。垂直掃描因而可以通過(guò)向臂施加交替的雙極性電壓而被獲得。相似的致動(dòng)系統(tǒng)在此還控制水平掃描。

然而，交替的雙極性電壓的施加減小了鏡元件5的服務(wù)壽命。

在本領(lǐng)域中存在提供具有克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷的壓電致動(dòng)的微機(jī)械設(shè)備的需要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本公開的技術(shù)問(wèn)題在于如何提供更穩(wěn)定可靠的用于投影的微機(jī)械設(shè)備或機(jī)構(gòu)。

根據(jù)本公開的一個(gè)方面，提供了一種微機(jī)械設(shè)備，其包括：能夠圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的可傾斜結(jié)構(gòu)；固定結(jié)構(gòu)；以及在所述可傾斜結(jié)構(gòu)與所述固定結(jié)構(gòu)之間耦合的壓電類型的致動(dòng)結(jié)構(gòu)，其中所述致動(dòng)結(jié)構(gòu)包括具有螺旋形狀的彈簧元件。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述彈簧元件包括：相對(duì)于所述第一旋轉(zhuǎn)軸線橫向地延伸的多個(gè)致動(dòng)臂，以及在所述致動(dòng)臂中的每個(gè)致動(dòng)臂上承載的壓電材料的壓電帶。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述致動(dòng)臂與彼此平行地、并且與所述第一旋轉(zhuǎn)軸線垂直地延伸。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述多個(gè)致動(dòng)臂在所述螺旋形狀被錨固到所述固定結(jié)構(gòu)的第一端與所述螺旋形狀被錨固到所述可傾斜結(jié)構(gòu)的第二端之間與彼此串聯(lián)地耦合。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述螺旋形狀的所述第一端是內(nèi)端并且所述螺旋形狀的所述第二端是外端。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述彈簧元件具有與所述第一旋轉(zhuǎn)軸線垂直的正中面，并且所述多個(gè)致動(dòng)臂包括第一組致動(dòng)臂和第二組致動(dòng)臂，所述第一組致動(dòng)臂被布置在相對(duì)于所述正中面的第一側(cè)并且所述第二組致動(dòng)臂被布置在相對(duì)于所述正中面的相反側(cè)。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，在所述第一組致動(dòng)臂的所述致動(dòng)臂上承載的所述壓電帶被電氣耦合到彼此并且耦合到第一電壓源，并且其中在所述第二組致動(dòng)臂的所述致動(dòng)臂上承載的所述壓電帶被電氣耦合到彼此并且耦合到第二電壓源。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述第一電壓源和所述第二電壓源被配置為處于相反相位而被驅(qū)動(dòng)。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述彈簧元件是在所述可傾斜結(jié)構(gòu)的第一側(cè)上布置的第一彈簧元件，所述設(shè)備進(jìn)一步包括在所述可傾斜結(jié)構(gòu)的相反側(cè)上布置的第二彈簧元件。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述可傾斜結(jié)構(gòu)包括通過(guò)彈性懸掛結(jié)構(gòu)由框架承載的懸掛平臺(tái)，所述彈性懸掛結(jié)構(gòu)被配置為使得所述懸掛平臺(tái)能夠圍繞與所述第一旋轉(zhuǎn)軸線垂直的第二旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述可傾斜結(jié)構(gòu)被懸掛在限定所述固定結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體材料的本體中形成的腔體上，所述腔體由底壁并且由側(cè)壁劃界，并且所述彈簧元件被錨固到所述底壁。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述可傾斜結(jié)構(gòu)包括反射表面。

