本發(fā)明涉及平板顯示面板的制造領(lǐng)域，尤其涉及一種UV掩膜板及其制作方法與框膠固化系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

近年來(lái)顯示技術(shù)發(fā)展很快，平板顯示器以其完全不同的顯示和制造技術(shù)使之同傳統(tǒng)的視頻圖像顯示器有很大的差別。傳統(tǒng)的視頻圖像顯示器主要為陰極射線管(Cathode ray tubes，CRT)顯示器；而平板顯示器與之的主要區(qū)別在于重量和體積(厚度)方面的變化，通常平板顯示器的厚度不超過(guò)10cm，當(dāng)然還有其他方面的不同，如顯示原理、制造材料、工藝以及視頻圖像顯示驅(qū)動(dòng)方面的各項(xiàng)技術(shù)等。平板顯示器具有完全平面化、輕、薄、省電等特點(diǎn)，符合未來(lái)圖像顯示器發(fā)展的必然趨勢(shì)。目前主要的平板顯示器包括：等離子顯示面板(Plasma display panel，PDP)、液晶顯示器(Liquid crystal displays，LCD)、場(chǎng)發(fā)射顯示器(Field emission display，F(xiàn)ED)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(Organic light-emittingdiode displays，OLED)以及投影顯示技術(shù)等。

在平板顯示器的制作過(guò)程中，一般會(huì)有一個(gè)工序是UV固化工藝。其是用紫外線(UV)光照射平板顯示器中的框膠，從而使框膠固化，起到保護(hù)作用。例如，在LCD器件中是防止液晶外流，在OLED器件中是阻止外界的水汽、氧氣滲透進(jìn)入器件內(nèi)部，從而防止OLED器件受到傷害。

圖1為利用現(xiàn)有一種UV固化設(shè)備對(duì)框膠進(jìn)行固化的示意圖：首先將平面顯示器100放置在密封室250內(nèi)，并將UV掩膜板(Mask)210放置在UV燈230和平面顯示器100之間，然后利用UV燈230發(fā)出的光線通過(guò)UV掩膜板210照射到平面顯示器100中的框膠上，從而使框膠固化。其中，所述密封室250內(nèi)具有符合標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)設(shè)環(huán)境，所述預(yù)設(shè)環(huán)境中的水、氧的含量都處于百萬(wàn)分之一的量級(jí)。所述UV掩膜板210上設(shè)置有預(yù)定圖案，以遮擋照射到所述平面顯示器100的有效區(qū)域(Active Area，AA)中的UV光，而透過(guò)照射到所述平面顯示器100框膠處的UV光。

目前的UV固化設(shè)備存在兩個(gè)弱點(diǎn)：(1)UV燈230光效低，大部分能量是以熱量的形式發(fā)出來(lái)，導(dǎo)致平面顯示器100的溫度會(huì)升高，從而有可能對(duì)平面顯示器100造成影響。(2)UV掩膜板210通常是一塊石英板，若制程基板尺寸過(guò)大，比如G8.5代產(chǎn)線的玻璃基板尺寸為2200mm×2500mm，石英板就會(huì)變得很重，并且稍有裂紋就需要整張石英板報(bào)廢，從而造成使用成本高昂。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種UV掩膜板，結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，每一塊掩膜單元的厚度可以減小，且耐受撞擊，降低了UV掩膜板更換過(guò)程中的破損風(fēng)險(xiǎn)，使用成本更低。

本發(fā)明的目的還在于提供一種UV掩膜板的制作方法，所制作的UV掩膜板，結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，每一塊掩膜單元的厚度可以減小，且耐受撞擊，降低了UV掩膜板更換過(guò)程中的破損風(fēng)險(xiǎn)，使用成本更低，制作方法簡(jiǎn)單。

本發(fā)明的目的還在于提供一種框膠固化系統(tǒng)，采用上述UV掩膜板，且在UV光源和UV掩膜板之間還設(shè)有的冷卻裝置，能夠避免UV掩膜板受熱膨脹變形。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種UV掩膜板，用于對(duì)大板上的框膠固化，所述大板上排布有數(shù)個(gè)平面顯示面板，所述大板上的框膠包括數(shù)個(gè)分別位于數(shù)個(gè)平面顯示面板中的內(nèi)框膠；

