本實用新型涉及半導體制備領域，更具體地，涉及一種用于光刻機上的真空檢測裝置。

背景技術：

真空檢測裝置在光刻機傳片、傳版以及各移動平臺部分具有重要的作用。

圖1示出現(xiàn)有技術的用于光刻機上的真空檢測裝置的結(jié)構(gòu)圖，其包括真空導管110、模擬真空壓力傳感器120以及比較模塊130，真空導管110一端與光刻機的吸附裝置連接，另一端連接至模擬真空壓力傳感器120，模擬真空壓力傳感器120再與比較模塊130連接，比較模塊130與光刻機的信號接收模塊140相連接。模擬真空壓力傳感器120將真空導管110內(nèi)的真空度轉(zhuǎn)化為電壓信號，將電壓信號輸入至比較模塊130，比較模塊130內(nèi)預設一個參考電壓，當上述電壓信號大于參考電壓時，比較模塊130輸出高電平，并將高電平的電壓信號輸入至光刻機的信號接收模塊140；當上述電壓信號低于參考電壓時，比較模塊130輸出低電平，并將低電平的電壓信號輸入至光刻機的信號接收模塊140。

此真空檢測裝置可配合檢測光刻機的吸附裝置上是否吸附有掩膜板或硅片。在實際使用中，參考電壓例如是2.4V，當模擬真空壓力傳感器120輸出電壓達2.4V時，光刻機的信號接收模塊140接收到高電平，設備識別到吸附裝置上有掩膜板或硅片；當模擬真空壓力傳感器120輸出電壓低于2.4V時，光刻機的信號接收模塊140接收到低電平，設備識別到吸附裝置上無掩膜板或硅片。

根據(jù)以上真空檢測裝置，在出現(xiàn)真空異常時，需要使用萬用表等測試儀器檢測其輸出電壓大小來判別異常點。同時，由于使用判斷電壓大小方式檢測真空是否有無，當模擬真空壓力傳感器120輸出電壓在2.4V以上波動時，并不能監(jiān)控出真空變化。因此，這種方式在實際應用中存在檢測繁瑣，不易監(jiān)控、真空波動不能準確檢測以及不易判別是否是傳感器故障還是設備故障等缺點。

期望對真空檢測裝置的結(jié)構(gòu)作進一步優(yōu)化。

技術實現(xiàn)要素：

鑒于上述問題，本實用新型的目的在于提供一種用于光刻機上的真空檢測裝置，能實現(xiàn)對光刻機上的吸附裝置更準確的真空檢測。

根據(jù)本實用新型提供的一種用于光刻機上的真空檢測裝置，包括：真空導管，與光刻機的吸附裝置連接；以及數(shù)字真空壓力傳感器，包括真空輸入口與信號輸出端，所述真空輸入口與所述真空導管連接，所述信號輸出端直接與所述光刻機的信號接收模塊相連接。

優(yōu)選地，所述信號輸出端輸出第一電平或第二電平，所述第一電平對應所述真空輸入口的真空度高于預定真空度，所述吸附裝置吸附有掩膜版或硅片；所述第二電平對應所述真空輸入口的真空度低于所述預定真空度，所述吸附裝置未吸附掩膜版或硅片。

優(yōu)選地，所述預定真空度對應于所述吸附裝置吸附有掩膜版或硅片時所述真空輸入口的真空度。

優(yōu)選地，所述第一電平為高電平，所述第二電平為低電平。

優(yōu)選地，所述數(shù)字真空壓力傳感器還包括顯示裝置，用于顯示所述真空輸入口的真空度信息。

優(yōu)選地，所述第一電平對應所述顯示裝置顯示的第一數(shù)值，所述第二電平對應所述顯示裝置顯示的第二數(shù)值。

優(yōu)選地，所述第一數(shù)值為所述真空輸入口的真空度與所述預定真空度之間的差值，所述第二數(shù)值為0。

優(yōu)選地，所述顯示裝置還顯示所述預定真空度的數(shù)值。

優(yōu)選地，所述數(shù)字真空壓力傳感器還包括第一指示燈和第二指示燈，所述第一指示燈對應指示所述信號輸出端輸出的所述第一電平，所述第二指示燈對應指示所述信號輸出端輸出的所述第二電平。

優(yōu)選地，該真空檢測裝置還包括：抽真空設備；抽真空管，所述抽真空設備通過所述抽真空管與所述吸附裝置連接。

根據(jù)本實用新型的用于光刻機上的真空檢測裝置，采用數(shù)字真空壓力傳感器代替現(xiàn)有的模擬真空壓力傳感器，并將數(shù)字真空壓力傳感器的信號輸出端直接與光刻機的信號接收模塊相連接，省去了傳統(tǒng)真空檢測裝置上設置的比較模塊，其結(jié)構(gòu)更精簡，并且對光刻機的吸附裝置的真空檢測的靈敏度更高，檢測結(jié)果更準確。

