本發(fā)明涉及圖案形成方法和使用其制造的電子設(shè)備，詳細(xì)而言，涉及能夠得到抗蝕膜的各層間的密合性優(yōu)異、賦予高精細(xì)的圖案、阻氣性和耐溶劑性高的層疊體的圖案形成方法以及使用其制造的電子設(shè)備。在光刻法、絲網(wǎng)印刷中，已知的是，通過對抗蝕層進(jìn)行圖案化而得到各種電子設(shè)備。例如，專利文獻(xiàn)1公開了在基板上依次層疊有抗蝕膜、水溶性高分子膜、抗蝕膜的圖案形成用抗蝕結(jié)構(gòu)，專利文獻(xiàn)2公開了對下層抗蝕層進(jìn)行表面處理后再形成上層抗蝕層的抗蝕圖案形成方法，專利文獻(xiàn)3和4公開了由光學(xué)硬度不同的黑色感光性樹脂組合物的涂膜形成的黑色矩陣?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本特開平6-326018號公報(bào)專利文獻(xiàn)2：日本特開平6-349728號公報(bào)專利文獻(xiàn)3：日本特開2014-157179號公報(bào)專利文獻(xiàn)4：國際公開2014/203794號單行本技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：發(fā)明要解決的問題然而，利用專利文獻(xiàn)1～4提出的方法形成的抗蝕圖案的現(xiàn)狀是：各抗蝕層間的密合性不充分或者無法獲得微細(xì)圖案，不一定令人滿意，尋求今后改善。因而，本發(fā)明的目的在于，提供能夠得到抗蝕膜的各層間的密合性優(yōu)異、賦予高精細(xì)的圖案、阻氣性和耐溶劑性高的層疊體的圖案形成方法以及使用其制造的電子設(shè)備。用于解決問題的方案本發(fā)明人等為了消除上述課題而進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)：通過制成下述構(gòu)成，能夠消除上述課題，從而完成了本發(fā)明。即，本發(fā)明的圖案形成方法的特征在于，其包括：使用組合物在支承體上形成膜的工序(1)；對前述膜的規(guī)定部分照射活性能量射線而使規(guī)定部分的顯影性發(fā)生變化的曝光工序(2)；以及，將前述膜進(jìn)行顯影而得到圖案的顯影工序(3)，將前述工序(1)～(3)反復(fù)多次，作為前述組合物，使用對于顯影液的溶解性彼此不同的多種組合物，所得圖案具有多層結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的圖案形成方法中，前述多層結(jié)構(gòu)的最上層優(yōu)選由水顯影性感光性組合物、有機(jī)溶劑顯影性感光性組合物或堿顯影性感光性組合物得到。此外，本發(fā)明的圖案形成方法中，優(yōu)選的是，前述多種組合物為選自由水溶解性組合物、有機(jī)溶劑溶解性組合物、堿溶解性組合物、水顯影性感光性組合物、有機(jī)溶劑顯影性感光性組合物和堿顯影性感光性組合物組成的組中的至少2種，至少最上層使用感光性組合物。進(jìn)而，本發(fā)明的圖案形成方法中，優(yōu)選的是，前述工序(1)是在支承體上涂布包含水溶解性組合物或水顯影性感光性組合物的下層，接著涂布包含堿顯影性感光性組合物或有機(jī)溶劑顯影性感光性組合物的上層的工序，前述工序(3)是將前述上層進(jìn)行顯影或溶解而得到圖案的顯影工序、和接著將前述下層進(jìn)行顯影或溶解而得到圖案的顯影工序；或者，前述工序(1)是在支承體上涂布包含水溶解性組合物或水顯影性感光性組合物的下層，接著涂布包含堿顯影性感光性組合物或有機(jī)溶劑顯影性感光性組合物的上層的工序，前述工序(3)是將前述上層進(jìn)行顯影或溶解而得到圖案的顯影工序、和接著將前述下層進(jìn)行顯影或溶解而得到圖案的顯影工序。此外，本發(fā)明的圖案形成方法中，優(yōu)選的是，在前述工序(1)與前述工序(2)之間、和/或、前述工序(3)之后具有加熱工序。此外，本發(fā)明的圖案形成方法中，優(yōu)選的是，前述水溶解性組合物含有粘結(jié)劑樹脂和水，前述有機(jī)溶劑溶解性組合物含有粘結(jié)劑樹脂和有機(jī)溶劑，前述水溶解性組合物和前述有機(jī)溶劑溶解性組合物中的至少一者還含有交聯(lián)劑，前述交聯(lián)劑為噁唑啉化合物或碳二亞胺化合物，前述有機(jī)溶劑顯影性感光性組合物含有聚合引發(fā)劑、且含有自由基聚合性化合物或陽離子聚合性化合物，前述堿顯影性感光性組合物至少包含聚合引發(fā)劑、溶劑、以及具有堿顯影性的粘結(jié)劑樹脂，前述水顯影性感光性組合物包含水和具有感光性基團(tuán)的水溶性聚合物。進(jìn)而，本發(fā)明的圖案形成方法中，前述活性能量射線的能量優(yōu)選為0.1～500000mj/cm2，優(yōu)選的是，將所得圖案的多層結(jié)構(gòu)的膜厚設(shè)為0.1～1000μm、線寬設(shè)為1～1000μm、間隔設(shè)為1～1000μm。此外，本發(fā)明的圖案形成方法中，優(yōu)選的是，將前述上層與前述下層的膜厚比設(shè)為0.1:99.9～99.9:0.1。本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，其具有通過本發(fā)明的圖案形成方法形成的圖案。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供可得到抗蝕膜的各層間的密合性優(yōu)異、賦予高精細(xì)的圖案、阻氣性和耐溶劑性高的層疊體的圖案形成方法以及使用其制造的電子設(shè)備。附圖說明圖1是通過本發(fā)明的圖案形成方法制造的2層結(jié)構(gòu)圖案的例子的示意截面圖，圖1的(a)是在基板上以大致相同的寬度層疊有第1層和第2層的圖案，圖1的(b)是在基板上將第1層和第2層層疊成錐(taper)形狀的圖案，圖1的(c)是在基板上將第1層和第2層層疊成倒錐(reversetaper)形狀的圖案。具體實(shí)施方式以下，針對本發(fā)明的圖案形成方法進(jìn)行詳細(xì)說明。本發(fā)明的圖案形成方法包括：使用組合物在支承體上形成膜的工序(1)；對所得膜的規(guī)定部分照射活性能量射線而使規(guī)定部分的顯影性發(fā)生變化的曝光工序(2)；以及，將膜進(jìn)行顯影而得到圖案的顯影工序(3)。本發(fā)明的圖案的形成方法中，作為組合物，使用對于顯影液的溶解性彼此不同的多種組合物，所得圖案具有多層結(jié)構(gòu)。作為本發(fā)明的一個(gè)適合實(shí)施方式，作為工序(1)，將包含對于顯影液的溶解性彼此不同的多種組合物的層在支承體上涂布一層后，進(jìn)行干燥，重復(fù)該操作，進(jìn)行涂布，接著，作為工序(2)，對膜的規(guī)定部分照射活性能量射線并曝光，進(jìn)而作為工序(3)，用多種顯影液對膜進(jìn)行反復(fù)處理。此外，作為本發(fā)明的圖案形成方法的其它實(shí)施方式，將進(jìn)行工序(1)、工序(2)和工序(3)的一系列流程反復(fù)多次，上述一系列流程中的每次，工序(1)中的組合物的對于顯影液的溶解性彼此不同，上述一系列流程中的每次，工序(3)中用于顯影的顯影液彼此不同。進(jìn)而，作為本發(fā)明的圖案形成方法的其它實(shí)施方式，作為工序(1)，將包含組合物的下層涂布在支承體上，然后進(jìn)行干燥，接著，作為上層，層疊由組合物得到的薄膜而形成膜，構(gòu)成上層和下層的組合物對于顯影液的溶解性彼此不同。接著，作為工序(2)，對膜的規(guī)定部分照射活性能量射線并曝光，進(jìn)而作為工序(3)，用多種顯影液對膜進(jìn)行反復(fù)處理。本發(fā)明的圖案形成方法中，在作為工序(1)形成膜之后、作為工序(2)使其曝光之前，作為預(yù)固化可以經(jīng)由加熱工序，或者，在作為工序(3)進(jìn)行顯影之后，作為后固化可以經(jīng)由加熱工序。關(guān)于加熱，除了在加熱板上承載層疊物并使其升溫的方法之外，還可以使用熱能頭、清潔烘箱等加熱裝置，存在接近方式、吸附方式、傳送方式等，此外，可以通過將它們組合來進(jìn)行。加熱優(yōu)選以50～200℃進(jìn)行數(shù)秒～1小時(shí)。作為為了形成膜而涂布組合物的方法，可以使用公知的方法，例如可以使用簾涂法、擠出涂布法、輥涂法、旋涂法、浸涂法、棒涂法、模涂機(jī)、簾式涂布機(jī)、噴霧涂布法、滑動(dòng)涂布法、刮板涂布法、凹版涂布法、印刷涂布法、氣刀涂布法、反向噴泉涂布法、靜電涂裝法等各種印刷、浸漬等公知手段。作為薄膜，可以使用在其它支承體上涂布組合物并使其干燥后，從支承體上剝離得到的薄膜，例如可以使用干式薄膜。作為支承體，可列舉出二醋酸纖維素、三醋酸纖維素(tac)、丙酸纖維素、丁酸纖維素、乙酸丙酸纖維素、硝基纖維素等纖維素酯；聚酰胺；聚碳酸酯；聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚對苯二甲酸-1,4-環(huán)己烷二甲醇酯、聚1,2-二苯氧基乙烷-4,4’-二羧酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯等聚酯；聚苯乙烯；聚乙烯、聚丙烯、聚甲基戊烯等聚烯烴；聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸系樹脂；聚碳酸酯；聚砜；聚醚砜；聚醚酮；聚醚酰亞胺；聚氧乙烯、降冰片烯樹脂等高分子材料、以及金屬、木材、橡膠、塑料、鈉玻璃、石英玻璃、陶瓷制品、紙、帆布、半導(dǎo)體基板等。本發(fā)明中，作為組合物，可以使用溶劑溶解性組合物、堿溶解性組合物、溶劑顯影性感光性組合物或堿顯影性感光性組合物，至少最上層使用感光性組合物。本發(fā)明中，溶劑溶解性組合物含有粘結(jié)劑樹脂、以及根據(jù)需要的后述自由基聚合性化合物和/或溶劑。作為粘結(jié)劑樹脂，可列舉出例如聚乙烯、聚丙烯、聚異丁烯等聚烯烴系聚合物；聚丁二烯、聚異戊二烯等二烯系聚合物；聚乙炔系聚合物、聚亞苯基系聚合物等具有共軛多烯結(jié)構(gòu)的聚合物；聚氯乙烯、聚苯乙烯、乙酸乙烯酯、聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚丙烯酸酯、聚丙烯酰胺、聚丙烯腈、聚乙烯基苯酚等乙烯基聚合物；聚苯醚、聚環(huán)氧乙烷、聚氧雜環(huán)丁烷、聚四氫呋喃、聚醚酮、聚醚醚酮、聚縮醛等聚醚；酚醛清漆樹脂、甲階酚醛樹脂等酚醛樹脂；聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸酚酞酯、聚碳酸酯、醇酸樹脂、不飽和聚酯樹脂等聚酯；尼龍-6、尼龍66、水溶性尼龍、聚亞苯基酰胺等聚酰胺；明膠蛋白、酪蛋白等多肽；酚醛清漆環(huán)氧樹脂、雙酚環(huán)氧樹脂、酚醛清漆環(huán)氧丙烯酸酯、以及基于酸酐的改性樹脂等環(huán)氧樹脂及其改性物；聚氨基甲酸酯、聚酰亞胺、三聚氰胺樹脂、脲樹脂、聚咪唑、聚噁唑、聚吡咯、聚苯胺、聚硫化物、聚砜、纖維素類等。