本實(shí)用新型涉及一種納米壓印裝置，尤其是輥對(duì)輥?zhàn)贤饧{米壓印裝置。

背景技術(shù)：

在十二世紀(jì)中期，半導(dǎo)體微電子技術(shù)以及微型化這兩種技術(shù)從微型化的尺度來衡量，還停留在微米級(jí)技術(shù)的范疇，隨著之后科技的不斷進(jìn)步與發(fā)展，半導(dǎo)體技術(shù)與微系統(tǒng)技術(shù)研究與制造技術(shù)不斷突破，它們制造尺度逐步進(jìn)入了更高精度的微納米及納米級(jí)范疇，從而促使納米加工技術(shù)的誕生，實(shí)現(xiàn)了從微米到納米的轉(zhuǎn)變甚至跳躍。而此進(jìn)步不僅只是量級(jí)的過渡，在微納米技術(shù)加工方面更是一個(gè)質(zhì)的飛躍。

隨著納米加工技術(shù)的成功提出和展現(xiàn)后，相關(guān)領(lǐng)域?qū)W者陸續(xù)提出了：納米紫外光學(xué)曝光技術(shù)、電子束曝光技術(shù)、X射線曝光技術(shù)、極紫外曝光技術(shù)等新型納米技術(shù)，在此之后納米加工業(yè)在工業(yè)生產(chǎn)中愈發(fā)地受人注視。但是，納米光刻加工技術(shù)由于原理限制，其精度、保真度無法得到高效的保證，從而導(dǎo)致所謂的低效高成本，緊緊地限制了其商業(yè)價(jià)值，即成為了商業(yè)化的重要隱患，而正因傳統(tǒng)光學(xué)光刻技術(shù)的高成本缺陷，促使新非光學(xué)方法的開發(fā)。

近年來，納米壓印受到了極高度的重視，因?yàn)樵诓粩嗤晟聘轮兴晒Φ刈C明了它有成本低、分辨率高的潛力。20世紀(jì)末期，華裔科學(xué)家周郁先生提出并發(fā)展了該技術(shù)：納米壓印技術(shù)，將其使用到納米科技中去，發(fā)現(xiàn)證實(shí)這是得到納米結(jié)構(gòu)的一種有效途經(jīng)。而如今的較為成熟的納米壓印技術(shù)主要包括：熱壓印、紫外壓印等技術(shù)。紫外壓印和熱壓印的壓印過程都是利用帶有圖形結(jié)構(gòu)的模板通過物理方法使圖案轉(zhuǎn)移到所需襯底上，而這兩種方法依然存在著問題：壓印膠涂抹不均勻；壓印輥與支撐輥中軸線不齊導(dǎo)致壓印質(zhì)量不好；壓印輥與支撐輥之間的距離無法適應(yīng)不同的待壓印材料。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提供一種輥對(duì)輥?zhàn)贤饧{米壓印裝置，以解決壓印膠涂抹不均勻，壓印輥與支撐輥中軸線不齊導(dǎo)致壓印質(zhì)量不好，壓印輥與支撐輥之間的距離無法適應(yīng)不同的待壓印材料的問題。

本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是：在外殼內(nèi)有傳輸裝置，傳輸裝置的放卷輥后有電暈裝置，涂布裝置與微調(diào)裝置通過螺紋連接，微調(diào)裝置通過螺紋連接在外殼上，壓印裝置中的壓印輥側(cè)面有調(diào)節(jié)裝置，所述的調(diào)節(jié)裝置通過螺釘與底座連接，壓印輥旁有紫外燈。

本實(shí)用新型所述的微調(diào)裝置的結(jié)構(gòu)是：涂布裝置連接板通過柔性鉸鏈與固定框連接，壓電陶瓷通過預(yù)緊螺絲與固定框連接、并與涂布裝置連接板頂接。

