本實(shí)用新型涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板支撐桿。

背景技術(shù)：

在TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)領(lǐng)域的工藝制程中，曝光機(jī)主要是將掩膜版上的膜層進(jìn)行對位并曝光在涂膠后的玻璃基板上，玻璃基板是通過基臺進(jìn)行承載，而Lift bar(支撐桿)主要起的作用是：Loading(裝載)基板時，Lift bar升起，接收Robot arm(機(jī)器人手臂)送入曝光機(jī)內(nèi)的基板，再降至基臺表面，將基板均勻放置在基臺表面上；Unloading(卸載)基板時，Lift bar升起，待Robot arm將基板取走后，等待下一片基板送入繼續(xù)接收。

ESD(靜電釋放)一直是LCD(液晶顯示器)和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的頑敵，曝光機(jī)在Unloading基板時，Lift bar將基板頂起與基臺表面分離的瞬間，基臺與基板之間會產(chǎn)生瞬時高壓靜電，將膜層擊穿燒毀，從而產(chǎn)生ESD不良，隨著設(shè)備老化，Lift bar磨損，這種不良會越來越嚴(yán)重。而通過在Lift bar表面涂覆防靜電液，可以有效的防止ESD高發(fā)。目前使用的方法是在Lift bar表面手動涂覆防靜電液，而這種方式不僅難以均勻全面的涂覆，使除靜電能力變差，還存在很多風(fēng)險。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種基板支撐桿，實(shí)現(xiàn)防靜電液的自動涂覆。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種基板支撐桿，包括：

外支撐桿，其為一表面開口的盒體結(jié)構(gòu)；

內(nèi)支撐桿，容置于所述外支撐桿內(nèi)，具有用于支撐基板的支撐面；

用于控制所述內(nèi)支撐桿做升降運(yùn)動以使得所述內(nèi)支撐桿在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間變化的升降結(jié)構(gòu)；

防靜電液涂覆結(jié)構(gòu)，用于在所述內(nèi)支撐桿位于所述第一狀態(tài)時，在所述內(nèi)支撐桿上涂覆防靜電液；

其中，所述第一狀態(tài)為所述內(nèi)支撐桿完全位于所述外支撐桿內(nèi)部，所述第二狀態(tài)為所述內(nèi)支撐桿的所述支撐面與所述外支撐桿的具有開口的表面平齊。

進(jìn)一步的，所述內(nèi)支撐桿的邊緣與所述外支撐桿之間具有縫隙。

進(jìn)一步的，所述內(nèi)支撐桿上設(shè)置有多個供防靜電液通過的通孔；所述防靜電液涂覆結(jié)構(gòu)包括：固定于所述外支撐桿底部的防靜電液供給結(jié)構(gòu)；

用于將所述防靜電液供給結(jié)構(gòu)提供的防靜電液輸送至所述支撐面上的、數(shù)量與所述通孔對應(yīng)的多個連接管，每個所述連接管的一端與所述防靜電液供給結(jié)構(gòu)連通，另一端與所述內(nèi)支撐桿上的相應(yīng)的通孔連通。

進(jìn)一步的，所述連接管為可彎折的彈性軟管。

進(jìn)一步的，還包括防靜電液回收結(jié)構(gòu)，固定于所述外支撐桿上與所述開口相對設(shè)置的表面，并通過管道與所述外支撐桿內(nèi)部連通。

進(jìn)一步的，還包括輥輪，所述外支撐桿的中部設(shè)置用于固定所述輥輪的第一卡槽，在所述外支撐桿的長度方向的、所述第一卡槽的相對的兩側(cè)分別設(shè)置所述內(nèi)支撐桿，所述外支撐桿沿其長度方向的、相對的兩內(nèi)側(cè)壁上向內(nèi)凹設(shè)有第二卡槽；

在所述第一狀態(tài)下，所述輥輪從所述第一卡槽移動至所述第二卡槽、并能夠沿著所述第二卡槽移動以使得所述輥輪在相應(yīng)的所述內(nèi)支撐桿上的所述支撐面上移動。

進(jìn)一步的，所述第二卡槽靠近所述外支撐桿底部的第一側(cè)壁與所述第一卡槽連接處為弧面。

進(jìn)一步的，所述第一卡槽的開口處可拆卸的設(shè)有蓋板，所述蓋板的表面與所述外支撐桿的具有開口的表面平齊。

進(jìn)一步的，所述蓋板上設(shè)有用于吸附基板的真空吸附盤。

進(jìn)一步的，所述升降結(jié)構(gòu)包括升降氣缸。

進(jìn)一步的，還包括用于控制所述升降結(jié)構(gòu)運(yùn)動以及控制所述防靜電液涂覆結(jié)構(gòu)涂覆預(yù)設(shè)量的防靜電液的PLC控制結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，還包括用于控制所述外支撐桿移動至預(yù)設(shè)位置以承接基板的移動結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述移動結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述外支撐桿上與所述開口相對的表面的聯(lián)動桿，以及用于驅(qū)動所述聯(lián)動桿運(yùn)動的驅(qū)動軸。