所述UV掩膜板包括掩膜框、固定于所述掩膜框上的支撐板、及安裝于支撐板上的數(shù)個(gè)掩膜單元；

所述支撐板上對(duì)應(yīng)所述數(shù)個(gè)掩膜單元設(shè)有數(shù)個(gè)安裝槽，所述數(shù)個(gè)掩膜單元分別對(duì)應(yīng)安裝于所述數(shù)個(gè)安裝槽中；

所述安裝槽底部的邊緣部分被保留而形成支撐臺(tái)，用于對(duì)相應(yīng)掩膜單元進(jìn)行支撐，其余部分被去除而形成第一開(kāi)口，用于使UV光穿過(guò)掩膜單元而照射在相應(yīng)平面顯示面板的內(nèi)框膠上；

每一掩膜單元均包括掩膜本體和形成于掩膜本體上的遮光層；所述掩膜本體包括遮光區(qū)域和漏光區(qū)域，所述遮光層對(duì)應(yīng)覆蓋所述掩膜本體的遮光區(qū)域；

每一掩膜單元對(duì)應(yīng)一個(gè)平面顯示面板，每一掩膜單元的遮光層用于遮擋相應(yīng)平面顯示面板的顯示區(qū)域，每一掩膜單元的漏光區(qū)域用于透過(guò)UV光從而對(duì)相應(yīng)平面顯示面板的內(nèi)框膠固化；

所述掩膜框、及支撐板的材料均為不銹鋼。

所述大板上的框膠還包括對(duì)應(yīng)位于所述數(shù)個(gè)平面顯示面板外圍的外框膠，所述支撐板上對(duì)應(yīng)所述數(shù)個(gè)掩膜單元的外圍設(shè)有數(shù)條第二開(kāi)口，用于對(duì)大板上的外框膠進(jìn)行固化。

所述掩膜本體為石英板、或窄帶濾光片。

所述遮光層的材料為金屬，厚度為0.1-1000μm。

所述遮光層的材料為鉻。

本發(fā)明還提供一種UV掩膜板的制作方法，包括以下步驟：

步驟1、采用不銹鋼材料制作一個(gè)掩膜框，再采用不銹鋼材料制作一片支撐板，在所述支撐板上挖出數(shù)個(gè)安裝槽，所述安裝槽底部的邊緣部分被保留而形成支撐臺(tái)，其余部分被去除而形成第一開(kāi)口；

步驟2、對(duì)應(yīng)所述數(shù)個(gè)安裝槽提供數(shù)個(gè)掩膜單元，將所述數(shù)個(gè)掩膜單元分別對(duì)應(yīng)的安裝于所述數(shù)個(gè)安裝槽中，此時(shí)每一掩膜單元的邊緣部分支撐于相應(yīng)安裝槽的支撐臺(tái)上；

每一掩膜單元均包括掩膜本體和形成于掩膜本體上的遮光層；所述掩膜本體包括遮光區(qū)域和漏光區(qū)域，所述遮光層對(duì)應(yīng)覆蓋所述掩膜本體的遮光區(qū)域；

步驟3、將安裝有數(shù)個(gè)掩膜單元的支撐板固定在掩膜框上，得到UV掩膜板；

所述UV掩膜板用于對(duì)大板上的框膠固化，所述大板上排布有數(shù)個(gè)平面顯示面板；

所述步驟1中，支撐板上的數(shù)個(gè)安裝槽根據(jù)大板上排布的數(shù)個(gè)平面顯示面板進(jìn)行設(shè)置；相應(yīng)的，每一掩膜單元對(duì)應(yīng)一個(gè)平面顯示面板，所述大板上的框膠包括數(shù)個(gè)分別位于數(shù)個(gè)平面顯示面板中的內(nèi)框膠；

每一掩膜單元的遮光層用于遮擋相應(yīng)平面顯示面板的顯示區(qū)域，每一掩膜單元的漏光區(qū)域用于透過(guò)UV光從而對(duì)相應(yīng)平面顯示面板的內(nèi)框膠固化；每一安裝槽的第一開(kāi)口用于使UV光穿過(guò)掩膜單元而照射在相應(yīng)平面顯示面板的內(nèi)框膠上。

