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帶流量控制的噴淋系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12257541閱讀:554來源:國知局

本實用新型涉及液晶生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域,具體是帶流量控制的噴淋系統(tǒng)。



背景技術(shù):

TFT(Thin Film Transistor)是薄膜晶體管的縮寫。TFT式顯示屏是各類筆記本電腦和臺式機上的主流顯示設(shè)備,是指液晶顯示器上的每一液晶像素點都是由集成在其后的薄膜晶體管來驅(qū)動,從而可以做到高速度高亮度高對比度顯示屏幕信息,性能優(yōu)異的TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)就是多數(shù)液晶顯示器的一種。由于TFT顯示屏上的每個液晶像素點都是由集成在像素點后面的薄膜晶體管來驅(qū)動,因此TFT式顯示屏也是一類有源矩陣液晶顯示設(shè)備,是最好的LCD彩色顯示器之一,TFT式顯示器具有獨特的高響應(yīng)度、高亮度、高對比度等優(yōu)點,其顯示效果接近CRT式顯示器。同時,TFT式屏幕也普遍應(yīng)用于中高端彩屏手機中,分65536 色、16 萬色,1600萬色三種,其顯示效果非常出色。

隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,良品率不斷提高,加上一些新技術(shù)的出現(xiàn),使得TFT-LCD在響應(yīng)時間、對比度、亮度、可視角度方面有了很大的進步,拉近了與傳統(tǒng)CRT顯示器的差距。如今,大多數(shù)主流LCD顯示器的響應(yīng)時間都提高到50ms以下,這些都為LCD走向主流鋪平了道路。

綜上所述,液晶面板的生產(chǎn)量必將越來越大,因此,對于液晶面板的生產(chǎn)設(shè)備需求量也會逐步上升。在液晶面板的蝕刻過程中,由于蝕刻液具有強腐蝕性,因此蝕刻液的循環(huán)系統(tǒng)需要是一個完全封閉的系統(tǒng),目前還沒有一種結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,安全可靠,可以實現(xiàn)流量控制的蝕刻液噴淋系統(tǒng)。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型正是針對以上技術(shù)問題,提供一種結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,安全可靠,可以實現(xiàn)流量控制的蝕刻液噴淋系統(tǒng)。

本實用新型通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。

帶流量控制的噴淋系統(tǒng),包括吸液管、循環(huán)泵、液位計、溫度計、儲液罐、節(jié)流閥、流量計、噴淋區(qū)、輸送管、噴頭、防護罩、回收管,其特征在于噴淋區(qū)位于儲液罐上方,噴淋區(qū)與儲液罐之間通過回收管連通,循環(huán)泵設(shè)置在儲液罐旁,循環(huán)泵與儲液罐之間通過吸液管連接,儲液罐一側(cè)還設(shè)置有液位計和溫度計,溫度計的感應(yīng)端設(shè)置在儲液罐內(nèi),液位計底端與儲液罐相通,溫度計的顯示端與液位計顯示端設(shè)置在儲液罐外,噴頭通過輸送管設(shè)置在噴淋區(qū)頂部,輸送管一端與循環(huán)泵相能,另一端為閉合的回路,輸送管上設(shè)置有流量計與節(jié)流閥,噴淋區(qū)外側(cè)設(shè)置有防護罩。噴頭為多個,多個噴頭呈矩陣排列。輸送管上端通過三通接頭實現(xiàn)單管轉(zhuǎn)回路功能。液位計、溫度計與儲液管連接處設(shè)置有輔助密封材料。

實際使用時,先將蝕刻液按比例調(diào)好后泵入儲液區(qū),再啟動循環(huán)泵,蝕刻液在循環(huán)泵的作用下,經(jīng)吸液管流入循環(huán)泵,再由循環(huán)泵泵入輸送管,從而依次流經(jīng)節(jié)流閥、流量計后進入分布有噴頭的組成閉合回路的輸送管,即可實現(xiàn)蝕刻液噴淋,噴淋后的蝕刻液在噴淋區(qū)底部沉積后,經(jīng)回收管流回儲液管,即可形成封閉的回路,實現(xiàn)蝕刻液的循環(huán)使用。

本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,使用方便。

附圖說明

附圖中,圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖,其中:

1—吸液管,2—循環(huán)泵,3—液位計,4—溫度計,5—儲液罐,6—節(jié)流閥,7—流量計,8—噴淋區(qū),9—輸送管,10—噴頭,11—防護罩,12—回收管。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。

帶流量控制的噴淋系統(tǒng),包括吸液管1、循環(huán)泵2、液位計3、溫度計4、儲液罐5、節(jié)流閥6、流量計7、噴淋區(qū)8、輸送管9、噴頭10、防護罩11、回收管12,其特征在于噴淋區(qū)8位于儲液罐5上方,噴淋區(qū)8與儲液罐5之間通過回收管12連通,循環(huán)泵2設(shè)置在儲液罐5旁,循環(huán)泵2與儲液罐5之間通過吸液管1連接,儲液罐5一側(cè)還設(shè)置有液位計3和溫度計4,溫度計4的感應(yīng)端設(shè)置在儲液罐5內(nèi),液位計3底端與儲液罐5相通,溫度計4的顯示端與液位計3顯示端設(shè)置在儲液罐5外,噴頭10通過輸送管9設(shè)置在噴淋區(qū)8頂部,輸送管9一端與循環(huán)泵2相能,另一端為閉合的回路,輸送管9上設(shè)置有流量計7與節(jié)流閥6,噴淋區(qū)8外側(cè)設(shè)置有防護罩11。噴頭10為多個,多個噴頭10呈矩陣排列。輸送管9上端通過三通接頭實現(xiàn)單管轉(zhuǎn)回路功能。液位計3、溫度計4與儲液管連接處設(shè)置有輔助密封材料。

實際使用時,先將蝕刻液按比例調(diào)好后泵入儲液區(qū),再啟動循環(huán)泵2,蝕刻液在循環(huán)泵2的作用下,經(jīng)吸液管1流入循環(huán)泵2,再由循環(huán)泵2泵入輸送管9,從而依次流經(jīng)節(jié)流閥6、流量計7后進入分布有噴頭10的組成閉合回路的輸送管9,即可實現(xiàn)蝕刻液噴淋,噴淋后的蝕刻液在噴淋區(qū)8底部沉積后,經(jīng)回收管12流回儲液管,即可形成封閉的回路,實現(xiàn)蝕刻液的循環(huán)使用。

上述只是說明了實用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點,其目的是在于讓本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員能夠了解實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施,并不能限制本實用新型的保護范圍。凡是根據(jù)本實用新型內(nèi)容的實質(zhì)所作出的等效的變化或修飾,都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍。

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