本實(shí)用新型屬于雙臺(tái)面直寫式曝光技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種雙臺(tái)面直寫曝光機(jī)。

背景技術(shù)：

目前雙臺(tái)面直寫光刻裝置的曝光系統(tǒng)和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)在布局上，中間都隔有一根橫梁，導(dǎo)致曝光系統(tǒng)中心和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)中心在掃描方向上的距離一般都相對(duì)較大，且曝光系統(tǒng)和對(duì)準(zhǔn)橫梁的空間一般都相對(duì)較??；這樣，由于距離大，不利于對(duì)準(zhǔn)和曝光的相對(duì)坐標(biāo)穩(wěn)定性；對(duì)準(zhǔn)后，移動(dòng)到曝光位置，空行程較大，不利于產(chǎn)能；裝配曝光系統(tǒng)的空間小，不利于裝配等。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種雙臺(tái)面直寫曝光機(jī)。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種雙臺(tái)面直寫曝光機(jī)，包括掃描平臺(tái)、用于設(shè)置曝光機(jī)構(gòu)的曝光橫梁、用于設(shè)置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)的對(duì)準(zhǔn)橫梁，所述曝光橫梁、對(duì)準(zhǔn)橫梁從左向右依次設(shè)置，所述掃描平臺(tái)設(shè)置在位于曝光橫梁和對(duì)準(zhǔn)橫梁下方的運(yùn)動(dòng)軌道上，所述曝光橫梁用于設(shè)置曝光機(jī)構(gòu)的固定面與對(duì)準(zhǔn)橫梁用于設(shè)置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)的固定面在掃描方向上相對(duì)設(shè)置。

上述方案中，所述曝光橫梁相對(duì)于對(duì)準(zhǔn)橫梁反向布局設(shè)置。

上述方案中，所述曝光機(jī)構(gòu)和對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)錯(cuò)位設(shè)置。

上述方案中，所述曝光橫梁、對(duì)準(zhǔn)橫梁均通過固定件設(shè)置在基面上方，所述運(yùn)動(dòng)軌道設(shè)置在基面上方并且位于固定件之間。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果：

本實(shí)用新型能夠有利于對(duì)準(zhǔn)和曝光的相對(duì)坐標(biāo)穩(wěn)定性、有利于曝光產(chǎn)能、有利于曝光機(jī)構(gòu)和對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)的裝配、能夠減少對(duì)準(zhǔn)后移動(dòng)到曝光位置的空行程。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種雙臺(tái)面直寫曝光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的俯視圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種雙臺(tái)面直寫曝光機(jī)，如圖1、2所示，包括掃描平臺(tái)1、用于設(shè)置曝光機(jī)構(gòu)2的曝光橫梁4、用于設(shè)置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3的對(duì)準(zhǔn)橫梁5，所述曝光橫梁4、對(duì)準(zhǔn)橫梁5從左向右依次設(shè)置，所述掃描平臺(tái)1設(shè)置在位于曝光橫梁4和對(duì)準(zhǔn)橫梁5下方的運(yùn)動(dòng)軌道6上；所述曝光橫梁4用于設(shè)置曝光機(jī)構(gòu)2的固定面與對(duì)準(zhǔn)橫梁5用于設(shè)置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3的固定面在掃描方向上相對(duì)設(shè)置，通過這樣的設(shè)置，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，所述曝光機(jī)構(gòu)2與對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3之間的中心距離減小，有利于對(duì)準(zhǔn)和曝光的相對(duì)坐標(biāo)穩(wěn)定性。

進(jìn)一步地，由于所述曝光橫梁4用于設(shè)置曝光機(jī)構(gòu)2的固定面與對(duì)準(zhǔn)橫梁5用于設(shè)置對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3的固定面在掃描方向上相對(duì)設(shè)置，所述曝光橫梁4與對(duì)準(zhǔn)橫梁5之間間隙的間距較大，這樣，所述曝光機(jī)構(gòu)2與對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3安裝在該間隙內(nèi)，在裝配時(shí)，能夠?qū)⑵毓鈾C(jī)構(gòu)2和對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3錯(cuò)位安裝，即安裝某一個(gè)機(jī)構(gòu)時(shí)，將另一個(gè)機(jī)構(gòu)移至另一側(cè)，利用空間進(jìn)行裝配作業(yè)。

所述曝光橫梁4相對(duì)于對(duì)準(zhǔn)橫梁5反向布局設(shè)置，這樣，所述曝光機(jī)構(gòu)2與對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3在兩根橫梁之間，從而使得所述曝光機(jī)構(gòu)2與對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3在行程中互不干擾，兩者之間的中心距離能夠盡量減小，有利于對(duì)準(zhǔn)和曝光的相對(duì)坐標(biāo)穩(wěn)定性。

所述曝光機(jī)構(gòu)2與對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3之間的中心距離較小，使得所述掃描平臺(tái)1在對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3下方對(duì)準(zhǔn)之后，再沿運(yùn)動(dòng)軌道6移動(dòng)到曝光機(jī)構(gòu)2進(jìn)行曝光的空行程減少，優(yōu)化了空行程較大的問題。

所述曝光機(jī)構(gòu)2和對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3錯(cuò)位設(shè)置。

所述掃描平臺(tái)1、曝光橫梁4、對(duì)準(zhǔn)橫梁5均通過固定件設(shè)置在基面上方，所述運(yùn)動(dòng)軌道6設(shè)置在基面上方并且位于固定件之間。

具體地，所述曝光橫梁4、對(duì)準(zhǔn)橫梁5的左右兩端均通過固定件固定在基面上方，所述運(yùn)動(dòng)軌道6位于曝光橫梁4兩端的兩個(gè)固定件之間間隙、以及對(duì)準(zhǔn)橫梁5兩端的兩個(gè)固定件之間間隙，使得所述掃描平臺(tái)1沿運(yùn)行軌道順暢地進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。

所述基面為支撐座或者支架的臺(tái)面，用于確保裝置的穩(wěn)定。

以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。