所述大板上的框膠還包括對(duì)應(yīng)位于所述數(shù)個(gè)平面顯示面板外圍的外框膠，所述步驟1還包括，在支撐板上對(duì)應(yīng)所述數(shù)個(gè)掩膜單元的外圍設(shè)置數(shù)條第二開(kāi)口，用于對(duì)大板上的外框膠進(jìn)行固化。

所述掩膜本體為石英板、或窄帶濾光片；所述遮光層的材料為金屬，厚度為0.1-1000μm。

本發(fā)明還提供一種框膠固化系統(tǒng)，包括：

固化室，所述固化室用于接收并容置框膠待固化的大板；

如權(quán)利要求1所述的UV掩膜板，所述UV掩膜板設(shè)置于固化室內(nèi)并位于所述大板的下方；

設(shè)置于固化室下方的UV光源，所述UV光源用于產(chǎn)生UV光；

設(shè)置在所述UV光源和UV掩膜板之間的冷卻裝置，用于對(duì)UV掩膜板進(jìn)行冷卻恒溫處理，避免UV掩膜板受熱膨脹變形。

所述冷卻裝置設(shè)于所述固化室的底部；

所述冷卻裝置包括相對(duì)設(shè)置兩透光板，所述兩透光板之間形成一冷卻通道，所述冷卻通道用于容置冷卻流體；

所述兩透光板均為石英板、或均為窄帶濾光片、或分別為石英板和窄帶濾光片。

有益效果：本發(fā)明的UV掩膜板，包括掩膜框、固定于所述掩膜框上的支撐板、及安裝于支撐板上的數(shù)個(gè)掩膜單元；其中，每一掩膜單元對(duì)應(yīng)一個(gè)平面顯示面板，所述掩膜框、及支撐板的材料均為不銹鋼，與現(xiàn)有技術(shù)相比，提高了UV掩膜板的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，每一塊掩膜單元的厚度可以減小，且更能耐受撞擊，不會(huì)產(chǎn)生裂紋，降低了UV掩膜板更換過(guò)程中的破損風(fēng)險(xiǎn)；若其中一塊掩膜單元破裂，只需要更換這一塊掩膜單元，而不用整塊更換UV掩膜板，使用成本更低。本發(fā)明的UV掩膜板的制作方法，所制作的UV掩膜板，結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，每一塊掩膜單元的厚度可以減小，且耐受撞擊，降低了UV掩膜板更換過(guò)程中的破損風(fēng)險(xiǎn)，使用成本更低，制作方法簡(jiǎn)單。本發(fā)明的框膠固化系統(tǒng)，采用上述UV掩膜板，且在UV光源和UV掩膜板之間還設(shè)有的冷卻裝置，能夠避免UV掩膜板受熱膨脹變形。

為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，然而附圖僅提供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加以限制。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖，通過(guò)對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見(jiàn)。

附圖中，

圖1為利用現(xiàn)有一種UV固化設(shè)備對(duì)框膠進(jìn)行固化的示意圖；

圖2為本發(fā)明的UV掩膜板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2中沿A-A’線的剖視圖；

圖4為本發(fā)明的UV掩膜板中支撐板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明的UV掩膜板中掩膜單元的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明的UV掩膜板所對(duì)應(yīng)的大板上一種框膠的分布情況的示意圖；

圖7為365nm窄帶濾光片的透過(guò)率-波長(zhǎng)示意圖；

圖8為本發(fā)明的UV掩膜板的制作方法的流程示意圖；

圖9為本發(fā)明的框膠固化系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。

請(qǐng)參閱圖2，本發(fā)明首先提供一種UV掩膜板，用于對(duì)大板50上的框膠500固化，所述大板50上排布有數(shù)個(gè)平面顯示面板51，所述大板50上的框膠500包括數(shù)個(gè)分別位于數(shù)個(gè)平面顯示面板51中的內(nèi)框膠501；