粘結(jié)劑樹脂的基于凝膠滲透色譜(gpc)的聚苯乙烯換算重均分子量(mw)通常為1,000～500,000、優(yōu)選為2,000～200,000、進(jìn)一步優(yōu)選為3,000～100,000。此時(shí)，粘結(jié)劑樹脂的mw低于1,500時(shí)，存在膜的耐熱性降低的傾向，另一方面，超過300,000時(shí)，存在膜的顯影性、涂布性降低的傾向。作為溶劑，可列舉出例如甲乙酮、甲基戊基酮、二乙酮、丙酮、甲基異丙基酮、甲基異丁基酮、環(huán)戊酮、環(huán)己酮、異佛爾酮等酮類；乙醚、二噁烷、四氫呋喃、1,2-二甲氧基乙烷、1,2-二乙氧基乙烷、二丙二醇二甲醚等醚系；乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯等酯系；琥珀酸二甲酯、琥珀酸二乙酯、己二酸二甲酯、己二酸二乙酯、戊二酸二甲酯、戊二酸二乙酯等二元酸酯；乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚乙酸酯(pgmea)、乙酸溶纖劑等溶纖劑系；甲醇、乙醇、異丙醇或正丙醇、異丁醇或正丁醇、戊醇、丙酮醇等醇系；乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯等醚酯系；苯、甲苯、二甲苯等btx系；己烷、庚烷、辛烷、環(huán)己烷等脂肪族烴系；松節(jié)油、d-檸檬烯、蒎烯等萜烯系烴油；礦油精、swasol#310(cosmomatsuyamaoilco.,ltd.)、solvesso#100(exxonmobilchemical公司)等鏈烷烴系；四氯化碳、氯仿、三氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯乙烷等鹵代脂肪族烴系；氯苯等鹵代芳香族烴系；n,n-二甲基甲酰胺、n-甲基吡咯烷酮、二甲基亞砜等非質(zhì)子性極性溶劑；二烷基酰胺、卡必醇系、苯胺、三乙胺、吡啶、乙酸、乙腈、二硫化碳、水等，這些溶劑可以使用1種，或者以2種以上的混合溶劑的形式使用。在溶劑溶解性組合物中，針對溶劑為水的水溶解性組合物，作為粘結(jié)劑樹脂，優(yōu)選使用水溶性聚合物。作為水溶性聚合物，可列舉出聚乙烯醇、用硅烷醇基等進(jìn)行了改性的聚乙烯醇衍生物、氧化淀粉、經(jīng)醚化/酯化/接枝化的改性淀粉、明膠蛋白/酪蛋白/羧甲基纖維素等纖維素衍生物、聚乙烯吡咯烷酮、水溶性聚酯樹脂、丙烯酸2-羥基丙酯聚合物、丙烯酸4-羥基丁酯聚合物等水溶性聚丙烯酸酯樹脂、水溶性聚碳酸酯樹脂、水溶性聚乙酸乙烯酯樹脂、水溶性苯乙烯丙烯酸酯樹脂、水溶性乙烯基甲苯丙烯酸酯樹脂、水溶性聚氨基甲酸酯樹脂、聚乙烯基酰胺/聚丙烯酰胺、改性丙烯酰胺等水溶性聚酰胺樹脂、水溶性脲樹脂、水溶性聚己內(nèi)酯樹脂、水溶性聚苯乙烯樹脂、水溶性聚氯乙烯樹脂、水溶性聚丙烯酸酯樹脂、水溶性聚丙烯腈樹脂等水溶性樹脂和苯乙烯/丁二烯共聚物、丙烯酸酯共聚物、聚乙酸乙烯酯、乙烯/乙酸乙烯酯共聚物等水溶性聚合物。作為水溶性聚合物，可以使用市售品，可列舉出例如gohsenol系列、gohsenxz系列、nichigog-polymer(日本合成化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制)；biosurfine-awp(東洋合成工業(yè)株式會(huì)社制)；sumikagel系列(住友化學(xué)株式會(huì)社制)；jurimer系列(東亞合成株式會(huì)社制)；aquaricl系列(日本觸媒株式會(huì)社制)；pitzcol系列(第一工業(yè)制藥株式會(huì)社制)；aqnylon系列(東麗株式會(huì)社制)；kuraraypoval(kurarayco.,ltd.制)；sp-1200、sp-1400、sp-7000、aquasol系列、sp-8305、onepot系列、msp-2、sp-pro(murakamico.,ltd.制造的感光材料)等。作為溶劑溶解性組合物，也可以使用含有自由基聚合性化合物、自由基聚合引發(fā)劑且根據(jù)需要含有溶劑的組合物，聚合引發(fā)劑為熱自由基聚合引發(fā)劑時(shí)，通過加熱而進(jìn)行聚合反應(yīng)，從而形成膜。聚合引發(fā)劑為光自由基聚合引發(fā)劑時(shí)，形成溶劑顯影性感光性組合物，通過照射活性能量射線而進(jìn)行聚合反應(yīng)，從而形成膜。作為自由基聚合性化合物，沒有特別限定，可以使用以往使用的化合物，可列舉出例如乙烯、丙烯、丁烯、異丁烯、氯乙烯、偏二氯乙烯、偏二氟乙烯、四氟乙烯等不飽和脂肪族烴；(甲基)丙烯酸、α-氯丙烯酸、衣康酸、馬來酸、檸康酸、富馬酸、himic酸、巴豆酸、異巴豆酸、乙烯基乙酸、烯丙基乙酸、肉桂酸、山梨酸、中康酸、琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯]、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯]、ω-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯等在兩末端具有羧基和羥基的聚合物的單(甲基)丙烯酸酯；羥基乙基(甲基)丙烯酸酯/馬來酸酯、羥基丙基(甲基)丙烯酸酯/馬來酸酯、二環(huán)戊二烯/馬來酸酯、或者具有1個(gè)羧基和2個(gè)以上的(甲基)丙烯?；亩喙倌?甲基)丙烯酸酯等不飽和多元酸；(甲基)丙烯酸-2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、下述化合物no.a1～no.a4、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸正辛酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸異壬酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基甲酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸氨基丙酯、(甲基)丙烯酸二甲氨基丙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸聚(乙氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯、(甲基)丙烯酸乙烯酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸芐酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三環(huán)癸烷二羥甲基二(甲基)丙烯酸酯、三[(甲基)丙烯?；一鵠異氰脲酸酯、聚酯(甲基)丙烯酸酯低聚物等不飽和一元酸和多元醇或多元酚的酯；(甲基)丙烯酸鋅、(甲基)丙烯酸鎂等不飽和多元酸的金屬鹽；馬來酸酐、衣康酸酐、檸康酸酐、甲基四氫鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、三烷基四氫鄰苯二甲酸酐、5-(2,5-二氧四氫呋喃基)-3-甲基-3-環(huán)己烯-1,2-二羧酸酐、三烷基四氫鄰苯二甲酸酐-馬來酸酐加成物、十二碳烯基琥珀酸酐、甲基himic酸酐等不飽和多元酸的酸酐；(甲基)丙烯酰胺、亞甲基雙(甲基)丙烯酰胺、二亞乙基三胺三(甲基)丙烯酰胺、苯二甲基雙(甲基)丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、n-2-羥基乙基(甲基)丙烯酰胺等不飽和一元酸和多胺的酰胺；丙烯醛等不飽和醛；(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、亞乙烯基二氰、烯丙基氰等不飽和腈；苯乙烯、4-甲基苯乙烯、4-乙基苯乙烯、4-甲氧基苯乙烯、4-羥基苯乙烯、4-氯苯乙烯、二乙烯基苯、乙烯基甲苯、乙烯基苯甲酸、乙烯基苯酚、乙烯基磺酸、4-乙烯基苯磺酸、乙烯基芐基甲醚、乙烯基芐基縮水甘油醚等不飽和芳香族化合物；甲基乙烯基酮等不飽和酮；乙烯胺、烯丙胺、n-乙烯基吡咯烷酮、乙烯基哌啶等不飽和胺化合物；烯丙醇、巴豆醇等乙烯醇；乙烯基甲醚、乙烯基乙醚、正丁基乙烯醚、異丁基乙烯醚、烯丙基縮水甘油醚等乙烯醚；馬來酰亞胺、n-苯基馬來酰亞胺、n-環(huán)己基馬來酰亞胺等不飽和酰亞胺類；茚、1-甲基茚等茚類；1,3-丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯等脂肪族共軛二烯類；聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷等在聚合物分子鏈的末端具有單(甲基)丙烯?；拇蠓肿訂误w類；氯乙烯、偏二氯乙烯、琥珀酸二乙烯酯、萘二甲酸二烯丙酯、磷酸三烯丙酯、異氰脲酸三烯丙酯、乙烯基硫醚、乙烯基咪唑、乙烯基噁唑啉、乙烯基咔唑、乙烯基吡咯烷酮、乙烯基吡啶、含羥基的乙烯基單體、以及多異氰酸酯化合物的乙烯基氨基甲酸酯化合物、含羥基的乙烯基單體、以及聚環(huán)氧化合物的乙烯基環(huán)氧化合物。這些自由基聚合性化合物可以單獨(dú)使用，或者混合使用2種以上，此外，混合使用2種以上時(shí)，可以將它們預(yù)先共聚而制成共聚物后組合使用?；衔飊o.a1化合物no.a2化合物no.a3化合物no.a4作為熱自由基聚合引發(fā)劑，可列舉出2,2’-偶氮雙異丁腈、2,2’-偶氮雙(異丁酸甲酯)、2,2’-偶氮雙-2,4-二甲基戊腈、1,1’-偶氮雙(1-乙酰氧基-1-苯基乙烷)等偶氮系引發(fā)劑；過氧化苯甲酰、過氧化二叔丁基苯甲酰、過氧化特戊酸叔丁酯、過氧化二碳酸二(4-叔丁基環(huán)己基)酯等過氧化物系引發(fā)劑；過硫酸銨、過硫酸鈉、過硫酸鉀等過硫酸鹽等。它們可以使用一種，或者混合使用兩種以上。作為光自由基聚合引發(fā)劑，只要是通過接受光照射而能夠引發(fā)自由基聚合的化合物即可，作為優(yōu)選物可例示出例如苯乙酮系化合物、苯偶酰系化合物、二苯甲酮系化合物、噻噸酮系化合物等酮系化合物；?；趸⑾祷衔铩㈦肯祷衔锏?。作為苯乙酮系化合物，可列舉出例如二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、4’-異丙基-2-羥基-2-甲基苯丙酮、2-羥基甲基-2-甲基苯丙酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、對二甲氨基苯乙酮、對叔丁基二氯苯乙酮、對叔丁基三氯苯乙酮、對疊氮亞芐基苯乙酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基-1-丙酮、2-芐基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-1-丁酮、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻正丁醚、苯偶姻異丁醚、1-[4-(2-羥基乙氧基)-苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮等。