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一種直寫(xiě)式絲網(wǎng)制版設(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):11342410閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種直寫(xiě)式絲網(wǎng)制版設(shè)備,用于絲網(wǎng)制版過(guò)程中在網(wǎng)板上進(jìn)行圖形曝光,其特征在于:包括主機(jī)(1)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)(2)、光源驅(qū)動(dòng)控制器(3)、光源(4)、可編程數(shù)據(jù)控制器(5)、空間光調(diào)制器(6)、主動(dòng)聚焦模塊(7)、光學(xué)鏡頭(8)、位置誤差修正模塊(9)以及通信模塊(10);

所述運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)(2)由步進(jìn)平臺(tái)(2-1)、掃描平臺(tái)(2-2)以及平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器(2-3)組成,其中平臺(tái)驅(qū)動(dòng)器(2-3)與主機(jī)(1)相連并驅(qū)動(dòng)步進(jìn)平臺(tái)(2-1)和掃描平臺(tái)(2-2)運(yùn)動(dòng);

所述光源驅(qū)動(dòng)控制器(3)控制所述光源(4)的開(kāi)關(guān)狀態(tài)以及光強(qiáng);

所述可編程數(shù)據(jù)控制器(5)與主機(jī)(1)直接相連,在主機(jī)(1)的控制下驅(qū)動(dòng)空間光調(diào)制器(6)完成曝光任務(wù);

所述主動(dòng)聚焦模塊(7)控制光學(xué)鏡頭(8)與網(wǎng)板間的距離;

所述位置誤差修正模塊(9)接收掃描平臺(tái)(2-2)發(fā)出的實(shí)時(shí)位置信號(hào),對(duì)實(shí)時(shí)位置信號(hào)進(jìn)行修正得到精確位置信號(hào),并將精確位置信號(hào)輸出至可編程數(shù)據(jù)控制器(5);

所述通信模塊(10)上行與主機(jī)(1)相連,下行與光源驅(qū)動(dòng)控制器(3)以及主動(dòng)聚焦模塊(7)分別相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫(xiě)式絲網(wǎng)制版設(shè)備,其特征在于:所述主機(jī)(1)是個(gè)人計(jì)算機(jī)、服務(wù)器或工控機(jī)中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫(xiě)式絲網(wǎng)制版設(shè)備,其特征在于:所述步進(jìn)平臺(tái)(2-1)承載網(wǎng)板并帶動(dòng)網(wǎng)板運(yùn)動(dòng),所述掃描平臺(tái)(2-2)承載主動(dòng)聚焦模塊(7)和光學(xué)鏡頭(8)并帶動(dòng)主動(dòng)聚焦模塊(7)和光學(xué)鏡頭(8)運(yùn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫(xiě)式絲網(wǎng)制版設(shè)備,其特征在于:所述光源(4)是激光器或LED中的一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫(xiě)式絲網(wǎng)制版設(shè)備,其特征在于:所述可編程數(shù)據(jù)控制器(5)由隨機(jī)存儲(chǔ)器、現(xiàn)場(chǎng)可編程門(mén)陣列以及空間光調(diào)制器控制芯片組成。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種直寫(xiě)式絲網(wǎng)制版設(shè)備,其特征在于:所述空間光調(diào)制器控制芯片為數(shù)字光處理芯片。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫(xiě)式絲網(wǎng)制版設(shè)備,其特征在于:所述空間光調(diào)制器(6)為數(shù)字微鏡器件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫(xiě)式絲網(wǎng)制版設(shè)備,其特征在于:所述主動(dòng)聚焦模塊(7)由高速電機(jī)、位置傳感器和主動(dòng)聚焦控制器組成。

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