1.單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動(dòng)的變形鏡,其特征在于:包括單壓電片執(zhí)行器陣列、設(shè)置在單壓電片執(zhí)行器陣列上方的鏡面,單壓電片執(zhí)行器陣列包括多個(gè)固定于帶通孔的基座上的單壓電片執(zhí)行器,每個(gè)單壓電片執(zhí)行器上均連接有支撐鏡面用的連接柱,每個(gè)單壓電片執(zhí)行器包括彈性層和壓電層,壓電層的兩面均覆蓋有尺寸略小于壓電層尺寸的電極層。
2.如權(quán)利要求1所述的單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動(dòng)的變形鏡,其特征在于:鏡面表面覆蓋有光學(xué)反射層。
3.如權(quán)利要求1所述的單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動(dòng)的變形鏡,其特征在于:?jiǎn)螇弘娖瑘?zhí)行器為圓形結(jié)構(gòu),壓電層的直徑略小于彈性層直徑。
4.如權(quán)利要求1~3之一所述的單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動(dòng)的變形鏡,其特征在于:壓電層設(shè)置在彈性層的上方,或者彈性層設(shè)置在壓電層的上方。
5.如權(quán)利要求4所述的單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動(dòng)的變形鏡,其特征在于:與彈性層接觸的電極層與彈性層連通,并連接于同一根電線上。
6.如權(quán)利要求5所述的單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動(dòng)的變形鏡,其特征在于:連接柱位于單壓電片執(zhí)行器的中心處。
7.如權(quán)利要求6所述的單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動(dòng)的變形鏡,其特征在于:?jiǎn)螇弘娖瑘?zhí)行器是蜂窩狀排列或是矩陣式排列。
8.如權(quán)利要求7所述的單壓電片執(zhí)行器陣列驅(qū)動(dòng)的變形鏡,其特征在于:每個(gè)單壓電片執(zhí)行器下面均對(duì)應(yīng)一個(gè)通孔并且同心設(shè)置,通過(guò)彈性層固定于基座上,彈性層的直徑略大于通孔直徑。