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投影MEMS設(shè)備、投影MEMS系統(tǒng)、便攜式電子設(shè)備和便攜式電子裝置的制作方法

文檔序號(hào):11661768閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
投影MEMS設(shè)備、投影MEMS系統(tǒng)、便攜式電子設(shè)備和便攜式電子裝置。該投影MEMS設(shè)備包括:固定支撐結(jié)構(gòu)(17),其至少部分地由半導(dǎo)體材料制成;和若干個(gè)投影模塊(M1,M2,M3)。每個(gè)投影模塊包括光源(2),該光源固定于固定支撐結(jié)構(gòu)(17);和微機(jī)電致動(dòng)器(19,36,37),該微機(jī)電致動(dòng)器包括移動(dòng)結(jié)構(gòu)(19)并且改變移動(dòng)結(jié)構(gòu)相對(duì)于固定支撐結(jié)構(gòu)(17)的位置。每個(gè)投影模塊還包括初始光纖(20),該初始光纖根據(jù)移動(dòng)結(jié)構(gòu)(19)的位置機(jī)械地耦合至移動(dòng)結(jié)構(gòu)(19)并且光學(xué)地耦合至光源(2)。

技術(shù)研發(fā)人員:G·基亞雷蒂;F·L·格里利;R·卡爾米納蒂;B·穆拉里;L·薩奇
受保護(hù)的技術(shù)使用者:意法半導(dǎo)體股份有限公司
文檔號(hào)碼:201621103291
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.30
技術(shù)公布日:2017.07.28

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