本實用新型涉及光刻直寫曝光機及投影顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種LDI光機系統(tǒng)及其遮光罩。

背景技術(shù)：

光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機械電子芯片、光電子線路芯片等。

在直寫式光刻機的光刻系統(tǒng)中，特征圖形由空間光調(diào)制器微鏡陣列產(chǎn)生，這些微小鏡面可以獨立尋址單獨受控以不同的傾斜方向反射照射的光束，以產(chǎn)生空間光強調(diào)制，最后將特征圖形通過相應(yīng)成像光路投影到印刷電路板(Printed Circuit Board，簡稱PCB板)上。因為光刻技術(shù)是在光機系統(tǒng)鏡筒的基礎(chǔ)上實現(xiàn)，為了保證光刻精度，鏡筒不但需要避光，還需要始終處于高潔凈度的空間環(huán)境內(nèi)。

現(xiàn)有光刻系統(tǒng)僅有部分避光功能，不能實現(xiàn)完全避光和有效防塵，光刻系統(tǒng)的成像質(zhì)量容易受到自然光的影響，而且隨著使用時間的增加，還容易受到灰塵的影響。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種LDI光機系統(tǒng)及其遮光罩，以解決現(xiàn)有技術(shù)的激光直接成像(Laser Direct Image，簡稱LDI)光機系統(tǒng)僅能實現(xiàn)部分避光不能有效防塵的技術(shù)問題。

第一方面，本實用新型實施例提供了一種LDI光機系統(tǒng)遮光罩，包括第一腔體和第二腔體，底板中間開設(shè)有通光孔；

第一腔體固設(shè)于聚焦組件安裝底板之上，聚焦組件安裝底板開設(shè)有通光孔，第一腔體通過通光孔連通外部，第一腔體的一對側(cè)壁開設(shè)有固定孔，并通過固定孔與大理石龍門固定，第一腔體至少開設(shè)有一個散熱孔，散熱孔平行且高于固定孔；

第二腔體與第一腔體連通，并位于第一腔體中固定孔所在側(cè)壁的鄰側(cè)壁，且第二腔體的一側(cè)壁設(shè)置有若干激光器接線插板。

第一腔體固定于聚焦組件安裝底板和大理石龍門上，散熱孔加快了遮光罩內(nèi)外空氣的對流速度，既有利于散熱，又能使整個遮光罩內(nèi)保持正壓，進而避免了機臺內(nèi)部灰塵進入遮光罩內(nèi)并使其內(nèi)部的光學(xué)元件沾染灰塵；第二腔體設(shè)置的激光器接線插板既能有效地防塵，又能使激光通過光纖進入遮光罩內(nèi)以完成光刻工作；整體結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，實現(xiàn)了LDI光機系統(tǒng)的有效避光和防塵。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第一種可能的實施方式，其中，第一腔體開設(shè)有固定孔的一對側(cè)壁均開設(shè)有平行于固定孔的散熱孔。

兩側(cè)壁上的散熱孔相對設(shè)置，可以加快遮光罩內(nèi)的空氣與外界空氣的對流速度，加快散熱。

結(jié)合第一方面的第一種可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第一方面的第二種可能的實施方式，其中，散熱孔安裝有排風(fēng)扇。

排風(fēng)扇加快了遮光罩內(nèi)的空氣對流速度，同時使整個遮光罩內(nèi)保持正壓，進而保證機臺內(nèi)部的灰塵不會進入遮光罩內(nèi)，實現(xiàn)了LDI光機系統(tǒng)的有效地防塵。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第三種可能的實施方式，其中，第一腔體遠離第二腔體的一側(cè)設(shè)有DMD控制板支架。

結(jié)合第一方面的第三種可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第一方面的第四種可能的實施方式，其中，DMD控制板支架的頂端設(shè)有一折彎，折彎背離第一腔體。

結(jié)合第一方面的第四種可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第一方面的第五種可能的實施方式，其中DMD控制板支架的折彎上安裝有DMD控制板。

結(jié)合第一方面，本實用新型實施例提供了第一方面的第六種可能的實施方式，其中，第一腔體為長方體。

結(jié)合第一方面的第六種可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第一方面的第七種可能的實施方式，其中，第二腔體為長方體，且第二腔體的高度低于第一腔體的高度。

結(jié)合第一方面及其可能的實施方式，本實用新型實施例提供了第一方面的第八種可能的實施方式，其中，第二腔體遠離第一腔體的一側(cè)壁設(shè)置有若干激光器接線插板。

