本實(shí)用新型涉及曝光機(jī)領(lǐng)域，尤其涉及一種曝光機(jī)的開(kāi)合機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

曝光機(jī)主要用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機(jī)電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對(duì)準(zhǔn)的技術(shù)要求，傳統(tǒng)的曝光機(jī)的曝光箱蓋與曝光箱不能做到緊密貼合，導(dǎo)致曝光精度不夠，其結(jié)構(gòu)通常是由上蓋和面板直接貼合，合蓋時(shí)，通過(guò)手工開(kāi)合，上蓋與面板沒(méi)有固定裝置固定，一般僅通過(guò)氣彈簧，但其固定效果差，若不注意會(huì)將上蓋打開(kāi)，影響生產(chǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出了一種曝光機(jī)的開(kāi)合機(jī)構(gòu)，包括機(jī)身，所述機(jī)身上設(shè)有固定板，所述固定板上設(shè)有面板，所述面板上設(shè)有上蓋，所述面板和所述上蓋一側(cè)活動(dòng)連接，所述面板和所述上蓋之前設(shè)有支撐機(jī)構(gòu)；所述上蓋與所述面板開(kāi)口處設(shè)有卡合機(jī)構(gòu)；所述卡合機(jī)構(gòu)包括固定于所述上蓋兩側(cè)的轉(zhuǎn)軸、位于所述面板兩側(cè)的固定柱，所述轉(zhuǎn)軸上套有卡接部，所述卡接部之間設(shè)有連桿，所述卡接部勾于所述固定柱上；所述轉(zhuǎn)軸上旋有固定蓋，所述固定蓋用于壓緊所述卡接部；所述卡接部與所述上蓋之間的轉(zhuǎn)軸上套有扭簧，所述扭簧一端卡于所述卡接部上，所述卡接部轉(zhuǎn)動(dòng)壓縮所述扭簧。

優(yōu)選的，所述卡接部包括卡接塊本體，所述卡接塊本體下部設(shè)有卡勾，所述卡勾卡于所述固定柱上。

優(yōu)選的，所述卡勾底部設(shè)有內(nèi)嵌槽。

優(yōu)選的，所述面板下部設(shè)有推板，所述推板上設(shè)于限位柱，所述限位柱對(duì)應(yīng)所述內(nèi)嵌槽，所述推板下部設(shè)有氣缸。

優(yōu)選的，所述上蓋上還設(shè)有把手，所述把手靠近所述連桿。

優(yōu)選的，所述支撐機(jī)構(gòu)為氣彈簧。

本實(shí)用新型提出的曝光機(jī)的開(kāi)合機(jī)構(gòu)有以下有益效果：本曝光機(jī)在上蓋與面板之間增設(shè)了卡接部，開(kāi)蓋時(shí)，手持把手和連桿，即可轉(zhuǎn)動(dòng)卡接部使其與固定柱分離，即可開(kāi)蓋，合蓋時(shí)，扭簧復(fù)原，上蓋下壓，卡勾下部的內(nèi)嵌槽卡于限位柱內(nèi)，實(shí)現(xiàn)固定效果，不會(huì)有誤操作導(dǎo)致上蓋打開(kāi)。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹。

圖1為本實(shí)用新型的整機(jī)立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的卡合機(jī)構(gòu)的示意圖；

圖3為圖1中A處放大圖；

其中，1-機(jī)身，2-固定板，3-面板，4-上蓋，5-氣彈簧，6-轉(zhuǎn)軸，7-固定柱，8-連桿，9-固定蓋，10-扭簧，11-卡接塊本體，12-卡勾，13-推板，14-限位柱，15-把手。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。

如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型提出了一種曝光機(jī)的開(kāi)合機(jī)構(gòu)，包括機(jī)身1，所述機(jī)身1上設(shè)有固定板2，所述固定板2上設(shè)有面板3，所述面板3上設(shè)有上蓋4，所述面板3和所述上蓋4一側(cè)活動(dòng)連接，所述面板3和所述上蓋4之前設(shè)有支撐機(jī)構(gòu)；所述上蓋4與所述面板3開(kāi)口處設(shè)有卡合機(jī)構(gòu)；所述卡合機(jī)構(gòu)包括固定于所述上蓋4兩側(cè)的轉(zhuǎn)軸6、位于所述面板3兩側(cè)的固定柱7，所述轉(zhuǎn)軸6上套有卡接部，所述卡接部之間設(shè)有連桿8，所述卡接部勾于所述固定柱7上；所述轉(zhuǎn)軸6上旋有固定蓋9，所述固定蓋9用于壓緊所述卡接部；所述卡接部與所述上蓋4之間的轉(zhuǎn)軸6上套有扭簧10，所述扭簧10一端卡于所述卡接部上，所述卡接部轉(zhuǎn)動(dòng)壓縮所述扭簧10，本實(shí)用新型的工作方式是：開(kāi)蓋時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)卡接部，使卡勾12與固定柱7分離，為了更好的操作，在所述上蓋4上設(shè)有把手15，所述把手15靠近所述連桿8，一人操作時(shí)，手同時(shí)抓住連桿8和把手15，轉(zhuǎn)動(dòng)卡接部，卡接部轉(zhuǎn)動(dòng)后，使得上蓋4與面板3分離，上蓋4打開(kāi)時(shí)，配合所述支撐機(jī)構(gòu)，即氣彈簧5保持上蓋4打開(kāi)狀態(tài)，當(dāng)需要閉合上蓋4時(shí)，將上蓋4下壓，并復(fù)位扭簧10，使得卡勾12卡于固定柱7上實(shí)現(xiàn)固定效果；

所述卡接部包括卡接塊本體11，所述卡接塊本體11下部設(shè)有卡勾12，所述卡勾12卡于所述固定柱7上。

如圖3所示，為了能夠更好的對(duì)位和固定，所述卡勾12底部設(shè)有內(nèi)嵌槽，所述面板3下部設(shè)有推板13，所述推板13上設(shè)于限位柱14，所述限位柱14對(duì)應(yīng)所述內(nèi)嵌槽，所述推板13下部設(shè)有氣缸(未畫出)，由于工作狀態(tài)中，氣缸會(huì)向上推動(dòng)推板13，氣缸啟動(dòng)推動(dòng)推板13，將推板13上的限位柱14伸于內(nèi)陷槽內(nèi)，防止在加工過(guò)程中誤操作將上蓋4打開(kāi)，只有不工作時(shí)氣缸收縮，限位柱14與內(nèi)嵌槽分離。

對(duì)實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。