根據(jù)本公開的另一個(gè)方面，提供了一種用于與便攜電子裝置使用的微型投影機(jī)，其包括：光源，所述光源被配置為根據(jù)待被生成的圖像來(lái)生成光束；微機(jī)械設(shè)備，包括：能夠圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)的可傾斜結(jié)構(gòu)；固定結(jié)構(gòu)；以及在所述可傾斜結(jié)構(gòu)與所述固定結(jié)構(gòu)之間耦合的壓電類型的致動(dòng)結(jié)構(gòu)，其中所述致動(dòng)結(jié)構(gòu)包括具有螺旋形狀的彈簧元件；以及驅(qū)動(dòng)電路，所述驅(qū)動(dòng)電路被配置為供應(yīng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)來(lái)旋轉(zhuǎn)所述可傾斜結(jié)構(gòu)。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述彈簧元件包括：相對(duì)于所述第一旋轉(zhuǎn)軸線橫向地延伸的多個(gè)致動(dòng)臂，以及在所述致動(dòng)臂中的每個(gè)致動(dòng)臂上承載的壓電材料的壓電帶；其中所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)被施加到所述致動(dòng)臂上的所述壓電帶。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述多個(gè)致動(dòng)臂在所述螺旋形狀被錨固到所述固定結(jié)構(gòu)的第一端與所述螺旋形狀被錨固到所述可傾斜結(jié)構(gòu)的第二端之間與彼此串聯(lián)地耦合。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述固定結(jié)構(gòu)包括在半導(dǎo)體材料的本體中形成的腔體，所述腔體由底壁并且由側(cè)壁劃界，并且所述螺旋形狀的所述第一端被錨固到所述底壁。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述多個(gè)致動(dòng)臂包括第一組致動(dòng)臂和第二組致動(dòng)臂，在所述第一組致動(dòng)臂的所述致動(dòng)臂上承載的所述壓電帶被電氣耦合到彼此并且被電氣耦合到所述驅(qū)動(dòng)電路的第一電壓源，并且在所述第二組致動(dòng)臂的所述致動(dòng)臂上承載的所述壓電帶被電氣耦合到彼此并且被電氣耦合到所述驅(qū)動(dòng)電路的第二電壓源。

根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，所述第一電壓源和所述第二電壓源被配置為處于相反相位而被驅(qū)動(dòng)。

本公開的技術(shù)效果在于，由于僅使用相同類型的單極電壓以用于偏壓壓電帶的可能性，壓電材料可以具有更長(zhǎng)的服務(wù)壽命以及更好的穩(wěn)定性。

附圖說(shuō)明

為了更好地理解本實(shí)用新型，其優(yōu)選的實(shí)施例現(xiàn)在僅通過(guò)非限制性的示例以及參照所附的附圖進(jìn)行描述，其中：

圖1是微型投影機(jī)的示意性表示；

圖2示出了由圖1的微型投影機(jī)在屏幕上生成的圖像的投影方案；

圖3是具有靜電致動(dòng)的微電子微鏡設(shè)備的頂部平面圖；

圖4A是微電子微鏡設(shè)備的實(shí)施例的簡(jiǎn)化頂部平面圖，其中為表達(dá)清楚起見移除了一些部分；

圖4B是圖4A的微電子微鏡設(shè)備的頂部平面圖；

圖4C是沿著圖4B的剖面IV-IV所采的橫截面；

圖5是圖4A和4B的微電子微鏡設(shè)備的橫截面；

圖6A是在第一致動(dòng)步驟中微電子微鏡設(shè)備的旋轉(zhuǎn)的示意性側(cè)視圖；

圖6B是在第二致動(dòng)步驟中微電子微鏡設(shè)備的旋轉(zhuǎn)的示意性側(cè)視圖；

圖7是在第一致動(dòng)步驟中微電子設(shè)備的簡(jiǎn)化透視圖；

圖8是使用微電子微鏡設(shè)備的微型投影機(jī)的框圖；以及

圖9和圖10示出了在圖8的微型投影機(jī)與便攜電子裝置之間的耦合的實(shí)施例。

具體實(shí)施方式

圖4A、圖4B和圖5是具有旋轉(zhuǎn)或可傾斜結(jié)構(gòu)52的微電子設(shè)備50的示意性圖示，其能夠圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸線B旋轉(zhuǎn)。如在圖5中可見的，可傾斜結(jié)構(gòu)52被懸掛在具有底部表面53A的腔體53上，該腔體53由固定結(jié)構(gòu)51形成。固定結(jié)構(gòu)51因而在腔體53之下延伸并且相對(duì)于其橫向延伸。以本身已知的方式使用已知的半導(dǎo)體制造技術(shù)，諸如蝕刻、生長(zhǎng)、沉積和/或選擇性移除，固定結(jié)構(gòu)51和可傾斜結(jié)構(gòu)51由例如為硅的半導(dǎo)體材料的芯片制造。