激光器接線插板可以使激光器輸出端的光纖進入遮光罩，進而使由激光器發(fā)出的激光進入遮光罩內(nèi)的光路中。

第二方面，本實用新型實施例還提供了一種LDI光機系統(tǒng)，包括激光器、照明光路、成像鏡筒、聚焦組件以及第一方面及其可能的實施方式所述的遮光罩，照明光路、成像鏡筒、聚焦組件設(shè)于遮光罩內(nèi)，聚焦組件安裝在聚焦組件安裝底板上，且輸出口正對通光孔，激光器輸出端的光纖經(jīng)由激光器接線插板進入遮光罩內(nèi)，由激光器發(fā)出的激光依次進入照明光路和成像鏡筒，然后通過聚焦組件射出。

本實用新型實施例帶來了以下有益效果：

第一腔體固定于聚焦組件安裝底板和大理石龍門上，散熱孔加快了遮光罩內(nèi)外空氣的對流速度，既有利于散熱，又能使整個遮光罩內(nèi)保持正壓，進而避免了機臺內(nèi)部灰塵進入遮光罩內(nèi)并使其內(nèi)部的光學(xué)元件沾染灰塵；第二腔體設(shè)置的激光器接線插板既能有效地防塵，又能使激光通過光纖進入遮光罩內(nèi)以完成光刻工作；整體結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，實現(xiàn)了LDI光機系統(tǒng)的有效避光和防塵。

本實用新型的其他特征和優(yōu)點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本實用新型而了解。本實用新型的目的和其他優(yōu)點在說明書、權(quán)利要求書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)和獲得。

為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細說明如下。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對具體實施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實用新型的一些實施方式，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例1提供的LDI光機系統(tǒng)遮光罩的第一立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型實施例1提供的LDI光機系統(tǒng)遮光罩的第二立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型實施例1提供的LDI光機系統(tǒng)遮光罩的仰視圖；

圖4為本實用新型實施例2提供的LDI光機系統(tǒng)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型實施例2提供的LDI光機系統(tǒng)中的激光路徑示意圖。

圖標(biāo)：1-遮光罩；11-第一腔體；111-散熱孔；12-第二腔體；121-激光器接線插板；1211-光纖孔；2-聚焦組件安裝底板；21-通光孔；3-大理石龍門；41-DMD控制板支架；42-DMD控制板；5-激光器；51-光纖；6-照明光路；7-成像鏡筒；8-聚焦組件。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本實用新型的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

目前現(xiàn)有LDI光機系統(tǒng)存在僅能部分避光不能有效防塵的技術(shù)問題，基于此，本實用新型實施例提供的LDI光機系統(tǒng)及其遮光罩，可以實現(xiàn)LDI光機系統(tǒng)的有效避光和防塵。

為便于對本實施例進行理解，首先對本實用新型實施例所公開的一種LDI光機系統(tǒng)遮光罩進行詳細介紹。

實施例1：

如圖1和圖2所示，本實用新型實施例提供了一種LDI光機系統(tǒng)遮光罩，包括第一腔體11和第二腔體12，第一腔體11固設(shè)于聚焦組件安裝底板2之上，聚焦組件安裝底板2開設(shè)有通光孔21，如圖3所示，第一腔體11通過通光孔21連通外部，第一腔體11的一對側(cè)壁開設(shè)有固定孔，并通過固定孔與大理石龍門3固定，第一腔體11至少開設(shè)有一個散熱孔111，散熱孔111平行且高于固定孔；第二腔體12與第一腔體11連通，并位于第一腔體11中固定孔所在側(cè)壁的鄰側(cè)壁，且第二腔體12的一側(cè)壁設(shè)置有若干激光器接線插板121。

第一腔體11固定于聚焦組件8安裝底板和大理石龍門3上，散熱孔111加快了遮光罩1內(nèi)外空氣的對流速度，既有利于散熱，又能使整個遮光罩1內(nèi)保持正壓，進而避免了機臺內(nèi)部灰塵進入遮光罩1內(nèi)并使其內(nèi)部的光學(xué)元件沾染灰塵；第二腔體12設(shè)置的激光器接線插板121既能有效地防塵，又能使激光通過光纖進入遮光罩1內(nèi)以完成光刻工作；整體結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，實現(xiàn)了LDI光機系統(tǒng)的有效避光和防塵。

作為本實用新型的一種優(yōu)選實施方式，第一腔體11開設(shè)有固定孔的一對側(cè)壁均開設(shè)有平行于固定孔的散熱孔111，兩散熱孔111相對設(shè)置，且均高于大理石龍門3并安裝有排風(fēng)扇.