作為苯偶酰系化合物，可列舉出苯偶酰、茴香偶酰等。作為二苯甲酮系化合物，可列舉出例如二苯甲酮、鄰苯甲酰基苯甲酸甲酯、米蚩酮、4,4’-雙二乙氨基二苯甲酮、4,4’-二氯二苯甲酮、4-苯甲?；?4’-甲基二苯硫醚等。作為噻噸酮系化合物，可列舉出噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2-乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮等。作為?；趸⑾祷衔铮闪信e出2,4,6-三甲基苯甲?；?二苯基-氧化膦、苯基(2,4,6-三甲基苯甲?；?次膦酸乙酯、雙(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、雙(2,4,6-三甲基苯甲?；?(2-甲基丙-1-基)氧化膦等。作為肟系化合物，從靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選為下述通式(i)所示的化合物。此處，式(i)中，r1和r2各自獨(dú)立地表示氫原子、氰基、碳原子數(shù)1～20的烷基、碳原子數(shù)6～30的芳基、碳原子數(shù)7～30的芳基烷基、或者碳原子數(shù)2～20的雜環(huán)基。r3和r4各自獨(dú)立地表示鹵素原子、硝基、氰基、羥基、羧基、r5、or6、sr7、nr8r9、cor10、sor11、so2r12或conr13r14，r3和r4任選彼此鍵合而形成環(huán)。r5、r6、r7、r8、r9、r10、r11、r12、r13和r14各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1～20的烷基、碳原子數(shù)6～30的芳基、碳原子數(shù)7～30的芳基烷基、或者碳原子數(shù)2～20的雜環(huán)基。x1表示氧原子、硫原子、硒原子、cr15r16、co、nr17或pr18，x2表示單鍵或co。r1、r2、r5、r6、r7、r8、r9、r10、r15、r16、r17和r18表示的碳原子數(shù)1～20的烷基、碳原子數(shù)6～30的芳基或碳原子數(shù)7～30的芳基烷基時(shí)，烷基或芳基烷基中的亞甲基任選被鹵素原子、硝基、氰基、羥基、羧基或雜環(huán)基取代，任選被-o-中斷，r3和r4各自獨(dú)立地任選與相鄰的任一個(gè)苯環(huán)一同形成環(huán)，a表示0～4的整數(shù)，b表示0～5的整數(shù)。這些光自由基聚合引發(fā)劑可根據(jù)期望性能將1種或2種以上配混使用。作為溶劑溶解性組合物，也可以使用含有陽離子聚合性化合物、陽離子聚合性引發(fā)劑且根據(jù)需要含有溶劑的組合物，聚合引發(fā)劑為熱陽離子聚合引發(fā)劑時(shí)，通過加熱而進(jìn)行聚合反應(yīng)，從而形成膜。聚合引發(fā)劑為光陽離子聚合引發(fā)劑時(shí)，形成溶劑顯影性感光性組合物，通過照射活性能量射線而進(jìn)行聚合反應(yīng)，從而形成膜。作為陽離子聚合性化合物，可以將通過因光或熱照射而活化的陽離子聚合引發(fā)劑而發(fā)生高分子化或交聯(lián)反應(yīng)的陽離子聚合性化合物使用1種或者混合使用2種以上，作為陽離子聚合性化合物，代表性的為環(huán)氧化合物、氧雜環(huán)丁烷化合物、環(huán)狀內(nèi)酯化合物、環(huán)狀縮醛化合物、環(huán)狀硫醚化合物、螺形原酸酯化合物、乙烯基化合物等，它們可以使用1種或2種以上。其中，適合為容易獲取且便于處理的環(huán)氧化合物和氧雜環(huán)丁烷化合物。其中，作為環(huán)氧化合物，適合為脂環(huán)式環(huán)氧化合物、芳香族環(huán)氧化合物、脂肪族環(huán)氧化合物等。作為脂環(huán)式環(huán)氧化合物的具體例，可列舉出：具有至少1個(gè)脂環(huán)的多元醇的聚縮水甘油醚或者將含環(huán)己烯環(huán)、環(huán)戊烯環(huán)的化合物用氧化劑進(jìn)行環(huán)氧化而得到的含環(huán)氧環(huán)己烯、環(huán)氧環(huán)戊烯的化合物?？闪信e出例如氫化雙酚a二縮水甘油醚、3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3,4-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、3,4-環(huán)氧基-1-甲基環(huán)己基-3,4-環(huán)氧基-1-甲基環(huán)己烷羧酸酯、6-甲基-3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-6-甲基-3,4-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、3,4-環(huán)氧基-3-甲基環(huán)己基甲基-3,4-環(huán)氧基-3-甲基環(huán)己烷羧酸酯、3,4-環(huán)氧基-5-甲基環(huán)己基甲基-3,4-環(huán)氧基-5-甲基環(huán)己烷羧酸酯、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基-5,5-螺-3,4-環(huán)氧基)環(huán)己烷間二噁烷、雙(3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基)己二酸酯、3,4-環(huán)氧基-6-甲基環(huán)己基羧酸酯、亞甲基雙(3,4-環(huán)氧環(huán)己烷)、二環(huán)戊二烯二環(huán)氧化物、亞乙基雙(3,4-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯)、環(huán)氧六氫鄰苯二甲酸二辛酯、環(huán)氧六氫鄰苯二甲酸二-2-乙基己酯、上述化合物no.a2～no.a4等。作為可適合地用作脂環(huán)式環(huán)氧樹脂的市售品，可列舉出uvr-6100、uvr-6105、uvr-6110、uvr-6128、uvr-6200(以上、unioncarbidecorporation制)；celloxide2021、celloxide2021p、celloxide2081、celloxide2083、celloxide2085、celloxide2000、celloxide3000、cyclomera200、cyclomerm100、cyclomerm101、epoleadgt-301、epoleadgt-302、epolead401、epolead403、ethb、epoleadhd300(以上、daicelchemicalindustries,ltd.制)；krm-2110、krm-2199(以上、adekacorporation制)等。此外，作為芳香族環(huán)氧樹脂的具體例，可列舉出具有至少1個(gè)芳香族環(huán)的多元酚或其環(huán)氧烷加成物的聚縮水甘油醚、例如上述通式(iv)所示的環(huán)氧化合物雙酚a、雙酚f、或者在它們上進(jìn)一步加成有環(huán)氧烷的化合物的縮水甘油醚；苯酚酚醛清漆型環(huán)氧化合物、聯(lián)苯基酚醛清漆型環(huán)氧化合物、甲酚酚醛清漆型環(huán)氧化合物、雙酚a酚醛清漆型環(huán)氧化合物、二環(huán)戊二烯酚醛清漆型環(huán)氧化合物等酚醛清漆型環(huán)氧化合物；3,4-環(huán)氧基-6-甲基環(huán)己基甲基-3,4-環(huán)氧基-6-甲基環(huán)己烷羧酸酯、3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3,4-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、1-環(huán)氧乙基-3,4-環(huán)氧環(huán)己烷等脂環(huán)式環(huán)氧化合物；鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、四氫鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、二聚酸縮水甘油酯等縮水甘油酯類；四縮水甘油基二氨基二苯基甲烷、三縮水甘油基對氨基苯酚、n,n-二縮水甘油基苯胺等縮水甘油胺類；1,3-二縮水甘油基-5,5-二甲基乙內(nèi)酰脲、三縮水甘油基異氰脲酸酯等雜環(huán)式環(huán)氧化合物；二環(huán)戊二烯二氧化物等二氧化物化合物；萘型環(huán)氧化合物；三苯基甲烷型環(huán)氧化合物；二環(huán)戊二烯型環(huán)氧化合物苯基縮水甘油醚、對丁基苯酚縮水甘油醚、甲苯基縮水甘油醚、2-甲基甲苯基縮水甘油醚、4-壬基苯基縮水甘油醚、芐基縮水甘油醚、對枯基苯基縮水甘油醚、三苯甲基縮水甘油醚等單官能芳香族環(huán)氧化合物等。作為脂肪族環(huán)氧樹脂的具體例，可列舉出脂肪族多元醇或其環(huán)氧烷加成物的聚縮水甘油醚、脂肪族長鏈多元酸的聚縮水甘油酯、丙烯酸縮水甘油酯或甲基丙烯酸縮水甘油酯通過乙烯基聚合而合成的均聚物、丙烯酸縮水甘油酯或甲基丙烯酸縮水甘油酯與其它乙烯基單體通過乙烯基聚合而合成的共聚物等。作為代表化合物，可列舉出甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基縮水甘油醚、乙基縮水甘油醚、丙基縮水甘油醚、異丙基縮水甘油醚、丁基縮水甘油醚、異丁基縮水甘油醚、叔丁基縮水甘油醚、戊基縮水甘油醚、己基縮水甘油醚、庚基縮水甘油醚、辛基縮水甘油醚、壬基縮水甘油醚、癸基縮水甘油醚、十一烷基縮水甘油醚、十二烷基縮水甘油醚、十三烷基縮水甘油醚、十四烷基縮水甘油醚、十五烷基縮水甘油醚、十六烷基縮水甘油醚、2-乙基己基縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、丙炔基縮水甘油醚、對甲氧基乙基縮水甘油醚、對甲氧基縮水甘油醚、甲基丙烯酸2,3-環(huán)氧基丙酯、環(huán)氧化亞麻仁油、丁酸縮水甘油酯、乙烯基環(huán)己烷一氧化物、1,2-環(huán)氧基-4-乙烯基環(huán)己烷、苯乙烯氧化物、蒎烯氧化物、甲基苯乙烯氧化物、環(huán)氧環(huán)己烯、環(huán)氧丙烷、上述化合物no.a1、1,4-丁二醇二縮水甘油醚、1,6-己二醇二縮水甘油醚、1,4-環(huán)己烷二甲醇二縮水甘油醚、1,1,1-三(縮水甘油基氧基甲基)丙烷、1,1,1-三(縮水甘油基氧基甲基)乙烷、1,1,1-三(縮水甘油基氧基甲基)甲烷、1,1,1,1-四(縮水甘油基氧基甲基)甲烷、甘油的三縮水甘油醚、三羥甲基丙烷的三縮水甘油醚、山梨糖醇的四縮水甘油醚、二季戊四醇的六縮水甘油醚、聚乙二醇的二縮水甘油醚、聚丙二醇的二縮水甘油醚等多元醇的縮水甘油醚；以及，通過在丙二醇、三羥甲基丙烷、甘油等脂肪族多元醇上加成1種或2種以上的環(huán)氧烷而得到的聚醚多元醇的聚縮水甘油醚、脂肪族長鏈二元酸的二縮水甘油酯。