可傾斜結(jié)構(gòu)52在此具有四邊形形狀尤其是矩形形狀，并且由固定結(jié)構(gòu)51通過(guò)支撐及致動(dòng)結(jié)構(gòu)54支撐。支撐及致動(dòng)結(jié)構(gòu)54包括第一彈簧元件55和第二彈簧元件56，其在由第一旋轉(zhuǎn)軸線B穿過(guò)、相對(duì)于可傾斜結(jié)構(gòu)52、特別是在其相對(duì)側(cè)上橫向地布置。

如在圖4A中特別明顯的是，彈簧元件55、56具有螺旋形狀并且每個(gè)均具有相應(yīng)的第一端60、61以及相應(yīng)的第二端64、65。彈簧元件55、56的第一端60、61在螺旋形狀的內(nèi)部并且通過(guò)錨固元件62、63被錨固到腔體53的底部53A，該錨固元件62、63通過(guò)在其底部53A與垂直于其的可傾斜結(jié)構(gòu)52之間的腔體53延伸(如在圖5中可見的)。彈簧元件55、56的第二端64、65在螺旋形狀的外部并且相對(duì)于可傾斜結(jié)構(gòu)53被固定。在所示的實(shí)施例中，彈簧元件55、56的第一端60、61和第二端64、65在其相同側(cè)上相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)軸線B被偏置。

彈簧元件55、56由彼此平行的并且在與第一旋轉(zhuǎn)軸線B的橫向(特別是垂直)方向延伸的多個(gè)相應(yīng)的第一臂70、71以及多個(gè)相應(yīng)的第二臂72、73形成。針對(duì)每個(gè)彈簧元件55和56，第一臂70和71被定位在可傾斜結(jié)構(gòu)52與垂直于第一旋轉(zhuǎn)軸線B的彈簧元件55、56的相應(yīng)正中面(median plane)C、D之間。第二臂72、73在相對(duì)側(cè)上相對(duì)于彈簧元件55、56的正中面C、D延伸。

從其第一端60、61開始沿著彈簧元件55、56的螺旋形狀移動(dòng)，每個(gè)螺旋形狀的最內(nèi)臂由錨固到相應(yīng)的錨固元件62、63的第二臂72、73(在此標(biāo)記為72A、73A)形成。

從其第一端60、61開始沿著彈簧元件55、56的螺旋形狀行進(jìn)，在相應(yīng)的錨固元件62和63相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)軸線B的相對(duì)側(cè)上，每個(gè)第一臂70、71經(jīng)由垂直于第一和第二臂70-73延伸的相應(yīng)的第一彈簧部分66、67而被連接到之前的第二臂72、73(或連接到第二臂72A、73A)。

從其第一端60、61開始沿著彈簧元件55、56的螺旋形狀進(jìn)一步行進(jìn)，在相應(yīng)的錨固元件62和63相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)軸線B的相同側(cè)上，每個(gè)第二臂72、73經(jīng)由垂直于第一和第二臂70-73延伸的相應(yīng)的第二彈簧部分68、69而被連接到之前的第一臂70、71。

最終，從其第一端60、61開始沿著彈簧元件55、56的螺旋形狀進(jìn)一步行進(jìn)，可傾斜結(jié)構(gòu)52通過(guò)第一臂70A、71A被連接到彈簧元件55、56。

如在圖4B中所示，每個(gè)第一臂70、71承載壓電材料的相應(yīng)的第一壓電帶74。類似地，每個(gè)第二臂72、73承載壓電材料的相應(yīng)的第二壓電帶75。例如，壓電帶74、75可以是鋯鈦酸鉛(PZT)陶瓷。

