本發(fā)明屬于顯示裝置的制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種傳輸裝置、顯影系統(tǒng)及顯影方法。

背景技術(shù)：

在基板上制備薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)的過程中，需要經(jīng)過涂膠、曝光、顯影和刻蝕等工藝。其中，顯影工藝主要用于去除曝光后的基板上的光刻膠，預(yù)先形成所需圖形以便進(jìn)行下一步的刻蝕工藝。

現(xiàn)有技術(shù)一般采用噴淋式的顯影系統(tǒng)，該顯影系統(tǒng)如圖1所示，通常包括傳輸單元1以及設(shè)置在該傳輸單元1上方的噴淋單元3，在進(jìn)行顯影時，可以將曝光完成的基板10放置在該傳輸單元上1，傳輸單元1可以帶動基板10沿預(yù)設(shè)方向移動，同時噴淋單元3向基板10表面噴淋顯影液。

發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題：為了使基板10上的顯影液能盡快流掉，基板10所在的面與傳輸方向平行，而在與傳輸方向相垂直的面上，基板10一般傾斜一定角度，且在流水線上的該傾斜角θ一般是固定值，這樣造成基板10下半邊總比上半邊受液多，導(dǎo)致顯影不均，從而影響像素線寬均一性，導(dǎo)致漏光等品質(zhì)異常；此外，基板10傾斜需要馬達(dá)驅(qū)動來實現(xiàn)基板10一邊的升降，這個過程耗時較長，影響產(chǎn)能。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有的基板顯影受液不均導(dǎo)致顯影不均，影響像素線寬均一性，導(dǎo)致漏光的問題，提供一種傳輸裝置、顯影系統(tǒng)及顯影方法。

解決本發(fā)明技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

一種傳輸裝置，包括傳輸單元，所述傳輸單元包括多個傳輸部，所述傳輸部包括第一傾斜傳輸部和第二傾斜傳輸部，

所述第一傾斜傳輸部和所述第二傾斜傳輸部用于傳輸基板，所述第一傾斜傳輸部的傳輸面同第二傾斜傳輸部的傳輸面相背，或者所述第一傾斜傳輸部的傳輸面同第二傾斜傳輸部的傳輸面相對。

優(yōu)選的是，每個所述傳輸部均由多個滾輪構(gòu)成，所述滾輪的軸心均位于同一平面上，所述平面為第一平面。

優(yōu)選的是，在第一傾斜傳輸部和第二傾斜傳輸部之間還包括第三傳輸部，用于使基板在平行于所述第一平面所在的面上傳輸。

優(yōu)選的是，所述第一傾斜傳輸部的多個滾輪為第一滾輪，在沿傳輸前進(jìn)的方向上，所述多個第一滾輪的直徑逐漸減小。

優(yōu)選的是，所述第二傾斜傳輸部的多個滾輪為第二滾輪，在沿傳輸前進(jìn)的方向上，所述多個第二滾輪的直徑逐漸增大。

優(yōu)選的是，所述第三顯影部的多個滾輪為第三滾輪，在沿傳輸前進(jìn)的方向上，所述多個第三滾輪的直徑相同。

優(yōu)選的是，在沿傳輸前進(jìn)的方向上，所述第一傾斜傳輸部的長度與所述第二傾斜傳輸部的長度相同。

優(yōu)選的是，在第一傾斜傳輸部遠(yuǎn)離所述第二傾斜傳輸部的一側(cè)還設(shè)有第四緩沖傳輸部，用于使基板在平行于第二平面所在的面上傳輸；在第二傾斜傳輸部遠(yuǎn)離所述第一傾斜傳輸部的一側(cè)還設(shè)有第五緩沖傳輸部，用于使基板在平行于第三平面所在的面上傳輸；其中，所述第二平面與第三平面均平行于所述第一平面。

