1.一種集成化空間精密兩維掃描機(jī)構(gòu)，包括跨軌掃描機(jī)構(gòu)和沿軌掃描機(jī)構(gòu)，其特征在于：
所述的跨軌掃描機(jī)構(gòu)包括掃描鏡(1)、掃描機(jī)構(gòu)前殼體(8)、掃描機(jī)構(gòu)中間端蓋(13)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)(7)、角位移傳感器(9)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸(6)、直線運(yùn)動(dòng)軸(15)、前鉸鏈組件(22)、后鉸鏈組件(19)、前鉸鏈組件支撐(2)、后鉸鏈組件支撐(14)、前軸承組件(5)、后軸承組件(10)、前密封內(nèi)圈(3)、前密封外圈(4)、后密封內(nèi)圈(11)、后密封外圈(12)；所述的旋轉(zhuǎn)電機(jī)(7)的定子(701)和角位移傳感器(9)的定子(901)安裝在掃描機(jī)構(gòu)前殼體(8)內(nèi)；所述的旋轉(zhuǎn)電機(jī)(7)的轉(zhuǎn)子(702)和角位移傳感器(9)的轉(zhuǎn)子(902)安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸(6)上；所述的前鉸鏈組件支撐(2)的一端、后鉸鏈組件支撐(14)的一端安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸(6)上；所述的前鉸鏈組件(22)的一端安裝在前鉸鏈組件支撐(2)上；所述的后鉸鏈組件(19)的一端安裝在后鉸鏈組件支撐(14)上；所述的前鉸鏈組件(22)的另一端、后鉸鏈組件(19)的另一端安裝在直線運(yùn)動(dòng)軸(15)上；所述的掃描鏡(1)安裝在前鉸鏈組件(22)上；所述的前軸承組件(5)外圈和后軸承組件(10)外圈分別與掃描機(jī)構(gòu)前殼體(8)和掃描機(jī)構(gòu)中間端蓋(13)配合，前軸承組件(5)內(nèi)圈和后軸承組件(10)內(nèi)圈與轉(zhuǎn)動(dòng)軸(6)配合；
所述的跨軌掃描機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸(6)與掃描鏡(1)成45°；
所述的沿軌掃描機(jī)構(gòu)包括掃描鏡(1)、掃描機(jī)構(gòu)后殼體(17)、直線電機(jī)(16)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸(6)、直線運(yùn)動(dòng)軸(15)、前鉸鏈組件(22)、后鉸鏈組件(19)、前鉸鏈組件支撐(2)、后鉸鏈組件支撐(14)、直線電機(jī)封蓋(18)、前限位裝置(21)、后限位裝置(20)；所述的直線電機(jī)定子(1601)安裝在掃描機(jī)構(gòu)后殼體(17)內(nèi)；所述的前鉸鏈組件支撐(2)的一端、后鉸鏈組件支撐(14)的一端安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)軸(6)上；所述的前鉸鏈組件支撐(2)的另一端安裝在前鉸鏈組件(22)上；所述的后鉸鏈組件支撐(14)的另一端安裝在后鉸鏈組件(19)上；所述的前鉸鏈組件(22)的一端、后鉸鏈組件(19)的一端、前限位裝置(21)、后限位裝置(20)、直線電機(jī)動(dòng)子(1602)安裝在直線運(yùn)動(dòng)軸(15)上；所述的掃描鏡(1)安裝在前鉸鏈組件(22)上；
所述的沿軌掃描機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)是通過(guò)繞前鉸鏈組件(22)和后鉸鏈組件(19)的微小轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)的；沿軌掃描的運(yùn)動(dòng)角度與轉(zhuǎn)動(dòng)軸成45°±θ/2，θ為沿軌掃描的角度，θ的大小由前限位裝置(21)與前鉸鏈組件支撐(2)之間的距離、后限位裝置(20)和后鉸鏈組件支撐(14)之間的距離確定；
所述的旋轉(zhuǎn)電機(jī)(7)包括直流力矩電機(jī)、步進(jìn)電機(jī)；角位移傳感器(9)包括圓光柵編碼器、感應(yīng)同步器、旋變發(fā)送器；直線電機(jī)(16)包括音圈電機(jī)、超聲波電機(jī)；所述的前鉸鏈組件(19)和后鉸鏈組件(22)包括滑動(dòng)鉸鏈、滾動(dòng)鉸鏈。