所述UV掩膜板包括掩膜框11、固定于所述掩膜框11上的支撐板12、及安裝于支撐板12上的數(shù)個(gè)掩膜單元13；

所述支撐板12上對(duì)應(yīng)所述數(shù)個(gè)掩膜單元13設(shè)有數(shù)個(gè)安裝槽121，所述數(shù)個(gè)掩膜單元13分別對(duì)應(yīng)安裝于所述數(shù)個(gè)安裝槽121中；

如圖3-4所示，所述安裝槽121底部的邊緣部分被保留而形成支撐臺(tái)1211，用于對(duì)相應(yīng)掩膜單元13進(jìn)行支撐，其余部分被去除而形成第一開(kāi)口1212，用于使UV光穿過(guò)掩膜單元13而照射在相應(yīng)平面顯示面板51的內(nèi)框膠501上；

如圖5所示，每一掩膜單元13均包括掩膜本體131和形成于掩膜本體131上的遮光層132；所述掩膜本體131包括遮光區(qū)域和漏光區(qū)域，所述遮光層132對(duì)應(yīng)覆蓋所述掩膜本體131的遮光區(qū)域；

每一掩膜單元13對(duì)應(yīng)一個(gè)平面顯示面板51，每一掩膜單元13的遮光層132用于遮擋相應(yīng)平面顯示面板51的顯示區(qū)域，每一掩膜單元13的漏光區(qū)域用于透過(guò)UV光從而對(duì)相應(yīng)平面顯示面板51的內(nèi)框膠501固化；

所述掩膜框11、及支撐板12的材料均為不銹鋼。

具體地，本發(fā)明的UV掩膜板的具體結(jié)構(gòu)根據(jù)大板50上的框膠500的分布情況而定。通常，在平面顯示器的制作過(guò)程中，例如OLED顯示器在制作過(guò)程中，大板50上需要涂布兩種框膠，如圖6所示，除了分別位于數(shù)個(gè)平面顯示面板51中的數(shù)個(gè)內(nèi)框膠501外，還需要在數(shù)個(gè)平面顯示面板51外圍設(shè)置外框膠502，其中，內(nèi)框膠501對(duì)應(yīng)位于相應(yīng)的平面顯示面板51上，在對(duì)大板50切割后，內(nèi)框膠501會(huì)留在相應(yīng)平面顯示面板51上，用于阻止環(huán)境中的水汽、氧氣傷害平面顯示面板51上的OLED器件等；外框膠502是工藝過(guò)程使用，對(duì)應(yīng)設(shè)置于數(shù)個(gè)平面顯示面板51外圍，僅是用來(lái)粘結(jié)住大板50的上下玻璃基板，防止其滑脫錯(cuò)位，在對(duì)大板50切割后，外框膠502不會(huì)留在每個(gè)平面顯示面板51上。

因此，在UV掩膜板用于框膠固化的實(shí)施方式中，若待固化框膠500的大板50上具有外框膠502，那么本發(fā)明的UV掩膜板上將設(shè)有相應(yīng)的開(kāi)口對(duì)外框膠502進(jìn)行固化。本發(fā)明UV掩膜板的一實(shí)施方式中，所述支撐板12上對(duì)應(yīng)所述數(shù)個(gè)掩膜單元13的外圍設(shè)有數(shù)條第二開(kāi)口122，用于對(duì)大板50上的外框膠502進(jìn)行固化。若大板50上對(duì)應(yīng)所述數(shù)個(gè)平面顯示面板51外圍沒(méi)有設(shè)置外框膠502，支撐板12也可以不用設(shè)置第二開(kāi)口122。

具體地，所述掩膜本體131為石英板、或窄帶濾光片。其中，窄帶濾光片為能夠從復(fù)合光中分離出某一波段單色光的濾光片，只讓光線中某一波段通過(guò)，其通常采用多層硬膜經(jīng)離子輔助沉積納米材料高真空蒸發(fā)而成，膜層致密性好，帶寬窄、高截止率、高透光率。

優(yōu)選地，在UV掩膜板用于框膠固化的實(shí)施方式中，掩膜本體131為窄帶濾光片，其中心波段與待固化框膠的固化主波長(zhǎng)一致。例如，若待固化框膠的固化主波長(zhǎng)為365nm，那么該掩膜本體131即為中心波段為365nm的窄帶濾光片。