進(jìn)而，可列舉出脂肪族高級醇的單縮水甘油醚、苯酚、甲酚、丁基苯酚，以及通過在它們上加成環(huán)氧烷而得到的聚醚醇的單縮水甘油醚、高級脂肪酸的縮水甘油酯、環(huán)氧化大豆油、環(huán)氧硬脂酸辛酯、環(huán)氧硬脂酸丁酯、環(huán)氧化聚丁二烯等。作為可適合地用作芳香族和脂肪族環(huán)氧樹脂的市售品，可列舉出epikote801、epikote828(以上、yukashellepoxykabushikikaisha制)；py-306、0163、dy-022(以上、cibaspecialtychemicalscompany制)；krm-2720、ep-4100、ep-4000、ep-4080、ep-4900、ed-505、ed-506(以上、adekacorporation制)；epolightm-1230、epolightehdg-l、epolight40e、epolight100e、epolight200e、epolight400e、epolight70p、epolight200p、epolight400p、epolight1500np、epolight1600、epolight80mf、epolight100mf、epolight4000、epolight3002、epolightfr-1500(以上、共榮社化學(xué)株式會(huì)社制)；santoto(サントート)st0000、yd-716、yh-300、pg-202、pg-207、yd-172、ydpn638(以上、東都化成株式會(huì)社制)等。此外，作為上述氧雜環(huán)丁烷化合物的具體例，可列舉出例如下述化合物?？衫境?-乙基-3-羥基甲基氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基)烯丙基氧基甲基-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲氧基)甲基苯、4-氟-[1-(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲氧基)甲基]苯、4-甲氧基-[1-(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲氧基)甲基]苯、[1-(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲氧基)乙基]苯基醚、異丁氧基甲基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、異冰片基氧基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、異冰片基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、2-乙基己基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、乙基二乙二醇(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、二環(huán)戊二烯(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、二環(huán)戊烯基氧基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、二環(huán)戊烯基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、四氫呋喃基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、四溴苯基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、2-四溴苯氧基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、三溴苯基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、2-三溴苯氧基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、2-羥基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、2-羥基丙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、丁氧基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、五氯苯基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、五溴苯基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、冰片基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、3,7-雙(3-氧雜環(huán)丁基)-5-氧代壬烷、3,3’-(1,3-(2-甲烯基(methylenyl))丙烷二基雙(氧基亞甲基))雙-(3-乙基氧雜環(huán)丁烷)、1,4-雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲氧基)甲基]苯、1,2-雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲氧基)甲基]乙烷、1,3-雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲氧基)甲基]丙烷、乙二醇雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、二環(huán)戊烯基雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、三乙二醇雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、四乙二醇雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、三環(huán)癸烷二基二亞甲基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、三羥甲基丙烷三(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、1,4-雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲氧基)丁烷、1,6-雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲氧基)己烷、季戊四醇三(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、季戊四醇四(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、聚乙二醇雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、二季戊四醇六(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、二季戊四醇五(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、二季戊四醇四(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、己內(nèi)酯改性二季戊四醇六(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、己內(nèi)酯改性二季戊四醇五(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、雙三羥甲基丙烷四(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、eo改性雙酚a雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、po改性雙酚a雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、eo改性氫化雙酚a雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、po改性氫化雙酚a雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚、eo改性雙酚f(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁基甲基)醚等。這些氧雜環(huán)丁烷化合物尤其是在需要撓性的情況下使用時(shí)是有用的，故而優(yōu)選。作為陽離子聚合性化合物的其它化合物的具體例，可列舉出β-丙內(nèi)酯、ε-己內(nèi)酯等環(huán)狀內(nèi)酯化合物；三噁烷、1,3-二氧戊環(huán)、1,3,6-三噁烷環(huán)辛烷等環(huán)狀縮醛化合物；四氫噻吩衍生物等環(huán)狀硫醚化合物；通過上述環(huán)氧化合物與內(nèi)酯的反應(yīng)而得到的螺形原酸酯化合物；乙二醇二乙烯醚、烷基乙烯醚、2-氯乙基乙烯醚、2-羥基乙基乙烯醚、三乙二醇二乙烯醚、1,4-環(huán)己烷二甲醇二乙烯醚、羥基丁基乙烯醚、丙二醇的丙烯醚等乙烯醚化合物；苯乙烯、乙烯基環(huán)己烯、異丁烯、聚丁二烯等烯屬不飽和化合物等乙烯基化合物；四氫呋喃、2,3-二甲基四氫呋喃等四氫呋喃化合物；環(huán)硫乙烷、硫代環(huán)氧氯丙烷等硫雜丙環(huán)化合物；1,3-丙炔硫化物(1,3-propynesulfide)、3,3-二甲基硫化環(huán)丙烷等硫化環(huán)丙烷化合物；有機(jī)硅類等公知的化合物。作為陽離子聚合引發(fā)劑，只要是通過光或熱照射而活化的化合物，則任意陽離子聚合引發(fā)劑均可，可列舉出例如鎓鹽、萘二甲酰亞胺磺酸鹽化合物、肟磺酸鹽化合物、磺酰基酰亞胺化合物、磺酸酯等，優(yōu)選為鎓鹽和萘二甲酰亞胺磺酸鹽化合物。根據(jù)使用條件，作為熱陽離子聚合引發(fā)劑或者作為光陽離子聚合引發(fā)劑而發(fā)揮作用。