本實施方式可以加快遮光罩1內(nèi)部氣體與外部氣體的對流速度，同時使遮光罩1內(nèi)部保持正壓，進而保證機臺內(nèi)部的灰塵不會進入遮光罩1內(nèi)，使遮光罩1內(nèi)的各個光學(xué)器件始終處于潔凈度較高的環(huán)境，防止LDI光機系統(tǒng)因為某個或某些光學(xué)器件因沾染灰塵而降低光刻精度。

本實施例中，第一腔體11遠離第二腔體12的一側(cè)設(shè)有數(shù)字微鏡(Digital Micromirror Device，簡稱DMD)控制板支架41，DMD控制板支架41的頂端設(shè)有一折彎，折彎背離第一腔體11，折彎上安裝有DMD控制板42。第一腔體11的高度高于DMD控制板支架41的高度，而低于DMD控制板42的高度。

遮光罩1緊貼DMD控制板支架41，整體結(jié)構(gòu)簡單、緊湊、美觀。

作為本實用新型實施例的一種優(yōu)選實施方式，第一腔體11和第二腔體12均為長方體，第二腔體12的高度低于第一腔體11的高度，且第一腔體11和第二腔體12在平行于兩散熱孔111連線方向上同寬。

本實施方式的遮光罩1結(jié)構(gòu)簡單，不但易于加工，而且易于安裝。

本實施例各實施方式中第二腔體12遠離第一腔體11的一側(cè)壁設(shè)置有若干激光器接線插板121，激光器接線插板121、DMD控制板42以及通光孔21的個數(shù)相同，本實施例中三者的個數(shù)均為5。

激光器接線插板121包括可以沿第二腔體12側(cè)壁上下或左右移動的滑板，以及光纖孔1211，滑板沿第二腔體12側(cè)壁上下或左右移動以覆蓋或是露出光纖孔1211。本實施例中優(yōu)選滑板沿第二腔體12側(cè)壁上下移動，當(dāng)激光器接線插板121向上或向下推開時，露出設(shè)于第二腔體12側(cè)壁上的光纖孔1211。

當(dāng)需要連接激光器5，則將光纖51通過光纖孔1211伸入遮光罩1內(nèi)，進而使由激光器5發(fā)出的激光進入遮光罩1內(nèi)的光路中；當(dāng)不需要連接激光器5時，將光纖51移除，然后將激光器接線插板121復(fù)位以蓋住光纖孔1211，防止灰塵在光機系統(tǒng)非工作狀態(tài)時進入遮光罩1內(nèi)污染各個光學(xué)元件。

此外，本實施例各實施方式中遮光罩1的各部分在安裝固定過程中均通過乙烯醋酸乙烯酯共聚物(Ethylene Vinyl Acetate簡稱EVA)棉對各縫隙進行密封，保證了遮光罩1可以對LDI光機系統(tǒng)實現(xiàn)有效的遮光防塵。

實施例2：

如圖4和圖5所示，本實用新型實施例還提供了一種LDI光機系統(tǒng)，包括激光器5、照明光路6、成像鏡筒7、聚焦組件8以及實施例1中所述的遮光罩1，照明光路6、成像鏡筒7、聚焦組件8設(shè)于遮光罩1內(nèi)，聚焦組件8安裝于聚焦組件安裝底板2之上，且輸出口正對通光孔21，激光器5輸出端的光纖51經(jīng)由激光器接線插板121進入遮光罩1，由激光器5發(fā)出的激光依次進入照明光路6和成像鏡筒7，然后通過聚焦組件8射出。

聚焦組件8固設(shè)于聚焦組件安裝底板2上，將激光器接線插板121向上推開，漏出設(shè)于第二腔體12的光纖孔1211，然后將光纖51通過光纖孔1211伸入遮光罩1內(nèi)，進而使由激光器5發(fā)出的激光依次進入遮光罩1內(nèi)的照明光路6、成像鏡筒7，然后由聚焦組件8從通光孔21射出，并對工件進行光刻。光機系統(tǒng)工作完畢后可將光纖51移除，然后移動滑板，將光纖孔1211覆蓋，防止灰塵進入遮光罩1內(nèi)。

本實用新型實施例提供的LDI光機系統(tǒng)，與上述實施例提供的LDI光機系統(tǒng)遮光罩具有相同的技術(shù)特征，所以也能解決相同的技術(shù)問題，達到相同的技術(shù)效果。

所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以清楚地了解到，為描述的方便和簡潔，上述描述的系統(tǒng)和裝置的具體工作過程，可以參考前述方法實施例中的對應(yīng)過程，在此不再贅述。

另外，在本實用新型實施例的描述中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

最后應(yīng)說明的是：以上所述實施例，僅為本實用新型的具體實施方式，用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制，本實用新型的保護范圍并不局限于此，盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，其依然可以對前述實施例所記載的技術(shù)方案進行修改或可輕易想到變化，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改、變化或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型實施例技術(shù)方案的精神和范圍，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。