如在圖4C中所示，每個(gè)壓電帶74、75包括由第一電極91、壓電材料層92和第二電極93形成的堆疊。絕緣層90在堆疊91-93與臂70-73之間延伸。每個(gè)壓電帶74、75可以因而被電氣表示為電容器，其第一電極91被接地并且其第二電極92如以下所述被偏壓。

第一壓電帶74被電氣連接到第一電壓源76，并且第二壓電帶75經(jīng)由金屬連接件被電氣連接到第二電壓源77，這僅被示意性地表示。

如在圖5中所示，可傾斜結(jié)構(gòu)52由可定向平臺(tái)80形成，該可定向平臺(tái)80通過(guò)兩個(gè)扭轉(zhuǎn)彈簧82從框架81懸掛以便于能夠圍繞第二旋轉(zhuǎn)軸線A旋轉(zhuǎn)?？啥ㄏ蚱脚_(tái)80的旋轉(zhuǎn)可以經(jīng)由已知類型(例如靜電類型)的致動(dòng)結(jié)構(gòu)83被控制，這僅被示意性表示。以本身已知的方式，可定向平臺(tái)80承載反射表面85。

由于描述的螺旋形狀，當(dāng)壓電帶74、75不被偏壓時(shí)，彈簧元件55、56和可傾斜結(jié)構(gòu)52與休止面E共面并且置于該休止面E中(圖6A)。此外，由于所述的螺旋形狀，每個(gè)臂70-73實(shí)際上被錨固到之前的螺旋臂，并且當(dāng)相應(yīng)的壓電帶74、75被偏壓時(shí)可發(fā)生形變，以便于抬升其本身的連接到相繼的螺旋臂的端部。因此，通過(guò)交替地偏壓第一和第二臂70-73，可能的是以相反方向控制可傾斜結(jié)構(gòu)52的旋轉(zhuǎn)，如在以下詳細(xì)解釋的。

在使用中，電壓源76、77以相反相位驅(qū)動(dòng)。特別地，在第一步驟中，例如40V的致動(dòng)電壓通過(guò)第一源76被施加到第一壓電帶74，并且0V的電壓(接地)通過(guò)第二源77被施加到第二壓電帶75。如以上提及的，在這些條件下，在第一步驟中，第一臂70、71發(fā)生形變、圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸線B旋轉(zhuǎn)以便于將其端部帶到與接下來(lái)的第二臂72、73連接并且將第二彈簧部分68、69帶到相對(duì)于休止面E的抬升位置(圖6A)。以此方式，相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)面B，致動(dòng)結(jié)構(gòu)54被置于與錨固元件62、63相同側(cè)上的一半向上旋轉(zhuǎn)(離開腔體53)，如可由圖7中所見。由于第二臂72、73并未被偏置，它們并不發(fā)生形變，但剛性地旋轉(zhuǎn)。

如在圖6A和圖7中所示，每個(gè)第一臂70、71的旋轉(zhuǎn)角度隨這些進(jìn)一步遠(yuǎn)離錨固元件62、63而增大，直到它們達(dá)到針對(duì)第二端64、65的最大8.2°。由于第二端64、65相對(duì)于可傾斜結(jié)構(gòu)52被固定，這也在與第一臂70、71相同的方向上旋轉(zhuǎn)通過(guò)8.2°。

在第二步驟中(見圖6B)，例如40V的致動(dòng)電壓通過(guò)第二源77被施加到第二壓電帶75，并且0V的電壓(接地)通過(guò)第一源76被施加到第一壓電帶74。在與以上相反的方式，在該情況中第二臂72、73彎曲，在與之前的一個(gè)相反的方向上圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸線B旋轉(zhuǎn)以便于使得致動(dòng)結(jié)構(gòu)54被置于與錨固元件62、63的相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)面B相反的側(cè)上的一半的向上旋轉(zhuǎn)(進(jìn)入腔體53)。