作為鎓鹽，可列舉出例如[m]r+[g]r-所示的陽離子與陰離子的鹽。此處，陽離子[m]r+優(yōu)選為鎓，其結(jié)構(gòu)例如用下述通式[(r29)fq]r+表示。r29是碳原子數(shù)為1～60、且任選包含幾種除了碳原子之外的原子的有機(jī)基團(tuán)。f為1～5的整數(shù)。f個(gè)r29任選各自獨(dú)立地相同或不同。此外，至少1個(gè)優(yōu)選為具有芳香環(huán)的上述那樣的有機(jī)基團(tuán)。q為選自由s、n、se、te、p、as、sb、bi、o、i、br、cl、f、n＝n組成的組中的原子或者原子團(tuán)。此外，將陽離子[m]r+中的q的原子價(jià)設(shè)為q時(shí)，r＝f-q的關(guān)系必須成立(其中，n＝n視作原子價(jià)為0)。此外，作為陰離子[g]r-的具體例，作為一價(jià)陰離子，可列舉出氯化物離子、溴化物離子、碘化物離子、氟化物離子等鹵化物離子；高氯酸根離子、氯酸根離子、硫代氰酸根離子、六氟磷酸根離子、六氟銻酸根離子、四氟硼酸根離子等無機(jī)系陰離子；四(五氟苯基)硼酸酯、四(3,5-二氟-4-甲氧基苯基)硼酸酯、四氟硼酸酯、四芳基硼酸酯、四(五氟苯基)硼酸酯等硼酸酯系陰離子；甲烷磺酸根離子、十二烷基磺酸根離子、苯磺酸根離子、甲苯磺酸根離子、三氟甲烷磺酸根離子、萘磺酸根離子、二苯胺-4-磺酸根離子、2-氨基-4-甲基-5-氯苯磺酸根離子、2-氨基-5-硝基苯磺酸根離子、酞菁磺酸根離子、氟磺酸根離子、三硝基苯磺酸陰離子、樟腦磺酸根離子、九氟丁磺酸根離子、十六氟辛磺酸根離子、具有聚合性取代基的磺酸根離子、日本特開平10-235999、日本特開平10-337959、日本特開平11-102088、日本特開2000-108510、日本特開2000-168223、日本特開2001-209969、日本特開2001-322354、日本特開2006-248180、日本特開2006-297907、日本特開平8-253705號公報(bào)、日本特表2004-503379號公報(bào)、日本特開2005-336150號公報(bào)、國際公開2006/28006號公報(bào)等記載的磺酸根離子等有機(jī)磺酸系陰離子；辛基磷酸根離子、十二烷基磷酸根離子、十八烷基磷酸根離子、苯基磷酸根離子、壬基苯基磷酸根離子、2,2’-亞甲基雙(4,6-二叔丁基苯基)膦酸根離子等有機(jī)磷酸系陰離子、雙三氟甲基磺?；啺冯x子、雙全氟丁磺?；啺冯x子、全氟-4-乙基環(huán)己烷磺酸根離子、四(五氟苯基)硼酸根離子、三(氟烷基磺?；?碳陰離子等，作為二價(jià)陰離子，可列舉出例如苯二磺酸根離子、萘二磺酸根離子等。本發(fā)明中，這種鎓鹽之中，使用芳基重氮鹽、二芳基碘鎓鹽、三芳基锍鹽等芳香族鎓鹽是特別有效的。這些之中，可以單獨(dú)使用其中的1種，或者混合使用2種以上。此外，作為其它優(yōu)選的物質(zhì)，還可列舉出(η5-2,4-環(huán)戊二烯-1-基)〔(1,2,3,4,5,6-η)-(1-甲基乙基)苯〕六氟磷酸鐵等鐵-芳烴絡(luò)合物、三(乙酰丙酮)鋁、三(乙基丙酮乙酸)鋁、三(水楊醛)鋁等鋁絡(luò)合物與三苯基硅烷醇等硅烷醇類的混合物等。這些之中，從實(shí)用方面和光靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用芳香族锍鹽。作為該芳香族锍鹽，也可以使用市售品，可列舉出例如wpag-336、wpag-367、wpag-370、wpag-469、wpag-638(和光純藥工業(yè)株式會(huì)社制)；cpi-100p、cpi-101a、cpi-200k、cpi-210s(san-aproltd制)；adekaoptomersp-056、adekaoptomersp-066、adekaoptomersp-130、adekaoptomersp-140、adekaoptomersp-082、adekaoptomersp-103、adekaoptomersp-601、adekaoptomersp-606、adekaoptomersp-701(adekacorporation制)等。作為萘二甲酰亞胺磺酸鹽化合物，從靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為下述通式(ii)所示的化合物。此處，式(ii)中，r21表示碳原子數(shù)1～18的脂肪族烴基、碳原子數(shù)6～20的芳基、碳原子數(shù)7～20的芳基烷基、被?；〈奶荚訑?shù)7～20的芳基、碳原子數(shù)3～12的脂環(huán)式烴基或10-樟腦基，脂肪族烴基、芳基、芳基烷基、脂環(huán)式烴基不具有取代基，或者被選自鹵素原子、碳原子數(shù)1～4的鹵代烷基、碳原子數(shù)1～18的烷氧基和碳原子數(shù)1～18的烷基硫基中的基團(tuán)取代。r22、r23、r24、r25、r26和r27表示氫原子、鹵素原子、氰基、羥基、硝基、羧基、任選具有取代基的碳原子數(shù)1～40的烷基、碳原子數(shù)6～20的芳基、碳原子數(shù)7～20的芳基烷基或碳原子數(shù)2～20的含雜環(huán)基團(tuán)。作為肟磺酸鹽化合物，從靈敏度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為下述通式(iii)所示的化合物。此處，式(iii)中，r31表示碳原子數(shù)1～18的脂肪族烴基、碳原子數(shù)6～20的芳基、碳原子數(shù)7～20的芳基烷基、被?；〈奶荚訑?shù)7～20的芳基、碳原子數(shù)3～12的脂環(huán)式烴基或10-樟腦基，脂肪族烴基、芳基、芳基烷基、脂環(huán)式烴基不具有取代基，或者被選自鹵素原子、碳原子數(shù)1～4的鹵代烷基、碳原子數(shù)1～18的烷氧基和碳原子數(shù)1～18的烷硫基中的基團(tuán)取代。r32和r53表示氰基、羧基、任選具有取代基的碳原子數(shù)1～40的烷基、碳原子數(shù)6～20的芳基、碳原子數(shù)7～20的芳基烷基或碳原子數(shù)2～20的含雜環(huán)基團(tuán)，r32和r33任選彼此連結(jié)而形成五元環(huán)的雜環(huán)。作為光產(chǎn)酸劑，可列舉出通過照射活性能量射線而產(chǎn)生酸的化合物，除了作為陽離子聚合性引發(fā)劑而例示出的化合物之外，還可以使用烷烴磺酸、芳基磺酸、部分或完全被氟化的芳基磺酸、部分或完全被氟化的烷烴磺酸；2-硝基芐酯類、n-亞氨基磺酸鹽類、芳基磺酸酯類、具有氯等鹵素的雜環(huán)式化合物；重氮鹽、萘醌二疊氮磺酸與各種多元酚的酯即萘醌二疊氮磺酸酯等會(huì)產(chǎn)生茚羧酸的重氮萘醌化合物。作為重氮萘醌化合物，可列舉出例如2,3,4-三羥基二苯甲酮、4-(4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]-α,α-二甲基芐基)苯酚、6-重氮-5,6-二氫-5-氧-1-萘磺酸等。溶劑用顯影性感光性組合物中，針對溶劑為水的水顯影性感光性組合物，作為粘結(jié)劑樹脂，可以使用導(dǎo)入有感光性基團(tuán)的水溶性聚合物。作為感光性基團(tuán)，可列舉出乙烯基、烯丙基、苯乙烯基、肉桂基、肉桂?；?、亞肉桂基、亞肉桂基乙?；⒉闋柾?、香豆素基、異香豆素基、2,5-二甲氧基均二苯代乙烯基、馬來酰亞胺基、α-苯基馬來酰亞胺基、2-吡喃酮基、疊氮基、胸腺嘧啶基、醌基、馬來酰亞胺基、尿嘧啶基、嘧啶基、有機(jī)吡啶嗡基(stilbazolium)、苯乙烯基吡啶嗡基、苯乙烯基喹啉鎓基、環(huán)氧基、氧雜環(huán)丁基、乙烯醚基、烯丙醚基、乙?；Y(jié)構(gòu)或β-二酮結(jié)構(gòu)等。堿溶解性組合物包含具有堿溶解性的粘結(jié)劑樹脂、且根據(jù)需要包含上述自由基聚合性化合物和/或溶劑。作為具有堿溶解性的粘結(jié)劑樹脂，可以使用在樹脂側(cè)鏈或主鏈具有羧基或酚性羥基等的樹脂，可列舉出例如丙烯酸(共)聚合物、丙烯酸酯的共聚物、苯酚和/或甲酚酚醛清漆環(huán)氧樹脂、具有多官能環(huán)氧基的聚苯基甲烷型環(huán)氧樹脂、環(huán)氧丙烯酸酯樹脂、使下述通式(iv)所示的環(huán)氧化合物等的環(huán)氧基與不飽和一元酸發(fā)生作用進(jìn)而與多元酸酐發(fā)生作用而得到的樹脂、苯乙烯/馬來酸酐樹脂、酚醛清漆環(huán)氧丙烯酸酯的酸酐改性樹脂、羥基苯乙烯聚合物及其衍生物、酚醛樹脂、磷酸聚合物等。此處，式(iv)中，x3表示直接鍵合、亞甲基、碳原子數(shù)1～4的亞烷基、碳原子數(shù)3～20的脂環(huán)式烴基、o、s、so2、ss、so、co、oco或下述式(a)、(b)或(c)所示的基團(tuán)，上述亞烷基任選被鹵素原子取代，r41、r42、r43、r44、r45、r46、r47和r48各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～5的烷基、碳原子數(shù)1～8的烷氧基、碳原子數(shù)2～5的烯基或鹵素原子，上述烷基、烷氧基和烯基任選被鹵素原子取代，m為0～10的整數(shù)，m不為0時(shí)，存在的光學(xué)異構(gòu)體可以是任意異構(gòu)體。(a)此處，式中，z3表示氫原子、任選被碳原子數(shù)1～10的烷基或碳原子數(shù)1～10的烷氧基取代的苯基、或者任選被碳原子數(shù)1～10的烷基或碳原子數(shù)1～10的烷氧基取代的碳原子數(shù)3～10的環(huán)烷基，y1表示碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的烷氧基、碳原子數(shù)2～10的烯基或鹵素原子，上述烷基、烷氧基和烯基任選被鹵素原子取代，d為0～5的整數(shù)。(b)(c)此處，式中，y2和z4各自獨(dú)立地表示任選被鹵素原子取代的碳原子數(shù)1～10的烷基、任選被鹵素原子取代的碳原子數(shù)6～20的芳基、任選被鹵素原子取代的碳原子數(shù)6～20的芳氧基、任選被鹵素原子取代的碳原子數(shù)6～20的芳硫基、任選被鹵素原子取代的碳原子數(shù)6～20的芳基烯基、任選被鹵素原子取代的碳原子數(shù)7～20的芳基烷基、任選被鹵素原子取代的碳原子數(shù)2～20的雜環(huán)基、或者鹵素原子，上述烷基和芳基烷基中的亞烷基部分任選被不飽和鍵、-o-或-s-中斷，z4任選在相鄰的z4彼此之間形成環(huán)，p表示0～4的整數(shù)，q表示0～8的整數(shù)，r表示0～4的整數(shù)，s表示0～4的整數(shù)，r與s的總數(shù)為2～4的整數(shù)。