本實(shí)用新型的有益效果是：實(shí)現(xiàn)防靜電液的自動涂覆，防止涂覆防靜電液時對基板等的污染、且避免人身危害。

附圖說明

圖1表示本實(shí)用新型實(shí)施例中基板支撐桿結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2表示本實(shí)用新型實(shí)施例中基板支撐桿截面圖；

圖3表示本實(shí)用新型實(shí)施例中內(nèi)支撐桿位于第一狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4表示本實(shí)用新型實(shí)施例中輥輪結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的特征和原理進(jìn)行詳細(xì)說明，所舉實(shí)施例僅用于對本實(shí)用新型的解釋說明，并非對本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制。

如圖1-圖4所示，本實(shí)施例提供一種基板支撐桿，包括：

外支撐桿2，其為一表面開口的盒體結(jié)構(gòu)；

內(nèi)支撐桿1，容置于所述外支撐桿2內(nèi)，具有用于支撐基板的支撐面；

用于控制所述內(nèi)支撐桿1做升降運(yùn)動以使得所述內(nèi)支撐桿1在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間變化的升降結(jié)構(gòu)；

防靜電液涂覆結(jié)構(gòu)，用于在所述內(nèi)支撐桿1位于所述第一狀態(tài)時，在所述內(nèi)支撐桿1上涂覆防靜電液；

其中，所述第一狀態(tài)為所述內(nèi)支撐桿1完全位于所述外支撐桿2內(nèi)部，所述第二狀態(tài)為所述內(nèi)支撐桿1的所述支撐面與所述外支撐桿2的具有開口的表面平齊。

所述防靜電液涂覆結(jié)構(gòu)的設(shè)置實(shí)現(xiàn)防靜電液的自動涂覆，提高工作效率；且內(nèi)支撐桿1和外支撐桿2的設(shè)置，使得所述內(nèi)支撐桿1在完全位于所述外支撐桿2內(nèi)部時在所述內(nèi)支撐桿1上涂覆防靜電液，防止防靜電液外泄對承載基板的基臺(設(shè)置支撐桿的基臺)、以及基臺周邊的器件的污染；并且，相對于人工涂覆，避免了對人體的傷害，也防止將防靜電液帶出支撐桿外部對基板或其他器件造成污染。

所述防靜電液涂覆結(jié)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，只要實(shí)現(xiàn)在所述第一狀態(tài)下，在所述內(nèi)支撐桿1上自動涂覆防靜電液即可，優(yōu)選的，所述內(nèi)支撐桿1上設(shè)置有多個供防靜電液通過的通孔3；所述防靜電液涂覆結(jié)構(gòu)包括：固定于所述外支撐桿2底部的防靜電液供給結(jié)構(gòu)；

用于將所述防靜電液供給結(jié)構(gòu)提供的防靜電液輸送至所述支撐面上的、數(shù)量與所述通孔3對應(yīng)的多個連接管，每個所述連接管的一端與所述防靜電液供給結(jié)構(gòu)連通，另一端與所述內(nèi)支撐桿1上的相應(yīng)的通孔3連通。

本實(shí)施例中，所述內(nèi)支撐桿1上均勻設(shè)置所述通孔3，且所述通孔3的數(shù)量可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定。

優(yōu)選的，所述防靜電液供給結(jié)構(gòu)包括一容納防靜電液的防靜電液供給罐8，所述外支撐桿2的底部設(shè)有容納該防靜電液供給罐8的容納槽。

本實(shí)施例中，所述內(nèi)支撐桿1可以在所述外支撐桿2內(nèi)升降運(yùn)動以在防靜電液涂覆結(jié)束后實(shí)現(xiàn)對基板的支撐，為了利于所述內(nèi)支撐桿1的升降，本實(shí)施例中，所述連接管為可彎折的彈性軟管。

涂覆防靜電液時存在多余的防靜電液外流的情況，為了防止防靜電液外流造成污染，本實(shí)施例中，所述內(nèi)支撐桿1的邊緣與所述外支撐桿2之間具有縫隙，這樣多余的防靜電液從所述縫隙中進(jìn)入到所述外支撐桿2內(nèi)，在涂覆防靜電液后所述內(nèi)支撐桿1由所述第一狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第二狀態(tài)，即所述內(nèi)支撐桿1的支撐面與所述外支撐桿2的具有開口的表面平齊時，不會有防靜電液外流。

防靜電液存在于所述外支撐桿2時間過長，或者所述外支撐桿2內(nèi)的防靜電液過多時，會發(fā)生防靜電液外流的情況，為了防止這種情況的發(fā)生，本實(shí)施例中基板支撐桿還包括防靜電液回收結(jié)構(gòu)9，固定于所述外支撐桿2的底部(與外支撐桿2上的開口相對的表面)，并通過管道7與所述外支撐桿2內(nèi)部連通。

