技術(shù)總結(jié)
本實用新型屬于光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置，包括：光源，所述光源用于發(fā)出檢測光；分束器，所述分束器接收所述檢測光，將所述檢測光進行分束，形成兩路光束；第一反射鏡，所述第一反射鏡接收所述兩路光束，并將所述兩路光束以對稱方式傳輸，使所述兩路光束從不同方向斜入射至待測晶圓上，形成光斑；其中，所述兩路光束與所述待測晶圓垂直法線之間的夾角相同，所述兩路光束在所述待測晶圓上形成的所述光斑完全重疊；所述兩路光束從所述分束器至所述待測晶圓上經(jīng)過的光程相同。本實用新型解決的技術(shù)問題是提供一種用于晶圓缺陷檢測的結(jié)構(gòu)光合成裝置，同時實現(xiàn)相干光束合成與斜入射，且結(jié)構(gòu)光周期易調(diào)節(jié)。

技術(shù)研發(fā)人員：陳魯;劉虹遙;張朝前;馬硯忠;楊樂;路鑫超
受保護的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院嘉興微電子儀器與設(shè)備工程中心
文檔號碼：201620906663
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.18
技術(shù)公布日：2017.05.31