作為要與環(huán)氧化合物發(fā)生作用的上述不飽和一元酸，可列舉出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、桂皮酸、山梨酸、羥基乙基甲基丙烯酸酯/馬來酸酯、羥基乙基丙烯酸酯/馬來酸酯、羥基丙基甲基丙烯酸酯/馬來酸酯、羥基丙基丙烯酸酯/馬來酸酯、二環(huán)戊二烯/馬來酸酯等。此外，作為要與不飽和一元酸發(fā)生作用后再行作用的上述多元酸酐，可列舉出聯(lián)苯四羧酸二酐、四氫鄰苯二甲酸酐、琥珀酸酐、雙鄰苯二甲酸酐、馬來酸酐、偏苯三甲酸酐、均苯四酸酐、2,2’-3,3’-二苯甲酮四羧酸酐、乙二醇雙脫水偏苯三酸酯、甘油三脫水偏苯三酸酯、六氫鄰苯二甲酸酐、甲基四氫鄰苯二甲酸酐、納迪克酸酐、甲基納迪克酸酐、三烷基四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、5-(2,5-二氧四氫呋喃基)-3-甲基-3-環(huán)己烯-1,2-二羧酸酐、三烷基四氫鄰苯二甲酸酐-馬來酸酐加成物、十二碳烯基琥珀酸酐、甲基himic酸酐等。環(huán)氧化合物、上述不飽和一元酸和上述多元酸酐的反應(yīng)摩爾比優(yōu)選如下所示。即，具有相對于上述環(huán)氧化合物的1個(gè)環(huán)氧基加成有0.1～1.0個(gè)上述不飽和一元酸的羧基而得到的結(jié)構(gòu)的環(huán)氧加成物中，優(yōu)選為下述比率：相對于該環(huán)氧加成物的1個(gè)羥基，上述多元酸酐的酸酐結(jié)構(gòu)達(dá)到0.1～1.0個(gè)。上述環(huán)氧化合物、上述不飽和一元酸和上述多元酸酐的反應(yīng)可按照常規(guī)方法來進(jìn)行。上述堿顯影性感光性組合物包含：上述具有堿顯影性的粘結(jié)劑樹脂、上述自由基聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑、以及根據(jù)需要的溶劑。為了調(diào)整酸值來改善本發(fā)明的堿顯影性感光性樹脂組合物的顯影性，進(jìn)而可以使用上述陽離子聚合性化合物。上述具有堿顯影性的粘結(jié)劑樹脂的固體成分的酸值優(yōu)選為5～120mgkoh/g的范圍，陽離子聚合性化合物的用量優(yōu)選以滿足上述酸值的方式進(jìn)行選擇。上述堿顯影性感光性組合物中，使用包含上述自由基聚合性化合物之中的具有羥基或羧基等堿顯影性官能團(tuán)的化合物、光聚合引發(fā)劑和根據(jù)需要的溶劑的組合物，使具有堿顯影性官能團(tuán)的自由基聚合性化合物進(jìn)行聚合，從而也可以形成膜。作為上述堿顯影性感光性組合物，也可以使用下述抗蝕劑：為包含在抗蝕基質(zhì)樹脂中導(dǎo)入有因酸的作用而分解的保護(hù)基的高分子聚合物、光產(chǎn)酸劑和根據(jù)需要的溶劑的組合物，通過因曝光而由光產(chǎn)酸劑產(chǎn)生的酸的作用，因由抗蝕基質(zhì)樹脂的脫保護(hù)反應(yīng)而誘發(fā)的極性變化而可溶于顯影液的正型抗蝕劑；或者，為包含使抗蝕基質(zhì)樹脂和交聯(lián)劑反應(yīng)得到的樹脂、光產(chǎn)酸劑和溶劑的組合物，發(fā)生聚合或交聯(lián)等化學(xué)鏈?zhǔn)椒磻?yīng)，因抗蝕基質(zhì)樹脂的交聯(lián)反應(yīng)、極性變化而不溶于顯影液，在顯影時(shí)僅未曝光部分被選擇性地去除的負(fù)型抗蝕劑，作為化學(xué)放大抗蝕劑是特別有用的。作為上述抗蝕基質(zhì)樹脂，可列舉出聚羥基苯乙烯及其衍生物；聚丙烯酸及其衍生物；聚甲基丙烯酸及其衍生物；由選自羥基苯乙烯、丙烯酸、甲基丙烯酸和它們的衍生物中的物質(zhì)形成的2種以上的共聚物；由選自羥基苯乙烯、苯乙烯和它們的衍生物中的物質(zhì)形成的2種以上的共聚物；選自聚烯烴及其衍生物、環(huán)烯烴及其衍生物、馬來酸酐、以及丙烯酸及其衍生物中的3種以上的共聚物；選自環(huán)烯烴及其衍生物、馬來酰亞胺、以及丙烯酸及其衍生物中的3種以上的共聚物；選自由聚冰片烯；異位開環(huán)聚合物組成的組中的1種以上的高分子聚合物；有機(jī)硅樹脂等。上述抗蝕基質(zhì)樹脂的基于凝膠滲透色譜(gpc)的聚苯乙烯換算重均分子量(mw)通常為1,000～500,000、優(yōu)選為2,000～200,000、進(jìn)一步優(yōu)選為3,000～100,000。此時(shí)，抗蝕基質(zhì)樹脂的mw低于1,500時(shí)，存在膜的耐熱性降低的傾向，另一方面，抗蝕基質(zhì)樹脂的mw超過300,000時(shí)，存在膜的顯影性、涂布性降低的傾向。作為上述保護(hù)基，可列舉出甲氧基羰基、乙氧基羰基、異丙氧基羰基、苯氧基羰基、乙酰氧基、甲氧基乙酰氧基、丙酰氧基、丁酰氧基、叔丁基羰基氧基、苯甲酰氧基、金剛烷基羰氧基等酯基；叔烷基、三烷基甲硅烷基、氧雜烷基、芳基取代烷基、四氫吡喃-2-基等雜脂環(huán)基；叔烷基羰基、叔烷基羰基烷基、叔烷氧基羰基、叔烷氧基羰基烷基、烷氧基烷基、四氫吡喃基、四氫呋喃基、硫代呋喃基等縮醛基等。作為上述交聯(lián)劑，可以從作為交聯(lián)劑而慣用的交聯(lián)劑中任意選擇并使用，可列舉出例如雙二疊氮化合物、具有羥基或烷氧基的氨基樹脂、例如三聚氰胺樹脂、脲樹脂、胍胺樹脂、甘脲-甲醛樹脂、琥珀酰胺-甲醛樹脂、乙烯脲-甲醛樹脂等。它們可以使用使三聚氰胺、脲、胍胺、甘脲、琥珀酰胺、乙烯脲在沸水中與福爾馬林發(fā)生反應(yīng)而進(jìn)行羥甲基化而得到的產(chǎn)物、或者使它們進(jìn)一步與低級醇發(fā)生反應(yīng)而進(jìn)行烷氧基化而得到的產(chǎn)物。作為上述交聯(lián)劑，也可以使用市售品，可列舉出例如nikalacmx-750、nikalacmw-30、nikalacmx-290(三和化學(xué)株式會(huì)社制)。作為上述堿顯影性感光性組合物，也可以使用含有抗蝕基質(zhì)樹脂、光產(chǎn)酸劑和根據(jù)需要的溶劑的組合物。此時(shí)，作為光產(chǎn)酸劑，優(yōu)選使用上述重氮鹽或重氮萘醌化合物。本發(fā)明的組合物還可以使用著色劑。作為著色劑，除了使用著色顏料之外，還可以使用無機(jī)著色材料或有機(jī)著色材料、或者無機(jī)染料或有機(jī)染料。此處，顏料是指不溶于后述溶劑的著色劑，還包括：即使在無機(jī)著色材料或有機(jī)著色材料或者無機(jī)染料或有機(jī)染料之中也不溶于溶劑的物質(zhì)、或者將無機(jī)染料或有機(jī)染料色淀化而得到的物質(zhì)。作為著色顏料，可列舉出：通過爐法、槽法或熱法得到的炭黑；或者乙炔黑、科琴黑或燈黑等炭黑；將上述炭黑用環(huán)氧樹脂調(diào)整或覆蓋得到的產(chǎn)物；將上述炭黑預(yù)先在溶劑中用樹脂進(jìn)行分散處理，并用20～200mg/g的樹脂覆蓋得到的產(chǎn)物；將上述炭黑進(jìn)行酸性或堿性表面處理而得到的產(chǎn)物；平均粒徑為8nm以上且dbp吸油量為90ml/100g以下的炭黑；由950℃下的揮發(fā)成分中的co和co2算出的總氧量相對于表面積100m2為9mg以上的炭黑；石墨、石墨化炭黑、活性炭、碳纖維、碳納米管、碳微線圈、碳納米角、碳?xì)饽z、富勒烯、苯胺黑、顏料黑7、鈦黑、尼格羅黑等所代表的黑色顏料、氧化鉻綠、米洛麗藍(lán)、鈷綠、鈷藍(lán)、錳系、亞鐵氰化物、磷酸鹽群青、普魯士藍(lán)、佛青、天藍(lán)、鉻綠、翡翠綠、硫酸鉛、黃色鉛、鋅黃、三氧化二鐵(紅色氧化鐵(iii))、鎘紅、合成鐵黑、棕土、色淀顏料等有機(jī)或無機(jī)顏料等。作為上述無機(jī)著色材料或有機(jī)著色材料，可列舉出例如亞硝基化合物、硝基化合物、偶氮化合物、重氮化合物、氧雜蒽化合物、喹啉化合物、蒽醌化合物、香豆素化合物、花青化合物、酞菁化合物、異吲哚啉酮化合物、異吲哚啉化合物、喹吖啶酮化合物、蒽嵌蒽醌化合物、芘酮(perinone)化合物、苝化合物、二酮吡咯并吡咯化合物、硫靛化合物、二噁嗪化合物、三苯基甲烷化合物、喹酞酮化合物、萘四羧酸、尼格羅黑化合物、偶氮染料、花青染料的金屬絡(luò)合物化合物等。作為上述著色顏料，也可以使用市售的顏料，可列舉出例如顏料紅1、2、3、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48、49、88、90、97、112、119、122、123、144、149、166、168、169、170、171、177、179、180、184、185、192、200、202、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254；顏料橙13、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、65、71；顏料黃1、3、12、13、14、16、17、20、24、55、60、73、81、83、86、93、95、97、98、100、109、110、113、114、117、120、125、126、127、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、166、168、175、180、185；顏料綠7、10、36；顏料藍(lán)15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、22、24、56、60、61、62、64；顏料紫1、19、23、27、29、30、32、37、40、50等。作為上述無機(jī)染料或有機(jī)染料，也可以使用公知的染料。作為公知的染料，可列舉出例如偶氮染料、蒽醌染料、靛類染料、三芳基甲烷染料、氧雜蒽染料、茜素染料、吖啶染料、均二苯代乙烯染料、噻唑染料、萘酚染料、喹啉染料、硝基染料、吲達(dá)胺染料、噁嗪染料、酞菁染料、花青染料、尼格羅黑染料等染料等。作為上述曝光方法，借助掩膜來進(jìn)行，為由正型感光性組合物形成的抗蝕膜時(shí)，若進(jìn)行曝光，則在顯影液中的溶解性增加，曝光部被去除，為由負(fù)型感光性組合物形成的抗蝕膜時(shí)，若進(jìn)行曝光，則在顯影液中的溶解性降低，顯影后殘留曝光部分。曝光針對上述多層結(jié)構(gòu)的所有層可以在相同條件下進(jìn)行，也可以通過在各層中變更掩膜的寬度或要照射的活性能量射線的種類，或者對上層從上進(jìn)行曝光后再對下層從透明支承體側(cè)進(jìn)行曝光，或者從兩面進(jìn)行曝光，從而自由地設(shè)計(jì)錐形。圖1是通過本發(fā)明的圖案形成方法制造的2層結(jié)構(gòu)圖案的例子的示意截面圖，(a)是在基板上以大致相同的寬度層疊有第1層和第2層的圖案，(b)是在基板上將第1層和第2層層疊成錐形的圖案，(c)是在基板上將第1層和第2層層疊成倒錐形狀的圖案。作為上述掩膜，除了光掩模之外，還可以使用灰度色調(diào)掩膜/半色調(diào)掩膜等多階掩膜、被稱為分劃板(reticle)的高精細(xì)掩膜等。