本實(shí)用新型所述的涂布裝置包括空腔，空腔上有進(jìn)氣孔，進(jìn)膠孔，空腔底部連接涂布輥，側(cè)面有與調(diào)節(jié)裝置連接的固定螺釘。

本實(shí)用新型所述的調(diào)節(jié)裝置包括導(dǎo)軌，滾珠絲杠，減速器，電機(jī)三，滑動(dòng)平臺(tái)，微調(diào)裝置二，其中，微調(diào)裝置二與滑動(dòng)平臺(tái)螺紋連接，并且微調(diào)裝置二與滑動(dòng)平臺(tái)之間形成空腔，用于安放與壓印輥相連的電機(jī)。

本實(shí)用新型所述的放卷輥與電機(jī)一連接。

本實(shí)用新型所述的收卷輥與電機(jī)二連接。

本實(shí)用新型提出一種輥對(duì)輥?zhàn)贤饧{米壓印裝置，采用可調(diào)節(jié)的氣壓式涂布裝置和可調(diào)節(jié)距離的壓印裝置，方便的得到納米尺度的圖案，同時(shí)又可以實(shí)現(xiàn)大面積流水線式的壓印方法，提高生產(chǎn)效率。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：

（1）由調(diào)節(jié)裝置固定的壓印輥與支撐輥能調(diào)整相對(duì)位置，提高位置精度。

（2）采用可調(diào)節(jié)的氣壓式涂布裝置，在可以保證涂膠更均勻的同時(shí)，可以適應(yīng)不同厚度的待壓印材料。

（3）采用移動(dòng)導(dǎo)軌和微動(dòng)平臺(tái)組成的調(diào)節(jié)裝置對(duì)壓印輥進(jìn)行調(diào)節(jié)，可使壓印圖案的深寬比可以精確控制，并且脫模更容易。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型涂布裝置的軸測(cè)圖；

圖4是本實(shí)用新型調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本實(shí)用新型是涂布裝置與其對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)裝置的裝配圖；

圖6是本實(shí)用新型調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：

外殼1，傳輸裝置2，放卷輥201，電機(jī)一201a，輔助輥一202a、輔助輥二202b、輔助輥三202c，收卷輥203，電機(jī)二203a，傳送帶204，電暈裝置3，涂布裝置4，空腔401，進(jìn)氣孔402，進(jìn)膠孔403，固定螺絲404，涂布輥405，微調(diào)裝置一5，柔性鉸鏈501，壓電陶瓷502，預(yù)緊螺絲503，涂布裝置連接板504，固定框505，壓印裝置6，壓印輥601，支撐輥602，調(diào)節(jié)裝置7，導(dǎo)軌701，滾珠絲杠702，減速器703，電機(jī)三704，滑動(dòng)平臺(tái)705，微調(diào)裝置二706，固化裝置8。

具體實(shí)施方式

在外殼1內(nèi)有傳輸裝置2，傳輸裝置2的放卷輥201后有電暈裝置3，涂布裝置4與微調(diào)裝置5通過螺紋連接，微調(diào)裝置5通過螺紋連接在外殼1上，壓印裝置6中的壓印輥601側(cè)面有調(diào)節(jié)裝置7，所述的調(diào)節(jié)裝置7通過螺釘與底座連接，壓印輥601旁有紫外燈8。

所述的微調(diào)裝置5的結(jié)構(gòu)是：涂布裝置連接板504通過柔性鉸鏈501與固定框505連接，壓電陶瓷502通過預(yù)緊螺絲503與固定框505連接、并與涂布裝置連接板504頂接。

所述的涂布裝置4包括空腔401，空腔401上有進(jìn)氣孔402，進(jìn)膠孔403，空腔401底部連接涂布輥405，側(cè)面有與調(diào)節(jié)裝置5連接的固定螺釘404。

