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基于橢球面反射鏡的變孔徑環(huán)形光束產(chǎn)生裝置的制作方法

文檔序號(hào):12115810閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.基于橢球面反射鏡的變孔徑環(huán)形光束產(chǎn)生裝置,其特征在于,包括同軸設(shè)置的圓柱套筒(1)、固定盤(2)、物鏡(3)、針孔(4)、環(huán)形光闌(5)和橢球面反射鏡(6);所述物鏡(3)由安裝在圓柱套筒(1)內(nèi)的固定盤(2)固定;所述針孔(4)同時(shí)位于物鏡(3)的焦點(diǎn)位置和橢球面反射鏡(6)的遠(yuǎn)焦點(diǎn)位置;所述環(huán)形光闌(5)能夠沿軸向移動(dòng);所述橢球面反射鏡(6)的近焦點(diǎn)在橢球面反射鏡(6)的外端面上,且橢球面反射鏡(6)的外端面與圓柱套筒(1)的端面重合;光束平行照射到物鏡(3)上,匯聚到針孔(4),從橢球面反射鏡(6)的遠(yuǎn)焦點(diǎn)出射,經(jīng)過橢球面反射鏡(6)反射后,匯聚到橢球面反射鏡(6)的近焦點(diǎn),形成照明光束;環(huán)形光闌(5)沿軸向移動(dòng),調(diào)整照明光束的強(qiáng)度和角度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于橢球面反射鏡的變孔徑環(huán)形光束產(chǎn)生裝置,其特征在于,所述環(huán)形光闌(5)包括外圈(51),內(nèi)圈(52),以及連接外圈(51)和內(nèi)圈(52)的多個(gè)鐵絲(53),所述鐵絲(53)在圓周方向均勻分布;所述外圈(51)與圓柱套筒(1)間隙配合,在外圈(51)外圍設(shè)置有螺紋孔,在圓柱套筒(1)上設(shè)置有槽,螺栓(54)穿過設(shè)置在圓柱套筒(1)上的槽,旋擰在外圈(51)的螺紋孔中,實(shí)現(xiàn)對(duì)環(huán)形光闌(5)軸向位置的固定。

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