作為上述活性能量射線，可以利用由超高壓汞燈、高壓汞燈、中壓汞燈、低壓汞燈、汞蒸氣弧燈、氙弧燈、碳弧燈、金屬鹵化物燈、熒光燈、鎢燈、準(zhǔn)分子燈、無電極光源、殺菌燈、發(fā)光二極管、crt光源、led、準(zhǔn)分子激光、氮激光、氬離子激光、氦鎘激光、氦氖激光、氪離子激光、各種半導(dǎo)體激光、yag激光等得到的具有2000?！?000埃波長的電磁波能量、euv、電子射線、x射線、放射線高頻等高能量射線，可優(yōu)選地列舉出會(huì)發(fā)出波長為300～450nm的光的超高壓汞燈、汞蒸氣弧燈、碳弧燈、氙弧燈等。活性能量射線的能量為0.1～500,000mj/cm2、優(yōu)選為5～50,000mj/cm2、進(jìn)一步優(yōu)選為10～20,000mj/cm2。曝光光源使用激光時(shí)，可以使用根據(jù)計(jì)算機(jī)等的數(shù)字信息直接形成圖像而不使用掩膜的激光直接成像法。作為該激光，適合使用波長為340～430nm的光，還可以使用準(zhǔn)分子激光、氮激光、氬離子激光、氦鎘激光、氦氖激光、氪離子激光、各種半導(dǎo)體激光和yag激光等會(huì)發(fā)出可見光區(qū)～紅外光區(qū)的光的激光。使用這些激光時(shí)，可以添加會(huì)吸收可見光區(qū)～紅外光區(qū)的敏化劑。作為上述顯影方法，使用浸泡(浸漬)顯影、噴霧顯影、漿式顯影(paddledevelopment)等現(xiàn)有公知的方法，在顯影后利用專用洗液、純水進(jìn)行清洗，接著進(jìn)行干燥。顯影優(yōu)選在室溫～80℃下進(jìn)行數(shù)秒～10分鐘。上述顯影分別使用對于使構(gòu)成多層結(jié)構(gòu)的各種組合物溶解而言最佳的顯影液。作為上述顯影液，作為中性顯影液，可以使用上述列舉出的溶劑，優(yōu)選為酮類、醚系、酯系、溶纖劑系、btx系、鹵代芳香族烴系等、或者它們的混合溶劑，這些之中，沸點(diǎn)為50～200℃的溶劑在顯影后沒有殘留溶劑，故而優(yōu)選，進(jìn)一步優(yōu)選為70～150℃。作為堿性顯影液，可以使用：含有tmah(四甲基氫氧化銨)的有機(jī)顯影液；或者，含有氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、硅酸鈉、硅酸鉀、偏硅酸鈉、磷酸三鈉等所代表的堿金屬的氫氧化物、碳酸鹽、硅酸鹽、磷酸鹽的無機(jī)顯影液，堿顯影液的濃度為0.0001～10％。此外，以水為主體且包含少量的有機(jī)溶劑，在它們的基礎(chǔ)上還可以包含有機(jī)胺類、表面活性劑等。負(fù)型版用顯影液通常不含無機(jī)強(qiáng)堿成分，是ph(7～11.5)相對較低的水溶液。接著，針對通過本發(fā)明的圖案形成方法而得到的圖案進(jìn)行說明。作為上述圖案，抗蝕膜整體的膜厚為0.1～1000μm、優(yōu)選為0.5～100μm、進(jìn)一步優(yōu)選為1～20μm。線寬為1～1000μm、優(yōu)選為3～500μm、進(jìn)一步優(yōu)選為5～100μm。間隔為1～1000μm、優(yōu)選為3～500μm、進(jìn)一步優(yōu)選為5～100μm。上述圖案具有由上層和下層形成的二層結(jié)構(gòu)時(shí)，上層與下層的膜厚比可以在0.1:99.9～99.9:0.1之間根據(jù)使用方法來任意設(shè)定，優(yōu)選為針對上層的顯影液不會(huì)使下層完全溶解的膜厚比。此外，在不損害本發(fā)明效果的范圍內(nèi)，根據(jù)需要可以添加單體、光堿引發(fā)劑、交聯(lián)劑、表面活性劑、無機(jī)填料、有機(jī)填料、顏料、染料等著色劑、消泡劑、增稠劑、分散劑、流平劑、有機(jī)金屬偶聯(lián)劑、觸變劑、碳化合物、金屬微粒、金屬氧化物、阻燃劑、增塑劑、光穩(wěn)定劑、熱穩(wěn)定劑、防老劑、彈性體顆粒、鏈轉(zhuǎn)移劑、阻聚劑、紫外線吸收劑、抗氧化劑、抗靜電劑、脫模劑、流動(dòng)調(diào)節(jié)劑、密合促進(jìn)劑、有機(jī)聚合物、三聚氰胺等各種樹脂添加物等。作為通過本發(fā)明的圖案形成方法得到的圖案的具體用途，可列舉出印刷版、層疊板、印刷基板、干式薄膜、電路、層間絕緣膜、光間隔物、黑柱間隔物、濾色器、固體攝影器件、太陽能電池面板、觸控面板、平板顯示器、發(fā)光二極管、有機(jī)發(fā)光器件、液晶顯示器件、半導(dǎo)體器件、感光性元件、發(fā)光薄膜、熒光薄膜、mems器件、3d安裝器件、印痕、致動(dòng)器、全息圖、等離子體激元設(shè)備、打印頭、偏光板、偏光薄膜、光波導(dǎo)、各種印刷物、片劑、化妝品、齒科材料等。實(shí)施例以下，使用實(shí)施例，進(jìn)一步詳細(xì)說明本發(fā)明，但本發(fā)明不限定于這些實(shí)施例。應(yīng)予說明，實(shí)施例和比較例中，份是指質(zhì)量份。[制造例1]堿顯影性感光性組合物no.1的制備將adekaarklswr-301(adekacorporation制造的堿顯影性粘結(jié)劑樹脂)5.1份、kayaraddpha(日本化藥株式會(huì)社制造的二季戊四醇六丙烯酸酯)1.1份、nci-831(adekacorporation制造的自由基聚合引發(fā)劑)1.0份、ma100(三菱化學(xué)株式會(huì)社制造的炭黑)3.5份、kbm403(信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造的烷氧基硅烷偶聯(lián)劑)0.3份和pgmea89份進(jìn)行混合，從而得到堿顯影性感光性組合物no.1。[制造例2]水顯影性感光性組合物no.2的制備將聚乙烯醇-苯乙烯基吡啶鹽(polyvinylalcoholbearingstyrylpyridinium)5份和離子交換水95份進(jìn)行加熱混合，從而得到水顯影性感光性組合物no.2。[制造例3]水顯影性感光性組合物no.3的制備將聚乙烯醇-苯乙烯基吡啶鹽4.8份、waterblackr-510(orientchemicalindustrycompany制造的尼格羅黑系染料)0.2份和離子交換水95份進(jìn)行加熱混合，從而得到水顯影性感光性組合物no.3。[制造例4]堿顯影性感光性組合物no.4的制備將具有聚(對羥基苯乙烯)的30摩爾％被叔丁氧基羰基取代得到的結(jié)構(gòu)的樹脂(mw＝12000)49.8份、三苯基锍九氟丁烷-1-磺酸鹽0.1份、三氟甲磺酸-1,3-二氧-1h,3h-苯并[d,e]異喹啉-2-基酯(萘二甲酰亞胺磺酸酯化合物)0.1份和pgmea50份進(jìn)行加熱混合，從而得到堿顯影性感光性組合物no.4。[制造例5]堿顯影性感光性組合物no.5的制備將spc-1000(昭和電工株式會(huì)社制造的堿顯影性粘結(jié)劑樹脂)12份、m-402(東亞合成株式會(huì)社制造的自由基聚合性化合物)5.5份、irgacureoxe-02(basf公司制造的自由基聚合引發(fā)劑)1.5份、c.i.顏料綠58分散液28份、c.i.顏料黃150分散液20份、2-巰基苯并噻唑1.5份、megafacf-554(diccorporation制造的表面活性劑)0.05份進(jìn)行混合，以固體成分達(dá)到20％的方式添加pgmea，從而得到堿顯影性感光性組合物no.5。[制造例6]堿顯影性感光性組合物no.6的制備將酚醛清漆樹脂5份、鄰二疊氮基萘醌-4-磺酸酯8份、六亞甲基四胺2份、乳酸乙酯50份、n,n’-二甲基甲酰胺25份、4份c.i.溶劑藍(lán)25、2份c.i.溶劑黃82、2份c.i溶劑黃162進(jìn)行混合，從而得到堿顯影性感光性組合物no.6。[制造例7]有機(jī)溶劑顯影性感光性組合物no.7的制備將3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3,4-環(huán)氧環(huán)己基羧酸酯80份、1,4-丁二醇二縮水甘油醚18份、adekaoptomersp-171(adekacorporation制造的光陽離子聚合引發(fā)劑)2份進(jìn)行混合，從而得到溶劑顯影性感光性組合物no.7。[制造例8]有機(jī)溶劑顯影性感光性組合物no.8的制備將ua-306h季戊四醇三丙烯酸酯六亞甲基二異氰酸酯氨基甲酸酯預(yù)聚物(共榮社化學(xué)株式會(huì)社制造的粘結(jié)劑樹脂)20份、kayaraddpca-60(日本化藥株式會(huì)社制造的二季戊四醇己內(nèi)酯改性丙烯酸酯)80份、irgacure184(basf公司制造的光自由基聚合引發(fā)劑)5份進(jìn)行混合，從而得到溶劑顯影性感光性組合物no.8。[制造例9]堿顯影性感光性組合物no.9的制備將酚醛清漆樹脂5份、鄰二疊氮基萘醌-4-磺酸酯8份和乳酸乙酯50份進(jìn)行混合，從而得到堿顯影性感光性組合物no.9。[制造例10]水溶解性組合物no.10的制備將kuraraypovalpva203(kurarayco.,ltd.制造的水溶性聚合物)5份和離子交換水95份進(jìn)行加熱混合，從而得到水溶解性組合物no.10。[制造例11]水溶解性組合物no.11的制備將kuraraypovalpva103(kurarayco.,ltd.制造的水溶性聚合物)5份和離子交換水95份進(jìn)行加熱混合，從而得到水溶解性組合物no.11。[制造例12]水溶解性組合物no.12的制備將nichigog-polymeroks-1083(日本合成化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造的丁烯二醇乙烯醇共聚物)10份和離子交換水95份進(jìn)行加熱混合，從而得到水溶解性組合物no.12。[制造例13]水溶解性組合物no.13的制備將gohsenxz-200(日本合成化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造的具有乙?；Y(jié)構(gòu)的pva)10份和離子交換水90份進(jìn)行加熱混合，從而得到水溶解性組合物no.13。[制造例14]水溶解性組合物no.14的制備將gohsenxz-2009份、bonjetblackcw-1(orientchemicalindustriescompany制造的自分散型炭黑、20％水溶液)5份和離子交換水86份進(jìn)行加熱混合，從而得到水溶解性組合物no.14。[制造例15]有機(jī)溶劑溶解性組合物no.15的制備將sumipexlg(住友化學(xué)株式會(huì)社制造的丙烯酸系粘結(jié)劑樹脂)10份和2-丁酮90份進(jìn)行混合，從而得到有機(jī)溶劑溶解性組合物no.15。[制造例16]有機(jī)溶劑溶解性組合物no.16的制備將sumipexlg9.5份、乙基-2-氰基-3-(4-二乙基氨基)苯基)丙烯酸酯0.5份、2-丁酮18份和環(huán)己酮72份進(jìn)行混合，從而得到有機(jī)溶劑溶解性組合物no.16。