所述的調(diào)節(jié)裝置7包括導(dǎo)軌701，滾珠絲杠702，減速器703，電機(jī)三704，滑動(dòng)平臺(tái)705，微調(diào)裝置二706，其中，微調(diào)裝置二706與滑動(dòng)平臺(tái)705螺紋連接，并且微調(diào)裝置二706與滑動(dòng)平臺(tái)705之間形成空腔，用于安放與壓印輥相連的電機(jī)。

所述的放卷輥201與電機(jī)一201a連接。

所述的收卷輥203與電機(jī)二203a連接。

工作原理：

傳送帶上的基底通過電暈裝置3后，涂布裝置4將壓印膠均勻涂抹到基底表面，基底移動(dòng)到壓印裝置部分，壓印輥601通過調(diào)節(jié)裝置7調(diào)節(jié)與支撐輥602的距離，使?jié)L筒表面的圖案轉(zhuǎn)移到基底表面的壓印膠上，通過紫外燈8使壓印膠圖案固化，將基底取下，進(jìn)行蝕刻。

下邊結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

如圖1到圖6所示，放卷輥201、收卷輥203、壓印輥601、支撐輥602、輔助輥一202a、輔助輥二202b、輔助輥三202c與外殼1都采用孔軸配合，涂布裝置4與調(diào)節(jié)裝置5采用螺紋連接的方式。

如圖1和圖2所示，包括外殼1，傳輸裝置2，電暈裝置3，涂布裝置4，微調(diào)裝置5，壓印裝置6，調(diào)節(jié)裝置7，固化裝置8，其中傳輸裝置2包括放卷輥201、傳送帶204、收卷輥203以及輔助輥一202a、輔助輥二202b、輔助輥三202c，放卷輥201和收卷輥203由與之對(duì)應(yīng)的電機(jī)一201a，電機(jī)二203a控制轉(zhuǎn)動(dòng)，其他輔助輥從動(dòng)，可以使傳送帶204一直處于緊張狀態(tài)，有利于壓印面的平整；電暈裝置3的作用是對(duì)基底進(jìn)行電暈處理，在整體裝置運(yùn)行前先開啟電暈裝置，使壓印過程更流暢，固化裝置8是一條紫外燈管，可以對(duì)壓印完成的圖案進(jìn)行固化。

如圖3所示，涂布裝置4包括空腔401、進(jìn)氣孔402、進(jìn)膠孔403、固定螺釘404、涂布輥405，整體裝置運(yùn)行時(shí)，首先通過進(jìn)膠孔403向空腔401內(nèi)注入壓印膠，通過與涂布裝置4螺紋連接的調(diào)節(jié)裝置5使涂布輥405處于合適位置，封閉進(jìn)膠孔403，然后通過進(jìn)氣孔402向空腔401中施加一定強(qiáng)度的氣壓，使壓印膠均勻涂抹在基底上。

如圖4所示，調(diào)節(jié)裝置5包括柔性鉸鏈501、壓電陶瓷（振子）502和預(yù)緊螺絲503，利用壓電陶瓷電致伸縮的特性達(dá)到微調(diào)涂布裝置4的目的。

如圖5所示，涂布裝置4與調(diào)節(jié)裝置5通過螺紋連接。

如圖6所示，壓印裝置6包括壓印輥601和支撐輥602。壓印輥601由電機(jī)控制轉(zhuǎn)動(dòng)，壓印裝置6中的壓印輥601與調(diào)節(jié)裝置7連接，調(diào)節(jié)裝置7由導(dǎo)軌701，滾珠絲杠702，減速器703，電機(jī)三704，滑動(dòng)平臺(tái)705，微調(diào)裝置二706構(gòu)成，微調(diào)裝置二的結(jié)構(gòu)與微調(diào)裝置一的結(jié)構(gòu)相同，通過保持調(diào)節(jié)裝置7的豎直就可以保證壓印輥601和支撐輥602的軸線對(duì)齊，通過調(diào)節(jié)壓印輥601與支撐輥602的距離控制壓印圖案的深寬比，使脫模更容易。