如圖7所示，本發(fā)明UV掩膜板一實(shí)施方式中365nm窄帶濾光片的透過(guò)率-波長(zhǎng)示意圖，其中，橫坐標(biāo)表示波長(zhǎng)，單位為nm，縱坐標(biāo)為光的透過(guò)率，其單位為％。本實(shí)施方式中，掩膜本體131為365nm的窄帶濾光片，其能夠使波長(zhǎng)為365nm的紫外光透過(guò)，而濾除其他波長(zhǎng)的光。在具體實(shí)現(xiàn)中，由于UV光源發(fā)出的光并不只有365nm波長(zhǎng)的光，例如365nm的紫外高壓汞燈，其發(fā)出的光線為包括365nm波長(zhǎng)以及其他波長(zhǎng)的混合波長(zhǎng)的光，因此，365nm窄帶濾光片可以過(guò)濾光路中除去365nm波長(zhǎng)之外的其他波長(zhǎng)的光線，特別是紅外線。

具體地，所述遮光層132的材料為金屬，厚度為0.1-1000μm。

具體地，所述遮光層132的材料為鉻。

本發(fā)明的UV掩膜板，每一掩膜單元13對(duì)應(yīng)一個(gè)平面顯示面板51，所述掩膜框11、及支撐板12的材料均為不銹鋼，與現(xiàn)有技術(shù)相比，提高了UV掩膜板的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，每一塊掩膜單元13的厚度可以減小，且更能耐受撞擊，不會(huì)產(chǎn)生裂紋，降低了UV掩膜板更換過(guò)程中的破損風(fēng)險(xiǎn)；若其中一塊掩膜單元13破裂，只需要更換這一塊掩膜單元，而不用整塊更換UV掩膜板，使用成本更低。

基于上述UV掩膜板，請(qǐng)參閱圖8，本發(fā)明還提供一種UV掩膜板的制作方法，包括以下步驟：

步驟1、采用不銹鋼材料制作一個(gè)掩膜框11，再采用不銹鋼材料制作一片支撐板12，在所述支撐板12上挖出數(shù)個(gè)安裝槽121，所述安裝槽121底部的邊緣部分被保留而形成支撐臺(tái)1211，其余部分被去除而形成第一開(kāi)口1212。

步驟2、對(duì)應(yīng)所述數(shù)個(gè)安裝槽121提供數(shù)個(gè)掩膜單元13，將所述數(shù)個(gè)掩膜單元13分別對(duì)應(yīng)的安裝于所述數(shù)個(gè)安裝槽121中，此時(shí)每一掩膜單元13的邊緣部分支撐于相應(yīng)安裝槽121的支撐臺(tái)1211上。

具體地，每一掩膜單元13均包括掩膜本體131和形成于掩膜本體131上的遮光層132；所述掩膜本體131包括遮光區(qū)域和漏光區(qū)域，所述遮光層132對(duì)應(yīng)覆蓋所述掩膜本體131的遮光區(qū)域。

步驟3、將安裝有數(shù)個(gè)掩膜單元13的支撐板12固定在掩膜框11上，得到UV掩膜板；所述UV掩膜板用于對(duì)大板50上的框膠固化，所述大板50上排布有數(shù)個(gè)平面顯示面板51，所述大板50上的框膠500包括數(shù)個(gè)分別位于數(shù)個(gè)平面顯示面板51中的內(nèi)框膠501。

具體地，所述步驟1中，支撐板12上的數(shù)個(gè)安裝槽121根據(jù)大板50上排布的數(shù)個(gè)平面顯示面板51進(jìn)行設(shè)置，安裝槽121的大小根據(jù)平面顯示面板51的大小設(shè)置，相應(yīng)的，每一掩膜單元13也對(duì)應(yīng)一個(gè)平面顯示面板51。

具體地，每一掩膜單元13的遮光層132用于遮擋相應(yīng)平面顯示面板51的顯示區(qū)域，每一掩膜單元13的漏光區(qū)域用于透過(guò)UV光從而對(duì)相應(yīng)平面顯示面板51的內(nèi)框膠501固化；每一安裝槽121的第一開(kāi)口1212用于使UV光穿過(guò)掩膜單元13而照射在相應(yīng)平面顯示面板51的內(nèi)框膠501上。