在優(yōu)選的實施例中，所述數(shù)字真空壓力傳感器還包括顯示裝置，其用于顯示所述真空輸入口的真空度信息，其一方面方便設置用于參考的預定真空度，另一方面便于讀取真空度的大小，能直觀判斷真空判定結(jié)果。并且。通過多次檢測，記錄光刻機的吸附裝置的真空度的變化趨勢，便于對光刻機以及真空檢測裝置的提前維護。

附圖說明

通過以下參照附圖對本實用新型實施例的描述，本實用新型的上述以及其他目的、特征和優(yōu)點將更為清楚，在附圖中：

圖1示出現(xiàn)有技術的用于光刻機上的真空檢測裝置的結(jié)構(gòu)圖。

圖2示出根據(jù)本實用新型一個實施例的用于光刻機上的真空檢測裝置的結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式

以下將參照附圖更詳細地描述本實用新型。為了清楚起見，附圖中的各個部分沒有按比例繪制。此外，可能未示出某些公知的部分。在下文中描述了本實用新型的許多特定的細節(jié)，但正如本領域的技術人員能夠理解的那樣，可以不按照這些特定的細節(jié)來實現(xiàn)本實用新型。

應當理解，在描述部件的結(jié)構(gòu)時，當將一層、一個區(qū)域稱為位于另一層、另一個區(qū)域“上面”或“上方”時，可以指直接位于另一層、另一個區(qū)域上面，或者在其與另一層、另一個區(qū)域之間還包含其它的層或區(qū)域。并且，如果將部件翻轉(zhuǎn)，該一層、一個區(qū)域?qū)⑽挥诹硪粚?、另一個區(qū)域“下面”或“下方”。

本實用新型提供一種用于光刻機上的真空檢測裝置，圖2示出根據(jù)本實用新型一個實施例的用于光刻機上的真空檢測裝置的結(jié)構(gòu)圖。

真空檢測裝置包括：真空導管210以及數(shù)字真空壓力傳感器250。真空導管210與光刻機的吸附裝置(圖中未繪示)連接，數(shù)字真空壓力傳感器250包括真空輸入口251與信號輸出端252，真空輸入口251與真空導管210連接，信號輸出端252直接與光刻機的信號接收模塊240相連接。其中，信號輸出端252輸出第一電平或第二電平，信號輸出端252輸出第一電平對應于所述真空輸入口251的真空度高于預定真空度，信號輸出端252輸出第二電平對應于所述真空輸入口251的真空度低于該預定真空度。在下文中，以第一電平為高電平、第二電平為低電平進行說明。

根據(jù)本實施例的真空檢測裝置，數(shù)字真空壓力傳感器250還可以包括兩個指示燈253，分別用于對應指示所述信號輸出端252輸出的所述高電平和所述低電平。本實施例中，所述兩個指示燈253包括第一指示燈和第二指示燈，其中第一指示燈對應指示所述信號輸出端252輸出的所述高電平，第二指示燈對應指示所述信號輸出端252輸出的所述低電平，優(yōu)選第一指示燈與第二指示燈顯示顏色不同。第一指示燈可以顯示綠色，而第二指示燈可以顯示紅色。可以理解的是，數(shù)字真空壓力傳感器250可以設置其他數(shù)目的指示燈來指示信號輸出端252輸出的電平信號，指示燈的顏色可以不同，也可以相同，只需對應標識其對應信號輸出端252輸出的電平信號即可，當指示燈顏色不同時，其顏色可以不限于綠色和紅色，也可以是其他顏色。

根據(jù)本實施例的真空檢測裝置，數(shù)字真空壓力傳感器250還可以包括顯示裝置254，其用于顯示真空輸入口251的真空度信息。顯示裝置254可以顯示第一數(shù)值和第二數(shù)值，所述高電平對應顯示裝置254顯示的第一數(shù)值，所述低電平對應顯示裝置254顯示的第二數(shù)值。顯示裝置254顯示的真空度信息例如是：當信號輸出端252輸出高電平時，顯示裝置254顯示真空輸入口251的真空度與所述預定真空度之間的差值；當信號輸出端252輸出低電平時，顯示裝置254顯示為0。另外，顯示裝置254還可以顯示所述預定真空度的數(shù)值。通過對顯示裝置254的應用，一方面能方便設置用于參考的預定真空度，另一方面也便于讀取真空度的大小，能直觀判斷真空判定結(jié)果。并且，通過多次檢測，記錄光刻機的吸附裝置真空度的變化趨勢，便于對光刻機以及真空檢測裝置的提前維護。