從所述內(nèi)支撐桿1與所述外支撐桿2的縫隙流入所述外支撐桿2內(nèi)的防靜電液通過管道7流入所述防靜電液回收結(jié)構(gòu)9回收，防止污染且節(jié)省資源。

如圖3所示，本實(shí)施例中，基板支撐桿還包括輥輪，所述外支撐桿2的中部設(shè)置用于固定所述輥輪的第一卡槽11，在所述外支撐桿2的長度方向的、所述第一卡槽11的相對的兩側(cè)分別設(shè)置所述內(nèi)支撐桿1，所述外支撐桿2沿其長度方向的、相對的兩內(nèi)側(cè)壁上向內(nèi)凹設(shè)有第二卡槽6；

在所述第一狀態(tài)下，所述輥輪從所述第一卡槽11移動至所述第二卡槽6、并能夠沿著所述第二卡槽6移動以使得所述輥輪在相應(yīng)的所述內(nèi)支撐桿1上的所述支撐面上移動。

如圖4所示，所述輥輪包括滾輪軸16和套設(shè)于所述滾輪軸外部的涂覆部15。

圖2所示為所述輥輪位于所述第二卡槽6的狀態(tài)，在進(jìn)行防靜電液涂覆時，升降結(jié)構(gòu)控制所述內(nèi)支撐桿1下降，防靜電液供給結(jié)構(gòu)通過所述內(nèi)支撐桿1上的通孔3自動噴涂防靜電液，所述輥輪從所述第一卡槽11移動至所述第二卡槽6，并且沿著所述第二卡槽6在相應(yīng)的所述內(nèi)支撐桿1上的所述支撐面上往返運(yùn)動，使防靜電液均勻覆蓋所述內(nèi)支撐桿1的支撐面，涂覆結(jié)束后，所述輥輪進(jìn)入所述第一卡槽11固定，多余的防靜電液會從所述內(nèi)支撐桿1和所述外支撐桿2之間的縫隙進(jìn)入所述外支撐桿2、并進(jìn)入所述防靜電液回收結(jié)構(gòu)回收。防靜電液涂覆均勻后，靜置幾分鐘(具體時間可根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定)，在所述升降結(jié)構(gòu)的控制下，將所述內(nèi)支撐桿1由所述第一狀態(tài)轉(zhuǎn)換為所述第二狀態(tài)以支撐基板。

為了利于所述輥輪由所述的第一卡槽11進(jìn)入所述第二卡槽6，本實(shí)施例中，所述第二卡槽6靠近所述外支撐桿2底部(與設(shè)置開口的表面相對設(shè)置的表面)的第一側(cè)壁與所述第一卡槽11連接處為弧面。

為了防止所述輥輪使用時間過長而表面被污染以影響防靜電液的涂覆，需要經(jīng)常清洗或更換，為了方便所述輥輪的更換，本實(shí)施例中，所述第一卡槽11的開口處可拆卸的設(shè)有蓋板4，所述蓋板4的表面與所述外支撐桿2的具有開口的表面平齊。將所述蓋板4取下，即可將所述輥輪取出。

優(yōu)選的，所述蓋板4上設(shè)有用于吸附基板的真空吸附盤5，利于基板的吸附固定。

優(yōu)選的，所述升降結(jié)構(gòu)包括升降氣缸10。所述升降氣缸的一端可直接穿過所述外支撐桿2以與內(nèi)支撐桿1連接實(shí)現(xiàn)內(nèi)支撐桿1的升降；也可以與穿過所述外支撐桿2以支撐內(nèi)支撐桿1的連接桿連接以實(shí)現(xiàn)內(nèi)支撐桿1的升降。

優(yōu)選的，基板支撐桿還包括用于控制所述升降結(jié)構(gòu)運(yùn)動以及控制所述防靜電液涂覆結(jié)構(gòu)涂覆預(yù)設(shè)量的防靜電液的PLC控制結(jié)構(gòu)12。

通過PLC控制結(jié)構(gòu)12控制防靜電液供給結(jié)構(gòu)均勻噴涂定量防靜電液，有效減少涂覆時間，避免不必要的等待和停機(jī)，并可節(jié)約防靜電液用量。

優(yōu)選的，基板支撐桿還包括用于控制所述外支撐桿2移動至預(yù)設(shè)位置以承接基板的移動結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述移動結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述外支撐桿2底部(與外支撐桿2上的開口相對設(shè)置的表面)的聯(lián)動桿13，以及用于驅(qū)動所述聯(lián)動桿13運(yùn)動的驅(qū)動軸14。

以上為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，需要說明的是，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型保護(hù)范圍。