具體地，在本實(shí)施例中，所制作的UV掩膜板所對(duì)應(yīng)的大板50上對(duì)應(yīng)數(shù)個(gè)平面顯示面板51外圍設(shè)置有外框膠502，所述步驟1還包括，在支撐板12上對(duì)應(yīng)所述數(shù)個(gè)掩膜單元13的外圍設(shè)置數(shù)條第二開(kāi)口122，用于對(duì)大板50上對(duì)應(yīng)所述數(shù)個(gè)平面顯示面板51外圍的外框膠502進(jìn)行固化。

具體地，所述掩膜本體131為石英板、或窄帶濾光片；所述遮光層132的材料為金屬，厚度為0.1-1000μm。

基于上述UV掩膜板，請(qǐng)參閱圖9，本發(fā)明還提供一種框膠固化系統(tǒng)，包括上述的UV掩膜板10；所述UV掩膜板10的具體結(jié)構(gòu)在此不再贅述；由于不銹鋼的熱膨脹系數(shù)比石英和玻璃的大很多，通常，石英為0.53-0.58×10E-6m/℃，鉻為6.2×10E-6m/℃，玻璃為4.5×10E-6m/℃，不銹鋼為14.4×10E-6m/℃。所以，UV掩膜板10中，掩膜框11、及支撐板12很容易因溫度變化而導(dǎo)致受熱膨脹變形，那么設(shè)備中加入冷卻裝置是十分必要的。因此，本發(fā)明的框膠固化系統(tǒng)還包括冷卻裝置40，用于對(duì)UV掩膜板10進(jìn)行冷卻恒溫處理，避免UV掩膜板10受熱膨脹變形。

具體地，在框膠固化系統(tǒng)用于框膠固化的實(shí)施方式中，還包括固化室20、及設(shè)置于固化室20下方的UV光源30；所述固化室20用于接收并容置框膠500待固化的大板50，所述UV掩膜板10設(shè)置于固化室20內(nèi)并位于所述大板50的下方，所述UV光源30用于產(chǎn)生UV光，冷卻裝置40設(shè)置在所述UV光源30和UV掩膜板10之間。

具體地，所述冷卻裝置40設(shè)于所述固化室20的底部，與現(xiàn)有技術(shù)相比，冷卻裝置40代替了現(xiàn)有UV固化設(shè)備中固化室的底板。

具體地，所述冷卻裝置40包括相對(duì)設(shè)置兩透光板41，所述兩透光板41之間形成一冷卻通道，所述冷卻通道用于容置冷卻流體。

具體地，所述兩透光板41均為石英板、或均為窄帶濾光片、或分別為石英板和窄帶濾光片。

另外，該框膠固化系統(tǒng)還可以包括一密封腔體31，UV光源30設(shè)置于該密封腔體31中。

綜上所述，本發(fā)明的UV掩膜板，包括掩膜框、固定于所述掩膜框上的支撐板、及安裝于支撐板上的數(shù)個(gè)掩膜單元；其中，每一掩膜單元對(duì)應(yīng)一個(gè)平面顯示面板，所述掩膜框、及支撐板的材料均為不銹鋼，與現(xiàn)有技術(shù)相比，提高了UV掩膜板的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，每一塊掩膜單元的厚度可以減小，且更能耐受撞擊，不會(huì)產(chǎn)生裂紋，降低了UV掩膜板更換過(guò)程中的破損風(fēng)險(xiǎn)；若其中一塊掩膜單元破裂，只需要更換這一塊掩膜單元，而不用整塊更換UV掩膜板，使用成本更低。本發(fā)明的UV掩膜板的制作方法，所制作的UV掩膜板，結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，每一塊掩膜單元的厚度可以減小，且耐受撞擊，降低了UV掩膜板更換過(guò)程中的破損風(fēng)險(xiǎn)，使用成本更低，制作方法簡(jiǎn)單。本發(fā)明的框膠固化系統(tǒng)，采用上述UV掩膜板，且在UV光源和UV掩膜板之間還設(shè)有的冷卻裝置，能夠避免UV掩膜板受熱膨脹變形。

以上所述，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。