優(yōu)選的是，所述第一傾斜傳輸部所在面與所述第一平面的夾角中的銳角為α，所述第二傾斜傳輸所在面與所述第一平面的夾角中的銳角為α。

優(yōu)選的是，所述銳角α的范圍為1-30°。

優(yōu)選的是，所述銳角α的范圍為4-6°。

本發(fā)明還提供一種顯影系統(tǒng)，包括上述的傳輸裝置，還包括設(shè)置在所述傳輸單元上方的噴淋單元，用于向待顯影基板噴淋顯影液。

優(yōu)選的是，所述噴淋單元包括多個沿傳輸方向間隔設(shè)置的噴嘴。

本發(fā)明還提供一種上述的顯影系統(tǒng)進(jìn)行顯影的方法，包括以下步驟：

將基板放置于傳輸裝置上以使基板傳輸，同時開啟噴淋單元以向基板噴淋顯影液。

本發(fā)明的傳輸裝置中包括第一傾斜傳輸部、第二傾斜傳輸部，這兩個傳輸部的傳輸面相背或者相對，這樣在基板的傳輸過程中，傾斜設(shè)置的傳輸部在傳輸基板的同時兩次改變基板所在面相對于傳輸方向的角度，以在傳輸過程中完成對基板的作業(yè)。該傳輸裝置用于顯影系統(tǒng)時，基板在第一傾斜傳輸部傾斜，噴淋單元向待顯影基板噴淋顯影液進(jìn)行顯影，然后基板在第二傾斜傳輸部再次傾斜，進(jìn)行顯影，由于兩個傳輸部的傳輸面相背或者相對，這樣使基板整個表面受液均勻，進(jìn)而達(dá)到線寬顯像均一的目的。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的噴淋式的顯影系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2、圖3為本發(fā)明的實施例1的傳輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4-8為本發(fā)明的實施例2的傳輸裝置、實施例3的顯影系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中，附圖標(biāo)記為：10、基板；1、傳輸單元；11、第一傾斜傳輸部；12、第二傾斜傳輸部；13、第三傳輸部；14、第四緩沖傳輸部；15、第五緩沖傳輸部；2、滾輪；21、第一滾輪；22、第二滾輪；23、第三滾輪；3、噴淋單元；31、噴嘴。

具體實施方式

為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

實施例1：

本實施例提供一種傳輸裝置，如圖2、圖3所示，包括傳輸單元1，所述傳輸單元1包括多個傳輸部，所述傳輸部包括第一傾斜傳輸部11和第二傾斜傳輸部12，所述第一傾斜傳輸部11和所述第二傾斜傳輸部12用于傳輸基板10，所述第一傾斜傳輸部11的傳輸面同第二傾斜傳輸部12的傳輸面相背，或者所述第一傾斜傳輸部11的傳輸面同第二傾斜傳輸部12的傳輸面相對。

本實施例的傳輸裝置包括兩個傾斜設(shè)置的傳輸部：第一傾斜傳輸部11、第二傾斜傳輸部12，這兩個傳輸部的傳輸面相背或者相對，這樣在基板10的傳輸過程中，傾斜設(shè)置的傳輸部在傳輸基板10的同時兩次改變基板10所在面相對于傳輸方向的角度，以在傳輸過程中完成對基板10的作業(yè)。其中，本實施例所述傳輸方向是指基板10水平向前傳輸?shù)姆较?。本實施例的傳輸裝置適用于流水線生產(chǎn)顯示基板10、顯示面板、顯示裝置，尤其適用于流水線生產(chǎn)基板10過程中噴淋顯影液的工藝。

實施例2：

本實施例提供一種傳輸裝置，如圖4-8所示，包括傳輸單元1，所述傳輸單元1包括多個傳輸部，所述傳輸部包括第一傾斜傳輸部11和第二傾斜傳輸部12，所述第一傾斜傳輸部11和所述第二傾斜傳輸部12用于傳輸基板10，所述第一傾斜傳輸部11的傳輸面同第二傾斜傳輸部12的傳輸面相背，或者所述第一傾斜傳輸部11的傳輸面同第二傾斜傳輸部12的傳輸面相對。其中，如圖6、圖7所示，本實施例中每個所述傳輸部均由多個滾輪2構(gòu)成，所述滾輪2的軸心均位于同一平面上，所述平面為第一平面。

也就是說，基板10傳輸?shù)膭恿χ饕嵌鄠€滾輪2沿自身的軸心滾動，且多個滾輪2滾動方向相同，例如同時順時針滾動，或者同時逆時針滾動。這樣在基板10的傳輸方向上，基板10可以主動完成傾斜一定角度，無需馬達(dá)來回驅(qū)動基板10升降，實現(xiàn)高效傳送，縮短工藝時間，提升產(chǎn)能，且減少了馬達(dá)異常卡死帶來的宕機(jī)風(fēng)險，大大降低設(shè)備成本。

優(yōu)選的是，在第一傾斜傳輸部11和第二傾斜傳輸部12之間還包括第三傳輸部13，用于使基板10在平行于所述第一平面所在的面上傳輸。

也就是說，在基板10經(jīng)過第一傾斜傳輸部11后，經(jīng)過一段水平的傳輸后再進(jìn)行下一次傾斜傳輸，這樣設(shè)計的作用一是：使得基板10在第三傳輸部13充分顯影，二是：相對減緩基板10連續(xù)轉(zhuǎn)變的角度，防止基板10在傳輸過程中重心不穩(wěn)定。