[制造例17]水溶解性組合物no.17的制備將k-90(日本觸媒株式會(huì)社制造的聚乙烯吡咯烷酮)5份和離子交換水95份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.17。[制造例18]水溶解性組合物no.18的制備將ge191-053(昭和電工株式會(huì)社制造的聚乙烯基乙酰胺)5份和離子交換水95份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.18。[制造例19]水溶解性組合物no.19的制備將聚丙烯酰胺(東京化成工業(yè)株式會(huì)社制)5份和離子交換水95份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.19。[制造例20]水溶解性組合物no.20的制備將aqnylona-90(東麗株式會(huì)社制造的水溶性聚合物)5份和離子交換水95份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.20。[制造例21]水溶解性組合物no.21的制備將gohsenxz-300(日本合成化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造的具有乙?；Y(jié)構(gòu)的pva)10份和離子交換水90份進(jìn)行加熱混合，從而得到水溶解性組合物no.21。[制造例22]水溶解性組合物no.22的制備將900份上述水溶解性組合物no.21、pesresina-690(高松油脂株式會(huì)社制造的含羧基聚酯、固體成分為20％)50份和epocrosws-700(日本觸媒株式會(huì)社制造的噁唑啉化合物、固體成分為25％)4份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.22。[制造例23]水溶解性組合物no.23的制備將900份上述水溶解性組合物no.21、pesresina-690(高松油脂株式會(huì)社制造的含羧基聚酯、固體成分為20％)50份、epocrosws-700(日本觸媒株式會(huì)社制造的噁唑啉化合物、固體成分為25％)4份和orgaticszc-126(matsumotofinechemicalco.ltd.制造的氯化鋯化合物、固體成分為30％)1份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.23。[制造例24]水溶解性組合物no.24的制備將900份上述水溶解性組合物no.21、pesresina-690(高松油脂株式會(huì)社制造的含羧基聚酯、固體成分為20％)50份、epocrosws-700(日本觸媒株式會(huì)社制造的噁唑啉化合物、固體成分為25％)4份和carbodilitev-02-l2(日清紡化學(xué)株式會(huì)社制造的碳二亞胺化合物、固體成分為40％)2.5份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.24。[制造例25]水溶解性組合物no.25的制備將900份上述水溶解性組合物no.21、pesresina-690(高松油脂株式會(huì)社制造的含羧基聚酯、固體成分為20％)50份、epocrosws-700(日本觸媒株式會(huì)社制造的噁唑啉化合物、固體成分為25％)4份、carbodilitev-02-l2(日清紡化學(xué)株式會(huì)社制造的碳二亞胺化合物、固體成分為40％)2.5份和orgaticszc-126(matsumotofinechemicalco.ltd.制造的氯化鋯化合物、固體成分為30％)0.33份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.25。[制造例26]水溶解性組合物no.26的制備將gohsenxt-330h(日本合成化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造的具有羧基的pva)10份和離子交換水90份進(jìn)行加熱混合，從而得到水溶解性組合物no.26。[制造例27]水溶解性組合物no.27的制備將630份上述水溶解性組合物no.21、270份上述水溶解性組合物no.26、pesresina-690(高松油脂株式會(huì)社制造的含羧基聚酯、固體成分為20％)50份和epocrosws-700(日本觸媒株式會(huì)社制造的噁唑啉化合物、固體成分為25％)4份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.27。[制造例28]水溶解性組合物no.28的制備將gohsenxz-200(日本合成化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造的具有乙?；Y(jié)構(gòu)的pva)10份和離子交換水90份進(jìn)行加熱混合，從而得到水溶解性組合物no.28。[制造例29]水溶解性組合物no.29的制備將900份上述水溶解性組合物no.28、pesresina-230(高松油脂株式會(huì)社制造的含羧基聚酯、固體成分為30％)33份和epocrosws-700(日本觸媒株式會(huì)社制造的噁唑啉化合物、固體成分為25％)4份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.29。[制造例30]水溶解性組合物no.30的制備將900份上述水溶解性組合物no.28、pesresina-230(高松油脂株式會(huì)社制造的含羧基聚酯、固體成分為30％)33份、epocrosws-700(日本觸媒株式會(huì)社制造的噁唑啉化合物、固體成分為25％)4份和orgaticszc-126(matsumotofinechemicalco.,ltd.制氯化鋯化合物、固體成分為30％)1份進(jìn)行混合，從而得到水溶解性組合物no.30。[實(shí)施例1～166和比較例1～15]圖案的形成以[表1]～[表6]所示的組合，在玻璃基板或下層膜上使用旋涂機(jī)涂布下層并進(jìn)行干燥，涂布上層后，用100℃的加熱板進(jìn)行10分鐘預(yù)烘焙，從而形成膜。其后冷卻至室溫，隔著光掩模(line/space(線/間距)＝100μm/100μm)，使用高壓汞燈，對各膜照射包含365nm波長的光3200mj/cm2。接著，使用[表7]所示的顯影液，以23℃按照上層、下層的順序進(jìn)行顯影。顯影后，使基板在120℃的烘箱內(nèi)干燥10分鐘，從而得到圖案。[表1][表2][表3][表4][表5][表6][表7]組合物no.1no.2no.3no.4no.5no.6no.7no.8no.9no.10顯影液abbaaaccab組合物no.11no.12no.13no.14no.15no.16no.17no.18no.19no.20顯影液bbbbccbbbba：0.04％氫氧化鈉水溶液b：離子交換水c：有機(jī)溶劑(2-丁酮)針對實(shí)施例1～166中得到的圖案，進(jìn)行下述評價(jià)。將層疊性的評價(jià)結(jié)果示于[表8]～[表13]，將光刻性的結(jié)果示于[表14]～[表19]，將耐溶劑性的結(jié)果示于[表20]～[表25]。關(guān)于層疊膜的膜厚，針對實(shí)施例4和實(shí)施例22的圖案進(jìn)行評價(jià)，關(guān)于密合性和阻氣性，對實(shí)施例99的圖案和作為參照的使用溶劑顯影性感光性組合物no.8進(jìn)行成膜、曝光、顯影而得到的圖案進(jìn)行評價(jià)。(層疊性)針對按照下層、上層的順序進(jìn)行成膜時(shí)的層疊性進(jìn)行評價(jià)。評價(jià)基準(zhǔn)如下所示?！穑合聦記]有紊亂，上層能夠成膜△：發(fā)生白濁化、一部分混合×：涂布上層的組成時(shí)，產(chǎn)生膜面紊亂、下層溶解等，未形成層疊膜(光刻性)通過激光顯微鏡確認(rèn)顯影、干燥后的圖案。評價(jià)基準(zhǔn)如下所示?！穑簣D案在100±5μm以內(nèi)△：圖案在100±10μm以內(nèi)×：為100±10μm以上或者圖案消失(耐溶劑性)將顯影、干燥后的圖案以23℃在n-甲基吡咯烷酮(nmp)中浸漬5分鐘后，用氮?dú)馊コ媳砻娴娜軇?。通過試驗(yàn)前后的膜面的狀態(tài)觀察進(jìn)行評價(jià)。評價(jià)基準(zhǔn)如下所示。○：膜面沒有變化△：一部分溶脹、溶解×：整面因溶脹、溶解而發(fā)生變化(層疊膜的膜厚)向水溶解性組合物no.10中添加離子交換水，制成2質(zhì)量％的水溶液。使用所得水溶液制作膜厚為0.1μm的下層。接著，使用堿顯影性感光性組合物no.1，制作膜厚為10μm的上層。另一方面，使用水溶解性組合物no.10，制作膜厚為10μm的下層，在其上層使用堿顯影性感光性組合物no.1，制作膜厚為10μm的上層。針對任意層疊體，均用顯影液a對上層進(jìn)行顯影，用顯影液b對下層進(jìn)行顯影，從而能夠得到良好的圖案形狀。向有機(jī)溶劑溶解性組合物no.15的組成中添加2-丁酮，制成1質(zhì)量％的溶液。使用所得溶液，制作膜厚為0.1μm的下層。接著，使用水顯影性感光性組合物no.2，制作膜厚為10μm的上層。另一方面，使用有機(jī)溶劑溶解性組合物no.15，制作膜厚為10μm的下層。接著，使用堿顯影性感光性組合物no.1，制作膜厚為10μm的上層。針對任意層疊體，均用顯影液b對上層進(jìn)行顯影，用顯影液c對下層進(jìn)行顯影，從而能夠得到良好的圖案形狀。(密合性)針對實(shí)施例99中得到的圖案、以及使用溶劑顯影性感光性組合物no.8得到的圖案，按照jisk5600-5-6(附著性(劃格法))評價(jià)密合性。實(shí)施例99沒有剝落等(分類0)，但使用溶劑顯影性感光性組合物no.8得到的圖案的大部分發(fā)生剝落(分類4)。(阻氣性)針對實(shí)施例99中得到的圖案、以及使用溶劑顯影性感光性組合物no.8得到的圖案，使用氧氣透過率測定裝置8001(illinoisinstruments,inc.制)，利用50cm2封夾(folder)進(jìn)行測定。實(shí)施例99為<0.01cc/m2/天、溶劑顯影性感光性組合物no.8為150cc/m2/天。[表8][表9][表10][表11][表12][表13][表14]※未形成上層[表15]※未形成上層[表16]※未形成上層[表17]※未形成上層[表18][表19][表20][表21][表22][表23][表24][表25]根據(jù)上述結(jié)果可以明確：通過本發(fā)明的圖案形成方法得到的圖案的層疊性、光刻性(靈敏度、分辨率、顯影性)、阻氣性、耐溶劑性等優(yōu)異。附圖標(biāo)記說明1基板2第1層3第2層當(dāng)前第1頁12