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光伏制程顯微鏡的制作方法

文檔序號:12563083閱讀:247來源:國知局
光伏制程顯微鏡的制作方法與工藝

本實用新型涉及一種光伏制程顯微鏡,尤其是一種具有新型臺面的光伏制程顯微鏡。



背景技術:

光伏制程顯微鏡用于光伏電池制絨、刻蝕、絲網(wǎng)、光刻、分檢工序,現(xiàn)有的光伏制程顯微鏡的臺面主要構件如圖1所示:包括包漆臺面1a,包漆臺面1a的下邊沿通過固定螺釘2a與連接條3a連接,連接條3a上設置連接螺栓4a,連接螺栓4a用于將包漆臺面1a與顯微鏡載物臺一側的移動條5a固定。

現(xiàn)有的顯微鏡的臺面主要存在以下缺陷:(1)由于包漆臺面1a長期使用,漆面磨損金屬面露出,暴露的金屬面與制程中的硅片摩擦,使硅片表面沾污金屬引入制程,污染硅片和產(chǎn)線槽體,產(chǎn)生不良品;(2)此外在放置硅片樣品時極易與突起的螺釘和連接螺栓發(fā)生碰撞和摩擦,另外連接條3a與包漆臺面1a的連接處形成臺階,也會與硅片樣品發(fā)生碰撞和摩擦,這些都會造成硅片電池劃痕、崩邊、脫硅、斷裂等,使用不便,使不良品增多。



技術實現(xiàn)要素:

本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術中存在的不足,提供一種光伏制程顯微鏡,解決現(xiàn)有顯微鏡用于光伏制程時的不便,降低不良品率。

按照本實用新型提供的技術方案,所述光伏制程顯微鏡,包括顯微鏡機架,在顯微鏡機架上安裝載物臺,載物臺上方的機架上安裝鏡筒和物鏡旋轉座,物鏡旋轉座上安裝物鏡;其特征是:在所述載物臺的前側安裝移動條,在載物臺上放置臺面,臺面的兩表面均為平整的表面,臺面通過雙面膠與移動條固定。

進一步的,所述移動條的上表面與載物臺的上表面平行布置。

進一步的,所述臺面采用兩面平整的有機玻璃板。

進一步的,所述臺面采用2mm×160mm×160mm的有機玻璃板。

本實用新型所述的光伏制程顯微鏡,解決了現(xiàn)有技術中顯微鏡臺面材質(zhì)和結構的缺陷,保證臺面光潔平整,無臺階,樣品放置過程方便快捷,減少了由于碰撞、摩擦造成的劃傷,而使產(chǎn)品不良率降低;而本實用新型所述的顯微鏡改造方便,造價低廉,耐磨不易壞。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有顯微鏡的臺面結構示意圖。

圖2為圖1的側視圖。

圖3為本實用新型所述光伏制程顯微鏡的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合具體附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖3所示:所述光伏制程顯微鏡包括顯微鏡機架1、載物臺2、鏡筒3、物鏡旋轉座4、物鏡5、移動條6、臺面7、雙面膠8等。

如圖3所示,本實用新型所述光伏制程顯微鏡,包括顯微鏡機架1,在顯微鏡機架1上安裝載物臺2,載物臺2上方的機架1上安裝鏡筒3和物鏡旋轉座4,物鏡旋轉座4上安裝物鏡5;在所述載物臺2的前側安裝移動條6,移動條6的上表面與載物臺2的上表面平行布置;在所述載物臺2上放置臺面7,臺面7的兩表面均為平整的表面,臺面7通過雙面膠8與移動條6固定。

所述臺面7采用兩面平整的有機玻璃板,臺面7采用2mm×160mm×160mm的有機玻璃板,采用非金屬材質(zhì)能夠杜絕金屬污染,提高產(chǎn)品質(zhì)量。

本實用新型解決了現(xiàn)有技術中顯微鏡臺面材質(zhì)和結構的缺陷,保證臺面光潔平整,無臺階,樣品放置過程方便快捷,減少了由于碰撞、摩擦造成的劃傷,而使產(chǎn)品不良率降低;而本實用新型所述的顯微鏡改造方便,造價低廉,耐磨不易壞。

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