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用于高精度網(wǎng)版制作的數(shù)字化雙面同時直寫曝光設(shè)備的制作方法

文檔序號:12716293閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.用于高精度網(wǎng)版制作的數(shù)字化雙面同時直寫曝光設(shè)備,其特征在于:包括主控計算機、設(shè)置于曝光基板兩側(cè)且能夠通過光速掃描曝光基板的光引擎、及能夠使曝光基板與光引擎兩者產(chǎn)生相對平面運動的移動平臺,所述移動平臺及光引擎均受主控計算機控制,該光引擎包括光學(xué)系統(tǒng)及內(nèi)設(shè)微反射鏡陣列的DMD芯片,且兩相對應(yīng)的所述光引擎所發(fā)出的光束的光軸重合,并與曝光基板相垂直。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高精度網(wǎng)版制作的數(shù)字化雙面同時直寫曝光設(shè)備,其特征在于:所述移動平臺為龍門式移動平臺,且其包括工作平臺,工作平臺上相對安裝有可移動的龍門架,所述龍門架上安裝有可移動的所述光引擎, 且該光引擎能夠發(fā)射光束掃描安裝于工作平臺上的曝光基板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高精度網(wǎng)版制作的數(shù)字化雙面同時直寫曝光設(shè)備,其特征在于:所述移動平臺為橋架式移動平臺,且其包括工作平臺,工作平臺上相對安裝有固定的橋架,且橋架下方設(shè)置有可于工作平臺上移動的滑架,所述橋架上安裝有可移動的所述光引擎, 且該光引擎能夠發(fā)射光束掃描安裝于工作平臺或是滑架上的曝光基板。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高精度網(wǎng)版制作的數(shù)字化雙面同時直寫曝光設(shè)備,其特征在于:所述光學(xué)系統(tǒng)是由光源系統(tǒng)及光學(xué)成像系統(tǒng)組成,光源系統(tǒng)由能夠?qū)馐M行勻化處理使光束光強分布均勻的勻光系統(tǒng)和將光源系統(tǒng)發(fā)出的光整形進入勻光系統(tǒng)并將勻光后的光束準直后按一定角度發(fā)射到DMD芯片上準直系統(tǒng)組成。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于高精度網(wǎng)版制作的數(shù)字化雙面同時直寫曝光設(shè)備,其特征在于:所述的勻光系統(tǒng)采用的是光學(xué)積分器光棒或復(fù)眼或DOE光學(xué)器件。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于高精度網(wǎng)版制作的數(shù)字化雙面同時直寫曝光設(shè)備,其特征在于:所述的光學(xué)成像系統(tǒng)是由多組光學(xué)鏡片組成。

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