優(yōu)選的是，所述第一傾斜傳輸部11的多個滾輪2為第一滾輪21，在沿傳輸前進(jìn)的方向上，所述多個第一滾輪21的直徑逐漸減小。

優(yōu)選的是，所述第二傾斜傳輸部12的多個滾輪2為第二滾輪22，在沿傳輸前進(jìn)的方向上，所述多個第二滾輪22的直徑逐漸增大。

優(yōu)選的是，所述第三傳輸部的多個滾輪2為第三滾輪23，在沿傳輸前進(jìn)的方向上，所述多個第三滾輪23的直徑相同。

也就是說，在此提供一種具體的實施方式，如圖6、圖7所示，第一滾輪21為直徑逐減的同軸傳送輪，以使基板10在第一傾斜傳輸部11傳送過程主動傾斜一定角度，在第三傳輸部經(jīng)同軸同徑第三滾輪23進(jìn)行充分顯影后，基板10傳送到第二傾斜傳輸部12，由于第二滾輪22為直徑遞增的同軸傳送輪，基板10在傳送過程再次主動傾斜，恢復(fù)進(jìn)入第一傾斜傳輸部11之前的水平傳輸。其中，圖6所示的第一傾斜傳輸部11的傳輸面與第二傾斜傳輸部12的傳輸面相對，可以理解的是，如圖8所示，第一傾斜傳輸部11的傳輸面與第二傾斜傳輸部12的傳輸面相背也是可行的。

優(yōu)選的是，在沿傳輸前進(jìn)的方向上，所述第一傾斜傳輸部11的長度與所述第二傾斜傳輸部12的長度相同。

優(yōu)選的是，所述第一傾斜傳輸部11所在面與所述第一平面的夾角中的銳角為α，所述第二傾斜傳輸所在面與所述第一平面的夾角中的銳角為α。

也就是說，第一傾斜傳輸部11與第二傾斜傳輸部12是對稱的，這樣當(dāng)用于向待顯影基板10噴淋顯影液時，可以避免基板10下半面比上半面受液多導(dǎo)致的顯影不均，影響像素線寬均一性，導(dǎo)致漏光等品質(zhì)異常的問題。

優(yōu)選的是，銳角α的范圍為1-30°。更優(yōu)選的是，銳角α的范圍為4-6°。

也就是說，第一傾斜傳輸部11與第二傾斜傳輸部12的傾斜角度在上述范圍內(nèi)可以保證基板10平穩(wěn)的傳輸運(yùn)行，同時達(dá)到顯影均勻的目的。

優(yōu)選的是，在第一傾斜傳輸部11遠(yuǎn)離所述第二傾斜傳輸部12的一側(cè)還設(shè)有第四緩沖傳輸部14，用于使基板10在平行于第二平面所在的面上傳輸；在第二傾斜傳輸部12遠(yuǎn)離所述第一傾斜傳輸部11的一側(cè)還設(shè)有第五緩沖傳輸部15，用于使基板10在平行于第三平面所在的面上傳輸；其中，所述第二平面與第三平面均平行于所述第一平面。

也就是說，在進(jìn)入第一傾斜傳輸部11之前，基板10在傳輸裝置上是水平傳輸?shù)?，在完成顯影之后，即經(jīng)過第二傾斜傳輸部12之后，基板10恢復(fù)水平傳輸。這樣設(shè)計的作用是：使得基板10在進(jìn)行傾斜之前有一段水平的緩沖，保證向下一個工序運(yùn)行的過程中其重心穩(wěn)定，不易被磕碰。其中，如圖8所示，第四緩沖傳輸部14與第五緩沖傳輸部15可以在同一水平面上且該平面平行于第一平面即滾輪軸心所在的平面。

實施例3：

本實施例提供一種顯影系統(tǒng)，如圖4-6所示，包括上述實施例的傳輸裝置，還包括設(shè)置在所述傳輸單元1上方的噴淋單元3，噴淋單元3包括多個沿傳輸方向間隔設(shè)置的噴嘴31，向待顯影基板10噴淋顯影液。

本實施例的顯影系統(tǒng)使用時，基板10在第一傾斜傳輸部11傾斜，噴淋單元3向待顯影基板10噴淋顯影液進(jìn)行顯影，然后基板10在第二傾斜傳輸部12再次傾斜，進(jìn)行顯影，由于兩個傳輸部的傳輸面相背或者相對，這樣使基板10整個表面受液均勻，進(jìn)而達(dá)到線寬顯像均一的目的。

實施例4：

本實施例提供一種上述實施例的顯影系統(tǒng)進(jìn)行顯影的方法，包括以下步驟：

將基板放置于傳輸裝置上以使基板傳輸，同時開啟噴淋單元以向基板噴淋顯影液。

本實施例的顯影方法，基板先在第一傾斜傳輸部傾斜，噴淋單元向待顯影基板噴淋顯影液進(jìn)行顯影，然后基板在第二傾斜傳輸部再次傾斜，進(jìn)行顯影，由于兩個傳輸部的傳輸面相背或者相對，這樣使基板整個表面受液均勻，進(jìn)而達(dá)到線寬顯像均一的目的。

顯然，上述各實施例的具體實施方式還可進(jìn)行許多變化；例如：滾輪直徑的具體尺寸可以根據(jù)基板的尺寸進(jìn)行調(diào)整，滾輪的轉(zhuǎn)動速度可以根據(jù)需要進(jìn)行改變。

可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。