也在該情況中的是，如在圖6B中所示，每個(gè)第二臂72、73的旋轉(zhuǎn)角度隨這些進(jìn)一步遠(yuǎn)離錨固元件62、63而增大，上至針對(duì)第二端64、65的最大8.2°。由于第二端64、65相對(duì)于可傾斜結(jié)構(gòu)52被固定，這也在與臂71、73相同的方向上旋轉(zhuǎn)通過(guò)8.2°。

通過(guò)根據(jù)第一和第二步驟的次序交替地控制電壓源76、77，可能的是獲得可傾斜結(jié)構(gòu)52的定向，以及因而的反射表面85的定向(根據(jù)60Hz的垂直掃描)。

微電子設(shè)備50因而可以被用在設(shè)計(jì)用來(lái)功能性地耦合到便攜電子裝置100的微型投影機(jī)101中，如在以下參照?qǐng)D8-10所示。

具體地，圖8的微型投影機(jī)101包括例如為激光類型的光源102，其被配置為生成光束103；微電子設(shè)備50，其被配置為接受光束103并且向屏幕或顯示表面105(在微型投影機(jī)101外部并且被布置為相距以一定距離)發(fā)送該光束；第一驅(qū)動(dòng)電路106，其被配置為向光源102供應(yīng)適當(dāng)?shù)目刂菩盘?hào)以用于根據(jù)待被投影的圖像生成光束103；第二驅(qū)動(dòng)電路108，其被配置為向?yàn)殡娮釉O(shè)備50的源76、77(圖4B)供應(yīng)控制信號(hào)；以及通信接口109，被設(shè)計(jì)為從例如在便攜裝置100(圖9和圖10)中所包括的外部控制單元110接受關(guān)于待被生成的圖像的信息(例如為像素陣列)。該信息被饋送到光源102以用于驅(qū)動(dòng)。

微型投影機(jī)101可以被制造為相對(duì)于關(guān)聯(lián)的便攜電子裝置100(例如，圖9中所示的蜂窩電話或智能電話)的獨(dú)立類型的單獨(dú)附件。在該情況下，微型投影機(jī)101通過(guò)適當(dāng)?shù)碾姎夂蜋C(jī)械連接元件(未具體示出)被耦合到便攜電子裝置100。在此，微型投影機(jī)101具有本體外殼141，其中至少一個(gè)部分141'對(duì)來(lái)自微電子設(shè)備50的光束103透明。微型投影機(jī)1的外殼141以可釋放方式耦合到便攜電子裝置100的相應(yīng)殼體142。

可替代地，如在圖10中所示，微型投影機(jī)101可以在便攜電子裝置100內(nèi)集成并且被布置在便攜電子裝置100的殼體142內(nèi)。在該情況下，便攜電子裝置100具有對(duì)來(lái)自微電子設(shè)備50的光束103透明的相應(yīng)部分142'。微型投影儀101在該情況下例如被耦合到便攜電子裝置100的殼體142內(nèi)的印刷電路板。

本文中描述的微電子設(shè)備50具有許多優(yōu)點(diǎn)。

特別地，由于僅使用相同類型的單極電壓以用于偏壓壓電帶74、75的可能性，壓電材料可以具有更長(zhǎng)的服務(wù)壽命以及更好的穩(wěn)定性。事實(shí)上，以此方式，圖4C的壓電帶74、75的壓電材料層91交替地見到零電壓和偏壓(在此是處于40V)，在任何致動(dòng)步驟中其并不逆轉(zhuǎn)它們的符號(hào)。

由此，微電子設(shè)備50更加可靠。

最終，顯然的是，可以對(duì)本文描述和示出的微電子設(shè)備做出修改和變化，而不會(huì)因此脫離本實(shí)用新型如在所附的權(quán)利要求書中限定的范圍。例如，與具有兩個(gè)電壓源76、77不用的是，可能使用單個(gè)源，通過(guò)開關(guān)交替地連接到第一帶74和第二帶75。