進一步地，真空檢測裝置還可以包括：抽真空設備以及抽真空管，所述抽真空設備通過所述抽真空管與光刻機的吸附裝置連接。抽真空管上可以設置電磁閥，抽真空設備、抽真空管以及電磁閥共同配合用于對光刻機的吸附裝置抽真空。

本實用新型的真空檢測裝置可配合檢測光刻機的吸附裝置上是否吸附有掩膜板或硅片，當所述光刻機的吸附裝置為掩膜版或硅片的吸附裝置時，可以設置所述預定真空度對應于所述吸附裝置吸附有掩膜版或硅片時所述真空輸入口251的真空度。

在上述真空檢測裝置的實際應用中，其具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，其中在第一狀態(tài)中，所述吸附裝置吸附有掩膜版或硅片，則信號輸出端252輸出所述高電平；在第二狀態(tài)中，所述吸附裝置未吸附掩膜版或硅片，信號輸出端252輸出所述低電平。相應地，通過判斷光刻機的信號接收模塊240接收到的是高電平，可以說明所述吸附裝置吸附有掩膜版或硅片，而光刻機的信號接收模塊240接收到的是低電平時，可以說明所述吸附裝置未吸附掩膜版或硅片。

值得說明的是，本實用新型的真空檢測裝置相對于傳統(tǒng)的真空檢測裝置具有檢測靈敏度更高、檢測結(jié)果更準確、便于設置用于參考的預定真空度、便于讀取真空度的大小、方便對光刻機以及真空檢測裝置的提前維護等優(yōu)點，并且，本實用新型的實現(xiàn)形式可以是例如圖1現(xiàn)有技術的真空檢測裝置經(jīng)過一些改進之后得到，以下將對上述改進方法進行說明。

首先，開啟抽真空裝置以及抽真空管上的電磁閥，將硅片或掩膜版置于光刻機的吸附裝置上，采用萬用表測試此時模擬真空壓力傳感器輸出的電壓值，保證電壓在2.4V以上且光刻機的信號接收模塊檢測到真空的信號。接著關閉抽真空裝置以及抽真空管上的電磁閥，將模擬真空壓力傳感器以及比較模塊拆除。再接著將對應的真空導管連接到數(shù)字真空壓力傳感器的真空輸入端上，并且將數(shù)字真空壓力傳感器的信號輸出端與光刻機的信號接收模塊直接連接。之后，開啟抽真空裝置以及抽真空管上的電磁閥，將硅片或掩膜版置于光刻機的吸附裝置上，在數(shù)字真空壓力傳感器上讀取此時的真空度，該真空度設置為真空檢測閾值，即上文中的所述預定真空度。此后的檢測過程中，數(shù)字真空壓力傳感器檢測到的真空度大于所述預定真空度時，光刻機的信號接收模塊檢測到有真空信號；數(shù)字真空壓力傳感器檢測到的真空度小于所述預定真空度時，光刻機的信號接收模塊檢測到無真空信號。

根據(jù)本實用新型的真空檢測裝置，采用數(shù)字真空壓力傳感器代替現(xiàn)有的模擬真空壓力傳感器，并將數(shù)字真空壓力傳感器的信號輸出端直接與光刻機的信號接收模塊相連接，省去了傳統(tǒng)真空檢測裝置上設置的比較模塊，其結(jié)構(gòu)更精簡，并且對光刻機的吸附裝置的真空檢測的靈敏度更高，檢測結(jié)果更準確。

另外，數(shù)字真空壓力傳感器還包括顯示裝置，其用于顯示所述真空輸入口的真空度，其一方面方便設置用于參考的預定真空度，另一方面便于讀取真空度的大小，能直觀判斷真空判定結(jié)果。并且。通過多次檢測，記錄光刻機的吸附裝置真空度的變化趨勢，便于對光刻機以及真空檢測裝置的提前維護。

需要說明的是，在本實施例附圖中示出了數(shù)字真空壓力傳感器250的形狀、真空輸入口251、信號輸出端252、顯示裝置254、指示燈253等部件的位置，實際實施例可以不限于此，以真空輸入口251為例，本實施例的附圖中其位于數(shù)字真空壓力傳感器250的一側(cè)，在替代的實施例中，也可以將真空輸入口251設置在數(shù)字真空壓力傳感器250的背面。

應當說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關系術語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且，術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設備中還存在另外的相同要素。

依照本實用新型的實施例如上文所述，這些實施例并沒有詳盡敘述所有的細節(jié)，也不限制該實用新型僅為所述的具體實施例。顯然，根據(jù)以上描述，可作很多的修改和變化。本說明書選取并具體描述這些實施例，是為了更好地解釋本實用新型的原理和實際應用，從而使所屬技術領域技術人員能很好地利用本實用新型以及在本實用新型基礎上的修改使用。本實用新型僅受權利要求書及其全部范圍和等效物的限制。